JPH08105702A - ２つの回転軸を有する座標測定装置の校正方法 - Google Patents
２つの回転軸を有する座標測定装置の校正方法Info
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- JPH08105702A JPH08105702A JP7242097A JP24209795A JPH08105702A JP H08105702 A JPH08105702 A JP H08105702A JP 7242097 A JP7242097 A JP 7242097A JP 24209795 A JP24209795 A JP 24209795A JP H08105702 A JPH08105702 A JP H08105702A
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- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ２つの回転軸を有する座標測定装置の校正方
法を提供する。 【解決手段】 該方法は、スキャナ（１０）がリンク方
式で２つの並列した平行な旋回軸（６，８）を介して面
（ｘ，ｙ）内を可動に案内された座標測定装置を校正す
るために役立つ。座標測定測定の主寸法（Ｒ１，Ｒ２，
φ0，ψ0，ｄＴ）を校正するために、スキャナに固定さ
れたプローブ球（１２）の直径が幾何学的要素もしくは
その距離に関する測定結果にそれぞれ異なった重みづけ
又は符号で関与するように選択された校正体の輪郭もし
くは幾何学要素を走査する。引き続き、輪郭の走査の際
に得られた、面（ｘ，ｙ）内のスキャナ（１０）の位置
に関する測定値から及び幾何学要素の既知の寸法（Ｒ
１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）を決定する。
法を提供する。 【解決手段】 該方法は、スキャナ（１０）がリンク方
式で２つの並列した平行な旋回軸（６，８）を介して面
（ｘ，ｙ）内を可動に案内された座標測定装置を校正す
るために役立つ。座標測定測定の主寸法（Ｒ１，Ｒ２，
φ0，ψ0，ｄＴ）を校正するために、スキャナに固定さ
れたプローブ球（１２）の直径が幾何学的要素もしくは
その距離に関する測定結果にそれぞれ異なった重みづけ
又は符号で関与するように選択された校正体の輪郭もし
くは幾何学要素を走査する。引き続き、輪郭の走査の際
に得られた、面（ｘ，ｙ）内のスキャナ（１０）の位置
に関する測定値から及び幾何学要素の既知の寸法（Ｒ
１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）を決定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２つの旋回軸を有
する座標測定装置の校正方法に関する。
する座標測定装置の校正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】１つの面内又は空間内を可動のスキャナ
又は工具を有する、座標測定機、工作機械及び多数のそ
の他の加工機械の運動系は、高い精度要求と同時に一般
に２又は３つの互いに直角なかつ互いに組立られた直線
案内によって実現され、この場合直線案内に線形測定系
が配属されている。これらの公知の測定系は簡単な運動
機構の利点を有するが、しかし極めて費用のかかる構造
的手段及び高い製作費用でのみ実現され得るにすぎな
い。そのほかに、これらの系の可動機械的構成部材は比
較的大きな重量を有する。
又は工具を有する、座標測定機、工作機械及び多数のそ
の他の加工機械の運動系は、高い精度要求と同時に一般
に２又は３つの互いに直角なかつ互いに組立られた直線
案内によって実現され、この場合直線案内に線形測定系
が配属されている。これらの公知の測定系は簡単な運動
機構の利点を有するが、しかし極めて費用のかかる構造
的手段及び高い製作費用でのみ実現され得るにすぎな
い。そのほかに、これらの系の可動機械的構成部材は比
較的大きな重量を有する。
【０００３】構造的に極めて簡単には、２つの平行な旋
回リンクを有する平坦な運動系を構成することができ
る。この原理に基づき構成されており、従ってそのスキ
ャナが２つの並列した平行な旋回軸線を有するリンクク
アームで１つの面内を可動に構成された座標測定装置
は、例えば英国特許第１４９８００９号明細書、米国特
許第４，８９１，８８９号明細書並びにドイツ国特許出
願公開第４２３８１３９号明細書に記載されている。ド
イツ国特許出願公開第４２３８１３９号明細書に記載さ
れた座標測定装置のリンクアームは、付加的に垂直のｚ
方向におけるリンクアームの運動を検出するために線形
測定系を有する垂直直線案内に配置されている。
回リンクを有する平坦な運動系を構成することができ
る。この原理に基づき構成されており、従ってそのスキ
ャナが２つの並列した平行な旋回軸線を有するリンクク
アームで１つの面内を可動に構成された座標測定装置
は、例えば英国特許第１４９８００９号明細書、米国特
許第４，８９１，８８９号明細書並びにドイツ国特許出
願公開第４２３８１３９号明細書に記載されている。ド
イツ国特許出願公開第４２３８１３９号明細書に記載さ
れた座標測定装置のリンクアームは、付加的に垂直のｚ
方向におけるリンクアームの運動を検出するために線形
測定系を有する垂直直線案内に配置されている。
【０００４】このような２つの平行なリンク軸を有する
装置の利点は、デカルト案内を有する装置に比して例え
ばプロフィールの連続的走査のために簡単な操作を可能
にする軽重量のリンク部材の簡単な機械的構成にある。
装置の利点は、デカルト案内を有する装置に比して例え
ばプロフィールの連続的走査のために簡単な操作を可能
にする軽重量のリンク部材の簡単な機械的構成にある。
【０００５】しかしながら、前記の“リンクアーム装
置”で高精度の測定を可能にするには、装置の基礎幾何
学的因子、旋回軸線に配属された角度測定系の零位φ0
及びψ0並びに測定のために交換導入されるプローブ球
の直径ｄＴを精確に知ることが必要である。この目的の
ために、該装置は、１回だけでなく、前記の主寸法が変
化する都度校正しなければならない。このような事態
は、例えば新たなスキャナを交換導入する際に常に生じ
る。この場合、一般にプローブ球の直径だけでなく、第
２のリンクアームの有効長さＲ２も変化する。
置”で高精度の測定を可能にするには、装置の基礎幾何
学的因子、旋回軸線に配属された角度測定系の零位φ0
及びψ0並びに測定のために交換導入されるプローブ球
の直径ｄＴを精確に知ることが必要である。この目的の
ために、該装置は、１回だけでなく、前記の主寸法が変
化する都度校正しなければならない。このような事態
は、例えば新たなスキャナを交換導入する際に常に生じ
る。この場合、一般にプローブ球の直径だけでなく、第
２のリンクアームの有効長さＲ２も変化する。
【０００６】さらにまた、旋回軸の相互の、及びリンク
アームに配置された直線案内に対する非平行性、並びに
個々のリンク部材の自重及び作動もしくは測定力の作用
による弾性変形を校正の範囲内で検出することが望まし
い。それというのも、最後に挙げた作用も、リンク系を
介するその極めて複雑な方式でスキャナの立体的測定も
しくは位置誤差として影響する系統的誤差を惹起するこ
とがあるからである。
アームに配置された直線案内に対する非平行性、並びに
個々のリンク部材の自重及び作動もしくは測定力の作用
による弾性変形を校正の範囲内で検出することが望まし
い。それというのも、最後に挙げた作用も、リンク系を
介するその極めて複雑な方式でスキャナの立体的測定も
しくは位置誤差として影響する系統的誤差を惹起するこ
とがあるからである。
【０００７】座標測定装置の校正のためには、従来は主
としてレーザ干渉計が使用され、該装置により座標測定
装置の測定範囲内をスキャナが運行する際のスキャナに
固定された反射プリズムの位置が座標測定装置の測定系
とは無関係に測定された。更にまたいわゆる球ロッド法
も適用され、この場合には、両側に玉継手を備えた既知
の長さのロッドを座標測定装置の測定台及び該測定装置
のスキャナに枢着しかつ測定範囲内を旋回させる。この
ようなレーザ干渉計及び球ロッドを用いた校正法は、例
えば欧州特許公開第０３０４４６０号明細書、欧州特許
公開第０２７５４２８号明細書、欧州特許公開第０２７
９９２６号明細書並びに欧州特許公開第０３８６１１５
号明細書に記載されている。この種の公知の校正法は、
比較的時間がかかりかつ多数の高価な校正工具を必要と
する。従って、これらの方法は、例えばスキャナ交換毎
の座標測定装置の定期的校正のためには不適当である。
さらに、干渉計はデカルト座標で測定する座標測定装置
の校正のために適するにすぎない。
としてレーザ干渉計が使用され、該装置により座標測定
装置の測定範囲内をスキャナが運行する際のスキャナに
固定された反射プリズムの位置が座標測定装置の測定系
とは無関係に測定された。更にまたいわゆる球ロッド法
も適用され、この場合には、両側に玉継手を備えた既知
の長さのロッドを座標測定装置の測定台及び該測定装置
のスキャナに枢着しかつ測定範囲内を旋回させる。この
ようなレーザ干渉計及び球ロッドを用いた校正法は、例
えば欧州特許公開第０３０４４６０号明細書、欧州特許
公開第０２７５４２８号明細書、欧州特許公開第０２７
９９２６号明細書並びに欧州特許公開第０３８６１１５
号明細書に記載されている。この種の公知の校正法は、
比較的時間がかかりかつ多数の高価な校正工具を必要と
する。従って、これらの方法は、例えばスキャナ交換毎
の座標測定装置の定期的校正のためには不適当である。
さらに、干渉計はデカルト座標で測定する座標測定装置
の校正のために適するにすぎない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、スキ
ャナが２つの並列した平行な旋回軸を有するリンクアー
ムを介して１つの面内を可動に案内されている座標測定
装置のための、多大な費用を必要とせずに実施可能であ
る簡単な校正方法を提供することであった。該方法で
は、少なくとも比較的短い距離で可変の主寸法が迅速に
測定可能であるべきである。
ャナが２つの並列した平行な旋回軸を有するリンクアー
ムを介して１つの面内を可動に案内されている座標測定
装置のための、多大な費用を必要とせずに実施可能であ
る簡単な校正方法を提供することであった。該方法で
は、少なくとも比較的短い距離で可変の主寸法が迅速に
測定可能であるべきである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題は、座標測定装
置の主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）を校正する
ために、スキャナに固定されたプローブ球の直径（ｄ
Ｔ）が幾何学的要素もしくはその距離に関する結果にそ
れぞれ異なった重みづけ又は符号で関与するように選択
された校正体の輪郭もしくは幾何学的要素を走査し、か
つ輪郭の走査の際に得られた、面（ｘ，ｙ）内のスキャ
ナの位置に関する測定値及び幾何学的要素の既知の寸法
から主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ｄｔ）を決定すること
を特徴とする方法により解決される。
置の主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）を校正する
ために、スキャナに固定されたプローブ球の直径（ｄ
Ｔ）が幾何学的要素もしくはその距離に関する結果にそ
れぞれ異なった重みづけ又は符号で関与するように選択
された校正体の輪郭もしくは幾何学的要素を走査し、か
つ輪郭の走査の際に得られた、面（ｘ，ｙ）内のスキャ
ナの位置に関する測定値及び幾何学的要素の既知の寸法
から主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ｄｔ）を決定すること
を特徴とする方法により解決される。
【００１０】前記解決手段により、簡単に例えば２つの
適当に選択した幾何学的要素を走査することにより、５
つの主寸法、即ち両者のリンクの長さＲ１及びＲ２及び
角度測定系の零角φ0，ψ0並びにプローブ球の直径ｄｔ
を同時に極めて迅速に測定することができる。この際得
られた、幾何学的要素の既知の設定輪郭と同一視するこ
とができる多数の測定値から、次いで主寸法を明らかに
高い精度で確認することができる。
適当に選択した幾何学的要素を走査することにより、５
つの主寸法、即ち両者のリンクの長さＲ１及びＲ２及び
角度測定系の零角φ0，ψ0並びにプローブ球の直径ｄｔ
を同時に極めて迅速に測定することができる。この際得
られた、幾何学的要素の既知の設定輪郭と同一視するこ
とができる多数の測定値から、次いで主寸法を明らかに
高い精度で確認することができる。
【００１１】幾何学的要素は、それぞれ円形又は矩形の
校正体の内側輪郭及び円形又は矩形の外部輪郭であって
もよい。外部輪郭及び内部輪郭を測定する際には、プロ
ーブ球直径はそれぞれ異なった符号を取ることができ
る。しかしながら、互いに既知の固定距離で配置された
２つの内部孔からなる校正体を使用することもできる。
確かに、プローブ球直径は両者の内部輪郭を測定する際
には同じ符号で測定結果に関与するが、しかしながら、
両者の輪郭の距離はプローブ球直径には左右されない、
即ち距離にはプローブ球直径は重みづけ零で関与する。
校正体の内側輪郭及び円形又は矩形の外部輪郭であって
もよい。外部輪郭及び内部輪郭を測定する際には、プロ
ーブ球直径はそれぞれ異なった符号を取ることができ
る。しかしながら、互いに既知の固定距離で配置された
２つの内部孔からなる校正体を使用することもできる。
確かに、プローブ球直径は両者の内部輪郭を測定する際
には同じ符号で測定結果に関与するが、しかしながら、
両者の輪郭の距離はプローブ球直径には左右されない、
即ち距離にはプローブ球直径は重みづけ零で関与する。
【００１２】更に、幾何学的要素は、異なった距離を有
する直線対、例えば明らかに異なった辺長を有する長方
形の対向した辺であってもよい。その際には、プローブ
球直径は、直線対の距離を測定する際にその他の主寸法
と比較してそれぞれ異なった重みづけで関与しかつ同様
に確認することができる。
する直線対、例えば明らかに異なった辺長を有する長方
形の対向した辺であってもよい。その際には、プローブ
球直径は、直線対の距離を測定する際にその他の主寸法
と比較してそれぞれ異なった重みづけで関与しかつ同様
に確認することができる。
【００１３】特に有利には、記載の校正方法を、面
（ｘ，ｙ）内を旋回可能のプローブを有する場合のため
にも構成するのが有利である。この場合には、座標測定
装置が面（ｘ，ｙ）内で旋回可能なフィーラを有し、か
つ校正基準を数回量及び方向が異なったフィーラの旋回
で走査もしくは走行させかつ得られた面（ｘ，ｙ）内で
のスキャナに位置及び面（ｘ，ｙ）内でのフィーラの旋
回（ｕ，ｖ）に関する測定値（φ，ψ）からフィーラ変
位（ｕ，ｖ）の係数を、２つの並行に記録された測定値
の群を関連させることにより、決定するのが特に有利で
ある。
（ｘ，ｙ）内を旋回可能のプローブを有する場合のため
にも構成するのが有利である。この場合には、座標測定
装置が面（ｘ，ｙ）内で旋回可能なフィーラを有し、か
つ校正基準を数回量及び方向が異なったフィーラの旋回
で走査もしくは走行させかつ得られた面（ｘ，ｙ）内で
のスキャナに位置及び面（ｘ，ｙ）内でのフィーラの旋
回（ｕ，ｖ）に関する測定値（φ，ψ）からフィーラ変
位（ｕ，ｖ）の係数を、２つの並行に記録された測定値
の群を関連させることにより、決定するのが特に有利で
ある。
【００１４】該校正方法のその他の構成及び付加的実施
態様、特にリンク軸の平行偏位、及び操作力及び自重に
基づき惹起されるリンクアーム変形を測定するための方
法は、他の請求項に記載されている。
態様、特にリンク軸の平行偏位、及び操作力及び自重に
基づき惹起されるリンクアーム変形を測定するための方
法は、他の請求項に記載されている。
【００１５】
【実施例】次に図示の実施例につき本発明を詳細に説明
する。
する。
【００１６】図１に略示された座標測定装置は、垂直ｚ
案内として構成された柱１を有し、該柱に支持体４が駆
動装置２により摺動可能に支持されている。垂直ｚ位置
は、スケール３を介して光電式に読み取ることができ
る。
案内として構成された柱１を有し、該柱に支持体４が駆
動装置２により摺動可能に支持されている。垂直ｚ位置
は、スケール３を介して光電式に読み取ることができ
る。
【００１７】支持体４には、旋回軸６が固定され、該旋
回軸を中心に第１のリンクアーム５が面ｘ，ｙ内を旋回
することができる。軸６上の同様に光電式で読み取られ
る部分円φを示す。
回軸を中心に第１のリンクアーム５が面ｘ，ｙ内を旋回
することができる。軸６上の同様に光電式で読み取られ
る部分円φを示す。
【００１８】第１のリンクアーム５には、垂直軸６に対
して平行な第２の軸８が固定されている。この軸８に第
２のヒンジアーム７が同様に旋回可能に支持されてい
る。この第２の旋回軸８の旋回運動を検出するために、
図示されていない光電的走査系と結合されたピッチ円１
８が役立つ。
して平行な第２の軸８が固定されている。この軸８に第
２のヒンジアーム７が同様に旋回可能に支持されてい
る。この第２の旋回軸８の旋回運動を検出するために、
図示されていない光電的走査系と結合されたピッチ円１
８が役立つ。
【００１９】第２のリンクアーム７は同時に、ばね平行
四辺形機構を介して両者のリンク脚部９ａ，９ｂと支持
体４に枢着されたスキャナ１０のための支持体を形成す
る。ばね平行四辺形機構９ａ，９ｂを介して、スキャナ
１０は垂直方向で可動である。ばね平行四辺形機構の変
位ｗは測定系２３、例えば誘導測定系を介して検出され
かつ増幅器１５を介してモータ２に報知され、該モータ
は平行四辺形の大きな変位を支持体４の追従により制御
する。
四辺形機構を介して両者のリンク脚部９ａ，９ｂと支持
体４に枢着されたスキャナ１０のための支持体を形成す
る。ばね平行四辺形機構９ａ，９ｂを介して、スキャナ
１０は垂直方向で可動である。ばね平行四辺形機構の変
位ｗは測定系２３、例えば誘導測定系を介して検出され
かつ増幅器１５を介してモータ２に報知され、該モータ
は平行四辺形の大きな変位を支持体４の追従により制御
する。
【００２０】フィーラ１１はスキャナ１０で弾性カルダ
ン継手１４を介して面ｘ，ｙ内で変位可能である。変位
の程度は、互いに垂直に配置された２つの測定系１３
ａ，１３ｂを介して検出可能である。従って、プローブ
球１２の位置Ｐは、両者のリンクアーム５及び７の長さ
Ｒ１及びＲ２と結合した角度測定系１６ないしは１８の
測定値φ及びψから、図２の図面から容易に導き出すこ
とのできる以下の方程式に基づき求められる：
ン継手１４を介して面ｘ，ｙ内で変位可能である。変位
の程度は、互いに垂直に配置された２つの測定系１３
ａ，１３ｂを介して検出可能である。従って、プローブ
球１２の位置Ｐは、両者のリンクアーム５及び７の長さ
Ｒ１及びＲ２と結合した角度測定系１６ないしは１８の
測定値φ及びψから、図２の図面から容易に導き出すこ
とのできる以下の方程式に基づき求められる：
【００２１】
【数１】
【００２２】この場合、スキャナの変位ｕ及びｖ並びに
場合により装置誤差例えば旋回軸６及び８と案内１との
非平行性は考慮されていない。
場合により装置誤差例えば旋回軸６及び８と案内１との
非平行性は考慮されていない。
【００２３】パラメータＲ１及びφ0は長時間帯に亙り
一定であると見なすことができるが、このことはパラメ
ータＲ２及びψ0並びにプローブ球の直径ｄＴに関して
は当てはまらない。これらのパラメータは、スキャナの
交換に際に比較的大きな変動を受ける。
一定であると見なすことができるが、このことはパラメ
ータＲ２及びψ0並びにプローブ球の直径ｄＴに関して
は当てはまらない。これらのパラメータは、スキャナの
交換に際に比較的大きな変動を受ける。
【００２４】ところで今や、フィーラ１１がスキャナに
不動に固定されかつ面ｘ，ｙ内で変位することができな
いと仮定すれば、その際には校正過程で、図５ａ−ｄに
示されておりかつ平面に投影すると簡単な幾何学的図形
を形成する校正基準の輪郭を走査することにより主寸法
Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴを測定することができる。
不動に固定されかつ面ｘ，ｙ内で変位することができな
いと仮定すれば、その際には校正過程で、図５ａ−ｄに
示されておりかつ平面に投影すると簡単な幾何学的図形
を形成する校正基準の輪郭を走査することにより主寸法
Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴを測定することができる。
【００２５】例えば、プローブ球１２を連続してそれぞ
れ同じ旋回方向で、図５ａに示された、その直径Ｄ１及
びＤ２が高い精度で知られたゲージリング３１の内側輪
郭３２及び外側輪郭３３をに沿って案内する。この場
合、旋回角度φ及びψに関してそれぞれ例えば１００〜
２００の多数の測定値を得る。これらの値は、方程式
（１），（２）と関連して、以下の方程式：
れ同じ旋回方向で、図５ａに示された、その直径Ｄ１及
びＤ２が高い精度で知られたゲージリング３１の内側輪
郭３２及び外側輪郭３３をに沿って案内する。この場
合、旋回角度φ及びψに関してそれぞれ例えば１００〜
２００の多数の測定値を得る。これらの値は、方程式
（１），（２）と関連して、以下の方程式：
【００２６】
【数２】
【００２７】を満足すべきである。上記方程式におい
て、明白なようにプローブ球直径ｄＴは異なった符号で
記入されている。ここに、ＸＭ１及びＹＭ１は円形の内
側輪郭の中心点座標、及びＸＭ２及びＹＭ２は外側輪郭
の中心点座標である。これらの方程式から、すべての５
つの主寸法を確実に求めることができる。
て、明白なようにプローブ球直径ｄＴは異なった符号で
記入されている。ここに、ＸＭ１及びＹＭ１は円形の内
側輪郭の中心点座標、及びＸＭ２及びＹＭ２は外側輪郭
の中心点座標である。これらの方程式から、すべての５
つの主寸法を確実に求めることができる。
【００２８】類似の方程式系は、校正体として図５ｂに
示された矩形であって、その辺長（Ｓ）が極めて精確に
知られ、かつ精確に知られた直径Ｄ３の中心孔を有する
ものを使用することにより設定することができる。この
場合も、矩形の孔の内部輪郭３６及び外部輪郭３５を走
査することにより、該測定値を校正体の寸法に関連させ
ることができる多数の測定値が得られる。この場合も、
プローブ球直径は矩形の外部輪郭３５及び孔の内部輪郭
３６を走査する際にそれぞれ異なった符号で測定結果に
関与する。
示された矩形であって、その辺長（Ｓ）が極めて精確に
知られ、かつ精確に知られた直径Ｄ３の中心孔を有する
ものを使用することにより設定することができる。この
場合も、矩形の孔の内部輪郭３６及び外部輪郭３５を走
査することにより、該測定値を校正体の寸法に関連させ
ることができる多数の測定値が得られる。この場合も、
プローブ球直径は矩形の外部輪郭３５及び孔の内部輪郭
３６を走査する際にそれぞれ異なった符号で測定結果に
関与する。
【００２９】更に、図５ｃに示された校正体は同じ直径
の２つの孔３８及び３９を有する矩形３７の形を有す
る。これらの孔を走査すると、プローブ球直径は同じ符
号で測定結果に関与する。もちろん、両者の孔３８及び
３９の相互の固定距離Ａはプローブ球の直径に依存しな
いで測定可能である、即ちプローブ球直径はこの距離で
重みづけ零で関与する。
の２つの孔３８及び３９を有する矩形３７の形を有す
る。これらの孔を走査すると、プローブ球直径は同じ符
号で測定結果に関与する。もちろん、両者の孔３８及び
３９の相互の固定距離Ａはプローブ球の直径に依存しな
いで測定可能である、即ちプローブ球直径はこの距離で
重みづけ零で関与する。
【００３０】主寸法を校正するもう１つの手段は、図５
ｄに示された校正体が提供する。該校正体は矩形４０の
形を有し、この場合両者の対向した辺４１／４２及び４
４／４３は著しく異なった距離Ａ１及びＡ２を有する。
校正過程で解放されるべき方程式系に関する式は、以下
のように示される：
ｄに示された校正体が提供する。該校正体は矩形４０の
形を有し、この場合両者の対向した辺４１／４２及び４
４／４３は著しく異なった距離Ａ１及びＡ２を有する。
校正過程で解放されるべき方程式系に関する式は、以下
のように示される：
【００３１】
【数３】
【００３２】ここに、ＮＸ１及びＮＹ１は辺４１／４２
に対する法線の座標並びにＮＹ１及びＮＹ２は辺４３／
４４に対する法線の座標であり、この場合該法線は、交
点座標がＸＭもしくはＹＭで示された点で交差する。
に対する法線の座標並びにＮＹ１及びＮＹ２は辺４３／
４４に対する法線の座標であり、この場合該法線は、交
点座標がＸＭもしくはＹＭで示された点で交差する。
【００３３】この場合も、矩形の対向した辺４１／４２
及び４３／４４を走査することにより多数の測定値が得
られ、該測定値を介して主寸法を逆算することができ
る。自明なように、この場合には、その都度辺４３／４
４の距離Ａ２又は辺４１及び４２の距離Ａ１を測定する
かどうかに基づき、プローブ球直径はその他の主寸法に
比較して著しく異なった重みづけで関与する。
及び４３／４４を走査することにより多数の測定値が得
られ、該測定値を介して主寸法を逆算することができ
る。自明なように、この場合には、その都度辺４３／４
４の距離Ａ２又は辺４１及び４２の距離Ａ１を測定する
かどうかに基づき、プローブ球直径はその他の主寸法に
比較して著しく異なった重みづけで関与する。
【００３４】図１に示されているように本装置に変位可
能なフィーラ１１を有するスキャナが固定されている場
合には、もう１つの校正ステップで、リンクアームの立
体的変位をスキャナ変位ｕ及びｖ自体を関係付けること
により、測定走査系の特性を決定すべきである。それと
いうのも、ｘ−ｙ面内の変位ベクトルはリンクアームの
実際の主寸法Ｒ２及びψ0を変化させるからである。こ
の事態は図４につき明らかにする。最も簡単な場合、即
ちスキャナ変位ｕ及びｖを測定する測定系がリンクアー
ム７に対して平行もしくは垂直に配向されている場合に
は、以下の方程式：
能なフィーラ１１を有するスキャナが固定されている場
合には、もう１つの校正ステップで、リンクアームの立
体的変位をスキャナ変位ｕ及びｖ自体を関係付けること
により、測定走査系の特性を決定すべきである。それと
いうのも、ｘ−ｙ面内の変位ベクトルはリンクアームの
実際の主寸法Ｒ２及びψ0を変化させるからである。こ
の事態は図４につき明らかにする。最も簡単な場合、即
ちスキャナ変位ｕ及びｖを測定する測定系がリンクアー
ム７に対して平行もしくは垂直に配向されている場合に
は、以下の方程式：
【００３５】
【数４】
【００３６】に基づき信号ｕ及びｖからＲ２及びψの変
化が得られる。この場合、ａ１及びａ２は、フィーラ変
位の信号ｕ及びｖをフィーラ長さに相応して翻訳するス
キャナ係数である。
化が得られる。この場合、ａ１及びａ２は、フィーラ変
位の信号ｕ及びｖをフィーラ長さに相応して翻訳するス
キャナ係数である。
【００３７】主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）の
冒頭に記載した測定を記載と同様に不動のスキャナでな
く、変位可能なフィーラを有するスキャナで実施する場
合には、方程式（１）及び（２）からのＲ２及びψをそ
れぞれＲ２′＝Ｒ２＋ΔＲ２及びψ′＝ψ＋Δψと置き
換えかつΔＲ２並びにΔψに関しては方程式（７）及び
（８）に示した表現を置き換ることより、方程式（１）
及び（２）を補正すべきである。それにより、
冒頭に記載した測定を記載と同様に不動のスキャナでな
く、変位可能なフィーラを有するスキャナで実施する場
合には、方程式（１）及び（２）からのＲ２及びψをそ
れぞれＲ２′＝Ｒ２＋ΔＲ２及びψ′＝ψ＋Δψと置き
換えかつΔＲ２並びにΔψに関しては方程式（７）及び
（８）に示した表現を置き換ることより、方程式（１）
及び（２）を補正すべきである。それにより、
【００３８】
【数５】
【００３９】が得られる。
【００４０】スキャナ変位と、リンクアームの立体的変
位との間の一定の関係を得るためには、規定の校正基準
を一定の位置で大きさ及び方向が変動するフィーラ１１
の変位及び／又は変化する操作力で走査するか、又は１
つの測定面内で複数の位置で走査することにより測定す
るように実施することができる。例えば、校正基準は真
合せ成形体、例えば（図６における心合せ成形体５１及
び５２）、例えば立方体角、円錐心合せ孔又は３重球と
して構成されていてもよく、該心合せ成形体内にプルー
ブ球を固定し、引き続きリンクアームの位置を簡単に変
動する、それにより同時にスキャナ変位及びリンクアー
ム位置の変化が生じる。その際、測定値（φ，ψ，ｕ及
びｖ）に関して、方程式（９）及び（１０）から以下の
関係式が得られる：
位との間の一定の関係を得るためには、規定の校正基準
を一定の位置で大きさ及び方向が変動するフィーラ１１
の変位及び／又は変化する操作力で走査するか、又は１
つの測定面内で複数の位置で走査することにより測定す
るように実施することができる。例えば、校正基準は真
合せ成形体、例えば（図６における心合せ成形体５１及
び５２）、例えば立方体角、円錐心合せ孔又は３重球と
して構成されていてもよく、該心合せ成形体内にプルー
ブ球を固定し、引き続きリンクアームの位置を簡単に変
動する、それにより同時にスキャナ変位及びリンクアー
ム位置の変化が生じる。その際、測定値（φ，ψ，ｕ及
びｖ）に関して、方程式（９）及び（１０）から以下の
関係式が得られる：
【００４１】
【数６】
【００４２】これから、係数ａ１及びａ２をガウスの回
帰計算により求めることができる。
帰計算により求めることができる。
【００４３】主寸法の測定及びスキャナ変位の係数の決
定は、反復法に基づき行うのが有利である。その際に
は、図５ａ−ｄに基づく校正基準の１つで求めかつ記憶
した測定値及び例えば立方体角を可変変位で走査する際
に得られた測定値を数回連続して利用し、方程式例えば
（３）及び（４）を（９）及び（１０）並びに（１１）
及び（１２）と組み合わせて解放することができる。こ
の場合、約４回の反復ステップでスキャナ係数（ａ１，
ａ２）及び主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）に関
する極めて精確な値が得られる。
定は、反復法に基づき行うのが有利である。その際に
は、図５ａ−ｄに基づく校正基準の１つで求めかつ記憶
した測定値及び例えば立方体角を可変変位で走査する際
に得られた測定値を数回連続して利用し、方程式例えば
（３）及び（４）を（９）及び（１０）並びに（１１）
及び（１２）と組み合わせて解放することができる。こ
の場合、約４回の反復ステップでスキャナ係数（ａ１，
ａ２）及び主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）に関
する極めて精確な値が得られる。
【００４４】スキャナ係数はある程度またリンクアーム
５及び７の角度位置、即ち角度に関係させることができ
るので、前記測定は、例えば図６に明示されているよう
に、リンクアームが一回折り畳まれかつ１回延ばされ
る、少なくとも２つの際立ったリンク位置で実施するの
が有利である。そこで、基板５０には２つの三重球が、
それぞれ折り畳まれかつ延ばされたリンクアームで走査
することができる位置にマウントされている。
５及び７の角度位置、即ち角度に関係させることができ
るので、前記測定は、例えば図６に明示されているよう
に、リンクアームが一回折り畳まれかつ１回延ばされ
る、少なくとも２つの際立ったリンク位置で実施するの
が有利である。そこで、基板５０には２つの三重球が、
それぞれ折り畳まれかつ延ばされたリンクアームで走査
することができる位置にマウントされている。
【００４５】ｚ方向でのスキャナ変位ｗの校正、即ち実
質的に図１における測定系２３の直線性の測定は、モー
タ２をスキャナ１１の固定保持して測定系２３の許容測
定範囲内で作動させる、即ちスライダ４を校正運動させ
かつｚ測定系３の測定値を利用して、測定値放出器２３
の信号を校正することにより、極めて簡単に実施するこ
とができる。
質的に図１における測定系２３の直線性の測定は、モー
タ２をスキャナ１１の固定保持して測定系２３の許容測
定範囲内で作動させる、即ちスライダ４を校正運動させ
かつｚ測定系３の測定値を利用して、測定値放出器２３
の信号を校正することにより、極めて簡単に実施するこ
とができる。
【００４６】従来は、両者の軸６及び８が互いにかつｚ
案内に対して正確に平行であることから出発した。この
条件は、代替可能な構造及び製作技術的費用では常には
維持されない。
案内に対して正確に平行であることから出発した。この
条件は、代替可能な構造及び製作技術的費用では常には
維持されない。
【００４７】一般に、該装置は、図２に解体して示され
ているように、程度の差こそあれ変形されている。
ているように、程度の差こそあれ変形されている。
【００４８】両者の軸６及び８の非平行性を確認するた
めに、面又は直線を、例えば図６に基板５０上に溝５７
により具体化された直線を両者の破線で記入された枢着
位置で走査することができる。両者の枢着位置での測定
値の差異から、両者の軸６及び８相互の傾斜位置が確認
され、この場合この傾斜位置は軸のマウンティングによ
り、しかしまたリンクアーム５及び７の自重に基づく弾
性変形に起因することがある。
めに、面又は直線を、例えば図６に基板５０上に溝５７
により具体化された直線を両者の破線で記入された枢着
位置で走査することができる。両者の枢着位置での測定
値の差異から、両者の軸６及び８相互の傾斜位置が確認
され、この場合この傾斜位置は軸のマウンティングによ
り、しかしまたリンクアーム５及び７の自重に基づく弾
性変形に起因することがある。
【００４９】弾性変形を別に検出するために、規定の構
成基準、例えば図６に５４で示された半径Ｒ並びに軸座
標Ｘｍ及びＹｍを有する円筒体の側面を屈曲したｚ軸
で、即ちモータ２をブロックして旋回する垂直変位及び
／又は操作力Ｆｖで走査する。直立円筒体の代わりに、
もちろん垂直面を有する別の校正基準、例えば直方体又
はその他のプリズム状部材を使用することができる。そ
うして得られた測定値は、相互にかつ校正のその他の測
定値と関係付けられ、かつ変形のための補正パラメータ
（Ｃ１）及び（Ｃ２）を次いで以下の方程式から決定す
ることができる：
成基準、例えば図６に５４で示された半径Ｒ並びに軸座
標Ｘｍ及びＹｍを有する円筒体の側面を屈曲したｚ軸
で、即ちモータ２をブロックして旋回する垂直変位及び
／又は操作力Ｆｖで走査する。直立円筒体の代わりに、
もちろん垂直面を有する別の校正基準、例えば直方体又
はその他のプリズム状部材を使用することができる。そ
うして得られた測定値は、相互にかつ校正のその他の測
定値と関係付けられ、かつ変形のための補正パラメータ
（Ｃ１）及び（Ｃ２）を次いで以下の方程式から決定す
ることができる：
【００５０】
【数７】
【００５１】垂直ｚ案内１に対する第１の回転軸６の傾
斜位置を決定するためには、軸位置を具体化する立体的
校正基準を走査することができる。このような立体基準
は、例えば基板５０（図６）にマウントされた円筒体５
４に設けられた２つの環状溝５５及び５６により具体化
される。プローブ球１２で溝５５を走査することにより
測定値が得られ、該測定値は空間内で配向された軸ＫＡ
をそれにより定義された座標測定系ｘ′，ｙ′，ｚ′で
規定する。引き続いて、中心点Ｍ２が高い精度で軸ＫＡ
上にある溝５６を走査すると、リンク軸６が傾斜してい
る際には、中心点Ｍ２のずれが測定される。このずれの
座標ΔＸＭ１及びΔＸＭ２から以下の方程式に基づき、
第１のリンク軸６の傾斜位置（δｘ，ｙ）が求められ
る：
斜位置を決定するためには、軸位置を具体化する立体的
校正基準を走査することができる。このような立体基準
は、例えば基板５０（図６）にマウントされた円筒体５
４に設けられた２つの環状溝５５及び５６により具体化
される。プローブ球１２で溝５５を走査することにより
測定値が得られ、該測定値は空間内で配向された軸ＫＡ
をそれにより定義された座標測定系ｘ′，ｙ′，ｚ′で
規定する。引き続いて、中心点Ｍ２が高い精度で軸ＫＡ
上にある溝５６を走査すると、リンク軸６が傾斜してい
る際には、中心点Ｍ２のずれが測定される。このずれの
座標ΔＸＭ１及びΔＸＭ２から以下の方程式に基づき、
第１のリンク軸６の傾斜位置（δｘ，ｙ）が求められ
る：
【００５２】
【数８】
【００５３】この場合、ｚ１は円筒体５４に設けられた
２つの溝５５と５６の距離であり、しかもこの距離極め
て精確に知られている。
２つの溝５５と５６の距離であり、しかもこの距離極め
て精確に知られている。
【００５４】上記に詳細に述べたように主寸法（Ｒ１，
Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）並びにスキャナパラメータ（ａ
１）及び（ａ２）の校正は比較的しばしば、例えばスキ
ャナの交換の都度必要であるが、軸の曲がりパラメータ
及び傾斜位置は座標測定装置の製作後１回だけ確認する
必要があるにすぎない。それでもなお、図６に示されて
いるように、校正のために必要な校正基準を共通の基板
上にマウントするのが有利である。その際には、個々の
又は全ての校正ステップを基板５０を座標測定装置の測
定台にセットした後実施することができる。この場合の
プロセスは以下の通りである。例えば座標測定装置に接
続された計算機で校正モードを呼出し、更に計算機にオ
ペレータが、基板をセットし、かつ該基板上に配置され
た校正体５１，５２を走査するかないしは輪郭５３ａ，
５３ｂ，５４，５６を前記と同様に走査するように指令
する。次いで、測定値から計算機は校正データを計算
し、該校正データを未知の幾何学的偏位を有する測定す
べき工作物での本来の測定プロセスのために記憶させ
る。
Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）並びにスキャナパラメータ（ａ
１）及び（ａ２）の校正は比較的しばしば、例えばスキ
ャナの交換の都度必要であるが、軸の曲がりパラメータ
及び傾斜位置は座標測定装置の製作後１回だけ確認する
必要があるにすぎない。それでもなお、図６に示されて
いるように、校正のために必要な校正基準を共通の基板
上にマウントするのが有利である。その際には、個々の
又は全ての校正ステップを基板５０を座標測定装置の測
定台にセットした後実施することができる。この場合の
プロセスは以下の通りである。例えば座標測定装置に接
続された計算機で校正モードを呼出し、更に計算機にオ
ペレータが、基板をセットし、かつ該基板上に配置され
た校正体５１，５２を走査するかないしは輪郭５３ａ，
５３ｂ，５４，５６を前記と同様に走査するように指令
する。次いで、測定値から計算機は校正データを計算
し、該校正データを未知の幾何学的偏位を有する測定す
べき工作物での本来の測定プロセスのために記憶させ
る。
【図１】２つの平行旋回軸を有する座標測定装置の運動
学的概略図である。
学的概略図である。
【図２】図１の基づく装置の運動を示す概略図である、
但しこの場合には旋回軸の非平行性及びリンクアームの
変形は誇張して示されている。
但しこの場合には旋回軸の非平行性及びリンクアームの
変形は誇張して示されている。
【図３】図１の基づく装置の運動を旋回軸に対して垂直
に配置した面に投影した原理図である。
に配置した面に投影した原理図である。
【図４】図２に基づく図示に加えてスキャナ変位が考慮
されている簡単化した原理図である。
されている簡単化した原理図である。
【図５】Ａ〜Ｄは図１に基づく座標測定装置の主寸法を
測定するために使用可能な４つの校正体を示す図であ
る。
測定するために使用可能な４つの校正体を示す図であ
る。
【図６】全ての寸法、傾斜位置、変形等の校正のために
必要な校正体がセットされた基板の斜視図である。
必要な校正体がセットされた基板の斜視図である。
６，８ 旋回軸、 １０ スキャナ、 １２ プローブ
球、 ３１；３４；３７；４０ 校正体、 ３２，３
３；５３ａ，５３ｂ；３５，３６；３８，３９，４０，
４１ 輪郭、 Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ 主寸法、
ｘ，ｙ 面、Ｄ１／Ｄ２；Ｓ／Ｄ３；Ｄ／Ａ；Ａ１／
Ａ２ 既知の寸法
球、 ３１；３４；３７；４０ 校正体、 ３２，３
３；５３ａ，５３ｂ；３５，３６；３８，３９，４０，
４１ 輪郭、 Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ 主寸法、
ｘ，ｙ 面、Ｄ１／Ｄ２；Ｓ／Ｄ３；Ｄ／Ａ；Ａ１／
Ａ２ 既知の寸法
Claims (15)
- 【請求項１】 スキャナ（１０）がリンク方式で２つの
並列した平行な旋回軸（６，８）を介して１つの面
（ｘ，ｙ）内を可動に案内されている、２つの旋回軸を
有する座標測定装置の校正方法において、座標測定装置
の主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）を校正するた
めに、 スキャナ（１０）に固定されたプローブ球（１２）の直
径（ｄＴ）が幾何学的要素もしくはその距離に関する結
果にそれぞれ異なった重みづけ又は符号で関与するよう
に選択された校正体（３１；３４；３７；４０）の輪郭
（３２，３３；５３ａ，５３ｂ；３５，３６；３８，３
９，４０，４１）もしくは幾何学的要素を走査し、 かつ輪郭の走査の際に得られた、面（ｘ，ｙ）内のスキ
ャナ（１０）の位置に関する測定値及び幾何学的要素の
既知の寸法（Ｄ１／Ｄ２；Ｓ／Ｄ３；Ｄ／Ａ；Ａ１／Ａ
２）から主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ｄｔ）を決定する
ことを，特徴とする、２つの回転軸線を有する座標測定
装置の校正方法。 - 【請求項２】 幾何学的要素がそれぞれ円形又は矩形の
内側輪郭（３２．３６）及び円形又は矩形の外部輪郭
（３３，３５）を有する、請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 両者の幾何学的要素がリング状校正体
（３１）の内径又は外形により形成されている、請求項
２記載の方法。 - 【請求項４】 幾何学的要素がそれぞれ内側輪郭又は外
側輪郭（３８，３９）を有し、該輪郭が互いに固定の、
既知の対向した距離（Ａ）で配置されている、請求項１
記載の方法。 - 【請求項５】 幾何学的要素が固定の対向距離（Ａ）の
２つの孔（３８，３９）である、請求項４記載の方法。 - 【請求項６】 幾何学的要素がそれぞれ異なった距離を
有する直線対もしくは明らか異なった辺長（Ａ１，Ａ
２）を有する長方形の対向した辺（４１／４２；４３／
４４）である、請求項１記載の方法。 - 【請求項７】 座標測定装置が面（ｘ，ｙ）内で変位可
能なフィーラ（１１）を有し、かつ校正基準（５１，５
２）を数回量及び方向が異なったフィーラ（１１）の変
位で走査もしくは走行させかつ得られた面（ｘ，ｙ）内
でのスキャナ（１０）の位置及び面（ｘ，ｙ）内でのフ
ィーラ（１１）の変位（ｕ，ｖ）に関する測定値（φ，
ψ）からフィーラ変位（ｕ，ｖ）の係数（ａ１，ａ２）
を決定することにより、フィーラ旋回を面（ｘ，ｙ）内
のスキャナ（４０）の運動と関連させる、請求項６記載
の方法。 - 【請求項８】 校正基準を座標測定装置の測定範囲内の
スキャナ（１０）の少なくとも２つの際立った位置で走
査もしくは走行させる、請求項７記載の方法。 - 【請求項９】 校正基準が、測定範囲内で、リンクアー
ムの走査が異なった角度位置を取る位置に配置されてい
る１つ以上の心合わせ体（５１，５２）から形成されて
いる、請求項８記載の方法。 - 【請求項１０】 主寸法（Ｒ１，Ｒ２，φ0，ψ0，ｄ
Ｔ）の測定及びフィーラ旋回の係数（ａ１，ａ２）の測
定を幾何学的要素（３２，３３）及び構成基準（５１，
５２）での測定点の記録後に繰り返し行う、請求項７か
ら９までのいずれか１項記載の方法。 - 【請求項１１】 両者の旋回軸（６，８）の平行偏位を
確認するために、直線（５７）又は平面をスキャナで２
つの可能な異なる枢着位置（Ｇ１，Ｇ２）を走査し、か
つ両者の枢着位置（Ｇ１，Ｇ２）で確認された枢着位置
（Ｇ１，Ｇ２）の測定値の偏差から旋回軸（６，８）の
平行偏位を測定する、請求項１から１０までのいずれか
１項記載の方法。 - 【請求項１２】 スキャナ（１０）の平行な旋回軸
（６，８）の方向での変位（ｗ）に基づき生じるリンク
アームの弾性変形の校正のために、旋回軸（６，８）に
対して平行な測定面（５４）を大きさ及び方向が異なっ
たスキャナ（１０）の変位又は異なった作動力で走査
し、かつ得られた測定値を相互に並びに主寸法（Ｒ１，
Ｒ２，φ0，ψ0，ｄＴ）のための校正データと関連さ
せ、かつそこからリンクアームの弾性変形のための補正
パラメータ（Ｃ１，Ｃ２）を測定する、請求項１から１
１までのいずれか１項記載の方法。 - 【請求項１３】 測定面（５４）が旋回軸（６，８）に
対して平行な円筒体の側面又は旋回軸に対して平行な面
を有するプリズム状部分である、請求項１２記載の方
法。 - 【請求項１４】 リンクアーム（５／７）が旋回軸
（６，８）に対して平行の直線案内（１）に固定されて
おり、かつ平行偏位を測定するために案内（１）とそれ
に引き続いた旋回軸（６）との間に該旋回軸に対して平
行の面を案内方向（ｚ）で距離を置いた位置（５５，５
６）で走査する、請求項１記載の方法。 - 【請求項１５】 幾何学的要素（５３ａ，５３ｂ）ない
しは校正基準（５１，５２）及び測定面（５４）又は測
定線（５７）が共通の基板上に配置されている請求項７
から１４までのいずれか１項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4434014.1 | 1994-09-23 | ||
| DE4434014A DE4434014A1 (de) | 1994-09-23 | 1994-09-23 | Verfahren zur Kalibrierung eines Koordinatenmeßgerätes mit zwei rotatorischen Achsen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08105702A true JPH08105702A (ja) | 1996-04-23 |
| JP3679472B2 JP3679472B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=6529011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24209795A Expired - Fee Related JP3679472B2 (ja) | 1994-09-23 | 1995-09-20 | ２つの回転軸を有する座標測定装置の校正方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5649368A (ja) |
| EP (1) | EP0703430B1 (ja) |
| JP (1) | JP3679472B2 (ja) |
| DE (2) | DE4434014A1 (ja) |
| ES (1) | ES2161814T3 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007512512A (ja) * | 2003-11-13 | 2007-05-17 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 関節プローブヘッドを持つ座標測定機の誤差補償方法 |
| CN110709668A (zh) * | 2017-04-13 | 2020-01-17 | Sa08700334公司 | 超轻及超准确的便携式坐标测量机 |
| CN112747702A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-05-04 | 杭州电子科技大学 | 多功能空间标准件及其对关节类坐标测量机的标定方法 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19738099A1 (de) | 1997-09-01 | 1999-03-04 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmeßgerät oder Bearbeitungsmaschine |
| DE19809589B4 (de) * | 1998-03-06 | 2009-04-02 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Kalibrierung eines Tasters eines Koordinatenmeßgerätes |
| US5929584A (en) * | 1998-04-27 | 1999-07-27 | Pht, Inc. | Tool center point calibration apparatus and method |
| US6112423A (en) * | 1999-01-15 | 2000-09-05 | Brown & Sharpe Manufacturing Co. | Apparatus and method for calibrating a probe assembly of a measuring machine |
| DE10006753A1 (de) * | 2000-02-15 | 2001-08-16 | Zeiss Carl | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes |
| JP3827548B2 (ja) * | 2001-10-04 | 2006-09-27 | 株式会社ミツトヨ | 倣いプローブの校正方法および校正プログラム |
| JP3827549B2 (ja) * | 2001-10-04 | 2006-09-27 | 株式会社ミツトヨ | プローブの校正方法および校正プログラム |
| EP1588855B1 (de) * | 2004-04-20 | 2007-05-30 | GretagMacbeth AG | Vorrichtung zur fotoelektrischen Ausmessung einer Messvorlage und Verfahren zum Ermitteln von Koordinatenwerten einer ausgewählten Position auf einer Messvorlage mit einer solchen Messvorrichtung |
| DE202005014635U1 (de) * | 2005-09-15 | 2007-02-01 | Jeromin, Johannes | Kalibrierlehre zur Kalibrierung eines Messschiebers |
| SE531462C2 (sv) * | 2005-11-17 | 2009-04-14 | Hexagon Metrology Ab | Inställningsanordning för ett mäthuvud |
| GB0608235D0 (en) * | 2006-04-26 | 2006-06-07 | Renishaw Plc | Differential calibration |
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