JPH07114293B2 - 半導体光入射位置検出素子 - Google Patents
半導体光入射位置検出素子Info
- Publication number
- JPH07114293B2 JPH07114293B2 JP3332992A JP3332992A JPH07114293B2 JP H07114293 B2 JPH07114293 B2 JP H07114293B2 JP 3332992 A JP3332992 A JP 3332992A JP 3332992 A JP3332992 A JP 3332992A JP H07114293 B2 JPH07114293 B2 JP H07114293B2
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- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
た半導体光入射位置検出素子に関するものである。
光センサの表面における横方向への電荷配分(ラテラル
効果)を利用した位置検出器(以降PSDという)がよ
く知られている。代表的なものとしては、浜松ホトニク
ス株式会社製のS1200,S1300,S1880な
どがある。これらを用いた光位置検出方法は、2つの直
交した軸方向のセンサ端に、それぞれ相対する2組の信
号取り出し部を設け、ここからの信号の強弱が光点位置
までの距離に反比例することを利用している。
オードを使用して、光点の位置の変化をとらえる方法も
ある。そして、このような分割型ホトダイオードを利用
した傾斜角検出器として、例えば特開平2−42310
号のものが知られている。
に形成した抵抗層を利用して、光生成された電荷の分配
をしているため、簡単な周辺回路で位置信号を得ること
ができる。このため、広く使用されているが、PSDの
動作原理に由来する抵抗層の雑音電流は避けられない。
このため、抵抗層の値を大きくして雑音の低減を計って
いるが、あまり大きな抵抗値を持ったPSDは検出位置
のドリフトを生じたり、光電流による抵抗層の飽和を起
こしやすい。同時に、大きな抵抗層の値は時定数を大き
くし、応答速度を低下させることにもなる。
いては、光量の変化を補正するための参照信号も得られ
るが、入射光はセンサ全面に均一に分布させる必要があ
り、集光された光束や光点の検出には不向きである。本
発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、特にスポ
ット光の入射位置検出に適した半導体光入射位置検出素
子を提供することを目的とする。
半導体基板に複数の受光面を構成する複数のホトダイオ
ードが形成された半導体光入射位置検出素子において、
複数の受光面は所定の基準位置を中心として放射状に対
称方向に延びる略同一形状の複数の受光面として構成さ
れ、複数のホトダイオードのカソードまたはアノードの
一方の極は共通に形成されて、他方の極にはそれぞれ独
立の電極が設けられ、複数の受光面の間の前記半導体基
板には別の受光面を構成する別のホトダイオードが形成
されていることを特徴とする。
位置検出素子においては、複数の受光面は所定の基準位
置から一定半径の範囲内に形成され、当該一定半径の外
側領域には別の受光面を構成する別のホトダイオードが
形成されていることを特徴とする。
に配設したときには、入射光スポットの基準位置からの
変位量を光電流出力比として検出できる。更に、放射状
の受光面の間に別の受光面を設けておけば、入射光を全
て検出できるので、入射光量をモニタして光源の発光量
コントロールが可能になる。
位置から一定半径外と一定半径内で別の受光面を配設す
ると、上述の請求項1に係る発明の作用に加えて、入射
光スポットが一定範囲内にあるか範囲外にあるかをも検
知できる。
るが、同一要素には同一符号を付すこととして、重複す
る説明は省略する。
て説明する。図1は実施例に係る半導体光入射位置検出
素子を一部断面で示した斜視図であり、図2はその上面
図である。図1に示すように、シリコンなどの半導体基
板1にはn型拡散領域12が形成され、この内部に8個
のp型拡散領域13が形成される。このp型拡散領域1
3はホトダイオードのアノードであって受光面として働
き、図1に一点鎖線で示すように、4個については中心
位置(基準位置)から4方向に延び、残りの4個につい
てはその間に形成される。
明絶縁膜2が形成される。そして、n型拡散領域12上
においてp型拡散領域13を囲むように開孔された透明
絶縁膜2上には共通電極21が設けられ、p型拡散領域
13の端部において開孔された透明絶縁膜2上には信号
電極22が設けられる。なお、図示はされていないが、
共通電極21および信号電極22には、ワイヤボンディ
ングによる外部回路(図示せず)との接続がとられてい
る。
により構成される受光面は、それぞれ独立しており、そ
れぞれの光電流出力は信号電極22a〜d,22X1 ,
22X2 ,22Y1 ,22Y2 から取り出される。ここ
で、各信号電極22の出力をA〜D,X1 ,X2 ,
Y1 ,Y2 とすると、出力X1 ,X2 の比によりx軸方
向の光入射位置が求まり、出力Y1 ,Y2 の比によりy
軸方向の光入射位置が求まる。
+X2 +Y1 +Y2 により求まる。したがって、入射光
の発光源が例えばLED(発光ダイオード)であるとき
に、この発光量をモニタできるので、適切な帰還回路に
より発光量の一定値への制御が可能になる。
示の通り、放射状に配設されたホトダイオードの出力の
うち、ペアとなる出力X1 ,X2 は差動増幅器3Xで比
較され、別のペアとなる出力Y1 ,Y2 は差動増幅器3
Yで比較される。これにより、X方向とY方向の位置出
力が可能になる。
D出力はアンプ4で加算増幅され、差動増幅器5で基準
レベルVREF と比較される。そして、比較出力にもとづ
いて、光源であるLEDが発光駆動されるので、光量は
一定レベルにコントロールされる。
すると、光源の発光量を常時モニタできることが望まし
いが、本実施例によれば、帰還回路の採用で光源の光量
を一定に保つことが可能になるので、光束がどこに移動
しても全光量が監視でき、同時に本来の光点位置検出を
行うことができる。
て説明する。図4は、実施例に係る半導体光入射位置検
出素子の上面図である。基準位置から一定半径の範囲内
の領域に、基準位置を中心として放射状に対称方向に延
びる略同一形状の4個のホトダイオードの受光面が形成
される。又、その領域内であって、これら4個のホトダ
イオードの間には、別の4個のホトダイオードの受光面
が形成される。一定半径の範囲外の領域には更に別のホ
トダイオードが形成される。
にある場合には、その領域に受光面を有するホトダイオ
ードから、光を検知した旨の出力が得られる。一方、入
射光スポットが一定半径の範囲内の領域にある場合に
は、基準位置からの入射光スポットの変位量が、放射状
に配置された4個のホトダイオードから光電流出力比と
して検知される。又、一定半径の範囲内の領域にある8
個のホトダイオードからの出力の総和から入射光量が測
定される。従って、例えば、一定の範囲内での光束の動
きを比例的に検知し、さらに特定の範囲を外れたときに
は異常警報の発生を行うためのセンサが構成できる。斜
線部はいずれもホトダイオードの受光面であって、独立
して光電流を出力できるようになっている。なお、いず
れのホトダイオードも各受光部の間の隙間は数μm以下
に形成できるので、位置計測の誤差にはならない。
傾斜検出装置の例を図5に示す。ここで、図示はしない
が外側ケースが設けられており、このケースは光源であ
るLED、密閉容器53内の着色液体51中に気泡52
を封入した傾斜検出部、光センサであるサブマウント7
1と本発明の素子72とを堅固に固定し、かつセンサ部
を遮光する構造になっている。
信号処理部からは各分割光センサの総和信号が得られる
ようにする。これは基準電圧と比較され、LEDの発光
光量を一定に保つように負帰還がかかる。このため、こ
の傾斜検出装置は一度だけ校成しておけば、常に正確に
傾斜量に応じた出力が得られ、これが表示器、出力装置
に与えられる。
に働く重力の方向変化によるものである。この傾斜検出
装置に水平面内の任意の方向の加速度が加わった場合、
移動する光点の位置、すなわち傾斜検出装置の出力は、
重力と加わった加速度の合成ベクトルで決まる。このた
め本発明の傾斜検出装置は加速度検知装置としても機能
する。
例の傾斜検出装置を配置した場合を考える。停車時にお
いては、坂道による傾斜信号がサイドブレーキ警報、坂
道発進の補助などの付加機能を起動させることができ
る。また、車両の走行中は、発進や停止の際に生ずる車
両の前後方向への加速度を検知し、前輪と後輪のダンパ
装置の各定数を変化させ、前後方向の姿勢の変化を最少
にすることができる。また、曲線部走行時に生ずる曲線
中心方向への加速度に対しては、左右の車輪のダンパ装
置の各定数を変化させ、左右方向の姿勢の変化を最少に
することができる。
たときには、入射光照射位置の基準位置からの変位量を
光電流出力比として検出できる。更に、放射状の受光面
の間に別の受光面を設けておけば、入射光を全て検出で
きるので、入射光量をモニタして光源の発光量コントロ
ールが可能になる。
内で別の受光面を配設すると、上述の効果に加えて、入
射光スポットが一定範囲内にあるか範囲外にあるかをも
検知できる。
物などの水平度や傾斜の検出、および加速度の検出を行
う装置の光センサ部の検知性能を向上できる。
図である。
上面図である。
傾斜検出器の構成図である。
領域、2…透明絶縁膜、21…共通電極、22…信号電
極、3…差動増幅器。
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体基板に複数の受光面を構成する複
数のホトダイオードが形成された半導体光入射位置検出
素子において、 前記複数の受光面は所定の基準位置を中心として放射状
に対称方向に延びる略同一形状の複数の受光面として構
成され、 前記複数のホトダイオードのカソードまたはアノードの
一方の極は共通に形成されて、他方の極にはそれぞれ独
立の電極が設けられ、 前記複数の受光面の間の前記半導体基板には別の受光面
を構成する別のホトダイオードが形成されている ことを
特徴とする半導体光入射位置検出素子。 - 【請求項2】 前記複数の受光面は前記所定の基準位置
から一定半径の範囲内に形成され、当該一定半径の外側
領域には別の受光面を構成する別のホトダイオードが形
成されている請求項1記載の半導体光入射位置検出素
子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3332992A JPH07114293B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 半導体光入射位置検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3332992A JPH07114293B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 半導体光入射位置検出素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05235404A JPH05235404A (ja) | 1993-09-10 |
JPH07114293B2 true JPH07114293B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=12383520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3332992A Expired - Fee Related JPH07114293B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 半導体光入射位置検出素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07114293B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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IT1317199B1 (it) * | 2000-04-10 | 2003-05-27 | Milano Politecnico | Dispositivo fotorivelatore ultrasensibile con diaframma micrometricointegrato per microscopi confocali |
JP4931475B2 (ja) * | 2006-05-11 | 2012-05-16 | 株式会社神戸製鋼所 | 紫外線検出素子及び検出方法 |
JP2009094291A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Panasonic Corp | 光半導体装置及び赤外線データ通信装置 |
DE112011103016B4 (de) | 2010-09-10 | 2020-11-19 | Denso Corporation | Optischer Sensor |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5594068U (ja) * | 1978-12-21 | 1980-06-30 |
-
1992
- 1992-02-20 JP JP3332992A patent/JPH07114293B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05235404A (ja) | 1993-09-10 |
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