JPH07117079B2 - エゼクタ装置 - Google Patents

エゼクタ装置

Info

Publication number
JPH07117079B2
JPH07117079B2 JP59189288A JP18928884A JPH07117079B2 JP H07117079 B2 JPH07117079 B2 JP H07117079B2 JP 59189288 A JP59189288 A JP 59189288A JP 18928884 A JP18928884 A JP 18928884A JP H07117079 B2 JPH07117079 B2 JP H07117079B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
diffuser
fluid
ejector
vacuum suction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59189288A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6166900A (ja
Inventor
茂和 永井
哲夫 久々湊
Original Assignee
エスエムシ−株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エスエムシ−株式会社 filed Critical エスエムシ−株式会社
Priority to JP59189288A priority Critical patent/JPH07117079B2/ja
Publication of JPS6166900A publication Critical patent/JPS6166900A/ja
Publication of JPH07117079B2 publication Critical patent/JPH07117079B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/46Arrangements of nozzles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はエゼクタ装置に関し、一層詳細には、エゼクタ
本体を二つのブロック体で分離形成すると共に、ディフ
ューザ部を構成する傾斜面に連通する複数の真空吸引口
を一直線状に設け、前記真空吸引口に連通する管路にチ
ェック弁を介装したエゼクタ装置に関する。
[従来の技術] 蒸気、空気あるいは水をノズルより噴出させて空気を吸
引し真空を得る装置として、従来からエゼクタが用いら
れている。この種のエゼクタは一般的にノズル部とディ
フューザ部とを含み、ノズル部出口の圧力降下並びに運
動のエネルギによって負圧を発生させるように構成され
ている。
[発明が解決しようとする課題] ところで、従来技術に係るエゼクタ装置においては、一
台のエゼクタ装置で所望の異なる真空度を得るために
は、複数の真空吸引口の夫々に流量調節手段を設けなけ
ればならない。この結果、部品点数が多くなり高価にな
るとともに、前記流量調節手段を付設するためにエゼク
タ装置全体の寸法が大きくなるという不都合がある。
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたもの
であり、複数の真空吸引口とディフューザ部を連通する
連通路を圧力流体の流れ方向に沿って口径が大となるよ
うに構成することにより、複数の真空吸引口から所望の
異なる真空度を得ることが可能なエゼクタ装置を提供す
ることを目的とする。
[課題を解決するための手段] 前記の目的を達成するために、本発明は、二つのブロッ
ク体を連結してエゼクタ本体を形成し、且つエゼクタ本
体内にノズル部とディフューザ部とを設け、前記ノズル
部に連通する流体導入口から圧力流体を導入してディフ
ューザ部側に指向して圧力流体を噴射せしめ、前記ディ
フューザ部に連通する流体排出口から圧力流体を排出す
ることにより真空吸引口に負圧を発生させるエゼクタ装
置において、 前記二つのブロック体の少なくとも一方のブロック体
に、膨出部と前記膨出部から流体排出口に指向して拡開
する傾斜面とを形成し、相互に対向する一方のブロック
体と他方のブロック体との間にディフューザ部を兼用す
るノズル部を形成し、 エゼクタ本体に設けられた複数の真空吸引口は、圧力流
体の流れ方向に沿って口径が大となる複数の連通路を介
して多段に形成された夫々のノズル部に連通し、前記複
数の真空吸引口に連通する管路にチェック弁を選択的に
設け、前記傾斜面を介して多段に形成されたノズル部と
前記口径の異なる複数の連通路により異なる負荷特性を
得ることができ、 さらに、前記ノズル部、ディフューザ部および傾斜面を
含む圧力流体の流体通路の断面隅角部に丸みを形成した
ことを特徴とする。
[作用] 本発明に係るエゼクタ装置では、ノズル部に連通する流
体供給口から圧力流体を供給することにより、前記圧力
流体がノズル部からディフューザ部に指向して噴出され
る。この場合、前記ディフューザ部と真空吸引口とを連
通する連通路の口径が圧力流体の流れ方向に沿って徐々
に大となるように形成している。従って、複数の夫々の
真空吸引口から異なる負圧により吸引することができ
る。
この点について以下に説明する。
先ず、一対のノズルとディフューザから構成されるエゼ
クタを想定し、流体導入口を介しノズルから供給される
供給流量をQi、真空吸引口から吸引される吸込流量をQv
i、ディフューザから排気される排気流量をQi+1、ノ
ズル径をdi、ディフューザ径をdi+1とする。そこで、
前記ノズルとディフューザの関係を、例えば、3段から
構成される多段エゼクタに適用し、縦軸に真空圧力を表
示し、横軸に吸込流量Qviと供給流量Qiとの流量比を表
示して流量特性を求めると、ノズル側に近接する第1段
目のノズルとディフューザとの関係において、流量特性
は傾きが右下がりの第1の直線となり、吸込流量Qviを
大きくすることにより急激に真空圧力が減少する。さら
に、前記第2段目におけるノズルとディフューザとの関
係においては、前記第1段目の第1の直線よりも傾きが
なだらかな第2の直線となり、より大きな流量を得るこ
とができるが、真空圧力が減少する。第3段目における
ノズルとディフューザとの関係における流量特性は、前
記第2の直線よりも一層なだらな第3の直線となり、よ
り大きな流量を得ることができる一方、さらに真空圧力
が減少する。
ここで、排気流量Qi+1は、供給流量Qiと吸込流量Qvi
とを加算したものであり、Qi+1=Qi+Qviが成立す
る。そこで、多段エゼクタの場合、第1段乃至第3段に
おける夫々のディフューザ径とノズル径との比の値であ
る(di+1)/diの値が大きくなり、且つ、Qi+1>Qi
であることから、第1段のノズルおよびディフューザよ
りも第2段のノズルおよびディフューザのほうが真空圧
値は小さくなるが、より大きな流量を得ることができ
る。さらに、第2段のノズルおよびディフューザよりも
第3段のノズルおよびディフューザのほうがより一層大
きな流量を得ることができる。このように、多段エゼク
タにおいて、前段のノズル、ディフューザよりも後段の
ノズル、ディフューザが大きな流量となることから、必
然にその真空吸引口の径は、圧力流体の流れ方向に沿っ
て徐々に大となる。
このように、ノズルとディフューザの流量特性は、ノズ
ル径diとディフューザ径di+1との比、すなわち、(di
+1)/diによって決定され、前記(di+1)/diを変化
させることによって、異なる流量特性を得ることができ
る。
また、前記複数の真空吸引口に連通する管路にチェック
弁を選択的に設けることにより、一方の真空吸引口から
他方の真空吸引口へ逆流することを防止することが可能
となる。
さらに、膨出部から流体排出口に指向して拡開する傾斜
面と前記連通路の異なる口径とにより、夫々の真空吸引
口から異なる負荷特性を得ることができる。
[実施例] 次に、本発明に係るエゼクタ装置について好適な実施例
を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明す
る。
第1図において、参照符号10はエゼクタ装置を示し、こ
のエゼクタ装置10は第1のブロック体12aと第2のブロ
ック体14cとで基本的に構成される。図から容易に諒解
されるように、第1ブロック体12aは略平板状に形成さ
れ、一方、第2ブロック体14cの両端部には夫々空気導
入ポート20c並びに排気ポート24cが形成される。なお、
参照符号32、34は真空ポート22d並びに22eに連通する通
路36に介装されたチェック弁であり、複数の真空ポート
22c、22d、22eに対して選択的に設けることができる。
本実施例においては、ディフューザ部を兼用する複数の
ノズル部26a〜26dが直線状に形成され、前記ディフュー
ザ部を構成するなだらかな傾斜面に対して、各真空ポー
ト22c、22d、22eから連通する複数の連通路が形成され
ている。前記各連通路は、夫々異なる所定の口径に形成
することにより、前記夫々の真空ポート22c、22d、22e
から吸引する負圧を異なるものとすることができる。
例えば、第1図においては、真空ポート22cに連通する
連通路の口径が一番小さく形成されているため、負圧が
最も高く、次に真空ポート22d、真空ポート22eの順に負
圧が低くなっている。従って、所望の負圧を有する真空
ポート22c、22d、22eを選択する場合には、その選択し
た真空ポート以外の真空ポートに盲栓等を螺入して空気
圧回路を設定することができる。また、所定の真空ポー
ト22d、22eにチェック弁32、34を設けることにより、例
えば、発生した各真空ポート22c、22d、22e間の負圧差
が小さい場合であっても、真空ポート22d、22e側から逆
流して真空ポート22c側に圧力流体が流入するのを防止
することができる。従って、例えば、ワーク等の吸着時
におけるワークの落下等を回避することができる。な
お、第2図に示すように、流体通路はその両下端部に丸
みをつけた断面略長方形に形成されている。このため、
流体の流れがより円滑になる効果が得られる。この場
合、前記流体通路の断面形状は、略長方形状に限定され
るものではなく、略正方形状でもよいことは勿論であ
る。
本実施例に係るエゼクタ装置10は、1台の装置で真空度
の異なる複数個の真空ポート22c、22d、22eを設けるこ
とができ、しかもノズル部26a〜26dおよびディフューザ
部を含む流体通路を断面長方形状に形成することによ
り、装置全体を薄板化することができる。
さらに、第1図に破線で示すように、ノズル部26a〜26d
およびディフューザ部を一体としてポート部から分離す
れば、異なる用途に用いられるノズル部26a〜26dをこの
ポート部に組み込むことができ、また、ノズル部26a〜2
6dを積層状に重ね合わせることができるためエゼクタ装
置10の多様化が可能となる。
さらにまた、本実施例では、エゼクタ装置10を平板状の
第1ブロック体12aと第2ブロック体14cとで形成してい
るため、第1ブロック体12aは極めて簡単に形成でき、
また、第2ブロック体14cも鋳物等によってその形状を
簡易に得ることができる。従って、それ自体の組立が容
易であると共に他の装置への組み込みも簡便にでき、ま
た、目的とする負圧も容易に得ることができる。
しかも、このエゼクタ装置10によれば、流体の流れ方向
に沿って第1ブロック体12aと第2ブロック体14cとが分
離構成されているために、夫々の接合部分にシーリング
を施したとしても極めて簡単に装着可能であり、また、
気密性も十分に確保できるという利点がある。
[発明の効果] 以上のように、本発明に係るエゼクタ装置によれば、デ
ィフューザ部を構成する傾斜面と真空吸引口とを連通す
る連通路の口径を異なる所定のものとすることにより、
複数の真空吸引口から所望の異なる真空度が得られる。
また、従来に比して部品点数も少なくなるため、生産コ
ストも低廉なエゼクタ装置を得ることができる。さら
に、複数の真空吸引口に連通する管路に選択的にチェッ
ク弁を設けることにより、負圧発生時において、一方の
真空吸引口から他方の真空吸引口へ流体が逆流すること
を防止することができる。この結果、前記流体の逆流に
より生ずる負圧力の低下を抑止して、例えば、ワークの
搬送時におけるワークの落下を回避することができる。
加えて、膨出部から流体排出口に指向して拡開する傾斜
面と前記連通路の異なる口径とにより、夫々の真空吸引
口から異なる負荷特性を得ることができる。
さらに、ノズル部、ディフューザ部および傾斜面を含む
圧力流体の流体通路の断面隅角部に丸みを形成すること
により、圧力流体をより一層円滑に流通させることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るエゼクタ装置の縦断面図、 第2図は第1図のII−II線断面図である。 10…エゼクタ装置、12a…第1ブロック体 14c…第2ブロック体、20c…空気導入ポート 22c、22d、22e…真空ポート、24c…排気ポート 26a〜26d…ノズル部、32、34…チェック弁 36…通路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−83699(JP,A) 特開 昭59−124928(JP,A) 実開 昭58−16400(JP,U)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】二つのブロック体を連結してエゼクタ本体
    を形成し、且つエゼクタ本体内にノズル部とディフュー
    ザ部とを設け、前記ノズル部に連通する流体導入口から
    圧力流体を導入してディフューザ部側に指向して圧力流
    体を噴射せしめ、前記ディフューザ部に連通する流体排
    出口から圧力流体を排出することにより真空吸引口に負
    圧を発生させるエゼクタ装置において、 前記二つのブロック体の少なくとも一方のブロック体
    に、膨出部と前記膨出部から流体排出口に指向して拡開
    する傾斜面とを形成し、相互に対向する一方のブロック
    体と他方のブロック体との間にディフューザ部を兼用す
    るノズル部を形成し、 エゼクタ本体に設けられた複数の真空吸引口は、圧力流
    体の流れ方向に沿って口径が大となる複数の連通路を介
    して多段に形成された夫々のノズル部に連通し、前記複
    数の真空吸引口に連通する管路にチェック弁を選択的に
    設け、前記傾斜面を介して多段に形成されたノズル部と
    前記口径の異なる複数の連通路により異なる負荷特性を
    得ることができ、 さらに、前記ノズル部、ディフューザ部および傾斜面を
    含む圧力流体の流体通路の断面隅角部に丸みを形成した
    ことを特徴とするエゼクタ装置。
JP59189288A 1984-09-10 1984-09-10 エゼクタ装置 Expired - Lifetime JPH07117079B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59189288A JPH07117079B2 (ja) 1984-09-10 1984-09-10 エゼクタ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59189288A JPH07117079B2 (ja) 1984-09-10 1984-09-10 エゼクタ装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2105688A Division JP2878385B2 (ja) 1990-04-20 1990-04-20 エゼクタ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6166900A JPS6166900A (ja) 1986-04-05
JPH07117079B2 true JPH07117079B2 (ja) 1995-12-18

Family

ID=16238814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59189288A Expired - Lifetime JPH07117079B2 (ja) 1984-09-10 1984-09-10 エゼクタ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07117079B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2792850B2 (ja) * 1986-12-23 1998-09-03 エスエムシ−株式会社 エゼクタ装置およびその製造装置
JP2008138686A (ja) * 2008-01-11 2008-06-19 Hitachi Ltd エジェクタ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6166900A (ja) 1986-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4395202A (en) Multi-ejector
US20150354601A1 (en) Vacuum Ejector Nozzle With Elliptical Diverging Section
GB2509184A (en) Multi-stage vacuum ejector with moulded nozzle having integral valve elements
US20150337866A1 (en) Vacuum Ejector With Multi-Nozzle Drive Stage
GB2509183A (en) Vacuum ejector with tripped diverging exit flow nozzle
US6171068B1 (en) Vacuum pump
JPH0237200A (ja) マルチエジェクター装置
US20050077373A1 (en) Ejector for use with pneumatic booster
JPH07117079B2 (ja) エゼクタ装置
JPS614900A (ja) エゼクタ装置
JPS6155400A (ja) 真空発生装置
CA2081627A1 (en) Negative pressure-difference water supply system
ATE267960T1 (de) Vakuumerzeugervorrichtung
US4957283A (en) Vacuum system for feeding sheets
CN109518166A (zh) 一种适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统
JPS62211236A (ja) 板状体の保持装置
GB2262135A (en) Multi ejector vacuum pump
JPH0367099A (ja) エゼクタ装置
JPH10277449A (ja) 液体分配ユニット及びこれを用いた定圧噴霧装置
JPS6252291U (ja)
JP2004019552A5 (ja)
JP3027249U (ja) 真空圧発生装置
US1444539A (en) Steam-actuated ejector
JPH0311440Y2 (ja)
CN115234525B (zh) 多气源蒸汽增压装置