JPH02212727A - 差圧検出装置 - Google Patents
差圧検出装置Info
- Publication number
- JPH02212727A JPH02212727A JP3294289A JP3294289A JPH02212727A JP H02212727 A JPH02212727 A JP H02212727A JP 3294289 A JP3294289 A JP 3294289A JP 3294289 A JP3294289 A JP 3294289A JP H02212727 A JPH02212727 A JP H02212727A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- center
- diaphragms
- differential pressure
- detection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 51
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000009993 protective function Effects 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、測定すべき差圧に応じた信号を出力する検
出部き、この検出部に外設され差圧を生じる各導入圧力
に対し検出部を保護するだめの保護ダイヤフラムとを具
備する検出Ｈであって、とくにゼロ点変動を抑制するよ
うに改善した差圧検出装置に関する。なお、この差厚検
出装置は、導入圧力の一方が大気圧または真空であるこ
とによっ′ζ、ゲージ圧用または絶対Ｗ用の圧力検出装
置になる。
出部き、この検出部に外設され差圧を生じる各導入圧力
に対し検出部を保護するだめの保護ダイヤフラムとを具
備する検出Ｈであって、とくにゼロ点変動を抑制するよ
うに改善した差圧検出装置に関する。なお、この差厚検
出装置は、導入圧力の一方が大気圧または真空であるこ
とによっ′ζ、ゲージ圧用または絶対Ｗ用の圧力検出装
置になる。
従来装置について、この断面図である第７図を参照しな
がら説明する。第７図において、従来装置は大別すると
、検出部２０と保護部３０とからなり、これらは導圧管
６，７を介して連結される。検出部２０は測定すべき差
圧を電気信号に変換して出力し、保護部３０は詳しくは
後述するが、導入圧力に対し７て検出部２０を保護する
。ごの検出部２０の構成は周知のとおりであるから、そ
の説明は省略する。 なお、検出部２０を保護部３０に内設させる構成にした
別の従来装置もあるが、検出部２０を保護部３０に外設
させる構成にした目的は、測定流体が高温度の場合にそ
の温度の影響が検出部２０に及ばない、１、・うにする
ためである。 さて、保護部３０は十と１−で、本体３Ｌ３２ 、保護
ダイヤフラＪ、３ シールダイヤフラム４，５．０リン
ダ８およびカバー！］からなる。ここで、本体３１．３
２およびシールダイヤフラム４，５の各同一名称の部＋
Ａ回士は同Ｌ、′ζあ？つ、０リング８およびカバー９
はそれぞれ２個である。保護ダイヤフラノ、３を挾んで
、左右にそれぞれ本体３１．３２が配設され、それぞれ
の外周ないしＩ、’ｊｌ縁部で互し料こ接合される。 また、本体３１．．３２には、それぞれ同じ凹部１１２
１、孔１４．２４および孔４５．５５が形成される。さ
らムこ詳しくは、右側の本体３１で代表して述べると、
次のとおりである。凹部１１は本体３１の左側面にこれ
と同軸の挿鉢状乙こ形成され、孔１４は本体３１をその
軸線に沿って貫通し、孔４５は−ノノでは凹部１１の外
（４）近傍δこ開［−１シ、他方で番よ導圧管６を貫通
Ｌ７て検出部２０のし示してない導圧空間に連通ずる。 本体３１の右側面は断面が波形に形成され、この波形と
ほぼ同じ形状のシールダイヤフラム４が、本体３１の右
側面との間に空間をもってその周縁で固着される。本体
３１の右側の、シールダイヤフラム４のさらに夕（方の
周縁部にＯリング８を介してカバー９が取り付けられる
。 以上のことは、左側の本体３２についても実質的に同様
である。そして、シールダイヤフラム４５と接する空間
、７Ｌ１．４，２４ 、凹部１１，２１および孔４５．
５５からなる空間には、それぞれ圧力伝達用流体として
のシリコーンオイル（封入液）が充填される。 この従来装置の作用は次のとおりである。差圧流量計、
たとえばオリフィスの両側の各導入圧力（静圧を含む）
が、それぞれシールダイヤフラム４．５で受圧されると
、その各導入圧力はそれぞれシールダイヤフラム４に接
する空間、孔１４．凹部１１．孔４５をへて検出部２０
の−・方の導圧空間に、またシールダイヤフラム５に接
する空間、孔２シ四部２１．孔５５をへて検出部２０の
他方の導圧空間に伝達される。なお、シールダイヤフラ
ム４．５はそのハネ定数が極めて小さく（軟らり）、検
出部の図示してない検出用ダイヤフラムはそのバネ定数
が極めて大きく （剛＜）、保護ダイヤフラム３ばその
バネ定数が前記の一つの中間値をとる。検出部２０では
、各導入圧力に基づく差圧が周知の方式、たとえば静電
容量方式によっ”ζ電気信号に変換され出力される。以
上は正常な圧力導入操作がおこなわれた場合である。 ところが、誤操作によって右側のシールダイヤフラム４
だけが受圧したとすると、もし保護部３０がなければ、
検出部２０は大きい片圧を受けてセンサが破壊されるお
それがある。オリフィスの両側の各圧力の導入に誤操作
があって、たとえ一方の圧力だけがシールダイヤフラム
で受圧されたとしても、保護部３０は次に述べるような
動作によって検出部２０を保護する。 第７図において、シールダイヤフラム４だけが受圧した
とすると、この圧力は、封入液を介して孔１４．四部１
１から一方では、保護ダイヤフラム３を介して左側の凹
部２１．孔２４を経て伝達されシールダイヤフラム５を
膨らませる。また他方では、孔４５を経て検出部２０の
右側の導圧空間に伝達される。しかし、この伝達圧力は
、シールダイヤフラム４が対向する本体３１の右側の波
形表面と当接することによっである値以下に制限される
から、センサが破壊されるおそれはなく、保護機能が働
いたことになる。
がら説明する。第７図において、従来装置は大別すると
、検出部２０と保護部３０とからなり、これらは導圧管
６，７を介して連結される。検出部２０は測定すべき差
圧を電気信号に変換して出力し、保護部３０は詳しくは
後述するが、導入圧力に対し７て検出部２０を保護する
。ごの検出部２０の構成は周知のとおりであるから、そ
の説明は省略する。 なお、検出部２０を保護部３０に内設させる構成にした
別の従来装置もあるが、検出部２０を保護部３０に外設
させる構成にした目的は、測定流体が高温度の場合にそ
の温度の影響が検出部２０に及ばない、１、・うにする
ためである。 さて、保護部３０は十と１−で、本体３Ｌ３２ 、保護
ダイヤフラＪ、３ シールダイヤフラム４，５．０リン
ダ８およびカバー！］からなる。ここで、本体３１．３
２およびシールダイヤフラム４，５の各同一名称の部＋
Ａ回士は同Ｌ、′ζあ？つ、０リング８およびカバー９
はそれぞれ２個である。保護ダイヤフラノ、３を挾んで
、左右にそれぞれ本体３１．３２が配設され、それぞれ
の外周ないしＩ、’ｊｌ縁部で互し料こ接合される。 また、本体３１．．３２には、それぞれ同じ凹部１１２
１、孔１４．２４および孔４５．５５が形成される。さ
らムこ詳しくは、右側の本体３１で代表して述べると、
次のとおりである。凹部１１は本体３１の左側面にこれ
と同軸の挿鉢状乙こ形成され、孔１４は本体３１をその
軸線に沿って貫通し、孔４５は−ノノでは凹部１１の外
（４）近傍δこ開［−１シ、他方で番よ導圧管６を貫通
Ｌ７て検出部２０のし示してない導圧空間に連通ずる。 本体３１の右側面は断面が波形に形成され、この波形と
ほぼ同じ形状のシールダイヤフラム４が、本体３１の右
側面との間に空間をもってその周縁で固着される。本体
３１の右側の、シールダイヤフラム４のさらに夕（方の
周縁部にＯリング８を介してカバー９が取り付けられる
。 以上のことは、左側の本体３２についても実質的に同様
である。そして、シールダイヤフラム４５と接する空間
、７Ｌ１．４，２４ 、凹部１１，２１および孔４５．
５５からなる空間には、それぞれ圧力伝達用流体として
のシリコーンオイル（封入液）が充填される。 この従来装置の作用は次のとおりである。差圧流量計、
たとえばオリフィスの両側の各導入圧力（静圧を含む）
が、それぞれシールダイヤフラム４．５で受圧されると
、その各導入圧力はそれぞれシールダイヤフラム４に接
する空間、孔１４．凹部１１．孔４５をへて検出部２０
の−・方の導圧空間に、またシールダイヤフラム５に接
する空間、孔２シ四部２１．孔５５をへて検出部２０の
他方の導圧空間に伝達される。なお、シールダイヤフラ
ム４．５はそのハネ定数が極めて小さく（軟らり）、検
出部の図示してない検出用ダイヤフラムはそのバネ定数
が極めて大きく （剛＜）、保護ダイヤフラム３ばその
バネ定数が前記の一つの中間値をとる。検出部２０では
、各導入圧力に基づく差圧が周知の方式、たとえば静電
容量方式によっ”ζ電気信号に変換され出力される。以
上は正常な圧力導入操作がおこなわれた場合である。 ところが、誤操作によって右側のシールダイヤフラム４
だけが受圧したとすると、もし保護部３０がなければ、
検出部２０は大きい片圧を受けてセンサが破壊されるお
それがある。オリフィスの両側の各圧力の導入に誤操作
があって、たとえ一方の圧力だけがシールダイヤフラム
で受圧されたとしても、保護部３０は次に述べるような
動作によって検出部２０を保護する。 第７図において、シールダイヤフラム４だけが受圧した
とすると、この圧力は、封入液を介して孔１４．四部１
１から一方では、保護ダイヤフラム３を介して左側の凹
部２１．孔２４を経て伝達されシールダイヤフラム５を
膨らませる。また他方では、孔４５を経て検出部２０の
右側の導圧空間に伝達される。しかし、この伝達圧力は
、シールダイヤフラム４が対向する本体３１の右側の波
形表面と当接することによっである値以下に制限される
から、センサが破壊されるおそれはなく、保護機能が働
いたことになる。
以上説明したように、従来の技術では、保護ダイヤフラ
ム６は、できるだけ軟らく、いいかえれば小さい圧力で
大きく変位するように作れば、検出部２０に伝達される
片圧を抑えることができる。 しかも、そのとき保護ダイヤフラム６は、自身に生じる
応力を大きくしないようにして破損から守必要がある。 そのため従来、保護ダイヤフラムとして、複数個のダイ
ヤフラムを積層して構成する方式がとられることがある
。しかし、この方式では互いに隣接するダイヤフラム間
の面摩擦のために、作用する片圧が除去されたとき完全
に初期位置に復帰せず、つまり残留変位が生じ、その結
果ゼロ点変動を生しるという問題がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、ゼロ点変動を抑制するように改善した差圧検出装
置を提供することにある。
ム６は、できるだけ軟らく、いいかえれば小さい圧力で
大きく変位するように作れば、検出部２０に伝達される
片圧を抑えることができる。 しかも、そのとき保護ダイヤフラム６は、自身に生じる
応力を大きくしないようにして破損から守必要がある。 そのため従来、保護ダイヤフラムとして、複数個のダイ
ヤフラムを積層して構成する方式がとられることがある
。しかし、この方式では互いに隣接するダイヤフラム間
の面摩擦のために、作用する片圧が除去されたとき完全
に初期位置に復帰せず、つまり残留変位が生じ、その結
果ゼロ点変動を生しるという問題がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、ゼロ点変動を抑制するように改善した差圧検出装
置を提供することにある。
この課題を解決するために、本発明に係る第１の差圧検
出装置は、 保護ダイヤフラムが、円盤状をなす１個の中央ダイヤフ
ラムと；この中央ダイヤフラムの両面の各側に積層され
中心部に円形穴を有し前記中央ダイヤフラムと同径の円
盤状をなす１個以上の側ダイヤフラムと：を備える。 本発明に係る第２の差圧検出装置は、 保護ダイヤフラムが、円盤状をなす１個の中央ダイヤフ
ラムと；この中央ダイヤフラムの両面の各側に積層され
中心部に円形穴を有し前記中央ダイヤフラムと同径の円
盤状をなすとともにこの中央ダイヤフラムの中心部に向
かい凸状に湾曲形成される１個以上の側ダイヤフラムと
；を備える。 本発明に係る第３の差圧検出装置では、保護ダイヤフラ
ムは、円盤状をなす第１のダイヤフラムの複数個と；小
円盤を中心部に、またこれと同心で前記第１のダイヤフ
ラムと同径の円環を周縁部に有し、かつ複数個のアーム
を前記小円盤と前記円環の架橋部として有する第２のダ
イヤフラムの１個以上と；を備え、 前記第１．第２の各ダイヤフラムが交互にかつ最外側に
それぞれ前記第１ダイヤフラムが位置するように積層さ
れる。
出装置は、 保護ダイヤフラムが、円盤状をなす１個の中央ダイヤフ
ラムと；この中央ダイヤフラムの両面の各側に積層され
中心部に円形穴を有し前記中央ダイヤフラムと同径の円
盤状をなす１個以上の側ダイヤフラムと：を備える。 本発明に係る第２の差圧検出装置は、 保護ダイヤフラムが、円盤状をなす１個の中央ダイヤフ
ラムと；この中央ダイヤフラムの両面の各側に積層され
中心部に円形穴を有し前記中央ダイヤフラムと同径の円
盤状をなすとともにこの中央ダイヤフラムの中心部に向
かい凸状に湾曲形成される１個以上の側ダイヤフラムと
；を備える。 本発明に係る第３の差圧検出装置では、保護ダイヤフラ
ムは、円盤状をなす第１のダイヤフラムの複数個と；小
円盤を中心部に、またこれと同心で前記第１のダイヤフ
ラムと同径の円環を周縁部に有し、かつ複数個のアーム
を前記小円盤と前記円環の架橋部として有する第２のダ
イヤフラムの１個以上と；を備え、 前記第１．第２の各ダイヤフラムが交互にかつ最外側に
それぞれ前記第１ダイヤフラムが位置するように積層さ
れる。
本発明に係る第１の差圧検出装置では、中央ダイヤフラ
ム・これと隣接する側ダイヤフラム間、また互いに隣接
する側ダイヤフラム同土間の中心部における変形時の半
径方向のずれに基づき起こり得る摩擦が除去され、各相
互間の面摩擦力が減少する。 本発明に係る第２の差圧検出装置では、中央ダイヤフラ
ム・これと隣接する側ダイヤフラム間、また互いに隣接
する側ダイヤフラム同土間の中心部における変形時の半
径方向のずれに基づき起こり得る摩擦が除去されるとと
もに、前記の各ダイヤフラム同土間が加圧接触状態にな
るため、各相互間の面摩擦力が減少するとともに、各ダ
イヤフラム同士の密着度が増す。 本発明に係る第３の差圧検出装置では、互いに隣り合う
第１ダイヤフラム間が中間に位置する第２ダイヤフラム
を介して、しかもその小円盤の部分だけで接触状態とな
るため、その間の面摩擦力が減少する。
ム・これと隣接する側ダイヤフラム間、また互いに隣接
する側ダイヤフラム同土間の中心部における変形時の半
径方向のずれに基づき起こり得る摩擦が除去され、各相
互間の面摩擦力が減少する。 本発明に係る第２の差圧検出装置では、中央ダイヤフラ
ム・これと隣接する側ダイヤフラム間、また互いに隣接
する側ダイヤフラム同土間の中心部における変形時の半
径方向のずれに基づき起こり得る摩擦が除去されるとと
もに、前記の各ダイヤフラム同土間が加圧接触状態にな
るため、各相互間の面摩擦力が減少するとともに、各ダ
イヤフラム同士の密着度が増す。 本発明に係る第３の差圧検出装置では、互いに隣り合う
第１ダイヤフラム間が中間に位置する第２ダイヤフラム
を介して、しかもその小円盤の部分だけで接触状態とな
るため、その間の面摩擦力が減少する。
本発明に係る差圧検出装置の第１の実施例について、以
下に図を参照しながら説明する。第１図はこの第１実施
例における保護ダイヤフラムの側断面図、第２図は同じ
くその正面図である。 第１図において、保護ダイヤフラム６０は、１個の中央
ダイヤフラム６１と、その各側に隣接して配置される側
ダイヤフラム６２とからなる。中央ダイヤフラム６１．
各側ダイヤフラム６２はともに同じ直径の平面円盤状で
あるが、中央ダイヤフラム６１には中心部に穴がないの
に対して、各側ダイヤフラム６２には中心部に穴６２ａ
がある。 したがって、穴６２ａが存在することによって、中央ダ
イヤフラム６１・これと隣接する側ダイヤフラム６２間
の中心部における変形時の半径方向のずれに基づき起こ
り得る摩擦が除去され、各相互間の面摩擦力が減少する
。その結果、保護ダイヤフラム６０は、これに作用する
片圧が除去されたときほぼ完全に初期位置に復帰し、そ
の結果ゼロ点変動が抑制される。 なお一般に、１個の中央ダイヤフラム６１の各側に１個
以上の側ダイヤフラムを配置することができる。もちろ
ん、この場合の側ダイヤフラムの板厚は第１実施例にお
けるより薄くする。 本発明に係る差圧検出装置の第２の実施例について、以
下に図を参照しながら説明する。第３図はこの第２実施
例における保護ダイヤフラムの組立前の側断面図、第４
図は同じくその正面図である。 第３図において、保護ダイヤフラム７０は、１個の中央
ダイヤフラム７１と、その各側に隣接して配置される側
ダイヤフラム７２とからなる。中央ダイヤフラ１．７１
．各側ダイヤフラム７２はともに同し直径の円盤状であ
るが、中央ダイヤフラム７１には中心部に穴がなく、か
つ平面状をなしているのに対して、各側ダイヤフラム７
２には中心部に穴７２ａがあり、中央ダイヤフラム７１
に向かって凸に湾曲形成される。 したがって、中央ダイヤフラム７１と各側ダイヤフラム
７２とを積層して組み立てたとき、穴７２ａの存在によ
って、中央ダイヤフラム７１・各側ダイヤフラム７２間
の中心部における変形時の半径方向のずれに基づき起こ
り得る摩擦が除去されるとともに、各側ダイヤフラム７
２の時宜時の変形によって、各ダイヤフラム同士間が加
圧接触状態になり、各ダイヤフラム同士の密着度が増す
。その結果、保護ダイヤフラム７０は、これに作用する
片圧が除去されたときほぼ完全に初期位置に復帰し、そ
の結果ゼロ点変動が抑制される。 なお一般に、】個の中央ダイヤフラム７１の各側に１個
以上の側ダイヤフラムを配置することができる。もちろ
ん、この場合の側ダイヤフラムの板厚は第２実施例にお
けるより薄くする。 本発明に係る差圧検出装置の第３の実施例について、以
下に図を参照しながら説明する。第５図はこの第３実施
例における保護ダイヤフラムの側断面図、第６図は同じ
くその主要部材の正面図である。 第５図において、保護ダイヤフラム８０は、２個の平面
円盤状の第１ダイヤフラノ、８１と、その中間に挿入配
置される第２ダイヤフラム８２とからなる。 第２ダイヤフラム８２は、第６図に示すように、小円盤
８２ａを中心部に、これと同心で第１ダイヤフラム８１
と同じ径の円環８２ｂを周縁部にもち、４個のアームを
小円盤８２ａ と円環８２ｂとの架橋部としてもつ。 したがって、互いに隣り合う第１ダイヤフラム８１間が
中間に位置する第２ダイヤフラム８２を介して、しかも
周縁部を除いては小円盤８２ａの部分だけで接触状態と
なり、その間の面摩擦力が減少する。その結果、保護ダ
イヤフラム８０は、これに作用する片圧が除去されたと
きほぼ完全に初期位置に復帰し、その結果ゼロ点変動が
抑制される。 なお一般に、第１．第２の各ダイヤフラムが、それぞれ
複数個、１個以上であり、それらが交互にかつ最外側に
それぞれ第１ダイヤフラムが位置するように積層される
ようにすることができる。 もちろん、その場合には各第１ダイヤフラムの板厚は第
３実施例におけるより薄くする。
下に図を参照しながら説明する。第１図はこの第１実施
例における保護ダイヤフラムの側断面図、第２図は同じ
くその正面図である。 第１図において、保護ダイヤフラム６０は、１個の中央
ダイヤフラム６１と、その各側に隣接して配置される側
ダイヤフラム６２とからなる。中央ダイヤフラム６１．
各側ダイヤフラム６２はともに同じ直径の平面円盤状で
あるが、中央ダイヤフラム６１には中心部に穴がないの
に対して、各側ダイヤフラム６２には中心部に穴６２ａ
がある。 したがって、穴６２ａが存在することによって、中央ダ
イヤフラム６１・これと隣接する側ダイヤフラム６２間
の中心部における変形時の半径方向のずれに基づき起こ
り得る摩擦が除去され、各相互間の面摩擦力が減少する
。その結果、保護ダイヤフラム６０は、これに作用する
片圧が除去されたときほぼ完全に初期位置に復帰し、そ
の結果ゼロ点変動が抑制される。 なお一般に、１個の中央ダイヤフラム６１の各側に１個
以上の側ダイヤフラムを配置することができる。もちろ
ん、この場合の側ダイヤフラムの板厚は第１実施例にお
けるより薄くする。 本発明に係る差圧検出装置の第２の実施例について、以
下に図を参照しながら説明する。第３図はこの第２実施
例における保護ダイヤフラムの組立前の側断面図、第４
図は同じくその正面図である。 第３図において、保護ダイヤフラム７０は、１個の中央
ダイヤフラム７１と、その各側に隣接して配置される側
ダイヤフラム７２とからなる。中央ダイヤフラ１．７１
．各側ダイヤフラム７２はともに同し直径の円盤状であ
るが、中央ダイヤフラム７１には中心部に穴がなく、か
つ平面状をなしているのに対して、各側ダイヤフラム７
２には中心部に穴７２ａがあり、中央ダイヤフラム７１
に向かって凸に湾曲形成される。 したがって、中央ダイヤフラム７１と各側ダイヤフラム
７２とを積層して組み立てたとき、穴７２ａの存在によ
って、中央ダイヤフラム７１・各側ダイヤフラム７２間
の中心部における変形時の半径方向のずれに基づき起こ
り得る摩擦が除去されるとともに、各側ダイヤフラム７
２の時宜時の変形によって、各ダイヤフラム同士間が加
圧接触状態になり、各ダイヤフラム同士の密着度が増す
。その結果、保護ダイヤフラム７０は、これに作用する
片圧が除去されたときほぼ完全に初期位置に復帰し、そ
の結果ゼロ点変動が抑制される。 なお一般に、】個の中央ダイヤフラム７１の各側に１個
以上の側ダイヤフラムを配置することができる。もちろ
ん、この場合の側ダイヤフラムの板厚は第２実施例にお
けるより薄くする。 本発明に係る差圧検出装置の第３の実施例について、以
下に図を参照しながら説明する。第５図はこの第３実施
例における保護ダイヤフラムの側断面図、第６図は同じ
くその主要部材の正面図である。 第５図において、保護ダイヤフラム８０は、２個の平面
円盤状の第１ダイヤフラノ、８１と、その中間に挿入配
置される第２ダイヤフラム８２とからなる。 第２ダイヤフラム８２は、第６図に示すように、小円盤
８２ａを中心部に、これと同心で第１ダイヤフラム８１
と同じ径の円環８２ｂを周縁部にもち、４個のアームを
小円盤８２ａ と円環８２ｂとの架橋部としてもつ。 したがって、互いに隣り合う第１ダイヤフラム８１間が
中間に位置する第２ダイヤフラム８２を介して、しかも
周縁部を除いては小円盤８２ａの部分だけで接触状態と
なり、その間の面摩擦力が減少する。その結果、保護ダ
イヤフラム８０は、これに作用する片圧が除去されたと
きほぼ完全に初期位置に復帰し、その結果ゼロ点変動が
抑制される。 なお一般に、第１．第２の各ダイヤフラムが、それぞれ
複数個、１個以上であり、それらが交互にかつ最外側に
それぞれ第１ダイヤフラムが位置するように積層される
ようにすることができる。 もちろん、その場合には各第１ダイヤフラムの板厚は第
３実施例におけるより薄くする。
本発明に係る第１．第２．第３の各差圧検出装置に共通
に、従来の技術に比べ、保護ダイヤフラムはこれに作用
する片圧が除去されたときほぼ完全に初期位置に復帰し
、その結果ゼロ点変動が抑制される、というすぐれた効
果がある。
に、従来の技術に比べ、保護ダイヤフラムはこれに作用
する片圧が除去されたときほぼ完全に初期位置に復帰し
、その結果ゼロ点変動が抑制される、というすぐれた効
果がある。
第１図は本発明に係る第１実施例における保護ダイヤフ
ラムの側断面図、 第２図は同じくその正面図、 第３図は本発明に係る第２実施例における保護ダイヤフ
ラムの組立前の側断面図、 第４図は同じくその正面図、 第５図は本発明に係る第３実施例における保護ダイヤフ
ラムの側断面図、 第６図は同じくその主要部材の正面図、第７図は従来装
置の側断面図である。 符号説明 ６０．７０．８０ ：保護ダイヤフラム、６Ｌ７１
：中央ダイヤフラム、 ６２７２：側ダイヤフラム、 ６２ａ ７２ａ ：穴、８１：第１ダイヤフラム、８
２：第２ダイヤフラム、８２ａ：小円盤、拓６図
ラムの側断面図、 第２図は同じくその正面図、 第３図は本発明に係る第２実施例における保護ダイヤフ
ラムの組立前の側断面図、 第４図は同じくその正面図、 第５図は本発明に係る第３実施例における保護ダイヤフ
ラムの側断面図、 第６図は同じくその主要部材の正面図、第７図は従来装
置の側断面図である。 符号説明 ６０．７０．８０ ：保護ダイヤフラム、６Ｌ７１
：中央ダイヤフラム、 ６２７２：側ダイヤフラム、 ６２ａ ７２ａ ：穴、８１：第１ダイヤフラム、８
２：第２ダイヤフラム、８２ａ：小円盤、拓６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）測定すべき差圧に応じた信号を出力する検出部と、
この検出部に外設され前記差圧を生じる各導入圧力に対
して前記検出部を保護するための保護ダイヤフラムとを
具備する検出装置において、前記保護ダイヤフラムは、
円盤状をなす１個の中央ダイヤフラムと；この中央ダイ
ヤフラムの両面の各側に積層され中心部に円形穴を有し
前記中央ダイヤフラムと同径の円盤状をなす１個以上の
側ダイヤフラムと；を備えることを特徴とする差圧検出
装置。 ２）測定すべき差圧に応じた信号を出力する検出部と、
この検出部に外設され前記差圧を生じる各導入圧力に対
して前記検出部を保護するための保護ダイヤフラムとを
具備する検出装置において、前記保護ダイヤフラムは、
円盤状をなす１個の中央ダイヤフラムと；この中央ダイ
ヤフラムの両面の各側に積層され中心部に円形穴を有し
前記中央ダイヤフラムと同径の円盤状をなすとともにこ
の中央ダイヤフラムの中心部に向かい凸状に湾曲形成さ
れる１個以上の側ダイヤフラムと；を備えることを特徴
とする差圧検出装置。 ３）測定すべき差圧に応じた信号を出力する検出部と、
この検出部に外設され前記差圧を生じる各導入圧力に対
して前記検出部を保護するための保護ダイヤフラムとを
具備する検出装置において、前記保護ダイヤフラムは、
円盤状をなす第１のダイヤフラムの複数個と；小円盤を
中心部に、またこれと同心で前記第１のダイヤフラムと
同径の円環を周縁部に有し、かつ複数個のアームを前記
小円盤と前記円環の架橋部として有する第２のダイヤフ
ラムの１個以上と；を備え、前記第１、第２の各ダイヤ
フラムが交互にかつ最外側にそれぞれ前記第１ダイヤフ
ラムが位置するように積層されることを特徴とする差圧
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3294289A JPH0762640B2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 差圧検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3294289A JPH0762640B2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 差圧検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02212727A true JPH02212727A (ja) | 1990-08-23 |
| JPH0762640B2 JPH0762640B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=12373004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3294289A Expired - Fee Related JPH0762640B2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 差圧検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0762640B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04169830A (ja) * | 1990-11-02 | 1992-06-17 | Fuji Electric Co Ltd | 差圧検出装置 |
| JPH11344400A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-12-14 | Fresenius Medical Care Deutsche Gmbh | ２つの膜の気密結合方法 |
-
1989
- 1989-02-13 JP JP3294289A patent/JPH0762640B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04169830A (ja) * | 1990-11-02 | 1992-06-17 | Fuji Electric Co Ltd | 差圧検出装置 |
| JPH11344400A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-12-14 | Fresenius Medical Care Deutsche Gmbh | ２つの膜の気密結合方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0762640B2 (ja) | 1995-07-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5157973A (en) | Pressure sensor with integral overpressure protection | |
| JPS59125032A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH02212727A (ja) | 差圧検出装置 | |
| US20050081638A1 (en) | Sensing diaphragm for a differential pressure sensor with over-pressure protection and methods | |
| JPH036434A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JPH03223638A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JP2546012B2 (ja) | 差圧検出装置 | |
| JPH03223637A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JPH04169830A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JPS5956137A (ja) | 差圧発信器 | |
| JP4291049B2 (ja) | 差圧・圧力発信器 | |
| JPH03223639A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JPH07128170A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JPH02231539A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JP2762268B2 (ja) | ガス分析計用ニューマチック型赤外線検出器 | |
| JPH0894474A (ja) | 圧力測定装置 | |
| JP2988077B2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPS6344138A (ja) | 差圧計 | |
| JPH01240832A (ja) | 差圧発信器 | |
| KR830004600A (ko) | 차압 검출기(差壓檢出器) | |
| JPS5943328A (ja) | 差圧伝送器 | |
| JPS6329217Y2 (ja) | ||
| JPS6247067Y2 (ja) | ||
| JPH0797058B2 (ja) | 半導体圧力変換器 | |
| JPS6366429A (ja) | 差圧測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |