JPH07120338A - 高差圧伝送器 - Google Patents
高差圧伝送器Info
- Publication number
- JPH07120338A JPH07120338A JP26669693A JP26669693A JPH07120338A JP H07120338 A JPH07120338 A JP H07120338A JP 26669693 A JP26669693 A JP 26669693A JP 26669693 A JP26669693 A JP 26669693A JP H07120338 A JPH07120338 A JP H07120338A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure side
- diaphragm
- differential pressure
- low
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 本願第１の発明の高差圧伝送器は、センタダ
イアフラム２の低圧側への変位をケーシング５により拘
束し、低圧側＞高圧側なる差圧が加わったときのみセン
タダイアフラム２が変位するようにし、且つセンタダイ
アフラム２は低圧側からの過大差圧印加時に最大変位し
ても降伏点を越えず、低圧側＞高圧側なる差圧に対して
は感圧素子１の低圧側の耐圧力以下で低圧側受圧ダイア
フラム４が着座するように構成される。 【効果】 高圧側からの過大差圧については、高圧側の
耐圧力が高い感圧素子でもたせるようにした上、低圧側
からの過大差圧に対しては低圧側受圧ダイアフラムが感
圧素子の低圧側の耐圧力以下で着座することで感圧素子
を保護するため、感圧素子の負側の耐圧力が大きくとれ
ないという問題が解決されるので、水撃等の圧力変動に
よる過大差圧から確実に伝送器を保護できる。またセン
タダイアフラムに降伏点以上の応力が加わらないので長
期間の安定な測定が可能となる。
イアフラム２の低圧側への変位をケーシング５により拘
束し、低圧側＞高圧側なる差圧が加わったときのみセン
タダイアフラム２が変位するようにし、且つセンタダイ
アフラム２は低圧側からの過大差圧印加時に最大変位し
ても降伏点を越えず、低圧側＞高圧側なる差圧に対して
は感圧素子１の低圧側の耐圧力以下で低圧側受圧ダイア
フラム４が着座するように構成される。 【効果】 高圧側からの過大差圧については、高圧側の
耐圧力が高い感圧素子でもたせるようにした上、低圧側
からの過大差圧に対しては低圧側受圧ダイアフラムが感
圧素子の低圧側の耐圧力以下で着座することで感圧素子
を保護するため、感圧素子の負側の耐圧力が大きくとれ
ないという問題が解決されるので、水撃等の圧力変動に
よる過大差圧から確実に伝送器を保護できる。またセン
タダイアフラムに降伏点以上の応力が加わらないので長
期間の安定な測定が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、オリフィスなどの絞り
と組み合わせて蒸気流量等の流量測定に使用される高差
圧伝送器に関する。
と組み合わせて蒸気流量等の流量測定に使用される高差
圧伝送器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５に従来から使用されている差圧伝送
器の概要を示す。図５に示すように、差圧伝送器は、感
圧素子１，センタダイアフラム２，高圧側の受圧ダイア
フラム３，低圧側の受圧ダイアフラム４，ケーシング
５，圧力伝達通路６，７，８，９を具備しており、これ
らの圧力伝達通路内には高圧側封入液１０，低圧側封入
液１１が封入されている。
器の概要を示す。図５に示すように、差圧伝送器は、感
圧素子１，センタダイアフラム２，高圧側の受圧ダイア
フラム３，低圧側の受圧ダイアフラム４，ケーシング
５，圧力伝達通路６，７，８，９を具備しており、これ
らの圧力伝達通路内には高圧側封入液１０，低圧側封入
液１１が封入されている。
【０００３】いま、この差圧伝送器にＰH ＞ＰL なる差
圧が加わると、受圧ダイアフラム３，４および封入液１
０，１１を介して感圧素子１に差圧が伝達される。ま
た、同時にセンタダイアフラム２にも差圧が加わり、セ
ンタダイアフラム２はその剛性に応じて低圧側へ変位す
るとともに、高圧側の受圧ダイアフラム３も同じだけ変
位する。
圧が加わると、受圧ダイアフラム３，４および封入液１
０，１１を介して感圧素子１に差圧が伝達される。ま
た、同時にセンタダイアフラム２にも差圧が加わり、セ
ンタダイアフラム２はその剛性に応じて低圧側へ変位す
るとともに、高圧側の受圧ダイアフラム３も同じだけ変
位する。
【０００４】さらに差圧が大きくなり、定格差圧を越え
てある差圧になると、センタダイアフラム２がケーシン
グ５に当る前に高圧側の受圧ダイアフラム３がケーシン
グ５に着座し、それ以上の過大差圧が加わっても感圧素
子１には伝達されず、感圧素子１は過大差圧から保護さ
れる。通常、過圧保護動作点は、定格差圧以上で感圧素
子耐圧力以下の範囲内にセンタダイアフラム２の剛性を
適当に選ぶことにより設定される。また、ＰL ＞ＰH な
る差圧が加わる場合も同様に作用する。
てある差圧になると、センタダイアフラム２がケーシン
グ５に当る前に高圧側の受圧ダイアフラム３がケーシン
グ５に着座し、それ以上の過大差圧が加わっても感圧素
子１には伝達されず、感圧素子１は過大差圧から保護さ
れる。通常、過圧保護動作点は、定格差圧以上で感圧素
子耐圧力以下の範囲内にセンタダイアフラム２の剛性を
適当に選ぶことにより設定される。また、ＰL ＞ＰH な
る差圧が加わる場合も同様に作用する。
【０００５】このような過圧保護構造は、測定差圧が比
較的小さい場合（１ＭＰａ程度）には有効ではあるが、
測定差圧が比較的大きい場合（例えば７ＭＰａ）にはセ
ンタダイアフラム２の剛性を大きくとること、すなわち
板厚を大きくする必要があるため、差圧が加わったとき
に発生する曲げ応力がセンタダイアフラム２の材料に高
張力鋼を使用したとしても降伏点を越えることとなる。
このためセンタダイアフラム２が永久変形を起こし、測
定誤差の要因となるとともに、繰り返しの差圧を受けた
場合には疲労破壊に至る危険がある。
較的小さい場合（１ＭＰａ程度）には有効ではあるが、
測定差圧が比較的大きい場合（例えば７ＭＰａ）にはセ
ンタダイアフラム２の剛性を大きくとること、すなわち
板厚を大きくする必要があるため、差圧が加わったとき
に発生する曲げ応力がセンタダイアフラム２の材料に高
張力鋼を使用したとしても降伏点を越えることとなる。
このためセンタダイアフラム２が永久変形を起こし、測
定誤差の要因となるとともに、繰り返しの差圧を受けた
場合には疲労破壊に至る危険がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来技
術の過圧保護構造は、測定差圧が比較的大きい場合には
センタダイアフラムの曲げ応力が降伏点を越え、永久変
形を起こして測定誤差の要因となるとともに、疲労破壊
に至る危険がある。
術の過圧保護構造は、測定差圧が比較的大きい場合には
センタダイアフラムの曲げ応力が降伏点を越え、永久変
形を起こして測定誤差の要因となるとともに、疲労破壊
に至る危険がある。
【０００７】これに鑑み、高差圧伝送器では感圧素子１
の耐圧力を向上させてセンタダイアフラム２を使わない
構造が考えられるが、構造的に感圧素子の高圧側と低圧
側の耐圧力に差があり（低圧側の方が低い）、水撃や圧
力変動等を考えると万全な方策にはなっていない。
の耐圧力を向上させてセンタダイアフラム２を使わない
構造が考えられるが、構造的に感圧素子の高圧側と低圧
側の耐圧力に差があり（低圧側の方が低い）、水撃や圧
力変動等を考えると万全な方策にはなっていない。
【０００８】そこで本発明は、十分な耐圧力を有し、長
期間にわたって安定した測定を行なえる高差圧伝送器を
提供することを目的とする。
期間にわたって安定した測定を行なえる高差圧伝送器を
提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願第１の発明の高差圧
伝送器は、高圧側からの過大差圧については感圧素子の
耐圧力でもたせることとし、センタダイアフラムの低圧
側への変位をケーシングにより拘束し、低圧側＞高圧側
なる差圧が加わったときのみセンタダイアフラムが変位
するようにし、且つセンタダイアフラムは低圧側からの
過大差圧印加時に最大変位しても降伏点を越えず、低圧
側＞高圧側なる差圧に対しては感圧素子の低圧側の耐圧
力以下で低圧側受圧ダイアフラムが着座するように構成
される。
伝送器は、高圧側からの過大差圧については感圧素子の
耐圧力でもたせることとし、センタダイアフラムの低圧
側への変位をケーシングにより拘束し、低圧側＞高圧側
なる差圧が加わったときのみセンタダイアフラムが変位
するようにし、且つセンタダイアフラムは低圧側からの
過大差圧印加時に最大変位しても降伏点を越えず、低圧
側＞高圧側なる差圧に対しては感圧素子の低圧側の耐圧
力以下で低圧側受圧ダイアフラムが着座するように構成
される。
【００１０】本願第２の発明の高差圧伝送器は、高圧側
受圧ダイアフラムとケーシングとの隙間容積をＶＨ1 ，
センタダイアフラムの高圧側とケーシングとの隙間容積
をＶＨ2 、低圧側受圧ダイアフラムとケーシングとの隙
間容積をＶＬ1 ，センタダイアフラムの低圧側とケーシ
ングとの隙間容積をＶＬ2 としたとき、ＶＨ1 ＞ＶＬ2
およびＶＬ1 ＜ＶＨ2 を満足し、且つセンタダイアフラ
ムは最大変位しても降伏点を越えないように構成され
る。
受圧ダイアフラムとケーシングとの隙間容積をＶＨ1 ，
センタダイアフラムの高圧側とケーシングとの隙間容積
をＶＨ2 、低圧側受圧ダイアフラムとケーシングとの隙
間容積をＶＬ1 ，センタダイアフラムの低圧側とケーシ
ングとの隙間容積をＶＬ2 としたとき、ＶＨ1 ＞ＶＬ2
およびＶＬ1 ＜ＶＨ2 を満足し、且つセンタダイアフラ
ムは最大変位しても降伏点を越えないように構成され
る。
【００１１】
【作用】本願第１の発明の高差圧伝送器においては、高
圧側からの過大差圧に対してはセンタダイアフラムは変
位せず、高圧側の耐圧力が大きい感圧素子の耐圧力でも
たせる。低圧側からの過大差圧に対してはセンタダイア
フラムが変位し、低圧側受圧ダイアフラムも変位し感圧
素子の低圧側の耐圧力以下で着座することにより感圧素
子を保護する。このときのセンタダイアフラムの変位量
では曲げ応力が降伏点を越えないので、永久変形を起こ
さない。
圧側からの過大差圧に対してはセンタダイアフラムは変
位せず、高圧側の耐圧力が大きい感圧素子の耐圧力でも
たせる。低圧側からの過大差圧に対してはセンタダイア
フラムが変位し、低圧側受圧ダイアフラムも変位し感圧
素子の低圧側の耐圧力以下で着座することにより感圧素
子を保護する。このときのセンタダイアフラムの変位量
では曲げ応力が降伏点を越えないので、永久変形を起こ
さない。
【００１２】本願第２の発明の高差圧伝送器において
は、差圧が小さい領域ではセンタダイアフラムは高圧
側，低圧側の双方へ動くことができるため、脈動が加わ
った場合でも出力波形が正負非対称となることがない。
低圧側からの過大差圧に対しては、ＶＬ1 ＜ＶＨ2 であ
るためセンタダイアフラムが変位し、低圧側受圧ダイア
フラムが感圧素子の低圧側の耐圧力以下で着座すること
により感圧素子を保護する。このときのセンタダイアフ
ラムの変位量では降伏点を越えないので永久変形を起こ
さない。
は、差圧が小さい領域ではセンタダイアフラムは高圧
側，低圧側の双方へ動くことができるため、脈動が加わ
った場合でも出力波形が正負非対称となることがない。
低圧側からの過大差圧に対しては、ＶＬ1 ＜ＶＨ2 であ
るためセンタダイアフラムが変位し、低圧側受圧ダイア
フラムが感圧素子の低圧側の耐圧力以下で着座すること
により感圧素子を保護する。このときのセンタダイアフ
ラムの変位量では降伏点を越えないので永久変形を起こ
さない。
【００１３】高圧側からの過大差圧に対しては、ＶＨ1
＞ＶＬ2 であるためセンタダイアフラムがケーシングに
着座しても高圧側受圧ダイアフラムはケーシングに着座
せず、感圧素子の高圧側の耐圧力でもたせる。また、高
圧側＞低圧側なる差圧の測定領域においてセンタダイア
フラムがケーシングの低圧側に着座することになるが、
差圧測定上は何等問題ない。
＞ＶＬ2 であるためセンタダイアフラムがケーシングに
着座しても高圧側受圧ダイアフラムはケーシングに着座
せず、感圧素子の高圧側の耐圧力でもたせる。また、高
圧側＞低圧側なる差圧の測定領域においてセンタダイア
フラムがケーシングの低圧側に着座することになるが、
差圧測定上は何等問題ない。
【００１４】
【実施例】以下、図面に示した実施例に基いて本発明を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１５】図１に本願第１の発明一実施例の高差圧伝
送器を示す。図１に示すように、ケーシング５の図示左
端に高圧側受圧ダイアフラム３が、図示右端に低圧側受
圧ダイアフラム４がそれぞれ設けられている。センタダ
イアフラム２は低圧側の面がケーシング５に当接してい
る。高圧側受圧ダイアフラム３とセンタダイアフラム２
の高圧側とは高圧側圧力伝達通路６で連通され、低圧側
受圧ダイアフラム４とセンタダイアフラム２の低圧側と
は低圧側圧力伝達通路７で連通されている。
送器を示す。図１に示すように、ケーシング５の図示左
端に高圧側受圧ダイアフラム３が、図示右端に低圧側受
圧ダイアフラム４がそれぞれ設けられている。センタダ
イアフラム２は低圧側の面がケーシング５に当接してい
る。高圧側受圧ダイアフラム３とセンタダイアフラム２
の高圧側とは高圧側圧力伝達通路６で連通され、低圧側
受圧ダイアフラム４とセンタダイアフラム２の低圧側と
は低圧側圧力伝達通路７で連通されている。
【００１６】感圧素子１の高圧側は高圧側圧力伝達通路
８によりセンタダイアフラム２の高圧側と連通され、感
圧素子１の低圧側は低圧側圧力伝達通路９により低圧側
受圧ダイアフラム４の内側空間と連通されている。
８によりセンタダイアフラム２の高圧側と連通され、感
圧素子１の低圧側は低圧側圧力伝達通路９により低圧側
受圧ダイアフラム４の内側空間と連通されている。
【００１７】高圧側圧力伝達通路６，８には高圧側封入
液１０が封入され、低圧側圧力伝達通路７，９には低圧
側封入液１１が封入されている。
液１０が封入され、低圧側圧力伝達通路７，９には低圧
側封入液１１が封入されている。
【００１８】上記のように構成された本願第１の発明一
実施例の高差圧伝送器においては、ＰH ＞ＰL なる差圧
が印加された場合には、差圧は受圧ダイアフラム３，４
と封入液１０，１１を介して感圧素子１に伝えられる。
このとき同時にセンタダイアフラム２にも差圧が加わる
が、低圧側への変位が拘束されているため変位せず、高
圧側からの過大差圧に対しては高圧側の耐圧力が大きい
感圧素子１でもたせる。感圧素子１の高圧側の耐圧力は
この伝送器の定格以上にしてあるため問題ない。 一
方、ＰL ＞ＰH なる差圧が印加された場合には、上記同
様に差圧は感圧素子１とセンタダイアフラム２に伝えら
れるが、この場合にはセンタダイアフラム２が高圧側へ
変位することができるので、過大差圧に対しては低圧側
受圧ダイアフラム４が感圧素子１の低圧側の耐圧力以下
でケーシング５に着座して感圧素子１に耐圧力以上の過
大差圧が加わることを防ぐ。図４に入力差圧と感圧素子
１に加わる差圧との関係を示す。図中、Ａは過圧保護動
作点であって負圧側感圧素子耐圧力（低圧側感圧素子耐
圧力）よりも小さい領域にある。
実施例の高差圧伝送器においては、ＰH ＞ＰL なる差圧
が印加された場合には、差圧は受圧ダイアフラム３，４
と封入液１０，１１を介して感圧素子１に伝えられる。
このとき同時にセンタダイアフラム２にも差圧が加わる
が、低圧側への変位が拘束されているため変位せず、高
圧側からの過大差圧に対しては高圧側の耐圧力が大きい
感圧素子１でもたせる。感圧素子１の高圧側の耐圧力は
この伝送器の定格以上にしてあるため問題ない。 一
方、ＰL ＞ＰH なる差圧が印加された場合には、上記同
様に差圧は感圧素子１とセンタダイアフラム２に伝えら
れるが、この場合にはセンタダイアフラム２が高圧側へ
変位することができるので、過大差圧に対しては低圧側
受圧ダイアフラム４が感圧素子１の低圧側の耐圧力以下
でケーシング５に着座して感圧素子１に耐圧力以上の過
大差圧が加わることを防ぐ。図４に入力差圧と感圧素子
１に加わる差圧との関係を示す。図中、Ａは過圧保護動
作点であって負圧側感圧素子耐圧力（低圧側感圧素子耐
圧力）よりも小さい領域にある。
【００１９】本願第１の発明一実施例の高差圧伝送器に
おいては、上述した構成にしたことにより、感圧素子１
の負側の耐圧力が大きくとれないという問題が解決され
るので、水撃等の圧力変動による過大差圧から確実に伝
送器を保護することができる。また、センタダイアフラ
ム２にも降伏点以上の曲げ応力が加わらないので永久変
形を起こさず、長期間にわたり安定した測定が可能とな
る。
おいては、上述した構成にしたことにより、感圧素子１
の負側の耐圧力が大きくとれないという問題が解決され
るので、水撃等の圧力変動による過大差圧から確実に伝
送器を保護することができる。また、センタダイアフラ
ム２にも降伏点以上の曲げ応力が加わらないので永久変
形を起こさず、長期間にわたり安定した測定が可能とな
る。
【００２０】次に、図１の実施例の変形例を図２を参照
して説明する。この変形例は、図２に示すように、セン
タダイアフラム２の低圧側が当接するケーシング５の平
面に溝１２を、例えば十字状に設けるようにしたもの
で、ＰL ＞ＰH なる差圧に対してセンタダイアフラム２
が動き易くする作用・効果を奏する。溝の形状，数など
は適宜決めればよく、図２の構成例に限定されるもので
はない。
して説明する。この変形例は、図２に示すように、セン
タダイアフラム２の低圧側が当接するケーシング５の平
面に溝１２を、例えば十字状に設けるようにしたもの
で、ＰL ＞ＰH なる差圧に対してセンタダイアフラム２
が動き易くする作用・効果を奏する。溝の形状，数など
は適宜決めればよく、図２の構成例に限定されるもので
はない。
【００２１】次に、本願第２の発明一実施例の高差圧伝
送器を図３を参照して説明する。
送器を図３を参照して説明する。
【００２２】この発明は、図１に示した本願第１の発明
の高差圧伝送器の微小差圧時の問題点を改良したもので
ある。図３に示すように、構成は図１と同じで、センタ
ダイアフラム２が低圧側のケーシング５に当接しない
で、次の条件を満たすようにセンタダイアフラム２，受
圧ダイアフラム３，４の隙間容積を設定したものであ
る。
の高差圧伝送器の微小差圧時の問題点を改良したもので
ある。図３に示すように、構成は図１と同じで、センタ
ダイアフラム２が低圧側のケーシング５に当接しない
で、次の条件を満たすようにセンタダイアフラム２，受
圧ダイアフラム３，４の隙間容積を設定したものであ
る。
【００２３】すなわち、高圧側受圧ダイアフラム３とケ
ーシング５との隙間容積をＶＨ1 ，センタダイアフラム
２の高圧側とケーシング５との隙間容積をＶＨ2 、低圧
側受圧ダイアフラム４とケーシング５との隙間容積をＶ
Ｌ1 、センタダイアフラム２の低圧側とケーシング５と
の隙間容積をＶＬ2 としたとき、ＶＨ1 ＞ＶＬ2 および
ＶＬ1 ＜ＶＨ2 を満足し、且つセンタダイアフラム２は
最大変位してもその曲げ応力が降伏点を越えないように
構成される。
ーシング５との隙間容積をＶＨ1 ，センタダイアフラム
２の高圧側とケーシング５との隙間容積をＶＨ2 、低圧
側受圧ダイアフラム４とケーシング５との隙間容積をＶ
Ｌ1 、センタダイアフラム２の低圧側とケーシング５と
の隙間容積をＶＬ2 としたとき、ＶＨ1 ＞ＶＬ2 および
ＶＬ1 ＜ＶＨ2 を満足し、且つセンタダイアフラム２は
最大変位してもその曲げ応力が降伏点を越えないように
構成される。
【００２４】上記のように構成された本願第２の発明一
実施例の高差圧伝送器は、図１の実施例の高差圧伝送器
の次のような問題点、すなわち、センタダイアフラム２
が低圧側のケーシング５の平面に当接しているため、Ｐ
L ＞ＰH なる差圧に対して動きにくくなるので、応答が
不連続となる可能性があり、また、脈動が加わると出力
波形が正負対称でなくなって出力の信号レベルがずれて
しまい、特に差圧がゼロ付近（低流量域）では差圧誤差
が流量誤差として拡大されるため、出力変動が大きくな
るという問題を解決することができる。
実施例の高差圧伝送器は、図１の実施例の高差圧伝送器
の次のような問題点、すなわち、センタダイアフラム２
が低圧側のケーシング５の平面に当接しているため、Ｐ
L ＞ＰH なる差圧に対して動きにくくなるので、応答が
不連続となる可能性があり、また、脈動が加わると出力
波形が正負対称でなくなって出力の信号レベルがずれて
しまい、特に差圧がゼロ付近（低流量域）では差圧誤差
が流量誤差として拡大されるため、出力変動が大きくな
るという問題を解決することができる。
【００２５】本願第２の発明一実施例の高差圧伝送器に
おいては、差圧が小さい領域（低流量域）ではセンタダ
イアフラム２が高圧側，低圧側の双方へ動くことができ
るため、脈動が加わっても出力波形が非対称になること
がなく、差圧が微小な領域（低流量域）での出力変動が
大きくなるという問題を解消できる。
おいては、差圧が小さい領域（低流量域）ではセンタダ
イアフラム２が高圧側，低圧側の双方へ動くことができ
るため、脈動が加わっても出力波形が非対称になること
がなく、差圧が微小な領域（低流量域）での出力変動が
大きくなるという問題を解消できる。
【００２６】また、低圧側からの過大差圧に対しては、
ＶＬ1 ＜ＶＨ2 であるためセンタダイアフラム２が変位
し、低圧側受圧ダイアフラム４が感圧素子１の低圧側の
耐圧力以下で着座することにより感圧素子１を保護す
る。このときのセンタダイアフラム２の変位量では降伏
点を越えないので永久変形を起こさない。
ＶＬ1 ＜ＶＨ2 であるためセンタダイアフラム２が変位
し、低圧側受圧ダイアフラム４が感圧素子１の低圧側の
耐圧力以下で着座することにより感圧素子１を保護す
る。このときのセンタダイアフラム２の変位量では降伏
点を越えないので永久変形を起こさない。
【００２７】高圧側からの過大差圧に対しては、ＶＨ1
＞ＶＬ2 であるためセンタダイアフラム２がケーシング
５に着座しても高圧側受圧ダイアフラム３はケーシング
５に着座せず、感圧素子１の高圧側の耐圧力でもたせ
る。また、高圧側＞低圧側なる差圧の測定領域において
センタダイアフラム２がケーシング５の低圧側に着座す
ることになるが、差圧測定上は何等問題ない。
＞ＶＬ2 であるためセンタダイアフラム２がケーシング
５に着座しても高圧側受圧ダイアフラム３はケーシング
５に着座せず、感圧素子１の高圧側の耐圧力でもたせ
る。また、高圧側＞低圧側なる差圧の測定領域において
センタダイアフラム２がケーシング５の低圧側に着座す
ることになるが、差圧測定上は何等問題ない。
【００２８】このように、本願第２の発明一実施例の高
差圧伝送器では、過大差圧に対しては十分感圧素子１が
保護されるとともに、微小差圧時に出力変動が大きくな
る問題を解消できる。
差圧伝送器では、過大差圧に対しては十分感圧素子１が
保護されるとともに、微小差圧時に出力変動が大きくな
る問題を解消できる。
【００２９】
【発明の効果】以上詳述したように本願第１の発明によ
れば、高圧側からの過大差圧については、高圧側の耐圧
力が高い感圧素子でもたせるようにし、センタダイアフ
ラムの低圧側への変位をケーシングで拘束し、低圧側＞
高圧側なる差圧が加わったときのみセンタダイアフラム
が変位するようにし、且つセンタダイアフラムは低圧側
からの過大差圧印加時に変位しても降伏点を越えず、低
圧側受圧ダイアフラムが感圧素子の低圧側の耐圧力以下
で着座するようにした高差圧伝送器を実現したことによ
り、感圧素子の負側の耐圧力が大きくとれないという問
題が解決されるので、水撃等の圧力変動による過大差圧
から確実に伝送器を保護することができる。また、セン
タダイアフラムに降伏点以上の曲げ応力が加わらないの
で永久変形を起こさず、長期間にわたり安定した測定が
可能となる。
れば、高圧側からの過大差圧については、高圧側の耐圧
力が高い感圧素子でもたせるようにし、センタダイアフ
ラムの低圧側への変位をケーシングで拘束し、低圧側＞
高圧側なる差圧が加わったときのみセンタダイアフラム
が変位するようにし、且つセンタダイアフラムは低圧側
からの過大差圧印加時に変位しても降伏点を越えず、低
圧側受圧ダイアフラムが感圧素子の低圧側の耐圧力以下
で着座するようにした高差圧伝送器を実現したことによ
り、感圧素子の負側の耐圧力が大きくとれないという問
題が解決されるので、水撃等の圧力変動による過大差圧
から確実に伝送器を保護することができる。また、セン
タダイアフラムに降伏点以上の曲げ応力が加わらないの
で永久変形を起こさず、長期間にわたり安定した測定が
可能となる。
【００３０】また、本願第２の発明によれば、高圧側受
圧ダイアフラムとケーシングとの隙間容積をＶＨ1 、セ
ンタダイアフラムの高圧側とケーシングとの隙間容積を
ＶＨ2 、低圧側受圧ダイアフラムとケーシングとの隙間
容積をＶＬ1 、センタダイアフラムの低圧側とケーシン
グとの隙間容積をＶＬ2 としたとき、ＶＨ1 ＞ＶＬ2お
よびＶＬ1 ＜ＶＨ2 を満足し、且つセンタダイアフラム
は最大変位しても降伏点を越えないようにした高差圧伝
送器を実現したことにより、微小差圧領域ではセンタダ
イアフラムが高圧側、低圧側の双方へ動けるため、脈動
が加わっても出力波形が非対称になることがなく、この
領域での出力変動が大きくなる問題を解消できる。高圧
側からの過大差圧に対しては、ＶＨ1 ＞ＶＬ2 のためセ
ンタダイアフラムが着座しても高圧側受圧ダイアフラム
は着座せず、感圧素子の高圧側の耐圧力でもたせ、低圧
側からの過大差圧に対しては、ＶＬ1 ＜ＶＨ2 のため低
圧側受圧ダイアフラムが感圧素子の低圧側の耐圧力以下
で着座することにより感圧素子を保護する。そして、こ
のときのセンタダイアフラムの変位量では降伏点を越え
ないので永久変形を起こさず、長期間にわたり安定した
測定が可能となる。
圧ダイアフラムとケーシングとの隙間容積をＶＨ1 、セ
ンタダイアフラムの高圧側とケーシングとの隙間容積を
ＶＨ2 、低圧側受圧ダイアフラムとケーシングとの隙間
容積をＶＬ1 、センタダイアフラムの低圧側とケーシン
グとの隙間容積をＶＬ2 としたとき、ＶＨ1 ＞ＶＬ2お
よびＶＬ1 ＜ＶＨ2 を満足し、且つセンタダイアフラム
は最大変位しても降伏点を越えないようにした高差圧伝
送器を実現したことにより、微小差圧領域ではセンタダ
イアフラムが高圧側、低圧側の双方へ動けるため、脈動
が加わっても出力波形が非対称になることがなく、この
領域での出力変動が大きくなる問題を解消できる。高圧
側からの過大差圧に対しては、ＶＨ1 ＞ＶＬ2 のためセ
ンタダイアフラムが着座しても高圧側受圧ダイアフラム
は着座せず、感圧素子の高圧側の耐圧力でもたせ、低圧
側からの過大差圧に対しては、ＶＬ1 ＜ＶＨ2 のため低
圧側受圧ダイアフラムが感圧素子の低圧側の耐圧力以下
で着座することにより感圧素子を保護する。そして、こ
のときのセンタダイアフラムの変位量では降伏点を越え
ないので永久変形を起こさず、長期間にわたり安定した
測定が可能となる。
【図１】図１は本願第１の発明一実施例の高差圧伝送器
の概略断面図である。
の概略断面図である。
【図２】図２は図１の高差圧伝送器の変形例を示し、図
２（ａ）は概略断面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）
のＢＢ矢視図である。
２（ａ）は概略断面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）
のＢＢ矢視図である。
【図３】図３は本願第２の発明一実施例の高差圧伝送器
の概略断面図である。
の概略断面図である。
【図４】図４は図１の高差圧伝送器における入力差圧と
感圧素子に加わる差圧の関係を示すグラフである。
感圧素子に加わる差圧の関係を示すグラフである。
【図５】図５は従来の差圧伝送器の概略断面図である。
１…感圧素子 ２…センタダイアフラム ３…高圧側受圧ダイアフラム ４…低圧側受圧ダイアフラム ５…ケーシング ６…高圧側圧力伝達通路 ７…低圧側圧力伝達通路 ８…高圧側圧力伝達通路 ９…低圧側圧力伝達通路 １０…高圧側封入液 １１…低圧側封入液 １２…溝
Claims (2)
- 【請求項１】 感圧素子により２つの圧力の差を電気信
号に変換し伝送する高差圧伝送器であって感圧素子を過
大圧から保護する手段としてセンタダイアフラムを有す
るものにおいて、前記センタダイアフラムの低圧側への
変位をケーシングにより拘束し、低圧側＞高圧側なる差
圧が加わったときのみセンタダイアフラムが変位するよ
うにし、且つセンタダイアフラムは低圧側からの過大差
圧印加時に最大変位しても降伏点を越えず、低圧側＞高
圧側なる差圧に対しては前記感圧素子の低圧側の耐圧力
以下で低圧側受圧ダイアフラムが着座するように構成し
たことを特徴とする高差圧伝送器。 - 【請求項２】 感圧素子により２つの圧力の差を電気信
号に変換し伝送する高差圧伝送器であって感圧素子を過
大圧から保護する手段としてセンタダイアフラムを有す
るものにおいて、高圧側受圧ダイアフラムとケーシング
との隙間容積をＶＨ1 ，センタダイアフラムの高圧側と
ケーシングとの隙間容積をＶＨ2 、低圧側受圧ダイアフ
ラムとケーシングとの隙間容積をＶＬ1 ，センタダイア
フラムの低圧側とケーシングとの隙間容積をＶＬ2 とし
たとき、ＶＨ1 ＞ＶＬ2 およびＶＬ1 ＜ＶＨ2 を満足
し、且つセンタダイアフラムは最大変位しても降伏点を
越えないように構成したことを特徴とする高差圧伝送
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26669693A JPH07120338A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 高差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26669693A JPH07120338A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 高差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120338A true JPH07120338A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17434420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26669693A Pending JPH07120338A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 高差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120338A (ja) |
-
1993
- 1993-10-26 JP JP26669693A patent/JPH07120338A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7062974B2 (en) | Pressure transmitter | |
| US4995266A (en) | Differential pressure transmitter | |
| US7509865B2 (en) | Pressure differential sensor comprising an excess-load membrane | |
| US20200056954A1 (en) | Overpressure protection system | |
| NO326583B1 (no) | Differensialtrykkmaler | |
| JPH043244Y2 (ja) | ||
| JPH07120338A (ja) | 高差圧伝送器 | |
| GB1558770A (en) | Differential pressure transducers | |
| JP3900351B2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JP2004117086A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JP3090175B2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPS5873835A (ja) | 圧力伝送器 | |
| JPH08189871A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH03223638A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JPH081468Y2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JP3180512B2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH0894474A (ja) | 圧力測定装置 | |
| JP2007155566A (ja) | 圧力伝送器 | |
| JPH05142078A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH05223674A (ja) | 差圧伝送器 | |
| JPH055666A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH0129551Y2 (ja) | ||
| JPH02212727A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JP2001264204A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH07113711A (ja) | 差圧測定装置 |