JPH0712685A

JPH0712685A - 歯車形状の測定方法

Info

Publication number: JPH0712685A
Application number: JP15583893A
Authority: JP
Inventors: Norio Ito; 則雄伊藤
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 1993-06-25
Filing date: 1993-06-25
Publication date: 1995-01-17
Anticipated expiration: 2015-07-31
Also published as: JP3072693B2

Abstract

(57)【要約】【目的】歯車形状の測定方法において、総形マスター
ギアとワークにかかる不必要な外力を排除し歯車形状の
測定を正確に行うことのできる歯車形状の測定方法を提
供することを目的とする。また、ワークの歯筋方向の所
望の部分の歯車形状の測定を正確に行うことのできる歯
車形状の測定方法を提供することを目的とする。【構成】ワーク８の自転速度を回転位置・回転速度検
出部１４で監視しながらワーク回転用サーボモータ１５
で総形マスターギア３ａの自転速度に追従させ、総形マ
スターギアとワークにかかる不必要な外力を排除し、総
形マスターギア３ａのずれ量とワーク８の自転の修正制
御量とによって歯車形状の誤差測定を行う。また、総形
マスターギア３ａを上下に移動させながら測定を行うこ
とによって歯筋方向のて歯車形状の誤差測定を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は歯車形状の測定方法、特
にワークと歯形測定用の総形マスターギアとを相対的に
噛み合わせながらワークの形状誤差を検出する歯車形状
の測定方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】歯車は、つぎつぎに噛み合う歯によって
運動を伝達する機械の重要な構成要素である。特に、正
確な速比の回転運動と、大きな動力をきわめて小さな構
造で効率よく伝達することができることから、計器や時
計等の小形歯車から中形の自動車の変速機のギア、大形
のものでは数万馬力の舶用タービン減速歯車に至るまで
きわめて広い分野で使用されている。

【０００３】一般に歯車は、加工精度の善し悪しによっ
て振動や騒音の大きさが左右されるため、加工精度の向
上が切望されている。特に最近、居住性が重要視される
自動車の分野では、振動・騒音の発生原因を排除するた
めに歯車の加工精度向上が求められている。

【０００４】歯車の形成は、歯切盤による機械加工法、
鍛造法、放電加工法等があるが、生産性を考慮すると比
較的容易に低コストで大量生産することのできる鍛造法
（押出し鍛造法や焼結鍛造法）が採用されている。鍛造
の場合、鍛造用の金型の精度の善し悪しがそのまま歯車
の精度に影響を与えるため、高精度の金型を得ることが
重要である。この金型の加工には金型材料となる物質の
機械的強度に関係なく加工を行うことが可能であり、高
精度の加工が可能な放電加工が利用されている。そし
て、放電加工によって形成された金型は研削加工やラッ
プ加工の加工工程を経た後に、所望の寸法精度に加工さ
れているか確認するために、歯車形状の測定が行われて
いる。

【０００５】従来の歯車形状の測定方法は片歯面噛合い
試験や両歯面噛合い試験等によって行われてる。

【０００６】前記片歯面噛合い試験は、一対の歯車に所
定のバックラッシを与え駆動側歯車を低速回転させたと
きの被動側歯車回転角の進み・遅れ（角度伝達誤差）を
測定する。また、両歯面噛合い試験は、マスターギアと
測定歯車、または測定歯車同志を、ノーバックラッシで
噛み合わせて回転させたときの中心距離の変化を測定す
る。これらから歯溝の振れ・歯厚・キズ等の歯車形状の
測定を行うものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の歯車形
状の測定方法では、歯車の噛合い部全面に対する最大値
誤差しか検出することができなかった。従って、金型の
ように歯型修正が部分的に行われている場合には歯形の
加工誤差なのか修正形状なのかの判断が困難であった。

【０００８】また、従来の噛み合わせを利用した歯車形
状の測定方法では、一方の歯車の回転力によって他方の
歯車を従動させる（一般的には駆動側が被測定物である
ワークで、従動側が測定用のマスターギアである）こと
によって測定を行っている。この場合、ワークとマスタ
ーギアとの間に働く力は、マスターギアがワークの微妙
な誤差を検出するためにワークを径方向に付勢する付勢
力と、ワークがマスターギアを従動回転させるためにマ
スターギアを円周方向に押圧する押圧力である。前記付
勢力は正確な歯車形状の測定を行うために必要な力であ
るが、前記押圧力はマスターギアの微妙な変位を阻害す
る力として働く。従って、従来の測定方法では正確な歯
車形状の測定ができないという問題があった。

【０００９】そこで本発明は、歯車形状の測定方法にお
いて、マスターギアにかかる不必要な外力を排除し歯車
形状の測定を正確に行うことのできる歯車形状の測定方
法を提供することを目的とする。

【００１０】また、ワークの歯筋方向の所望の部分の歯
車形状の測定を正確に行うことのできる歯車形状の測定
方法を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題点を
解決するため、第１として、自転可能に軸支された歯車
形状のワークと歯形測定用の総形マスターギアとを理想
噛合い軌跡で噛合い運動させたときに、前記理想噛合い
軌跡に対する総形マスターギアとワークとの変位量を検
出部によって検出して、ワークと総形マスターギアの形
状誤差を測定することを特徴とするものである。

【００１２】また、第２として、第１において前記理想
噛合い軌跡に対する総形マスターギアとワークとの変位
量が、歯車形状のワークの径方向の変位量であることを
特徴とするものであり、第３として、第１において前記
理想噛合い軌跡に対する総形マスターギアとワークとの
変位量が、歯車形状のワークの回転方向の変位量である
ことを特徴とするものである。

【００１３】さらに、第４として、自転可能に軸支され
た歯車形状のワークと歯筋方向が薄い歯形測定用の総形
マスターギアとを理想噛合い軌跡で噛合い運動させると
共に、前記総形マスターギアを前記ワークの歯筋方向に
移動させたときに、前記理想噛合い軌跡に対する総形マ
スターギアとワークの変位量を検出部によって検出し
て、ワークと総形マスターギアとの形状誤差を測定する
ことを特徴とするものである。

【００１４】

【作用】本発明の歯車形状の測定方法においては、歯形
測定用の総形マスターギアとワークとを理想噛合い軌跡
で噛合い運動させるので、総形マスターギアとワークの
間に働く円周方向の押圧力を排除することができる。従
って、ワーク形状の変化による総形マスターギアの微妙
な変位を検出部によって正確に検出することが可能にな
る。

【００１５】また、歯筋方向が薄い総形マスターギアを
ワークとワークとを理想噛合い軌跡で噛合い運動させる
と共に、前記総形マスターギアを前記ワークの歯筋方向
に移動させながら前記理想噛合い軌跡に対する総形マス
ターギアとワークとの変位量を検出部によって検出す
る。従って、歯車形状の形状精度と共に歯筋精度を検出
することが可能となる。

【００１６】

【実施例】本発明の実施例を図面を利用して説明する。

【００１７】図１に本発明に係る歯車形状の測定方法を
実施する測定装置の概略図を示す。図１に示す測定装置
１は、ロボットアーム２ａを有する治具自動交換装置２
によって供給される治具３（所望の歯車形状に応じた測
定治具）は、割出位置決装置を有する割出回転装置４と
連動するホルダ５に保持されている。また、ホルダ５と
割出回転装置４はコラム６に沿って上下する回転ヘッド
部７に内蔵されている。被測定品であるワーク８は複数
の爪９ａを有しサーボモータ等の回転機構（不図示）に
よって回転自在なチャック９によって固定されている。
このチャック９はチャック回転機構を内蔵するベース１
０に回転自在に取付けられ、さらに、このベース１０は
Ｘ軸、Ｙ軸方向へ移動可能な駆動機構を有するサドルテ
ーブル１１に保持されている。また、このサドルテーブ
ル１１上面には、測定環境を均一化するためや作業者の
安全を確保するために、ワーク８、チャック９、ベース
１０等を囲む開閉自在なカバー１２を備えている。さら
に、測定装置１の上部には測定結果表示部１３ａを含む
集中コントロール処理装置１３を有し、この他に、測定
装置１を駆動する駆動制御装置等を備えている。

【００１８】以上のような構成を有する測定装置１によ
る内歯車形状の測定方法を図２、図３を用いて説明す
る。

【００１９】本発明の特徴とするところは、自転可能に
軸支された歯車形状のワーク８と歯形測定用の総形マス
ターギア３ａとを理想噛合い軌跡で噛合い運動させるこ
とによって、両者に加わる無駄な外力を排除し、この
時、前記理想噛合い軌跡で噛合い運動させるために総形
マスターギア３ａとワーク８に対して行われる修正制御
量や総形マスターギア３ａずれ量を変位量として検出部
によって検出して、ワーク８と総形マスターギア３ａと
の形状誤差を測定するところにある。

【００２０】それぞれの駆動源によって自転するワーク
８と総形マスターギア３ａは、遊星歯車機構のプラネッ
ト・ピニオンギアと、インターナルギアとが噛み合いな
がら運動するがごとく同期運動を行う。つまり、測定装
置１の機械中心にあるホルダ５に取り付けられて所定の
歯車形状を有する総形マスターギア３ａは、図３に示す
ようにチャック９の複数の爪９ａに保持されたワーク８
の内周部を図中矢印Ｌ₁方向に自転する。この時、総形
マスターギア３ａはワーク８の微妙な形状誤差を検出す
るためにワーク８を径方向に一定の付勢力で付勢するよ
うに配置される。一方、ワーク８は、サドルテーブル１
１に保持されたベース１０に回転自在に取り付けられ、
前記総形マスターギア３ａと共に図３中矢印Ｌ₂方向に
回転する。この時、ワーク８を保持するチャック９はベ
ース１０内部に設けられたチャック回転位置・回転速度
検出部１４によってワーク８が総形マスターギア３ａの
自転速度に追従するように監視されながら、フィードバ
ック制御可能なワーク回転用サーボモータ１５によって
回転駆動する。

【００２１】従って、ワーク８が総形マスターギア３ａ
に追従するように別々の駆動源によって制御されながら
自転するので、通常、総形マスターギア３ａとワーク８
との間に働く力は、総形マスターギア３ａがワーク８の
微妙な形状誤差を検出するためにワーク８を径方向に付
勢（図２では外側に向かって付勢）する付勢力だけとな
り、ワーク８が総形マスターギア３ａの要求する形状に
加工されている場合、総形マスターギア３ａとワーク８
との間にはお互いの歯面を押圧する押圧力は働かず、ワ
ーク８の自転速度を修正制御することなく、また総形マ
スターギア３ａの回転軸や回転速度にずれを生じること
なくい理想噛合い軌跡に沿って噛合い運動を行う。

【００２２】また、ワーク８が総形マスターギア３ａの
要求する形状に加工されていない場合、つまりワーク８
が加工誤差を有する場合、ワーク８は自の自転速度を総
形マスターギア３ａの自転速度に合わせるように修正制
御を行うと共に、噛合い運動中に総形マスターギア３ａ
の回転軸や回転速度にずれを生じさせる。このワーク８
の自転速度の修正制御や総形マスターギア３ａの微妙な
ずれ量を検出部によって検出してワーク８と総形マスタ
ーギア３ａとの形状誤差を算出する。

【００２３】図４〜図７を用いて前記総形マスターギア
３ａを有する測定治具３のずれ量検出部の構造例を示
す。

【００２４】図４は測定治具３の縦断面図を示したもの
で、測定治具３と一体か、または組み付け接合されたケ
ース３０と、その蓋３１が空間３２を形成している。こ
の空間３２に内蔵され、ケース３０に固定されたオルダ
ム継手３３に、一方向にのみスライドするオルダム継手
３４が配置されている。このオルダム継手３４は円周上
に茶筅状に繋がった板バネ３５によって常に中心方向に
復帰するように付勢されている。さらに前記オルダム継
手３４に対して直角方向の一方向にのみスライドするオ
ルダム継手３６が配置されている。該オルダム継手３６
も前記オルダム継手３４と同様に円周上に茶筅状に繋が
った板バネ３７によって常に中心方向に復帰するように
付勢されている。これらのオルダム継手の組み合わせに
よりあらゆる方向に移動可能なオルダム継手になる。ま
た、前記オルダム継手３６には、総形マスターギア３ａ
を保持する保持軸３８が一体または組み付け接合され、
該保持軸３８には位置決めキー３９を介してワッシャ４
０およびボルト４１によって総形マスターギア３ａが固
定されている。

【００２５】前記オルダム継手３４，３６の外周部分に
は図５に示すように電気、磁気、光等を利用した微小変
位量検出センサ４２，４３が設けられている。図から明
らかなように、微小変位量検出センサ４２，４３は摺動
可能なセンサヘッド４２ａ，４３ａを有し、オルダム継
手３４，３６が変位していない状態を基準としてセンサ
ヘッドのずれ量を検出して出力する。図５においては、
オルダム継手３４が＋Ｙ方向に移動し中心がＯ₀からＯ
₁に変位した状態を微小変位量検出センサ４２で検出し
ている状態を示し、オルダム継手３６が−Ｘ方向に移動
し中心がＯ₀からＯ₂に変位した状態を微小変位量検出
センサ４３で検出している状態を示している。この実施
例では夫々のオルダム継手の片側に微小変位量検出セン
サを配置して例を示したが、両側に設けて、対向する両
者の検出量を比較演算することによって、より正確な測
定を行うことができる。

【００２６】図６は測定治具３の総形マスターギア３ａ
がワーク８の形状によって変位する状態を示す模式図で
ある。

【００２７】ワーク８が所望の加工精度内で仕上げられ
ている場合、ワーク８と総形マスターギア３ａとが噛合
い運動した時、総形マスターギア３ａはＯ₀を中心とし
た理想噛合い軌跡に沿って噛合い運動を行う。しかし、
ワーク８が所望の加工精度外で仕上げられている場合に
は、測定治具３に内蔵されたオルダム継手が前述したよ
うに変位し、総形マスターギア３ａが理想噛合い運動か
らずれ、Δｘ、ΔｙずれたＯ₁やＯ₂を中心とした噛合
い運動を行う。前記微小変位量検出センサ４２，４３は
この現実噛合い運動と理想噛合い運動とのずれを検出
し、演算することにより歯車形状の測定を行うことが可
能となる。なお、図６においてはワーク８の半径方向の
形状誤差を正確に検出するために、総形マスターギア３
ａの歯先部分に凸部３ｂが形成され、ワーク８の歯底部
分８ａに完全に当たるようになっている。

【００２８】また、図７は総形マスターギア３ａの歯先
部分を切除して、ワーク８の歯底部分８ａに総形マスタ
ーギア３ａの歯先部分が当たらないようにして、ワーク
８の円周方向の形状誤差を正確に検出するようになって
いる。また、このように総形マスターギア３ａが変位し
た場合でもワーク８は総形マスターギア３ａの自転速度
に対応して自らの自転速度を修正するので、ワーク８と
総形マスターギア３ａの間に不必要な外力は働かず、総
形マスターギア３ａの変位による形状誤差の検出は正確
に行われる。なお、この時の歯車形状の形状誤差は総形
マスターギア３ａの変位によって検出された形状誤差と
ワーク８の自転速度の修正制御によって算出された形状
誤差によって示される。

【００２９】総形のマスターギア３ａの歯筋方向の厚み
は適宜選択することによって、必要に応じたワーク８の
歯車形状の測定を行うことができる。つまり、歯筋方向
の厚みを厚くすれば、ワーク８の細部の形状誤差を検出
することはできないが、歯車の使用状態における歯車形
状の全体バランスについて測定することができる。

【００３０】また、図８に示すように、総形のマスター
ギア３ａの歯筋方向の厚みを薄くして、ワークの歯筋方
向のごく狭い領域の噛合わせ運動による測定を行い、必
要な要求精度にあった任意のピッチだけ総形のマスター
ギア３ａの歯筋方向へ送りを順次実施することによっ
て、ワーク全体の細部の形状誤差を検出するすることが
できる。従って、歯車の金型のように歯型修正が部分的
に行われている場合でも歯形の加工誤差なのか修正形状
なのかの判断を容易に行うことができる。なお、総形の
マスターギア３ａの形状は強度・剛性の点から図８
（ａ），（ｂ），（ｃ）のような形状が考えられるが、
必要に応じて形状を変えても同様の効果を得ることがで
きる。

【００３１】図９に測定治具３の他の実施例を示す。

【００３２】測定治具３の上部オルダム継手部、つまり
ケース３０と、その蓋３１とで形成する空間３２の内部
にケース３０に固定されたオルダム継手３３と、茶筅状
に繋がった板バネ３５，３７によって付勢されるオルダ
ム継手３４，３６等の構成は図４に示した測定治具３と
同様である。本実施例では、総形マスターギア３ａの微
小な回転方向の変位を検出するために、トーションバー
５０を設けている。トーションバー５０を設けることに
伴って剛性が低下したトーションバー５０の曲げ変形を
押さえるために、下部オルダム継手５１，５２，５３お
よび下部ケース５４を設けている。前記オルダム継手５
２，５３は上部オルダム継手３４，３６と同様に円周上
に茶筅状に繋がった板バネ５５，５６によって常に中心
方向に復帰するように付勢されている。さらに、本実施
例の測定治具３には総形マスターギア３ａの微小な回転
変位量を検出するためにロータリーエンコーダが配設さ
れている。このロータリーエンコーダは、例えば半導体
レーザ等から成り、受発光部５７ａを有するセンサヘッ
ド５７がオルダム継手５３の下部に設けられ、受発光部
５７ａの間を移動角度を読み取るためのスリットが刻ま
れたディスク５８が回転可能な間隔を有して配置されて
いる。そのディスク５８は、取り付け台５９を介して、
総形マスターギア３ａを回転させる保持軸３８に固定さ
れると共に、総形マスターギア３ａでワーク８を測定す
る時、曲げ変形による誤差をなくすために、分割して取
り付けられるリテーナ６０と協力して保持軸３８の回転
を阻害しないように構成されている。この測定治具３に
よれば、回転方向の微小変位を検出し出力する装置のみ
を動作させて、累積ピッチ誤差や隣接ピッチ誤差も測定
可能である。

【００３３】図１０は本発明の歯車形状の測定方法を実
現する構成の一例を示した概略図である。測定治具３
（不図示の総形マスターギアの微小変位検出機構を含
む）はホルダ５に取り付けられ、回転位置・速度検出部
７０を有する測定治具回転用サーボモータ７１を含む回
転ヘッド部７に保持されている。この回転ヘッド部７は
Ｚ方向送り機構によって上下方向に駆動する。Ｚ方向送
り機構が例えばボールネジ７２から成る場合、雌ネジ部
７３に固定された回転ヘッド部７は、コラム６に係合し
回転ヘッド回転位置・速度検出部７４を有する回転ヘッ
ド駆動用サーボモータ７５によって回転ヘッド部７をＺ
方向（図中上下方向）に高精度に駆動する。一方、ワー
ク８は、ベース１０に回転自在に取り付けられ複数の爪
９ａを有するチャック９に保持され、チャック回転速度
検出部１４を有し、チャック８の自転速度を監視しなが
らフィードバック制御可能なワーク回転用サーボモータ
１５によって前記測定治具３の回転と同期しながら所定
の速度で自転する。

【００３４】さらに、チャック９を搭載するベース１０
は、Ｘ方向送り機構によって左右方向に駆動する。Ｘ方
向送り機構が例えばボールネジ７６から成る場合、雌ネ
ジ部７７に固定されたベース１０は、ベッド７８に係合
しベース回転位置・速度検出部７９を有するベース駆動
用サーボモータ８０によってベース１０をＸ方向（図中
左右方向）に高精度に駆動する。また、ベース１０を搭
載するサドルテーブル１１は、Ｙ方向送り機構によって
前後方向に駆動する。Ｙ方向送り機構が例えばボールネ
ジから成る場合、雌ネジ部８１に固定されたサドルテー
ブル１１は、サドルテーブル回転位置・速度検出部８２
を有するサドルテーブル駆動用サーボモータ８３によっ
てサドルテーブル１１をＹ方向（図中前後方向）に高精
度に駆動する。そして、Ｘ方向、Ｙ方向の駆動を組み合
わせることによって、ワーク８の回転運動の位置を自由
に変えることができる。

【００３５】また、前記各サーボモータ１５、７１、８
０、８３等は、ＮＣコントローラ８４によって関連する
サーボモータ同志が所定の動作をするように制御され
る。特に測定時にはＮＣコントローラ８４で総形マスタ
ーギア３ａを駆動する測定治具回転用サーボモータ７１
の回転速度を精密に保と共に、追従動作となるワーク回
転用サーボモータ１５はワーク８の回転位置・回転速度
を常に検出しフィードバックして比較演算しながら制御
する位置・速度制御部８５により回転速度を制御され、
ＮＣコントローラ８４、位置・速度制御部８５の信号に
連動しながら回転位相差演算や測定治具の半径方向の変
位検出演算を行う歯形誤差検出部８６によって歯車形状
の高精度の測定を行う。また、前記歯形誤差検出部８６
で演算された数値や位置を示す情報は、測定結果表示部
１３ａに表示される。

【００３６】

【発明の効果】本発明に基づく歯車形状の測定方法によ
れば、歯形測定用の総形マスターギアとワークとを理想
噛合い軌跡で噛合い運動させるので、総形マスターギア
とワークの間に働く円周方向の押圧力を排除することが
できる。従って、ワーク形状の変化による総形マスター
ギアの微妙な変位を検出部によって正確に検出すること
が可能になり、安定した歯車形状の測定を行うことがで
きる。

【００３７】また、歯筋方向が薄い総形マスターギアを
ワークとワークとを理想噛合い軌跡で噛合い運動させる
と共に、前記総形マスターギアを前記ワークの歯筋方向
に移動させながら前記理想噛合い軌跡に対する総形マス
ターギアとワークとの変位量を検出部によって検出す
る。従って、歯車形状の形状精度と共に歯筋精度を検出
することが可能となり、高精度の歯車形状を得ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に基づく歯車形状の測定方法を実施する
測定装置の概略図である。

【図２】本発明に基づく歯車形状の測定方法のワークと
総形マスターギアの位置関係を説明する側断面図であ
る。

【図３】本発明に基づく歯車形状の加工方法のワークと
総形マスターギアの位置関係を説明する説明図である。

【図４】本発明に基づく歯車形状の測定方法の測定治具
の断面図である。

【図５】本発明に基づく歯車形状の測定方法の測定治具
の微小変位量検出センサの取り付け状態を説明する説明
図である。

【図６】本発明に基づく歯車形状の測定方法のワークと
総形マスターギアの噛合い状態を説明する説明図であ
る。

【図７】本発明に基づく歯車形状の測定方法のワークと
他の形状の総形マスターギアの噛合い状態を説明する説
明図である。

【図８】本発明に基づく歯車形状の測定方法の総形マス
ターギアの歯先形状を示す説明図である。

【図９】本発明に基づく歯車形状の測定方法の他の測定
治具の断面図である。

【図１０】本発明に基づく歯車形状の測定方法の理想噛
合い軌跡に沿った噛合い運動を実現する構成を説明する
説明図である。

【符号の説明】

３測定治具３ａ総形マスターギア５ホルダ８ワーク９チャック１０ベース１１サドルテーブル１４回転位置・回転速度検出部１５ワーク回転用サーボモータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】自転可能に軸支された歯車形状のワーク
と歯形測定用の総形マスターギアとを理想噛合い軌跡で
噛合い運動させたときに、前記理想噛合い軌跡に対する
総形マスターギアとワークの変位量を検出部によって検
出して、ワークと総形マスターギアとの形状誤差を測定
することを特徴とする歯車形状の測定方法。
【請求項２】請求項１記載の歯車形状の測定方法にお
いて、前記理想噛合い軌跡に対する総形マスターギアとワーク
との変位量が、歯車形状のワークの径方向の変位量であ
ることを特徴とする歯車形状の測定方法。
【請求項３】請求項１記載の歯車形状の測定方法にお
いて、前記理想噛合い軌跡に対する総形マスターギアとワーク
との変位量が、歯車形状のワークの回転方向の変位量で
あることを特徴とする歯車形状の測定方法。
【請求項４】自転可能に軸支された歯車形状のワーク
と歯筋方向が薄い歯形測定用の総形マスターギアとを理
想噛合い軌跡で噛合い運動させると共に、前記総形マス
ターギアを前記ワークの歯筋方向に移動させたときに、
前記理想噛合い軌跡に対する総形マスターギアとワーク
の変位量を検出部によって検出して、ワークと総形マス
ターギアとの形状誤差を測定することを特徴とする歯車
形状の測定方法。