JPH0329319Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、スパツタリング，スパツタエツチン
グ等の真空処理を行なう真空装置に於ける回転電
極装置に関する。

（従来の技術） 従来、前記真空装置に於いては、例えば実開昭
48−96236号公報に見られるように、真空室の室
壁を挿通して回転自在にスパツタリング電極等の
電極を設け、該電極の回転軸の周囲をＯリングそ
の他のシール材でシールすることによりり真空室
内の真空漏れを防止している。またこの公報に
は、電極にその温度制御のための冷却水をさせる
ことが開示されている。

（考案が解決しようとする問題点） 真空装置の電極には、処理されるべき基板が取
付けられ、これを回転し乍らスパツタリング，エ
ツチング等の処理が施されるが、該基板は加熱或
いは冷却し乍らその処理を行なうことが多く、こ
のような場合、冷却パイプが電極の回転軸を通つ
て設けられるので、回転軸の冷却等のための手段
を更に設けることは難しく、そのため電極の温度
が回転軸にも伝わつてしまう。

その結果、電極の回転軸の周囲をシールするシ
ール材の温度も例えば130℃を越え、或いは−15
℃以下になり、合成樹脂で製作されることの多い
シール材は短時間で損傷し勝ちで、真空室内のリ
ーク事故を生ずる。

本考案は、冷却液を導く冷却パイプが設けられ
た回転電極をシールするシール材の電極温度によ
る損傷を防止することを目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本考案では、真空室の室壁を挿通して、電極部
と中空の回転軸部とからなり、該回転軸部内に該
電極部を冷却するための冷却水供給パイプを有す
る電極を回転自在に設け、該回転軸部の周囲をＯ
リングその他のシール材でシールした回転電極装
置に於いて、該回転軸部内に該冷却水供給パイプ
を挿通する透孔を備え、外周に凹部を設けたガイ
ドを挿入し、該シール材と対向する箇所に該回転
軸部内壁と該ガイドの凹部とで流通空間を構成
し、該流通空間に該回転軸部の外周に装着した給
水ジヤケツトを介して冷却または加熱流体を供給
するようにした。

（作用） 真空室内の電極に基板を取付け、これにスパツ
タリングの処理を施す場合、該基板はその周囲の
ヒータにより加熱され、基板の温度は回転軸部内
をから電極部へ通る冷却水供給パイプの冷却水で
制御される。ヒータの熱で電極の回転軸の温度も
上昇するが、該電極の回転軸のシールと対向する
箇所には、外周に凹部を形成したガイドを挿通し
て該回転軸の内側に給水ジヤケツトから冷却液が
流通する空間を形成したので、伝熱面積を大きく
でき、該箇所の温度をシール材が損傷しない程度
に制御することが出来る。また基板を冷却し乍ら
処理する場合、該流通空間には温水を供給してシ
ール材が低温により硬化縮小することを防止出来
る。

（実施例） 本考案の実施例を図面につき説明するに、１は
真空室の室壁、２は該室壁１を挿通して軸受３に
より回転自在に支承した筒状のアースシールド、
４は該アースシールド２を挿通し且つこれと一体
に取付けした前方の電極部４ａと後方の回転軸部
４ｂからなる電極を示し、該電極４の回転軸部４
ｂの周囲はＯリング押え５，６により固定された
Ｏリング７，８によりシールされる。該アースシ
ールド２はこれに設けたベベルギア９を介して電
動機１０に連結され、該アースシールド２が回転
されると電極４も同時に回転する。該電極４の真
空室内１１側の電極部４ａは、円板状に形成さ
れ、そこにスパツタリング等の処理を施す基板１
２が取付けられる。該基板１２にスパツタリング
する場合、該電極部４ａの周囲に設けたヒータ１
３により加熱し乍ら行われるが、該基板１２が過
熱すると破損等の事故が生ずるので、給水ジヨイ
ントを介して冷却水を供給するパイプ１５を設
け、該電極部４ａの温度を制御する。スパツタリ
ングの場合、基板１２は500℃程度の高温に達す
ることもあり、その熱は該電極部４ａから離れた
回転軸部４ｂの外周のシール部にも大きく伝わる
が、筒状の回転軸部４ｂの該シール部と対向する
箇所には、内部に冷却水供給パイプ１５を挿通す
る２つの透孔２１，２１を有し且つ外周に凹部１
６を形成したガイド１７を挿入し、該回転軸部４
ｂの内側に流通空間１８を構成させてそこに該回
転軸部４ｂの外周に装着した給水ジヤケツト１９
を介して冷却液体を供給するようにし、該電極４
のシール部の温度が高まらないようにした。２０
は電極４への給電部である。基板１２を冷却しつ
つ処理する場合、シール部が低温化するので、給
水ジヤケツト１９から流通空間１８に温水を供給
してシール材７，８の低温化を防ぐ。

（考案の効果） このように本考案によるときは、電極部４ａに
冷却する冷却水供給パイプ１５が回転軸部４ｂ内
を挿通した電極４に、該回転軸部４ｂ内に該冷却
水供給パイプ１５を挿通する透孔２１を備え且つ
外周に凹部１６を設けたガイド１７を挿入し、該
回転軸部４ｂ内壁と該凹部１６とで形成される流
通空間１８に外部から給水ジヤケツト１９を介し
て冷却または加熱流体を供給するようにしたの
で、回転軸部４ｂのシール材７，８のシール箇所
を冷却水供給パイプ１５の配設を妨げずに内側か
ら直接に冷却或いは加熱することができ、しかも
大面積を冷却、加熱することができ、シール材
７，８を適切な温度に制御してその耐久性を向上
させ得る等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例の截断側面図である。 １……室壁、４……電極、４ａ……電極部、４
ｂ……回転軸部、７，８……シール材、１５……
パイプ、１７……ガイド、１８……流通空間、１
９……給水ジヤケツト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空室の室壁を挿通して、電極部と中空の回転
   軸部とからなり、該回転軸部内に該電極部を冷却
   するための冷却水供給パイプを有する電極を回転
   自在に設け、該回転軸部の周囲をＯリングその他
   のシール材でシールした回転電極装置に於いて、
   該回転軸部内に該冷却水供給パイプを挿通する透
   孔を備え、外周に凹部を設けたガイドを挿入し、
   該シール材と対向する箇所に該回転軸部内壁と該
   カイドの凹部とで流通空間を構成し、該流通空間
   に該回転軸部の外周に装着した給水ジヤケツトを
   介して冷却または加熱流体を供給するようにして
   成る真空装置に於ける回転電極装置。