JPH0715060A - 固体レーザ装置 - Google Patents

固体レーザ装置

Info

Publication number
JPH0715060A
JPH0715060A JP15052993A JP15052993A JPH0715060A JP H0715060 A JPH0715060 A JP H0715060A JP 15052993 A JP15052993 A JP 15052993A JP 15052993 A JP15052993 A JP 15052993A JP H0715060 A JPH0715060 A JP H0715060A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser light
mirror
output
optical path
harmonic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP15052993A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenichi Iwamoto
憲市 岩本
Minoru Suzuki
稔 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
Priority to JP15052993A priority Critical patent/JPH0715060A/ja
Publication of JPH0715060A publication Critical patent/JPH0715060A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 出力ミラーおよび非線形結晶等のアライメン
ト調整を行うことなく、基本波と高調波を独立に出力す
ることができるような固体レーザ装置を提供する。 【構成】 レーザ媒質であるYAGロッド1とフラッシ
ュランプ3が設けられ、YAGロッド1を光軸上に位置
するように全反射ミラー15とSHG出力ミラー19が
設けられる。また、その光軸上には、高調波を出力する
ためのダイクロイックミラー25および第1非線形光学
結晶KTP21等が設けられる。さらに、その光軸に対
して垂直方向に可動し、第1直角プリズム27と第2直
角プリズム29により構成される可動式スライド機構3
1が設けられる。そして、その可動式スライド機構31
を介して全反射ミラー15とともに、基本波を共振させ
るための出力ミラー17から出力された基本波は、第3
直角プリズム33に入射し、ダイクロイックミラー25
で反射され出力される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、固体レーザ装置に関
し、特に、液晶やメモリのリペアおよびトリミング等の
微細加工を行なう固体レーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、マイクロエレクトロニクスの分野
に関連して、主としてYAGレーザを適用したレーザ特
有の加工分野が発達している。それは、トリミング、リ
ペアリング、スクライビング、マーキングと呼ばれる処
理プロセスであり、いずれも高度に制御された物質の微
細除去処理である。この微細除去処理には、レーザの特
性としてパルス制御性の高いレーザを必要とするため、
そのような特質を持つYAGレーザが適用されている。
【0003】図3は、従来の基本波レーザ光を出力する
固体レーザ装置の構成を示した概略図である。
【0004】図3を参照して、レーザ媒体であるYAG
ロッド1に平行してフラッシュランプ3が設けられる。
このフラッシュランプ3はランプ電源5に接続されてい
るため光を発する。その発せられた光を効率よくYAG
ロッド1に照射するために、YAGロッド1を焦点位置
とする楕円ミラー7がYAGロッド1およびフラッシュ
ランプ3に平行して設けられる。また、YAGロッド1
を光軸上に位置するように、全反射ミラー15および出
力ミラー17が設けられる。さらに全反射ミラー15と
YAGロッド1の光軸上には、全反射ミラー15の側か
ら順に、EO−Qスイッチ13、偏光ビームスプリッタ
11およびアパーチャー9が設けられる。
【0005】このような装置の構成により、まず、楕円
ミラー7により集光されたフラッシュランプ3からの光
のポンピングを受けて、YAGロッド1のレーザ媒質が
励起される。そして全反射ミラー15と出力ミラー17
との間で、レーザ光は共振する。またレーザ光は、アパ
ーチャー9により単一横モードに揃えられ、EO−Qス
イッチ13および偏光ビームスプリッタ11により増幅
される。そのため、励起されたレーザ媒質は誘導放出を
起こす。この共振の繰り返しにより、レーザ光の一部が
出力ミラー17の発振しきい値を超えると、基本波レー
ザ光として図3に示すように出力する。
【0006】このように出力された基本波レーザ光はた
とえばトリミング等の微細加工に適用される。しかし、
基本波レーザ光にも微細加工を行なうことのできる限界
がある。そのため、さらにケミカルモードの微細加工を
必要とする場合には、高調波レーザ光が必要とされる。
そこで、図4に示すような高調波レーザ光を出力する固
体レーザ装置が提案されている。
【0007】図4は従来の第4高調波レーザ光を出力さ
せる固体レーザ装置の構成を示した概略図である。
【0008】以下、図4を参照して図3に示した従来例
と同じ構造の部分の説明は省略し、異なる部分を説明す
る。
【0009】この従来例では、図3の従来例で用いた基
本波レーザ光を出力する出力ミラー17の代わりに、第
2高調波レーザ光(図面ではSHG)に対して所定の発
振しきい値を持つSHG出力ミラー19が設けられる。
さらに、SHG出力ミラー19とYAGロッド1との間
には、基本波レーザ光の一部を第2高調波レーザ光に変
換する第1非線形光学結晶KTP21が設けられる。こ
の第1非線形光学結晶KTP21により、全反射ミラー
15とSHG出力ミラー19との間で基本波レーザ光お
よび第2高調波レーザ光が共振される。基本波レーザ光
はSHG出力ミラー19により出力されないが、発振し
きい値を超えた第2高調波レーザ光はSHG出力ミラー
19から出力される。そのSHG出力ミラー19の第2
高調波レーザ光出力側には、第2高調波レーザ光の一部
を第4高調波レーザ光(図面では4HG)に変換する第
2非線形光学結晶BBO23が設けられる。そのため、
SHG出力ミラー19から出力された第2高調波は、第
2非線形光学結晶BBO23で第2高調波レーザ光と第
4高調波レーザ光として出力する。さらに、その第2非
線形光学結晶BBO23の第2高調波レーザ光および第
4高調波レーザ光の出力側には、ダイクロイックミラー
25が設けられる。このダイクロイックミラー25は、
第2高調波レーザ光を反射し、第4高調波レーザ光を透
過するようにコーティングされているため、図4に示す
ように第4高調波レーザ光のみを出力する。
【0010】したがって、この第4高調波レーザ光を用
いれば、基本波レーザ光を用いた場合よりもさらに、ケ
ミカルモードの微細加工を行なうことができる。
【0011】なお、図4に示した従来例のダイクロイッ
クミラー25に、第4高調波レーザ光を反射し、第2高
調波レーザ光を透過するようなコーティングを施せば、
第2高調波レーザ光を用いて微細な加工を行なうことも
できる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上記の様な図4に示し
た従来の第4高調波レーザ光を発振する固体レーザ装置
は、ケミカルモードの微細加工には適しているが、基本
波レーザ光を用いて行なうヒートモードの微細加工には
適していない。
【0013】逆に、上記の図3に示した従来の基本波レ
ーザ光を発振する固体レーザ装置は、ヒートモードの微
細加工に適しているが、第4高調波レーザ光のような高
調波レーザ光を用いて行なうケミカルモードの微細加工
には適していない。
【0014】そのため、高調波レーザ光を発振する固体
レーザ装置を用いてケミカルモードの微細加工を行なっ
ているときに、ヒートモードの微細加工を必要とする部
分に対しても、そのまま高調波レーザ光を使用しなけれ
ばならなかった。または、基本波を発振する固体レーザ
装置に変える必要があった。
【0015】また、固体レーザ装置が1つしかない場合
には、ケミカルモードまたはヒートモードの微細加工に
応じて出力ミラーおよび非線形結晶等のアライメント調
整を行なうことにより、基本波または高調波を出力する
装置に、その都度作り換えなければならなかった。
【0016】したがって、この発明は、上記のような問
題を解決し、1つの装置で出力ミラーおよび非線形結晶
等のアライメント調整を行なうことなく、基本波または
高調波を独立に発振することができるような固体レーザ
装置を提供することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
レーザ媒質と、ポンピング光源と、レーザ光を共振させ
るための全反射ミラーと、第1の光学経路を形成する第
1の出力ミラーとを備えた固体レーザ装置において、レ
ーザ光を受けて高調波成分を出力する非線形光学素子、
非線形光学素子とともに第2の光学経路を形成する第2
の出力ミラー、および第1の光学経路と第2の光学経路
を切替えるための切替手段を備えることで構成される。
【0018】
【作用】請求項1の発明に係る固体レーザ装置は、異な
る2つの光学経路を切替えることのできる切替手段を用
いることにより、出力ミラーおよび高調波を発生する非
線形結晶等のアライメント調整を行うことなく、基本波
レーザ光と高調波レーザ光を独立して発振することがで
きる。
【0019】
【実施例】図1および図2はその発明の一実施例の第1
および第2の状態を示す固体レーザ装置の構成を示した
概略図である。
【0020】以下、この発明の実施例において、図4に
示した従来例と同じ部分の説明は省略し、異なる部分に
ついて説明する。
【0021】図1を参照して、YAGロッド1と、全反
射ミラー15およびSHG出力ミラー19との光軸上に
設けられた第1非線形光学結晶KTP21との間に、そ
の光軸に対して垂直方向に可動し、セット可能な可動式
スライド機構31を設ける。この可動式スライド機構3
1は、反射面を平行とした第1直角プリズム27および
第2直角プリズム29を対向させて構成される。
【0022】この可動式スライド機構31を上方にセッ
トした場合には、図2に示すように第2直角プリズム2
7にレーザ光が反射しないため、図4に示した従来例の
固体レーザ装置と同様に、第4高調波レーザ光をダイク
ロイックミラー25により出力することができる。
【0023】これに対し、可動式スライド機構31を下
方にセットした場合には、図1に示すように可動式スラ
イド機構31の第1直角プリズム27および第2直角プ
リズム29によりレーザ光が反射される。そのレーザ光
を全反射ミラー15とともに共振させるために、光軸が
SHG出力ミラー19の光軸に平行となるような出力ミ
ラー17が設けられている。そのため、全反射ミラー1
5からスライド機構31を介して出力ミラー17までの
共振機構で、レーザ光が共振される。そして、共振され
たレーザ光は出力ミラー17の発振しきい値を超えた基
本波レーザ光として出力される。この出力された基本波
レーザ光は、ダイクロイックミラー25にこの基本波レ
ーザ光を入射するために設けられた第3直角プリズムに
より反射され、ダイクロイックミラー25に入射する。
ダイクロイックミラー25は、基本波を反射するように
コーティングされている。そのためダイクロイックミラ
ー25に入射した基本波レーザ光は反射され出力する。
その基本波レーザ光の出力方向は、図2に示した実施例
のダイクロイックミラー25より出力する第4高調波レ
ーザ光と同一方向である。
【0024】したがって、この発明の一実施例の固体レ
ーザ装置を用いれば、スライド機構31を可動させるこ
とにより、必要に応じて基本波レーザ光を出力させた
り、第4高調波レーザ光を出力させたりすることができ
る。
【0025】なお、この実施例では全反射ミラー15の
光軸上に高調波発振機構を設け、スライド機構を介して
レーザ光を発振する発振機構として基本波発振機構を設
けたが、逆に、全反射ミラー15の光軸上に基本波発振
機構を設け、スライド機構を介してレーザ光を発振する
発振機構として高調波発振機構を設けてもよい。
【0026】また、この実施例では、基本波と高調波を
独立して出力することのできる固体レーザ装置について
記述したが、他の出力ミラーおよび他の非線形光学結晶
を用いれば、第2高調波レーザ光と第3高調波レーザ光
のように異なる高調波を独立して出力することもでき
る。
【0027】さらに、可動式スライド機構の可動を繰返
すことによるスライド機構の直進性の繰り返し誤差を生
じる可能性は、内部に設けた一対のプリズムの反射面を
平行にしておけば生じることはない。
【0028】
【発明の効果】以上のように請求項1の発明によれば、
一つの固体レーザ装置で基本波レーザ光および高調波レ
ーザ光を独立して出力することができるため、必要に応
じて、基本波によるヒートモードの微細加工、または、
高調波によるケミカルモードの微細加工を行なうことが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例の第1の状態を示す固体レ
ーザ装置の構成を示した概略図である。
【図2】この発明の一実施例の第2の状態を示す固体レ
ーザ装置の構成を示した概略図である。
【図3】従来の基本波レーザ光を出力する固体レーザ装
置の構成を示した概略図である。
【図4】従来の第4高調波レーザ光を出力する固体レー
ザ装置の構成を示した概略図である。
【符号の説明】
1 YAGロッド 3 フラッシュランプ 5 ランプ電源 7 楕円ミラー 9 アパーチャー 11 偏光ビームスプリッタ 13 EO−Qスイッチ 15 全反射ミラー 17 出力ミラー 19 SHG出力ミラー 21 第1非線形光学結晶KTP 23 第2非線形光学結晶BBO 25 ダイクロイックミラー 27 第1直角プリズム 29 第2直角プリズム 31 可動式スライド機構 33 第3直角プリズム

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ媒質と、ポンピング光源と、レー
    ザ光を共振させるための全反射ミラーと、第1の光学経
    路を形成する第1の出力ミラーを備えた固体レーザ装置
    において、 レーザ光を受けて高調波成分を出力する非線形光学素
    子、 前記非線形光学素子とともに第2の光学経路を形成する
    第2の出力ミラー、および前記第1の光学経路と前記第
    2の光学経路を切替えるための切替手段を備えた固体レ
    ーザ装置。
  2. 【請求項2】 前記第1の光学経路および第2の光学経
    路の出力側には共通的にダイクロイックミラーが設けら
    れ、 前記切替手段は、レーザ光を前記第1の光学経路側に切
    替える反射手段と、前記第1の光学経路出力側の光軸を
    前記第2の光学経路側に戻すための反射手段とを含む、
    請求項1記載の固体レーザ装置。
JP15052993A 1993-06-22 1993-06-22 固体レーザ装置 Withdrawn JPH0715060A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15052993A JPH0715060A (ja) 1993-06-22 1993-06-22 固体レーザ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15052993A JPH0715060A (ja) 1993-06-22 1993-06-22 固体レーザ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0715060A true JPH0715060A (ja) 1995-01-17

Family

ID=15498871

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15052993A Withdrawn JPH0715060A (ja) 1993-06-22 1993-06-22 固体レーザ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0715060A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6999483B1 (en) External 3rd, 4th and 5th harmonic laser
JP6453844B2 (ja) 円形出力ビーム用の高効率単一パス高調波発生器
JP2004048049A (ja) ダイオードポンプ式の多軸モードキャビティ内倍周波数レーザ
JP5657139B2 (ja) Co2レーザ装置およびco2レーザ加工装置
US6005878A (en) Efficient frequency conversion apparatus for use with multimode solid-state lasers
KR980006669A (ko) 레이저 광 발생장치
JP2006196866A (ja) 固体レーザ装置
CN110932079A (zh) 一种四次谐波光束的产生装置
JP6508058B2 (ja) 光源装置及び波長変換方法
JPH06130328A (ja) 偏光制御素子および固体レーザー装置
JPH11233867A (ja) パルスレーザ光発生装置
JPH1152443A (ja) レーザ光発生装置
JPH0715060A (ja) 固体レーザ装置
JP2001024264A (ja) 波長変換レーザ装置
JPH09298331A (ja) 波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置
CN101383477A (zh) 激光二次谐波发生装置
JP2000338530A (ja) レーザ光の波長変換装置とその変換方法
JPH07235720A (ja) レ−ザ発振装置
JP2004055695A (ja) レーザ装置、このレーザ装置を備えた画像読取装置及び画像検査装置
JPH0750442A (ja) 加工用レーザ装置
JP4518843B2 (ja) 固体レーザ装置
JP2005209910A (ja) 再生増幅器の調整方法
JP2021132127A (ja) 半導体レーザ励起固体レーザ
JP4146207B2 (ja) 非線型波長変換レーザ装置
JP2001133823A (ja) 光パラメトリック発振器

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20000905