JP4931475B2 - 紫外線検出素子及び検出方法 - Google Patents
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Description
2;ダイヤモンド薄膜
3;中心電極対
4、4a、4b、4c、4d;周辺電極対
5;照射領域
6、6a、6b、6c、6d;増幅回路
7;出力(中心部電圧)
8a、8b、8c、8d;出力(周辺部電圧)
20;電極群
102;絶縁性ダイヤモンド層
103a、103b;櫛形電極
104a、104b;端子
105;金属製マウント
106;ワイヤ
110;紫外線センサ
Claims (7)
- 基板と、この基板上に設けられたダイヤモンド膜からなる紫外線検出層と、この紫外線検出層に接触した複数の電極対と、を有し、前記電極対のうち、前記紫外線検出層の中心部には少なくとも1対の放射照度測定用の中心電極対が配置され、この放射照度測定用の中心電極対を中心とするその周囲に前記中心電極対を取り囲むように複数対の周辺電極対が配置されており、各電極対からの出力を独立に検出可能であり、前記各周辺電極対で検出された信号強度を相互に比較することにより、受光面における紫外線の照射位置を検出することを特徴とする紫外線検出素子。
- 前記中心電極対は、4つの周辺電極対により囲まれていることを特徴とする請求項1に記載の紫外線検出素子。
- 前記電極対は相互に噛み合った櫛形電極であることを特徴とする請求項1又は2に記載の紫外線検出素子。
- 前記ダイヤモンド膜は、気相合成法により形成された多結晶ダイヤモンドからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の紫外線検出素子。
- 前記ダイヤモンド膜は、表面が(100)結晶面で覆われ、結晶粒子が前記基板表面に対して一軸性に成長配向していると共に、結晶面が面内でも配向している高配向性ダイヤモンド膜であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の紫外線検出素子。
- 基板上に設けられたダイヤモンド膜からなる紫外線検出層と、この紫外線検出層に接触した複数の電極対と、を有し、前記電極対間にバイアス電圧を印加することにより紫外線を検出する紫外線検出方法であって、前記電極対のうち、前記紫外線検出層の中心部に少なくとも1対の放射照度測定用の中心電極対を配置し、この放射照度測定用の中心電極対を中心とするその周囲に前記中心電極対を取り囲むように複数対の周辺電極対を配置し、各電極対からの出力を独立に検出し、各周辺電極対で検出された信号強度を相互に比較することにより、受光面における紫外線の照射位置を検出し、前記各周辺電極対から入射光による信号強度が検出されるように紫外線検出素子の受光面の配置を調節した後に、前記放射照度測定用の電極対及び周囲に配置された複数の電極対からの出力の合計から紫外線照射量を測定すると共に、得られた出力合計を照射面積で除することにより、前記放射照度測定用の電極対が受ける放射照度を算出することを特徴とする紫外線検出方法。
- 前記中心電極対は、4つの周辺電極対により囲まれていることを特徴とする請求項6に記載の紫外線検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006132983A JP4931475B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 紫外線検出素子及び検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006132983A JP4931475B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 紫外線検出素子及び検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007305801A JP2007305801A (ja) | 2007-11-22 |
JP4931475B2 true JP4931475B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=38839473
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006132983A Expired - Fee Related JP4931475B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 紫外線検出素子及び検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4931475B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106997908B (zh) * | 2016-01-22 | 2021-05-25 | 中国科学院物理研究所 | 可见盲紫外光探测器单元及阵列 |
CN106997913B (zh) * | 2016-01-22 | 2021-05-25 | 中国科学院物理研究所 | 日盲紫外光探测器单元及阵列 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07114293B2 (ja) * | 1992-02-20 | 1995-12-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体光入射位置検出素子 |
JPH11103077A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Kubota Corp | 光導電型受光素子 |
JP3560462B2 (ja) * | 1998-03-04 | 2004-09-02 | 株式会社神戸製鋼所 | ダイヤモンド膜紫外線センサ及びセンサアレイ |
IT1317199B1 (it) * | 2000-04-10 | 2003-05-27 | Milano Politecnico | Dispositivo fotorivelatore ultrasensibile con diaframma micrometricointegrato per microscopi confocali |
JP3900992B2 (ja) * | 2002-04-02 | 2007-04-04 | 株式会社日立製作所 | 放射線検出器及び放射線検査装置 |
JP4233467B2 (ja) * | 2004-02-16 | 2009-03-04 | 株式会社神戸製鋼所 | 紫外線センサ及びその製造方法 |
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2006
- 2006-05-11 JP JP2006132983A patent/JP4931475B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007305801A (ja) | 2007-11-22 |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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