JPH07126853A - 回転軸 - Google Patents
回転軸Info
- Publication number
- JPH07126853A JPH07126853A JP27405593A JP27405593A JPH07126853A JP H07126853 A JPH07126853 A JP H07126853A JP 27405593 A JP27405593 A JP 27405593A JP 27405593 A JP27405593 A JP 27405593A JP H07126853 A JPH07126853 A JP H07126853A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- revolving shaft
- shaft
- rotary shaft
- grease
- corrosive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】電動機1,回転軸3,固定軸6,動力伝達系、
オイルシール8,9より構成される。 【効果】強酸等の腐食性ガス内で使用可能な回転軸を提
供できる。
オイルシール8,9より構成される。 【効果】強酸等の腐食性ガス内で使用可能な回転軸を提
供できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、腐食性酸性ガスにさら
される熱CVD処理装置の被処理物を把持する回転軸に
関する。
される熱CVD処理装置の被処理物を把持する回転軸に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来のCVD処理装置の回転軸構成を図
2により説明する。加熱板15に取付けられた被処理物
は加熱板後方よりのヒータ16により加熱されるととも
に電動機による駆動系により回転する。
2により説明する。加熱板15に取付けられた被処理物
は加熱板後方よりのヒータ16により加熱されるととも
に電動機による駆動系により回転する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来装置では、加熱板
が温度サイクルにより変形を受け、正常な加熱が行われ
なくなることもあり、また、腐食性雰囲気のため各回転
軸と固定軸のすきまより、腐食が進み、全体リークの原
因となる場合がある。
が温度サイクルにより変形を受け、正常な加熱が行われ
なくなることもあり、また、腐食性雰囲気のため各回転
軸と固定軸のすきまより、腐食が進み、全体リークの原
因となる場合がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に熱源は、誘導加熱による外部加熱とし、回転機構と分
離し、また、腐食性雰囲気に対しては、オーリング,オ
イルシール,グリースを回転軸にあった形で配置するこ
とにより、腐食性雰囲気の機構内部への侵入を抑制し、
回転系の長寿命化が可能な構造とした。
に熱源は、誘導加熱による外部加熱とし、回転機構と分
離し、また、腐食性雰囲気に対しては、オーリング,オ
イルシール,グリースを回転軸にあった形で配置するこ
とにより、腐食性雰囲気の機構内部への侵入を抑制し、
回転系の長寿命化が可能な構造とした。
【0005】
【作用】本発明は、CVD装置等の回転軸機構に関す
る。
る。
【0006】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1により説明す
る。図1は、発明の回転軸の断面を示したものである。
電動機1を駆動源とする回転力は歯車系列2を介して、
回転軸3に伝達され、所定の回転数で、回転に供する。
一方、回転軸3はスラスト軸受4,ラジアル軸受5によ
り固定軸6に接合され、回転振れを制約される構造とな
っている。固定軸6はボルト等の適当な締結方法によ
り、ベースプレート7に固定されている。被処理物は回
転軸3の先端に適当な方法で固定され、回転と同機され
る。回転軸先端は、被処理物種類により、交換可能な構
造となっている。回転軸と固定軸間はオイルシール8,
9及び固定プレート10内に挿入されるオーリング11
によりシールされ腐食性ガスの侵入を防止する構造とな
っている。また、回転軸の突出し部分aには、高粘性グ
リース等でシールを行い、グリース落下による被処理物
への汚染を防止するため、グリース受け12を設ける構
造となっている。回転軸内部には、冷却水配管13と中
心に測温用の熱伝対挿入口14が設けられている。
る。図1は、発明の回転軸の断面を示したものである。
電動機1を駆動源とする回転力は歯車系列2を介して、
回転軸3に伝達され、所定の回転数で、回転に供する。
一方、回転軸3はスラスト軸受4,ラジアル軸受5によ
り固定軸6に接合され、回転振れを制約される構造とな
っている。固定軸6はボルト等の適当な締結方法によ
り、ベースプレート7に固定されている。被処理物は回
転軸3の先端に適当な方法で固定され、回転と同機され
る。回転軸先端は、被処理物種類により、交換可能な構
造となっている。回転軸と固定軸間はオイルシール8,
9及び固定プレート10内に挿入されるオーリング11
によりシールされ腐食性ガスの侵入を防止する構造とな
っている。また、回転軸の突出し部分aには、高粘性グ
リース等でシールを行い、グリース落下による被処理物
への汚染を防止するため、グリース受け12を設ける構
造となっている。回転軸内部には、冷却水配管13と中
心に測温用の熱伝対挿入口14が設けられている。
【0007】
【発明の効果】本発明によれば、強酸等の発生する腐食
性雰囲気中で使用可能な回転軸を提供できる。
性雰囲気中で使用可能な回転軸を提供できる。
【図1】回転軸構造の断面図。
【図2】従来の回転軸機構の断面図。
1…電動機、2…歯車系、3…回転軸、4…スラスト軸
受、5…ラジアル軸受、6…固定軸、7…ベースプレー
ト、8,9…オイルシール、10…固定プレート、11
…オーリング、12…グリース受け、13…冷却水配管
口、14…熱伝対挿入口。
受、5…ラジアル軸受、6…固定軸、7…ベースプレー
ト、8,9…オイルシール、10…固定プレート、11
…オーリング、12…グリース受け、13…冷却水配管
口、14…熱伝対挿入口。
Claims (1)
- 【請求項1】電動機,歯車伝達系,回転軸,軸受,固定
軸,被処理物把持装置,オイルシールからなる強酸等の
腐食性雰囲気内で使用できることを特徴とする回転軸。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27405593A JPH07126853A (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 回転軸 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27405593A JPH07126853A (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 回転軸 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07126853A true JPH07126853A (ja) | 1995-05-16 |
Family
ID=17536344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27405593A Pending JPH07126853A (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 回転軸 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07126853A (ja) |
-
1993
- 1993-11-02 JP JP27405593A patent/JPH07126853A/ja active Pending
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