JPH07151538A - 多座標接触系で異なった接触力の状況を検出して補償する校正方法 - Google Patents

多座標接触系で異なった接触力の状況を検出して補償する校正方法

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JPH07151538A
JPH07151538A JP6171293A JP17129394A JPH07151538A JP H07151538 A JPH07151538 A JP H07151538A JP 6171293 A JP6171293 A JP 6171293A JP 17129394 A JP17129394 A JP 17129394A JP H07151538 A JPH07151538 A JP H07151538A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 校正過程を容易にし、その結果を改善するこ
とのできる数値制御装置と共に多座標測定装置に使用さ
れる接触系で測定する場合、異なった座標方向の接触力
の状況を検出して補償する校正方法を提供する。 【構成】 以下の過程：接触系６のパラメータを制御装
置に入力し、校正ゲージ３のパラメータを制御装置に入
力し、接触系６を用いて校正ゲージ３の校正面９，１
０，１１に触り、接触運動を二つの座標方向で決まる方
向に向けて行い、接触系６により最初の接触運動にこの
運動とは外れた移動運動を重ね、接触系６の傾き距離を
求め、接触系６の傾き距離から、接触力の状況およびそ
れから修正係数を求め、−修正係数を制御装置に入力
し、制御装置により接触系６の接触誤差を自動的に補償
する、が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、数値制御装置と共に
多座標測定装置に使用される接触系で測定する場合、異
なった座標方向の接触力の状況を検出して補償する校正
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】多座標接触系は、座標測定機械や工作機
械でも試験物を測定するために使用される。その理由
は、数値制御工作機械と多座標測定装置の間の機械的な
構造や運動特性に類似性があることをから、加工品の測
定に関して工作機械の機能を拡張することが思い付くか
らである。これには、先ず適当な３Ｄ接触系を機械的に
も信号技術てきにも工作機械に合わせる必要がある。接
触系は、工具交換マガジンの工具の代わりに装填され、
工具のように交換され、位置される。機械の距離測定系
と信号技術的に結び付けて、加工機械は原理的に座標測
定機械として利用される。距離測定系と電子３Ｄ接触系
と関連して空間的な基準ベースとしての工作機械の座標
系は空間測定を可能にする。しかし、工作機械は、空間
的な基準ベースの系統的な幾何学誤差（実質上機械の案
内誤差）および目盛板の系統誤差を検出し、測定時に補
償することができる場合に初めて、加工品の空間的な測
定に適する。これには、機械の上記本来の誤差を適当な
比較測定系（例えばレーザー干渉計）で求め、修正マト
リックスにして機能的に拡張された制御部に記憶する。
接触した瞬間に距離測定系から導入される座標三値の各
々が記憶された修正値を用いて処理される。更に、この
制御部に組み込まれている、あるいはこの制御部に合わ
せたコンピュータユニットの役目は、加工品の実際の寸
法に対する接触座標値を処理すること、目標値と実測値
のずれの計算、計算値を周辺機器に出力して保管するこ
と、および最後の段階で加工誤差を補償するため修正さ
れたＮＣデータを計算して引き渡すことにある。
【０００３】修正されたＮＣデータを求めることには、
３Ｄ接触系のパラータを計算することが付属している。
ここで考察する電子接触系の主要構成は、一定値ほど傾
けることのできるバネ付勢された接触ピンである。接触
ピンの傾きが各位置で接触ピンの昇降ストローク内で検
出できれば、測定された接触系に付いて語ることができ
る。接触系は距離測定系と共に接触ピンの傾きを求める
ために装備されている。
【０００４】それ故、接触ピンを交換する毎に、校正を
行う必要がある。何故なら、接触機構のために、異なっ
た座標方向の接触力が異なり、接触ピンの長さとその曲
がりを接触過程で相殺する必要があるためである。特に
接触ピンが傾いた場合に力と距離の比が決める異なった
バネ比率を校正する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、校
正過程を容易にし、その結果を改善することのできる方
法と装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、冒頭に述べた種類の校正方法にあって、以下の
過程、 −接触系（６）のパラメータを制御装置に入力し、 −校正ゲージ（３）のパラメータを制御装置に入力し、 −接触系（６）を用いて校正ゲージ（３）の校正面
（９，１０，１１）に触り、接触運動を二つの座標方向
（ＸＺ，ＹＺ）で決まる方向に向けて行い、 −接触系（６）により最初の接触運動にこの運動とは外
れた移動運動を重ね、 −接触系（６）の傾き距離を求め、 −接触系（６）の傾き距離から、接触力の状況およびそ
れから修正係数を求め、 −修正係数を制御装置に入力し、 −制御装置により接触系（６）の接触誤差を自動的に補
償する、が行われることによって解決されている。
【０００７】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の従属請求項に記載されている。
【０００８】
【実施例】以下、添付図面を参照し、実施例に関してこ
の発明をより詳しく説明する。図１には、検査物体３を
収納するテーブル２を有する三座標測定機械１が示して
ある。検査物体３は直交する三つの機械軸方向で機械の
スタンド４上で移動できる。検査物体３を有するテーブ
ル２の移動を測定するため、測長装置５が三座標測定機
械１に設けてある。検査物体３の面に触るため、機械の
スタンド４には、機械の三軸に作用する多座標接触系６
が固定されている。
【０００９】検査物体として校正ゲージ３が用意されて
いる。この校正ゲージは図２と図３に断面および平面図
にして示してある。校正過程では、上に述べた多座標接
触系６の接触ピン７が校正ゲージ３と接触している。
【００１０】校正ゲージ３には穴８がある。この穴８は
円筒状のリング面９、平坦な底１０および円錐状の領域
１１を有する。校正法を開始するには、種々のデータを
多座標接触系６と校正ゲージ３のパラメータとして入力
する。これは、特に接触ボールの半径１２である。この
接触ボール１２は接触ピン７の端部にあり、校正ゲージ
３の円筒状領域９の半径と等しい。校正ゲージ３の穴の
深さ、つまり端面から平坦な底１０までの間隔が穴８の
半径と等しいように選択されていると特に有利である。
この処置により、一度その間隔を記憶しておけば、校正
サイクルのシーケンスが接触ボール１２の直径に無関係
になる。つまり、穴８の深さと半径が等しいためシーケ
ンスが単純化できる。
【００１１】接触系６の接触ピン７が校正ゲージ３の平
坦な底１０により位置決めされると、校正サイクルが接
触過程と共にＺ方向に向けて始まる。次いで、リング面
９の所定の高さまで戻る動作の後、リング面９に方向−
Ｘ，＋Ｘ；−Ｙ，＋Ｙで接触して、校正ゲージの中心を
求める。次いで、このゲージの中に接触ボール１２が存
在する。
【００１２】中心からもう一度リング面９に接触して、
前記の座標方向に関して、例えば曲げに対する修正係数
を求める。もう一度中止に戻して、接触方向が円錐面１
１に垂直になるように、中心からこの円錐面１１に衝突
する。この場合、接触は一度は平面ＸＺで、また一度は
平面ＹＺで行われる。
【００１３】この接触時に生じる接触ピンの傾きは座標
ＸＺあるいはＹＺで異なった傾きになり、これは実質上
多座標接触系６の機構に帰する。接触過程により一定し
ない摩擦の影響も生じ、この影響が異なった接触力の正
確な補償を困難にする。接触力は傾きの距離に逆比例す
るが、摩擦によって誤りを与える。
【００１４】摩擦の影響を低減するため、接触運動に接
触後移動運動が重畳するので、摩擦が無視できるか、あ
るいは少なくとも著しく低減する。最初の接触運動に重
畳するこの移動運動は、最初の接触方向から異なった方
向、例えば最初の接触方向に垂直になるべきである。し
かし、摩擦をなくすため、僅かな振動でも十分である。
【００１５】この処置により、接触が摩擦なしになる
と、接触力の状況を傾き距離で求めることができる。そ
れから算出される修正値は校正過程の終わりで機械の制
御部に導入される。その結果、多座標接触系１の誤差は
自動的に補償される。
【００１６】場合によっては、不慮の停電後、あるいは
電源の切ったり入れたりした後、校正過程の前に比較過
程を設けてもよい。これは、増分測定系でそれ自体周知
である方法で行われている。
【００１７】電源を入れた後、測定する接触系は偶然の
未知位置にあり、どこか或る偶然の位置の値が表示され
るか、または制御部に記憶される。固定点に関するこの
位置を求めるため、接触系は関連する全ての方向にそれ
ぞれ一つの基準マークを介して移動する。基準マークに
より、あるいは基準マークのところで、偶然生じる測定
を零にする。つまり付属する全ての記憶器をリセットす
る。次いで、接触系は再び初期位置に戻る。
【００１８】その場合、基準マークから初期位置までの
距離を測定し、任意の記憶器に記憶する。上記の距離
は、後の全ての測定値にあって一緒に計算される値であ
る。何故なら、この値は接触系の理論的な原点を表す基
準マークから接触系の実際の位置のずれを表すからであ
る。
【００１９】それ故、多座標測定装置の電源を入れた
後、このオプションを基本的に利用すると有利である。
【００２０】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明の多座
標接触系の校正方法により、校正過程を容易にし、その
結果を改善することのできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】三座標測定装置の模式正面図である。
【図２】この発明による方法を実施する校正ゲージの断
面図である。
【図３】この発明による方法を実施する校正ゲージの平
面図である。
【符号の説明】
１ 三座標測定装置 ２ テーブル ３ 検査物体 ４ 機械のスタンド ５ 測長装置 ６ 多座標接触系 ７ 接触ピン ８ 穴 ９ リング面 １０ 底 １１ 円錐領域（円錐面） １２ 接触ボール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルドルフ・シユテットナー ドイツ連邦共和国、83308 トロストベル ク、シユヴアルツアウアーストラーセ、21 (72)発明者 クルト・フアイヒテインガー ドイツ連邦共和国、83349 パリング、カ ッツヴアルヒエンストラーセ、26

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 数値制御装置と共に多座標測定装置
    （１）に使用される接触系で測定する場合、異なった座
    標方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の接触力の状況を検出して補償す
    る校正方法において、以下の過程、 −接触系（６）のパラメータを制御装置に入力し、 −校正ゲージ（３）のパラメータを制御装置に入力し、 −接触系（６）を用いて校正ゲージ（３）の校正面
    （９，１０，１１）に触り、接触運動を二つの座標方向
    （ＸＺ，ＹＺ）で決まる方向に向けて行い、 −接触系（６）により最初の接触運動にこの運動とは外
    れた移動運動を重ね、 −接触系（６）の傾き距離を求め、 −接触系（６）の傾き距離から、接触力の状況およびそ
    れから修正係数を求め、 −修正係数を制御装置に入力し、 −制御装置により接触系（６）の接触誤差を自動的に補
    償する、が行われることを特徴とする校正方法。
  2. 【請求項２】 最初の接触運動に重畳する移動運動は、
    或る角度、好ましくは最初の接触方向に垂直である線形
    運動であることを特徴とする請求項１に記載の校正方
    法。
  3. 【請求項３】 最初の接触運動に重畳する移動運動は振
    動運動であることを特徴とする請求項１に記載の校正方
    法。
  4. 【請求項４】 校正ゲージ（３）は一定の直径のリング
    基準器であることを特徴とする請求項１に記載の校正方
    法。
  5. 【請求項５】 校正過程の前には、場合によって、比較
    過程を設けることを特徴とする請求項１に記載の校正方
    法。
  6. 【請求項６】 比較過程は、停電後、 −少なくとも一方の座標で測定する接触系の初期位置か
    ら接触系の基準マークを通過し、 −基準マークのところで偶然の測定値を消去し、 −測定系を初期位置に戻し、 −基準マークから初期位置までの距離を任意の記憶器に
    記憶する、ことから成ることを特徴とする請求項５に記
    載の校正方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006349411A (ja) * 2005-06-14 2006-12-28 Toshiba Mach Co Ltd キャリブレーションゲージ

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9401692D0 (en) * 1994-01-28 1994-03-23 Renishaw Plc Performing measurement or calibration on positioning machines
ITBO940167A1 (it) * 1994-04-19 1995-10-19 Marposs Spa Sistema per il rilevamento di dimensioni lineari e metodo di verifica del relativo funzionamento
JP3292225B2 (ja) * 1994-09-19 2002-06-17 株式会社安川電機 産業用ロボットの基準位置決め方法
US5657549A (en) * 1995-10-04 1997-08-19 Shen; Yin-Lin Method of improving accuracy of touch trigger probe
DE19539148A1 (de) * 1995-10-20 1997-04-24 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Koordinatenmessung von Werkstücken
JP3081174B2 (ja) * 1997-07-08 2000-08-28 株式会社東京精密 真円度測定機及びその検出器感度校正方法
US5837880A (en) * 1997-08-20 1998-11-17 Sperry Rail Service, Inc. Compact ultrasonic calibration block
US6176117B1 (en) * 1998-12-01 2001-01-23 Industrial Technology Research Institute Calibration instrument for micro-positively-sensed force and calibration method therefor
US6810597B2 (en) * 1999-04-08 2004-11-02 Renishaw Plc Use of surface measuring probes
GB9907868D0 (en) * 1999-04-08 1999-06-02 Renishaw Plc Method of calibrating a scanning system
US6415644B1 (en) 1999-04-29 2002-07-09 General Electric Company Ultrasonic calibration apparatus
US6546640B2 (en) * 2000-01-18 2003-04-15 Mitutoyo Corporation Traverse linearity compensation method and rotational accuracy compensation method of measuring device
US7625335B2 (en) * 2000-08-25 2009-12-01 3Shape Aps Method and apparatus for three-dimensional optical scanning of interior surfaces
US6457251B1 (en) * 2000-08-31 2002-10-01 Xilinx Inc. Method and apparatus for calibrating device pick-up heads used in integrated circuit handler systems
US6434845B1 (en) 2000-09-05 2002-08-20 University Of North Carolina At Charlotte Dual-axis static and dynamic force characterization device
DE50115721D1 (de) * 2000-09-28 2011-01-05 Zeiss Ind Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät
US6510725B2 (en) * 2000-10-13 2003-01-28 Mitutoyo Corporation Apparatus and method of inspecting gage
DK1368986T3 (da) * 2001-03-02 2012-02-27 3Shape As Fremgangsmåde til modellering af specialfremstillede ørestykker
DE10111919A1 (de) * 2001-03-13 2002-09-19 Boegl Max Bauunternehmung Gmbh Fahrwegträger
GB0106245D0 (en) * 2001-03-14 2001-05-02 Renishaw Plc Calibration of an analogue probe
GB0126232D0 (en) * 2001-11-01 2002-01-02 Renishaw Plc Calibration of an analogue probe
DE10157174A1 (de) * 2001-11-22 2003-06-05 Wolfgang Madlener Verfahren und Vorrichtung zum räumlichen Vermessen von Werkstücken an einer Werkzeugmaschine
GB0322115D0 (en) 2003-09-22 2003-10-22 Renishaw Plc Method of error compensation
GB0329098D0 (en) * 2003-12-16 2004-01-21 Renishaw Plc Method of calibrating a scanning system
JP4275632B2 (ja) * 2005-03-01 2009-06-10 新日本工機株式会社 パラレルメカニズム機構のキャリブレーション方法、キャリブレーションの検証方法、キャリブレーションの検証プログラム、データ採取方法及び空間位置補正における補正データ採取方法
DE102005032749A1 (de) * 2005-07-13 2007-01-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum Antasten eines Werkstücks mit einem Koordinatenmessgerät und Koordinatenmessgeräte
DE202005014635U1 (de) * 2005-09-15 2007-02-01 Jeromin, Johannes Kalibrierlehre zur Kalibrierung eines Messschiebers
FR2899503B1 (fr) * 2006-04-11 2008-12-26 Process Conception Ing Sa Dispositif de recalage en butee d'un outil de machine d'usinage et de la piece usinee
EP1860398B1 (en) * 2006-05-24 2013-01-09 Rolls-Royce plc Calibration block
WO2010125646A1 (ja) * 2009-04-28 2010-11-04 三菱電機株式会社 ワーク測定方法、放電加工方法及び放電加工装置
JP5934115B2 (ja) * 2010-02-15 2016-06-15 カール ザイス インダストリエル メステクニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 仮想表面によって測定過程を制御する方法
CN105247319B (zh) * 2013-05-27 2018-07-10 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 用于校准坐标测量仪的装置和方法
GB201311600D0 (en) * 2013-06-28 2013-08-14 Renishaw Plc Calibration of a contact probe
EP3051253B1 (en) * 2015-02-02 2018-08-22 Rolls-Royce North American Technologies, Inc. Multi-axis calibration block
DE102017103938A1 (de) * 2017-02-24 2018-08-30 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung zum Messen der Rauheit einer Werkstückoberfläche
EP3421167A1 (de) 2017-06-26 2019-01-02 Fronius International GmbH Verfahren und vorrichtung zur abtastung einer werkstückoberfläche eines metallischen werkstückes
CN113021077A (zh) * 2019-12-09 2021-06-25 北京精雕科技集团有限公司 一种数控机床在机测量系统的精度校准方法
JP2022160911A (ja) * 2021-04-07 2022-10-20 株式会社ミツトヨ 校正方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1095065A2 (ru) * 1979-11-05 1984-05-30 Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков Измерительна головка
JPS57127805A (en) * 1981-01-31 1982-08-09 Osaka Kiko Co Ltd Device for measuring three-dimensional shape
US4523450A (en) * 1981-11-07 1985-06-18 Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz Method of calibrating probe pins on multicoordinate measurement machines
JPS59200923A (ja) * 1983-04-28 1984-11-14 Ishida Scales Mfg Co Ltd スパン調整方法
GB8411437D0 (en) * 1984-05-04 1984-06-13 Renishaw Plc Co-ordinate positioning apparatus
US4663852A (en) * 1985-09-19 1987-05-12 Digital Electronic Automation, Inc Active error compensation in a coordinated measuring machine
US4771237A (en) * 1986-02-19 1988-09-13 Panametrics Method and apparatus for calibrating a displacement probe using a polynomial equation to generate a displacement look-up table
DE3637410A1 (de) * 1986-11-03 1988-05-11 Zeiss Carl Fa Verfahren zur messung von drehtischabweichungen
SE461548B (sv) * 1988-02-18 1990-02-26 Johansson Ab C E Foerfarande och anordning foer bestaemning av och korrigering foer laegesfel vid maetning av en punkts laege eller vid positionering till en punkt med ett bestaemt laege
US4924715A (en) * 1988-03-10 1990-05-15 Nawsir Inc. Contact sensing system
EP0362626B1 (de) * 1988-10-03 1993-02-10 Firma Carl Zeiss Prüfkörper für Koordinatenmessgeräte
US5134781A (en) * 1991-01-14 1992-08-04 Baker Stephen H Geometric simulator for coordinate measuring machine
US5259119A (en) * 1991-09-17 1993-11-09 Mitutoyo Corporation Automatic inner diameter measuring apparatus and zero adjustment thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006349411A (ja) * 2005-06-14 2006-12-28 Toshiba Mach Co Ltd キャリブレーションゲージ

Also Published As

Publication number Publication date
DE59406719D1 (de) 1998-09-24
EP0638781A1 (de) 1995-02-15
US5501096A (en) 1996-03-26
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