JPH07145848A - 振動消去装置 - Google Patents

振動消去装置

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JPH07145848A
JPH07145848A JP6126332A JP12633294A JPH07145848A JP H07145848 A JPH07145848 A JP H07145848A JP 6126332 A JP6126332 A JP 6126332A JP 12633294 A JP12633294 A JP 12633294A JP H07145848 A JPH07145848 A JP H07145848A
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    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/03Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/10Suppression of vibrations in rotating systems by making use of members moving with the system
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 非常に高い信頼性と耐衝撃性を有する能動型
振動消去装置を提供することである。 【構成】 本装置は、磁気浮揚によって構造から離して
支持された慣性質量、構造の振動を感知する手段、およ
び磁界を制御して慣性質量を振動させ、その反作用によ
り逆位相の振動を構造に加えて構造の振動を消去する制
御手段から成っている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、振動消去装置に関する
ものである。機械構造の全体的振動を減らすことができ
る能動型振動消去装置についてはかなり可能性がある。
このような装置を振動力を受ける支柱、管、高い柱に取
り付けるか、埋設することによって、振動力を能動的に
除去することができ。また機械類は、一般に、その支持
構造へ伝わる過酷な振動を減らすために何らかの形式の
受動型マウントの上に設置されている。そのような受動
型マウントのベースの近くに取り付けた能動型振動消去
装置を使用し、支持構造へ伝わるであろう振動を相殺す
ることによって、機械類の総合性能をかなり改善するこ
とができる。
【0002】
【従来の技術】能動型振動消去法は、過去に、詳細には
振動エネルギースペクトルがエンジン回転速度のごくわ
ずかな高調波内にかなりの中身を有する一定速度で回転
しているエンジンについて試みられた。この場合は、最
も簡単に実施できる狭帯域の能動型消去法だけを使用す
ることができる。試みられた消去法は、振動する質量を
使用し、結果的に生じる狭帯域の機械的振動を抑制する
ものであった。しかし、これまでは、逆位相の運動量を
要求方向に発生させるために、振動する質量を機械的に
支持しなければならなかった。能動型振動消去装置の直
線振動する質量が、Journal of the Chartered Mechani
cal Engineer, January 1983,pages 41-47(particularl
y page 44 and Fig.13 ) に記載されている。別の能動
型振動消去装置が、英国特許第 1,601,096号および同第
2,222,279号に開示されている。通例、質量の運動を正
しい軸に拘束するため、何らかの形のダイヤフラムまた
はスパイダが設けられる。実際には、そのような直線支
持体、スパイダ、またはダイヤフラムは磨耗や疲労のた
め、信頼性のないことが判った。さらに、これらの支持
体が衝撃荷重に容易に耐えることができないという、よ
り重要な難点があった。これは、明らかになった信頼性
の無さに加えて、そのアイデアの評価を落とすことにな
った。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、非常に高い信頼性と耐衝撃性を有し、構造内の振動
(機械的振動には一般に直線運動と角運動が含まれる)
の直線運動量および(または)角運動量をできるだけ小
さくする、すなわち消去することができる能動型振動消
去装置を提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁界によって
構造から離して支持された静止位置をもつ質量、振動を
感知する手段、および磁界を制御して質量を振動させ、
その反作用によって逆位相の振動を構造に加える制御手
段を備えた、構造の振動を低減する装置を提供する。
【0005】本発明は、さらに、磁界によって構造のそ
ばに支持された補助質量、振動を感知する感知手段、お
よび感知した振動に応じて磁界を変化させ、補助質量を
振動させることにより、その反作用で逆位相の振動を構
造に加える手段を備えた、構造の振動を低減する装置を
提供する。
【0006】本発明は、さらに、少なくとも1つの平面
内および(または)少なくとも1つの軸のまわりに構造
に対し動くことができるように磁気浮揚によって支持さ
れた補助質量、振動で誘起された相対運動を感知する手
段、力を加える手段、および感知手段の出力を受け取
り、前記力を加える手段に前記補助質量に対し力を加え
させ、その反作用によって逆位相の力を与えて構造の振
動を減らす制御手段を備え、少なくとも1つの平面内お
よび(または)少なくとも1つの軸のまわりに振動を受
ける構造に固定して取り付けられた、またはその一部を
なす振動消去装置を提供する。
【0007】
【実施例】図1〜図3に示すように、振動消去装置は、
振動源9から振動を受ける装置8に固定して取り付ける
ことができる、またはその一部をなすフレーム10を有
する。フレーム10は、大きな半球11aと小さい半球
11bから成るフランジ付き中空非強磁性球形殻11を
有する。各半球に付いているフランジ11cの孔11d
にボルト(図示せず)を通して、2つの半球11a,1
1bを互いに、かつフレーム10または振動を受ける装
置に結合することができる。球形殻11は3対(図に
は、2対だけを示す)の半径方向駆動電磁石12を支持
している。各対の電磁石は、殻11の球形内部の3つの
直交する直径の1の各端に1個づつ配置されている。殻
11の内部に形成された球形空間の中に、中空鋼球14
の形の防振体が置かれている。球14は接合線14cに
沿って互いに結合された2個の半球14a,14bから
成っている。電磁石12は、球14が球形空間と実質上
同心で静止状態にあるとき、磁気浮揚によって球14を
支える役目を果たす。図1の平面と直交する直径上に、
1対の電磁石(図示せず)が配置されていることは理解
されるであろう。
【0008】同様に、球形殻11の表面に、3対(図に
は、2対だけを示す)の接線方向駆動電磁石16が等間
隔に配置されている。
【0009】各対の半径方向駆動電磁石12の少なくと
も1つに、近接センサ18(図2および図3には示して
ない)が設置されており、接線方向駆動電磁石16の少
なくとも1つに、光センサ20(図2および図3には示
してない)が設置されている。
【0010】近接センサ18は、制御手段22(図2)
を介して、球14を無接触で支持し、球形空間と実質上
同心で、すなわちどの方向にも運動させずに、その静止
状態に保持する磁界を半径方向駆動電磁石12に発生さ
せることによって、球14の磁気浮揚状態を制御する役
目を果たす。同様に、光センサ20は球表面のマーキン
グ23と共同して制御手段22へ出力を与える。制御手
段22はその出力を受け取り、静止状態において、球1
4が確実にどの軸のまわりにも回転しないように、接線
方向駆動電磁石16を駆動する。
【0011】振動を消去すべき装置が移動プラットフォ
ームたとえばボートのエンジンに取り付けられていれ
ば、球14の静止状態がその殻11に対し動かないこと
であることは理解されるであろう。そのような低周波数
の運動を補償する駆動は単に相対的静止位置を維持する
役目を果たすだけである。
【0012】たとえば、ボートの運動の周波数は一般に
1Hz以下である。これを最大プラットフォーム非振動
周波数とすれば、制御回路内で識別を行って、1Hz以
下の運動に対しては球14がその殻11に対し動かない
ようにし、1Hz以上の運動または回転の周波数につい
ては殻11内で球14の振動が生じるようにすることが
できる。
【0013】近接センサ18と光センサ20は第1およ
び第2感知手段を構成する。フレーム10の少なくとも
1つの平面内の振動が、フレーム10が固定して取り付
けられた装置または構造によって与えられる場合は、第
1感知手段(1個またはそれ以上の近接センサ18)が
近接センサに対する球14の近接の変化を感知する。感
知された近接の変化は、フィードバックループを介し
て、1個またはそれ以上の半径方向駆動電磁石12が近
接の変化を相殺する方向に球14に磁力を加えて球を動
かすために使用される。同様に、フレーム10の少なく
とも1つの軸のまわりに振動が生じると、第2感知手段
(1個またはそれ以上の光センサ20)が、光センサ2
0および殻11に対する球14の方位の変化を感知す
る。感知された方位の変化は、フィードバックループを
介して、1個またはそれ以上の接線方向駆動電磁石16
が方位の変化を相殺する方向に球14を回転させる磁力
を加えるために使用される、すなわち感知した構造の振
動の方向および(または)方位に一致する方向および
(または)方位に球14を振動させるために使用され
る。加えられた磁力の反作用は、振動を消去する方向に
逆位相の運動量を構造に与える。
【0014】近接センサ18と半径方向駆動電磁石12
が球14の正しい運動を生じさせることが可能になる前
に、装置に加えられた衝撃によって球14が1個または
それ以上の電磁石12に当たり損傷するのを防止するた
めに、少なくとも半径方向駆動電磁石12に、たとえば
合成ゴムの衝撃吸収面24が付いている。(図1および
図2参照)。
【0015】使用の際、殻11はフランジ11cの孔1
1dに通されたボルトでフレーム10に取り付けられ、
フレーム10は振動を受ける装置にボルト締めされる。
振動はどの方向および(または)どの軸のまわりのどの
角度であってもよい。球形空間内の球14を矯正運動を
生じさせるために、近接センサ18と光センサ20は、
制御手段22を介して、半径方向駆動電磁石12および
(または)接線方向駆動電磁石16へ電流を送り、最初
に球14とフレーム10の殻11(および電磁石)間の
相対運動を除去する(または、できるだけ小さくする)
のに貢献する仕方で球14を振動させる。球14に加え
られた力の反作用は、フレーム10(およびフレーム1
0が固定して取り付けられた構造)の振動を減らす、す
なわち消去する役目を果たす。従って、振動を消去する
場合、最終的なねらいは、駆動電磁石12,16の作用
の下で、フレーム10(およびフレーム10が固定して
取り付けられた構造)を静止状態に保ち、かつ球14を
振動させることである。
【0016】第1および第2感知手段は、振動の比較的
低い周波数を消去する(または減らす)ことができる。
振動のより高い周波数では、追加または代替感知手段を
使用することが好ましい。これらの追加または代替感知
手段は、フレーム10に取り付けて直接その振動を感知
することもできるし、球14に取り付けて電磁石12,
16によって与えられた振動を測定することもできる
し、その両方を行うこともできる。加速度計たとえば圧
電素子は上記の追加または代替感知手段として使用でき
る。
【0017】追加または代替感知手段を殻11または振
動している装置に取り付けて、フレーム10が取り付け
られた装置の振動を直接に、応答時間と異なり実時間
で、測定する場合には、電磁石12および(または)1
6を駆動して球14を振動させ、その結果フレーム10
の運動をできるだけ小さくする、もしくは防止すること
ができる。また、たいていの振動は周期性を有し、識別
可能な周波数で反復するので、予測駆動も可能である。
【0018】図1に示すように、球14に与えられた振
動を測定するため球14の内部に加速度計26が設置さ
れている。加速度計26は出力を球14内に配置された
ボックス28へ送る。ボックス28には電子回路たとえ
ばA/D変換器、マルチプレクサ、および光電変換器が
入っており、加速度計26からの信号は球14から、た
とえば1本の光ファイバ30(図2および図3には図示
せず)を通して提供される。光ファイバ30は、球14
を支持せず、しかも球の運動に対する減衰効果をできる
だけ小さくするため十分な柔軟性を有する。光ファイバ
30の代わりに細い電線を使用してもよいが、減衰効果
をできるだけ小さくしなければならず、また球14を支
持してはならない。
【0019】光ファイバ30を通して送られた加速度計
26の出力は球14の振動を指示するため分析すること
ができる。理論上、球14の振動は振動消去装置の振動
および振動消去装置が固定して取り付けられた装置の振
動を直接表している。従って、追加または代替感知手段
を上に示唆したようにフレーム10に取り付けた場合に
は、加速度計26は電磁石12,16に矯正駆動を加え
るための比較手段に成る。近接センサ18の出力と光セ
ンサ20の出力を制御手段22において監視する場合に
は、それらの出力と加速度計26の出力および電磁石1
2,16の制御に作られたフィードバックループとを比
較し、振動を消去する際のヒステリシスをできるだけ小
さくするように、振動消去装置を調整することができ
る。
【0020】代わりに、一定周波数または広帯域の振動
を消去する、またはできるだけ小さくするように、振動
消去装置を調整することができる。
【0021】本発明の振動消去装置の重要な2つの特徴
は、(i)磨耗する可動部品がないので、システムの信
頼性が非常に高いことと、(ii)システムが非常に大き
な直線衝撃に耐えれることである(衝撃により、最悪の
場合は球が電磁石に衝突するが、この衝撃は薄い合成ゴ
ムの被覆物24を使用することで弱めることができ
る。)。
【0022】球の運動を全周波数帯域(たとえば、 0
〜 500 Hz またはそれ以上)にわたって正確に感知する
ために、図1に示すように、加速度計26が球14の表
面の近くに取り付けられ、3つの相互に直交する軸の両
端に配置されている。仮にこれらの軸に1,2,3の番
号を付ければ、軸1,2,3の両端にある加速度計の方
位は軸2,3,1に平行である。これらの加速度計の出
力を積分すれば、球14の瞬間直線速度および角速度の
すべての成分を求めることができる。この配列法は、よ
り高い周波数において正確な測定結果を与えるであろ
う。より低い周波数における誤差の累積を避けるため
に、外部位置センサ18と外部方位センサ20が必要で
ある。これにより、制御装置は確実に球14の中心の平
均位置と、正しく位置決めされた球14の平均方位を正
確に維持することができる。さらに、適当なディジタル
信号処理によって、適当な相補クロスオーバーフィルタ
のほかに、近接センサ18、方位センサ20、および加
速度計26を使用して全周波数帯域にわたって直線およ
び角加速度の最も正確な測定結果を得ることができる。
より低い一定の限界値たとえば1Hz 以下の周波数はプ
ラットフォームの運動として分析され、殻に対し球を静
止状態に維持するため、電磁石を介して駆動が加えられ
る。これに対し、このより低い限界値より高い周波数は
消去すべき振動として分析される。
【0023】外部位置センサ18は、すべて従来技術に
おいて知られている多くの形式のうちどれを使用しても
よい。センサ20による方位の検出はより困難である
が、光学式コーディング法によって達成することができ
るであろう。光学式コーディング法は、一定の場所を通
過する球14上のパターン23の動きを観察することに
よって方向と全体の角運動を追跡することができる。代
わりに、球14の表面が磁性的に均一でなければ、ホー
ル効果装置または線型微分トランスフォーマーを使用し
て球の回転を感知することができる。低い周波数の制御
には、これらのセンサ18,20は必要なすべての情報
を提供できるであろうが、より高い周波数の制御には、
球14内、および(または)フレーム10上に取り付け
た加速度計がはるかに正確である。
【0024】運動している球から加速度計出力の取出し
は、必ずしも光ファイバケーブル30によって行う必要
はない。加速度計の情報を外部制御手段22へ送信する
非接触送信手法が幾つかある。これらの手法はすべて球
14内で利用できる一定の電力を必要とする。この電力
は適当な電磁カップリング法による非接触伝送によって
利用することができる。
【0025】上に述べた振動消去装置に対する、より簡
単であるが、より制限的な代案は、停止具(図示せず)
たとえば電磁石12,16の側面に当たる数個のラグ
(図示せず)を球14上に設けることによって、球14
の最大角変位を制限することである。この構成の場合
は、球14と外部制御手段22の間を非常にゆるく結合
する1本の光ファイバを通して、加速度計からの出力を
多重送信することができるであろう。もし必要ならば、
球を装置上の電源へ接続する2本の細い可撓電線を通し
て、球14へ電力を供給することもできる。球14に対
するこれらの接続が、完成した振動消去装置の最も信頼
性の低い部分になるかもしれない可能性をできるだけ少
なくするために、かなりの注意が必要であろう。
【0026】理論上、3個の半径方向駆動電磁石12と
3個の接線方向駆動電磁石16が必要である。球形空間
の表面にある3個の電磁石12または16は、適当なセ
ンサと共に球14の運動を検出し、矯正駆動を球14に
加えることができる。しかし、電磁駆動は非線形駆動で
あり、制御手段22によって遂行される制御において、
電磁石によって加えるべき駆動を計算することが難し
い。
【0027】また、各電磁石を2通りの方法のどちらか
一方、または両方で励磁し、球14に直線駆動、または
回転駆動、または直線駆動と回転駆動の両方を与えるこ
とができるように、半径方向駆動磁石と接線方向駆動磁
石を組み合わせて使用することができる。
【0028】より簡単な、よりコンパクトな構造の装置
の場合、球14は中実の強磁性体である。従って、その
サイズは同じ重量でかなり小さくすることができる。外
部センサ18,20,26を使用して、構造と(また
は)フレーム10の振動、および磁石12,16に加え
る駆動が決定される。もしこのやり方で振動を相殺しす
ぎれば、外部センサは、その結果生じた振動を感知する
ことによって自己補正する。
【0029】別の実施例の場合、球14は対称である
が、中空球に対するインサートまたは内部リブによって
生じた不均一な強磁性表面性質を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による振動消去装置の略図である。
【図2】本発明による振動消去装置の断面図である。
【図3】図2の装置の部分切除斜視図である。
【符号の説明】
8 振動を受ける装置 9 振動源 10 フレーム 11 中空球形殻 11a 大きな半球 11b 小さい半球 11c フランジ 11d 孔 12 半径方向駆動電磁石 14 中空球 14a,14b 半球 14c 接合線 16 半径方向駆動電磁石 18 近接センサ 20 光センサ 22 制御手段 23 球表面のマーキング 24 衝撃吸収面 26 加速度計 28 ボックス 30 光ファイバ

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 構造の振動を減らす装置であって、 磁界によって構造から離して支持された静止位置をもつ
    質量(14)、 振動を感知する手段(18,20)、および磁界を制御
    して質量(14)を振動させ、その反作用によって逆位
    相の振動を構造に加える手段(12,16,22)、か
    ら成ることを特徴とする装置。
  2. 【請求項2】 構造内の振動を減らす装置であって、 磁界によって構造のそばに支持された補助質量(1
    4)、 振動を感知する手段(18,20)、および感知した振
    動に従って磁界を変化させることにより補助質量(1
    4)を振動させ、その反作用によって逆位相の振動を構
    造に加える手段(12,16,22)、から成ることを
    特徴とする装置。
  3. 【請求項3】 振動源を含む構造内の振動を減らす装置
    であって、 それぞれが磁界によって慣性質量(14)を支持してい
    る複数の装置、 振動を感知する手段(18,20)、および磁界を制御
    して慣性質量(14)を振動させ、構造に逆位相の振動
    を加えることにより、振動源で誘起された構造の振動を
    できるだけ小さくする、すなわち消去する制御手段(2
    2)、から成ることを特徴とする装置。
  4. 【請求項4】 少なくとも1つの平面内および(また
    は)少なくとも1つの軸のまわりに振動を受ける構造に
    固定して取り付けられた、またはその一部を成している
    振動消去装置であって、 磁力付与手段(12,16)による磁気浮揚によって支
    持され、少なくとも1つの平面内および(または)少な
    くとも1つの軸のまわりに構造に対し動くことができる
    補助質量(14)、 振動で誘起された相対運動を感知する手段(18,2
    0)、および前記感知手段(18,20)の出力を受け
    取り、前記磁気力付与手段(12,16)に磁力を加え
    させることにより質量(14)を振動させ、その反作用
    によって逆位相の力を与えて構造の振動を減らす制御手
    段(22)、から成ることを特徴とする装置。
  5. 【請求項5】 前記補助質量(14)が3つの直交する
    平面内で構造に対し動くことができるように無接触で支
    持されていることを特徴とする請求項4に記載の装置。
  6. 【請求項6】 前記補助質量(14)が3つの軸のまわ
    りに構造に対し動くことができるように無接触で支持さ
    れていることを特徴とする請求項4または5に記載の装
    置。
  7. 【請求項7】 前記感知手段が、少なくとも1つの平面
    内の質量の相対運動を感知する第1感知手段(18)を
    含んでいることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに
    記載の装置。
  8. 【請求項8】 前記第1感知手段(18)がフレームに
    取り付けられた1個またはそれ以上の近接センサから成
    ることを特徴とする請求項7に記載の装置。
  9. 【請求項9】 前記感知手段が少なくとも1つの軸のま
    わりの質量の相対運動を感知する第2感知手段(20)
    を含んでいることを特徴とする請求項1〜8のいずれか
    に記載の装置。
  10. 【請求項10】 前記第2感知手段(20)が、質量
    (14)が少なくとも1つの軸のまわりに回転運動して
    いるときその表面(23)を監視する1個またはそれ以
    上の光センサから成ることを特徴とする請求項9に記載
    の装置。
  11. 【請求項11】 前記第1および第2感知手段(18,
    20)によって感知される周波数より高い周波数におい
    て質量(14)の相対運動を感知する別の感知手段(2
    6)を備えていることを特徴とする請求項1〜10のい
    ずれかに記載の装置。
  12. 【請求項12】 前記別の感知手段(26)が構造の振
    動および(または)質量(14)の運動を感知するよう
    に構成された加速度計から成ることを特徴する請求項1
    1に記載の装置。
  13. 【請求項13】 前記別の感知手段(26)が質量(1
    4)に取り付けられていることを特徴とする請求項11
    または12に記載の装置。
  14. 【請求項14】 前記質量(14)が強磁性体であるこ
    とを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の装
    置。
  15. 【請求項15】 前記質量(14)が球形であることを
    特徴とする請求項1〜14のいずれかに記載の装置。
  16. 【請求項16】 前記質量(14)が中空鋼球から成
    り、前記別の感知手段として、質量(14)の運動を感
    知する加速度計(26)が、3つの直交する直径の両端
    に中空球の内面に直径方向に向かい合って固定されてい
    ることを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の
    装置。
  17. 【請求項17】 装置は少なくとも1つの平面と直交す
    る質量(14)の各側に電磁石(12)を備えており、
    前記制御手段(22)が電磁石(12)を励磁し、少な
    くとも1つの平面と直交する質量(14)に力を加えて
    構造の振動を減らす役目を果たすことを特徴とする請求
    項4またはそれに付随するすべての請求項に記載の装
    置。
  18. 【請求項18】 さらに、少なくとも1つの軸のまわり
    の相対角運動に反対して、少なくとも1つの軸のまわり
    に質量(14)に回転力を加える手段(16)を備えて
    いることを特徴とする請求項4またはそれに付随するす
    べての請求項に記載の装置。
  19. 【請求項19】 前記回転力を加える手段(16)が、
    少なくとも1つの軸のまわりに質量(14)の回転に対
    し接線方向の力を発生する、少なくとも1対の向かい合
    った電磁石(16)から成ることを特徴とする請求項1
    8に記載の装置。
  20. 【請求項20】 前記質量(14)の表面(23)が、
    少なくとも1つの軸のまわりの質量(14)の相対運動
    を感知手段(20)の光センサに指示するように構成さ
    れていることを特徴とする請求項18または19に記載
    の装置。
  21. 【請求項21】 フレーム(10,11)が振動を受け
    る構造に取り付けるように構成されており、前記フレー
    ム(10,11)が内部に質量(14)が無接触で支持
    される球形空間を形成しており、さらに感知手段(1
    8,20)と磁力付与手段(12,16)を支持する役
    目を果たすことを特徴とする請求項4またはそれに付随
    するすべての請求項に記載の装置。
  22. 【請求項22】 前記フレーム(10,11)が内部に
    質量(14)が無接触で支持される球形空間を形成して
    おり、また前記フレーム(10,11)が振動を受ける
    構造にフランジで取り付けるように構成されたフランジ
    付き球形殻から成ることを特徴とする請求項21に記載
    の装置。
  23. 【請求項23】 前記フレーム(10,11)が非強磁
    性物質でできていることを特徴とする請求項21または
    22に記載の装置。
  24. 【請求項24】 振動源を含む構造の振動を減らす方法
    であって、 少なくとも1つの慣性質量(14)を磁界によって、前
    記構造から離して支持すること、 前記構造の振動を検出すること、および磁界を制御して
    少なくとも1個の慣性質量(14)を駆動して振動さ
    せ、その反作用によって逆位相の振動を構造に加えるこ
    と、の諸ステップから成ることを特徴とする方法。
  25. 【請求項25】 さらに、質量(14)の振動を感知
    し、感知した構造および質量の振動を比較して矯正駆動
    を質量(14)に加えるステップを含むことを特徴とす
    る請求項24に記載の方法。
  26. 【請求項26】 前記振動が直線振動であり、直線駆動
    が質量(14)に加えられることを特徴とする請求項2
    4または25に記載の方法。
  27. 【請求項27】 前記振動が直線と回転の両方であり、
    直線駆動と回転駆動が質量(14)に加えられることを
    特徴とする請求項24または25に記載の方法。
  28. 【請求項28】 振動源を含む構造の振動を減らす方法
    であって、 振動に従って質量(14)を磁気的に駆動し、その反作
    用で振動を消去する駆動を構造に加えることによって、
    磁気的に無接触で支持された慣性質量(14)に振動を
    伝えるステップを含むことを特徴とする方法。
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