JPH07134559A - 平面型画像形成装置 - Google Patents
平面型画像形成装置Info
- Publication number
- JPH07134559A JPH07134559A JP27936493A JP27936493A JPH07134559A JP H07134559 A JPH07134559 A JP H07134559A JP 27936493 A JP27936493 A JP 27936493A JP 27936493 A JP27936493 A JP 27936493A JP H07134559 A JPH07134559 A JP H07134559A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- small
- image forming
- substrate
- wiring
- forming apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 行配線又は列配線の引き出しを簡単にする。
【構成】 複数の小型基板を組み合せた組み合せ基板１
０と、表示用基板４１との間にガス封入空間４９を形成
し、基板１０の上面に形成した画像形成素子部４４の配
線を小型基板の突き合せ部分である側端面１０８を経由
して導出用端子１３と接続する。
０と、表示用基板４１との間にガス封入空間４９を形成
し、基板１０の上面に形成した画像形成素子部４４の配
線を小型基板の突き合せ部分である側端面１０８を経由
して導出用端子１３と接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平面型画像形成装置、
特に大画面平面型画像形成装置に関し、更に詳細にはプ
ラズマ発光型、及び表面伝導型冷陰極電子放出素子、熱
電子源、スピント型電子源等の電子放出素子と蛍光体と
の組み合わせで描画する平面型画像形成装置に関する。
特に大画面平面型画像形成装置に関し、更に詳細にはプ
ラズマ発光型、及び表面伝導型冷陰極電子放出素子、熱
電子源、スピント型電子源等の電子放出素子と蛍光体と
の組み合わせで描画する平面型画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、平面型画像形成装置としてＴＦＴ
型やＭＩＭ型の液晶型画像形成装置があるが、対角４０
インチ、６０インチの大画面パネルへと応用する場合、
ＴＦＴ型では画素ごとに能動素子を形成する必要が有
り、大面積にわたり高精細のパターニングが要求され
る。また、ＭＩＭ型においては応答速度が遅いため動画
を扱う画像形成装置には不向きである。以上のように液
晶型画像形成装置の大画面化には技術的困難さがある。
そこで、大画面平面型画像形成装置として、電子線照射
あるいは紫外線放射により蛍光体を発光させ画像を形成
する蛍光体発光型画像形成装置が期待されている、蛍光
体発光型画像形成装置には、ガス種のプラズマ放電時の
紫外線放射によって発光を得るプラズマ発光型（ＰＤ
Ｐ）と、表面伝導型冷陰極電子放出素子（ＳＣＥ）、熱
電子源（ＶＦＤ）、スピント型電子源などの電子放出素
子と蛍光体との組み合わせで描画する画像形成装置とが
ある。
型やＭＩＭ型の液晶型画像形成装置があるが、対角４０
インチ、６０インチの大画面パネルへと応用する場合、
ＴＦＴ型では画素ごとに能動素子を形成する必要が有
り、大面積にわたり高精細のパターニングが要求され
る。また、ＭＩＭ型においては応答速度が遅いため動画
を扱う画像形成装置には不向きである。以上のように液
晶型画像形成装置の大画面化には技術的困難さがある。
そこで、大画面平面型画像形成装置として、電子線照射
あるいは紫外線放射により蛍光体を発光させ画像を形成
する蛍光体発光型画像形成装置が期待されている、蛍光
体発光型画像形成装置には、ガス種のプラズマ放電時の
紫外線放射によって発光を得るプラズマ発光型（ＰＤ
Ｐ）と、表面伝導型冷陰極電子放出素子（ＳＣＥ）、熱
電子源（ＶＦＤ）、スピント型電子源などの電子放出素
子と蛍光体との組み合わせで描画する画像形成装置とが
ある。
【０００３】これら蛍光体発光型画像形成装置は、画面
サイズに対応した大きさの２枚のガラス基板間に素子、
行方向配線、列方向配線などの画像形成装置構成要素が
形成してあり、どちらか一方のガラス基板の内壁面には
蛍光体が配置されている。またガラス基板間は、減圧空
間を形成できるように、フリットガラスを用いて封止さ
れている。
サイズに対応した大きさの２枚のガラス基板間に素子、
行方向配線、列方向配線などの画像形成装置構成要素が
形成してあり、どちらか一方のガラス基板の内壁面には
蛍光体が配置されている。またガラス基板間は、減圧空
間を形成できるように、フリットガラスを用いて封止さ
れている。
【０００４】このような蛍光体発光型画像形成装置にお
いても大面積化が進むにつれ、印刷による配線形成後の
焼成およびフリットガラスを用いた封止時の高温工程に
よる熱歪み、変形が大きな問題となっている、また、配
線の短絡、断線、素子の不均一性増加等による歩留まり
の低下や、製造装置の大型化によるコストの上昇という
問題も発生する。
いても大面積化が進むにつれ、印刷による配線形成後の
焼成およびフリットガラスを用いた封止時の高温工程に
よる熱歪み、変形が大きな問題となっている、また、配
線の短絡、断線、素子の不均一性増加等による歩留まり
の低下や、製造装置の大型化によるコストの上昇という
問題も発生する。
【０００５】以上のような問題点を改善する方法とし
て、複数の小型基板の張り合せによる大画面画像形成装
置が提案されている（特開昭５５−１０１９７）。しか
し、小型基板の枚数を５枚以上とする場合、他の小型基
板と隣接していない辺の数が１辺となる小型基板が生じ
てしまう。そこで、隣接する小型基板の配線をワイヤボ
ンディング等により接続する手法や、１辺に行配線、列
配線を取り出す手法（特開昭６０−２８０９９）が提案
されている。
て、複数の小型基板の張り合せによる大画面画像形成装
置が提案されている（特開昭５５−１０１９７）。しか
し、小型基板の枚数を５枚以上とする場合、他の小型基
板と隣接していない辺の数が１辺となる小型基板が生じ
てしまう。そこで、隣接する小型基板の配線をワイヤボ
ンディング等により接続する手法や、１辺に行配線、列
配線を取り出す手法（特開昭６０−２８０９９）が提案
されている。
【０００６】ところが隣接する小型基板の配線をワイヤ
ボンディングにより接続する場合、継ぎ目部の面積は表
示に悪影響を及ぼさないように僅かしか許されない。こ
のため高精度のボンディングが要求され、歩止りが著し
く低下する。
ボンディングにより接続する場合、継ぎ目部の面積は表
示に悪影響を及ぼさないように僅かしか許されない。こ
のため高精度のボンディングが要求され、歩止りが著し
く低下する。
【０００７】また、１辺に行配線、列配線を取り出す手
法では導出用端子部の配線密度が２倍になること、配線
の引き回しが長くなること、配線の構成が複雑になるこ
と等の種々の問題が発生する。
法では導出用端子部の配線密度が２倍になること、配線
の引き回しが長くなること、配線の構成が複雑になるこ
と等の種々の問題が発生する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点に
鑑みてなされたもので、その目的とする所は製作が容易
な小型基板を組み合わせる事によって、大型の表示も可
能な画像形成装置を歩留り良く提供することにあり、と
りわけ小型基板をどのように組み合わせても配線構造が
複雑にならず、配線の引き回しも短く、簡便で、歩留り
の良い画像形成装置を提供することにある。
鑑みてなされたもので、その目的とする所は製作が容易
な小型基板を組み合わせる事によって、大型の表示も可
能な画像形成装置を歩留り良く提供することにあり、と
りわけ小型基板をどのように組み合わせても配線構造が
複雑にならず、配線の引き回しも短く、簡便で、歩留り
の良い画像形成装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、複数個の小型基板を平面的に配列してなる組み合
わせ基板と、前記組み合わせ基板の上面に所定間隔離間
して配設した蛍光表示用基板とを少なくとも有する平面
型画像形成装置において、前記小型基板の上面には互い
に絶縁されかつ交差する行配線と列配線とが設けられて
いると共にこれらの小型基板の少なくとも１個以上には
前記行又は列配線がその基板側端面の小型基板同志の突
き合わせ部分を経てその小型基板の下面の導出用端子に
接続されている平面型画像形成装置であり、前記組み合
わせ基板の下面に駆動回路が配置され、前記導出用端子
と該駆動回路が接続されている事を含む。
明は、複数個の小型基板を平面的に配列してなる組み合
わせ基板と、前記組み合わせ基板の上面に所定間隔離間
して配設した蛍光表示用基板とを少なくとも有する平面
型画像形成装置において、前記小型基板の上面には互い
に絶縁されかつ交差する行配線と列配線とが設けられて
いると共にこれらの小型基板の少なくとも１個以上には
前記行又は列配線がその基板側端面の小型基板同志の突
き合わせ部分を経てその小型基板の下面の導出用端子に
接続されている平面型画像形成装置であり、前記組み合
わせ基板の下面に駆動回路が配置され、前記導出用端子
と該駆動回路が接続されている事を含む。
【００１０】
【作用】上記の平面型画像形成装置によれば、小型基板
がどのように組合わされていても、配線構造が複雑にな
らず、配線の引き回しも短く、容易に導出用端子を配置
して駆動回路と接続する事とができ、駆動動回路が基板
裏面に配置されている場合はさらに配線の引き回しも短
く、接続することができる。
がどのように組合わされていても、配線構造が複雑にな
らず、配線の引き回しも短く、容易に導出用端子を配置
して駆動回路と接続する事とができ、駆動動回路が基板
裏面に配置されている場合はさらに配線の引き回しも短
く、接続することができる。
【００１１】以下、実施態様により本発明を詳細に説明
する。
する。
【００１２】（実施態様）図１に本発明に関わる平面型
画像形成装置の１態様を示す。１０１−１０６は各々小
型基板を示し、これらの小型基板により組み合わせ基板
１０が構成されている。組み合わせ基板１０上にはＸ配
線１１とＹ配線１２とが設けられている。これらの小型
基板のうち１０１、１０３、１０４、１０６はその導出
用端子は小型基板の辺に配置されているが、１０２、１
０５のＸ配線の導出用端子は基板の下面に設けられてい
る。これを模式的に図２に示す。小型基板１０２は１０
３と側端面１０８で突き合わせられているが、ここでＸ
配線１２は側端面１０８を経て下面に回り、導出用端子
１３を形成している。
画像形成装置の１態様を示す。１０１−１０６は各々小
型基板を示し、これらの小型基板により組み合わせ基板
１０が構成されている。組み合わせ基板１０上にはＸ配
線１１とＹ配線１２とが設けられている。これらの小型
基板のうち１０１、１０３、１０４、１０６はその導出
用端子は小型基板の辺に配置されているが、１０２、１
０５のＸ配線の導出用端子は基板の下面に設けられてい
る。これを模式的に図２に示す。小型基板１０２は１０
３と側端面１０８で突き合わせられているが、ここでＸ
配線１２は側端面１０８を経て下面に回り、導出用端子
１３を形成している。
【００１３】配線の形成方法にはフォトリソグラフィー
やスクリーン印刷が通常用いられるが、大型の画像形成
装置を作製するには印刷法がコストの点から優れてい
る。印刷により下面に配線を回すには、Ｘ配線およびＹ
配線のパターンと裏面の導出用端子のパターンを形成
し、更に図３に示すように配線と導出用端子とを接続す
るように基板側端面にも電極材を印刷することによって
達成できる。ここで３１はローラーであり、３２はニッ
ケル、銅、銀等を用いた導電ペーストである。なお、図
３は多量生産を想定したもので、複数（本図では３枚）
の小型基板を１回の操作で印刷して配線する場合を示し
ている。
やスクリーン印刷が通常用いられるが、大型の画像形成
装置を作製するには印刷法がコストの点から優れてい
る。印刷により下面に配線を回すには、Ｘ配線およびＹ
配線のパターンと裏面の導出用端子のパターンを形成
し、更に図３に示すように配線と導出用端子とを接続す
るように基板側端面にも電極材を印刷することによって
達成できる。ここで３１はローラーであり、３２はニッ
ケル、銅、銀等を用いた導電ペーストである。なお、図
３は多量生産を想定したもので、複数（本図では３枚）
の小型基板を１回の操作で印刷して配線する場合を示し
ている。
【００１４】以上小型基板が６枚の例について述べた
が、必ずしもこれに限られる訳では無く、小型基板は何
枚であっても基板側端面を経て基板下面に導出用端子を
回す事により、配線構造を複雑にすることなく、容易に
小型基板を組み合わせて大型の画像形成装置を製作でき
る。
が、必ずしもこれに限られる訳では無く、小型基板は何
枚であっても基板側端面を経て基板下面に導出用端子を
回す事により、配線構造を複雑にすることなく、容易に
小型基板を組み合わせて大型の画像形成装置を製作でき
る。
【００１５】また図４は駆動回路を組み合わせ基板の下
面に設置して、導出用端子と接続した例を示す。１０は
組み合わせ基板、４１は表面用基板、４２は蛍光体、４
３は枠部材、４４は画像形成素子部、４５、４６は駆動
回路、４７、４８は小型基板である。駆動回路４５、４
６が組み合わせ基板１０の下面に設置され、導出用端子
１３と接続されているため、配線の引き回しを少なくす
ることができる。かかる駆動回路は画像形成装置全面で
のマトリックス・アドレス駆動でも、各小型基板ごとに
駆動回路を設けて各基板ごとにマトリックス・アドレス
駆動するものであっても良い。
面に設置して、導出用端子と接続した例を示す。１０は
組み合わせ基板、４１は表面用基板、４２は蛍光体、４
３は枠部材、４４は画像形成素子部、４５、４６は駆動
回路、４７、４８は小型基板である。駆動回路４５、４
６が組み合わせ基板１０の下面に設置され、導出用端子
１３と接続されているため、配線の引き回しを少なくす
ることができる。かかる駆動回路は画像形成装置全面で
のマトリックス・アドレス駆動でも、各小型基板ごとに
駆動回路を設けて各基板ごとにマトリックス・アドレス
駆動するものであっても良い。
【００１６】
（実施例１）図５に示すような構成をしたガス放電パネ
ルを作製した。１０は組み合わせ基板、１１はＸ配線、
１２はＹ配線、１４は絶縁層、５１は誘電体層、４２は
蛍光体、４１は表示用基板であり、誘電体層５１と蛍光
体４２との間の空間はガス封入空間４９となっている。
小型基板の組み合わせは図１の構成とした。
ルを作製した。１０は組み合わせ基板、１１はＸ配線、
１２はＹ配線、１４は絶縁層、５１は誘電体層、４２は
蛍光体、４１は表示用基板であり、誘電体層５１と蛍光
体４２との間の空間はガス封入空間４９となっている。
小型基板の組み合わせは図１の構成とした。
【００１７】配線１１、１２はニッケルを用いた導体ペ
ーストを印刷・焼成することにより形成した。下面の導
出用端子や側端面のパターンも同様にして形成した。絶
縁層１４はガラスペーストを印刷・焼成して形成した。
また誘電体層５１は酸化マグネシウムの蒸着膜よりな
る。表示用基板４１の周辺と組み合わせ基板１０の周辺
との間は枠部材４３を介してフリットガラスによりシー
ルし、ガス封入空間４９にはＸｅ−Ｈｅの混合ガスを封
入した。
ーストを印刷・焼成することにより形成した。下面の導
出用端子や側端面のパターンも同様にして形成した。絶
縁層１４はガラスペーストを印刷・焼成して形成した。
また誘電体層５１は酸化マグネシウムの蒸着膜よりな
る。表示用基板４１の周辺と組み合わせ基板１０の周辺
との間は枠部材４３を介してフリットガラスによりシー
ルし、ガス封入空間４９にはＸｅ−Ｈｅの混合ガスを封
入した。
【００１８】なお、蛍光体４２はパネルが色変換だけを
目的とした単一色表示パネルであれば、所望の発光色を
持つ蛍光体を形成すればよく、マルチカラー表示化を目
的とした場合は青色、赤色、緑色の発光色を持つ蛍光体
を採用すればよい。
目的とした単一色表示パネルであれば、所望の発光色を
持つ蛍光体を形成すればよく、マルチカラー表示化を目
的とした場合は青色、赤色、緑色の発光色を持つ蛍光体
を採用すればよい。
【００１９】以上のように製作されたガス放電パネルは
小型基板を組み合わせた構成になっており、しかも側端
面を経て裏面に導出用端子を配置しているため、配線構
成が簡単であり、容易に大型のパネルを実現できた。
小型基板を組み合わせた構成になっており、しかも側端
面を経て裏面に導出用端子を配置しているため、配線構
成が簡単であり、容易に大型のパネルを実現できた。
【００２０】（実施例２）本実施例では表面伝導型電子
放出素子を用いた画像形成装置を製作した。表面伝導型
電子放出素子の基本構成を図６に示した。本図において
基板上に６１、６２の金属膜からなる素子電極を所定間
隔離間して対向させた。６３は二つの素子電極６１、６
２に渡って配置した薄膜、６４は電子放出部であり、素
子電極６１、６２間の薄膜６３内に形成してある。電子
放出部６４を含む薄膜６３のうち電子放出部６４は導電
性微粒子からなり、電子放出部６４以外の電子放出部を
含む薄膜６３は微粒子からなっている。なおここで述べ
ている微粒子は、複数の微粒子が互いに隣接、あるいは
重なり合った状態（島状も含む）の膜をさす。これらの
素子を小型基板に組み込んだ状態を図７に示した。
放出素子を用いた画像形成装置を製作した。表面伝導型
電子放出素子の基本構成を図６に示した。本図において
基板上に６１、６２の金属膜からなる素子電極を所定間
隔離間して対向させた。６３は二つの素子電極６１、６
２に渡って配置した薄膜、６４は電子放出部であり、素
子電極６１、６２間の薄膜６３内に形成してある。電子
放出部６４を含む薄膜６３のうち電子放出部６４は導電
性微粒子からなり、電子放出部６４以外の電子放出部を
含む薄膜６３は微粒子からなっている。なおここで述べ
ている微粒子は、複数の微粒子が互いに隣接、あるいは
重なり合った状態（島状も含む）の膜をさす。これらの
素子を小型基板に組み込んだ状態を図７に示した。
【００２１】組み合わせ基板の構成は図１のようにし
た。各小型基板はＸ配線を形成し、つぎに配線の交差部
に相当する部分に絶縁層を形成し、その上にＹ配線を形
成した。これら配線はすべて印刷により行い、また側端
面および下面の導出用端子についても同様にして行っ
た。このようにマトリックス配線を形成した後、Ｘ配線
とＹ配線との交点、または近傍に電子放出素子を形成し
た。図７はこのような小型基板の部分平面図を示す。こ
こで１０１は小型基板、１１はＸ配線、１２はＹ配線、
７１は電子放出素子である。
た。各小型基板はＸ配線を形成し、つぎに配線の交差部
に相当する部分に絶縁層を形成し、その上にＹ配線を形
成した。これら配線はすべて印刷により行い、また側端
面および下面の導出用端子についても同様にして行っ
た。このようにマトリックス配線を形成した後、Ｘ配線
とＹ配線との交点、または近傍に電子放出素子を形成し
た。図７はこのような小型基板の部分平面図を示す。こ
こで１０１は小型基板、１１はＸ配線、１２はＹ配線、
７１は電子放出素子である。
【００２２】このようにして得られた組み合わせ基板１
０に図４に示すように枠部材４３を介して表示用基板４
１を配置し、表示用基板４１、枠部材４３、小型基板１
０１を組み合わせた基板１０の接合部にフリットガラス
（不図示）を塗布し、焼成することにより封着し、不図
示の排気管より排気し封止することにより、図４に示す
ような画像形成装置を製造した。また、組み合わせ基板
の下面には駆動回路４５を配置して、導出用端子と接続
した。これにより配線の引き回しを少なくすることがで
きた。
０に図４に示すように枠部材４３を介して表示用基板４
１を配置し、表示用基板４１、枠部材４３、小型基板１
０１を組み合わせた基板１０の接合部にフリットガラス
（不図示）を塗布し、焼成することにより封着し、不図
示の排気管より排気し封止することにより、図４に示す
ような画像形成装置を製造した。また、組み合わせ基板
の下面には駆動回路４５を配置して、導出用端子と接続
した。これにより配線の引き回しを少なくすることがで
きた。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように小型基板をどのよう
に組み合わせても、配線構造が複雑にならず、容易に大
型の平面型画像形成装置を実現でき、更に駆動回路を基
板下面に配置して、導出用端子と接続する事により配線
引き回しを少なくするという効果がある。
に組み合わせても、配線構造が複雑にならず、容易に大
型の平面型画像形成装置を実現でき、更に駆動回路を基
板下面に配置して、導出用端子と接続する事により配線
引き回しを少なくするという効果がある。
【図１】小型基板を組み合わせて本発明で用いる組み合
わせ基板を構成した状態を示す平面図である。
わせ基板を構成した状態を示す平面図である。
【図２】（ａ）は小型基板の端部の拡大図、（ｂ）は２
個の小型基板を突き合わせた状態を示す拡大図である。
個の小型基板を突き合わせた状態を示す拡大図である。
【図３】小型基板の側端面に印刷方法で配線を形成する
状態を示す説明図である。
状態を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施態様を示す側面断面図である。
【図５】本発明の一実施態様を示す側面断面部分図であ
る。
る。
【図６】本発明に用いる表面伝導型放出素子の基本構成
を示すもので（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
を示すもので（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図７】表面伝導型放出素子を形成した小型基板の一例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【符号の説明】 １０ 組み合わせ基板 １０１−１０６ 小型基板 １１ Ｘ配線 １２ Ｙ配線 １３ 導出用端子 １４ 絶縁層 ３１ ローラー ３２ 導電ペースト ４１ 表示用基板 ４２ 蛍光体 ４３ 枠部材 ４４ 画像形成素子部 ４５、５６ 駆動回路 ４７、４８ 小型基板 ４９ ガス封入空間 ５１ 誘電体層 ６１ 素子電極 ６２ 素子電極 ６３ 電子放出部を含む薄膜 ６４ 電子放出部 ７１ 電子放出素子 １０８ 側端面
Claims (2)
- 【請求項１】 複数個の小型基板を平面的に配列してな
る組み合わせ基板と、前記組み合わせ基板の上面に所定
間隔離間して配設した蛍光表示用基板とを少なくとも有
する平面型画像形成装置において、前記小型基板の上面
には互いに絶縁されかつ交差する行配線と列配線とが設
けられていると共にこれらの小型基板の少なくとも１個
以上には前記行または列配線がその基板側端面の小型基
板同志の突き合わせ部分を経てその小型基板の下面の導
出用端子に接続されていることを特徴とする平面型画像
形成装置。 - 【請求項２】 組み合わせ基板の下面に駆動回路が配置
され、前記導出用端子と該駆動回路が接続されている請
求項１に記載の平面型画像形成装置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27936493A JPH07134559A (ja) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | 平面型画像形成装置 |
| AT94308260T ATE165187T1 (de) | 1993-11-09 | 1994-11-09 | Bildanzeigegerät |
| AU77746/94A AU675738C (en) | 1993-11-09 | 1994-11-09 | Image display apparatus |
| CA002135458A CA2135458C (en) | 1993-11-09 | 1994-11-09 | Image display apparatus |
| US08/338,089 US5838097A (en) | 1993-11-09 | 1994-11-09 | Image display apparatus |
| DE69409617T DE69409617T2 (de) | 1993-11-09 | 1994-11-09 | Bildanzeigegerät |
| EP94308260A EP0658916B1 (en) | 1993-11-09 | 1994-11-09 | Image display apparatus |
| AU20124/97A AU2012497A (en) | 1993-11-09 | 1997-05-08 | Image display apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27936493A JPH07134559A (ja) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | 平面型画像形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07134559A true JPH07134559A (ja) | 1995-05-23 |
Family
ID=17610136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27936493A Pending JPH07134559A (ja) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | 平面型画像形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07134559A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6473063B1 (en) | 1995-05-30 | 2002-10-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Electron source, image-forming apparatus comprising the same and method of driving such an image-forming apparatus |
| JP2022525225A (ja) * | 2019-03-19 | 2022-05-11 | アプライド マテリアルズ イタリア エス． アール． エル． | 堆積装置、基板への堆積方法、基板構造及び基板支持体 |
-
1993
- 1993-11-09 JP JP27936493A patent/JPH07134559A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6473063B1 (en) | 1995-05-30 | 2002-10-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Electron source, image-forming apparatus comprising the same and method of driving such an image-forming apparatus |
| US6760002B2 (en) | 1995-05-30 | 2004-07-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Electron source, image-forming apparatus comprising the same and method of driving such an image-forming apparatus |
| JP2022525225A (ja) * | 2019-03-19 | 2022-05-11 | アプライド マテリアルズ イタリア エス． アール． エル． | 堆積装置、基板への堆積方法、基板構造及び基板支持体 |
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