JPH07111882B2 - ウイ−ンフイルタを用いた二重収束質量分析装置 - Google Patents
ウイ−ンフイルタを用いた二重収束質量分析装置Info
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- JPH07111882B2 JPH07111882B2 JP62092604A JP9260487A JPH07111882B2 JP H07111882 B2 JPH07111882 B2 JP H07111882B2 JP 62092604 A JP62092604 A JP 62092604A JP 9260487 A JP9260487 A JP 9260487A JP H07111882 B2 JPH07111882 B2 JP H07111882B2
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- wien filter
- ions
- magnetic field
- ion
- mass spectrometer
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/284—Static spectrometers using electrostatic and magnetic sectors with simple focusing, e.g. with parallel fields such as Aston spectrometer
- H01J49/286—Static spectrometers using electrostatic and magnetic sectors with simple focusing, e.g. with parallel fields such as Aston spectrometer with energy analysis, e.g. Castaing filter
- H01J49/288—Static spectrometers using electrostatic and magnetic sectors with simple focusing, e.g. with parallel fields such as Aston spectrometer with energy analysis, e.g. Castaing filter using crossed electric and magnetic fields perpendicular to the beam, e.g. Wien filter
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/004—Combinations of spectrometers, tandem spectrometers, e.g. MS/MS, MSn
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/32—Static spectrometers using double focusing
- H01J49/326—Static spectrometers using double focusing with magnetic and electrostatic sectors of 90 degrees
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、種々の質量の娘イオンを同時検出することの
できるウィーンフィルタを用いた二重収束質量分析装置
に関するものである。
できるウィーンフィルタを用いた二重収束質量分析装置
に関するものである。
メタステーブルイオン（準安定イオン）が自由空間で解
裂してできる娘イオンを検出する方法は、有機化合物の
分子構造式の決定や極微量物質の定量分析等に応用でき
るので、最近注目を集めている。この現象を利用する方
法として、従来は電場と磁場を持つ二重収束質量分析計
を用い、リンクドスキャン法や、MS/MS法が行われてい
る。
裂してできる娘イオンを検出する方法は、有機化合物の
分子構造式の決定や極微量物質の定量分析等に応用でき
るので、最近注目を集めている。この現象を利用する方
法として、従来は電場と磁場を持つ二重収束質量分析計
を用い、リンクドスキャン法や、MS/MS法が行われてい
る。
リンクドスキャン法では、イオン源と電場間の自由空間
での準安定イオンの解裂で生成する娘イオンを検出して
いる。ある準安定イオンの解裂時には、解裂の前後で各
粒子の速度は変化せず一定に保たれるが、生成した娘イ
オンの運動エネルギーはその質量に比例して異なってく
る。従って、例えばある特定親イオンM+から解裂して出
てくる一連の娘イオンM1 +を連続して検出しようとする
と、電場と磁場を連動して変化させる必要がある。
での準安定イオンの解裂で生成する娘イオンを検出して
いる。ある準安定イオンの解裂時には、解裂の前後で各
粒子の速度は変化せず一定に保たれるが、生成した娘イ
オンの運動エネルギーはその質量に比例して異なってく
る。従って、例えばある特定親イオンM+から解裂して出
てくる一連の娘イオンM1 +を連続して検出しようとする
と、電場と磁場を連動して変化させる必要がある。
MS/MS法では第１のMS（質量分析計）である特定イオンM
+を選択し、第１のMSと第２のMSの自由空間でM+の解裂
により生ずる娘イオンM1 +を前と同じく、電場と磁場の
連動したスキャンにより検出する。すなわち、この場合
にも一連の娘イオンのピークスペクトルを得るために
は、電場と磁場を連動してスキャンする必要があった。
このことは、また、電場では一度に１つの娘イオン、即
ちあるエネルギーのイオンしか選択できないので、複数
の娘イオンの同試験出はできないことを意味すると共
に、二重収束系で純粋の電場を用いる限り、娘イオンの
同時検出はできないことを意味している。
+を選択し、第１のMSと第２のMSの自由空間でM+の解裂
により生ずる娘イオンM1 +を前と同じく、電場と磁場の
連動したスキャンにより検出する。すなわち、この場合
にも一連の娘イオンのピークスペクトルを得るために
は、電場と磁場を連動してスキャンする必要があった。
このことは、また、電場では一度に１つの娘イオン、即
ちあるエネルギーのイオンしか選択できないので、複数
の娘イオンの同試験出はできないことを意味すると共
に、二重収束系で純粋の電場を用いる限り、娘イオンの
同時検出はできないことを意味している。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、特定の準
安定イオンから生ずるいろいろな質量Ｍの娘イオンを同
時に検出することが可能な質量分析装置を提供すること
を目的とする。
安定イオンから生ずるいろいろな質量Ｍの娘イオンを同
時に検出することが可能な質量分析装置を提供すること
を目的とする。
そのために本発明のウィーンフィルタを用いた二重収束
質量分析装置は、主スリットと、主スリットからのイオ
ンビームが入射するウィーンフィルタと、ウィーンフィ
ルタからの出射ビームに質量分散を与える磁場発生用扇
形磁石と、主スリットとウィーンフィルタとの間の空間
で１つの親イオンから派生した質量の異なる一連の娘イ
オンに対して二重収束条件が成立する位置を含む平面に
配置された２次元検出器とからなり、前記扇形磁石を、
扇形磁場の回転角50゜、磁場入射角−20゜とすることに
より、娘イオンを高分解能で、広い質量範囲にわたって
同時検出するようにしたことを特徴とする。
質量分析装置は、主スリットと、主スリットからのイオ
ンビームが入射するウィーンフィルタと、ウィーンフィ
ルタからの出射ビームに質量分散を与える磁場発生用扇
形磁石と、主スリットとウィーンフィルタとの間の空間
で１つの親イオンから派生した質量の異なる一連の娘イ
オンに対して二重収束条件が成立する位置を含む平面に
配置された２次元検出器とからなり、前記扇形磁石を、
扇形磁場の回転角50゜、磁場入射角−20゜とすることに
より、娘イオンを高分解能で、広い質量範囲にわたって
同時検出するようにしたことを特徴とする。
本発明は、ウィーンフィルタを用いて主スリットとウイ
ーンフィルタとの間の空間で１つの親イオンから派生す
るウイーン条件を満たす娘イオンを扇形磁場の回転角50
゜、磁場入射角−20゜の扇形磁石で質量分散させ、二重
収束条件が成立する位置を含む平面に配置した２次元検
出器で検出することにより、娘イオンを高分解能で、広
い質量範囲にわたって同時検出することが可能となる。
ーンフィルタとの間の空間で１つの親イオンから派生す
るウイーン条件を満たす娘イオンを扇形磁場の回転角50
゜、磁場入射角−20゜の扇形磁石で質量分散させ、二重
収束条件が成立する位置を含む平面に配置した２次元検
出器で検出することにより、娘イオンを高分解能で、広
い質量範囲にわたって同時検出することが可能となる。
以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明によるウィーンフィルタを用いた二重収
束質量分析装置の原理を説明するための図で、１は主ス
リット、２はイオンビーム、３はウィーンフィルタ、４
は磁石、５はα収束面、６はβ収束面、m1、m2、m3は質
量、a1、a2、a3は各イオンの回転半径、l1、l2、l3は磁
石出口端と収束面間の距離、δ１、δ２、δ３は収束面
間の距離である。
束質量分析装置の原理を説明するための図で、１は主ス
リット、２はイオンビーム、３はウィーンフィルタ、４
は磁石、５はα収束面、６はβ収束面、m1、m2、m3は質
量、a1、a2、a3は各イオンの回転半径、l1、l2、l3は磁
石出口端と収束面間の距離、δ１、δ２、δ３は収束面
間の距離である。
本発明の質量分析装置では、従来の電場フィルタの代わ
りにウィーンフィルタ３を用いる。ウィーンフィルタ
は、電場と磁場とが互いに直交していると共に、これに
対して飛行するイオンの進行方向も直交し、かつ、イオ
ンに作用する電気的、磁器的力の方向が反対で大きさが
等しくなるように構成されている重畳場であって、電場
による力Fe＝eE（ｅは電荷量、Ｅは電場強度），磁場に
よる力Fm＝evB（ｖはイオン速度、Ｂは磁場強度が大き
さが等しく、かつ方向が反対なのでイオンは場の中を直
進する。この直進条件（ウィーン条件）はFe＋Fm＝０、
即ち Ｅ＝vBとなるから ｖ＝−E/B …… となる。即ち、イオンが直進する条件はイオン質量には
無関係である。
りにウィーンフィルタ３を用いる。ウィーンフィルタ
は、電場と磁場とが互いに直交していると共に、これに
対して飛行するイオンの進行方向も直交し、かつ、イオ
ンに作用する電気的、磁器的力の方向が反対で大きさが
等しくなるように構成されている重畳場であって、電場
による力Fe＝eE（ｅは電荷量、Ｅは電場強度），磁場に
よる力Fm＝evB（ｖはイオン速度、Ｂは磁場強度が大き
さが等しく、かつ方向が反対なのでイオンは場の中を直
進する。この直進条件（ウィーン条件）はFe＋Fm＝０、
即ち Ｅ＝vBとなるから ｖ＝−E/B …… となる。即ち、イオンが直進する条件はイオン質量には
無関係である。
図において、イオン源（図示せず）から所定エネルギに
加速されたイオンビームは、主スリット１を通り、ウィ
ーンフィルタ３に入射するが、この間の自由空間での解
裂により質量の異なる一連の娘イオンが生成する。生成
した一連の娘イオンは親イオンとほぼ同一の速度ｖを持
つため、この速度がウィーン条件を満たせば、ウィーン
フィルタ３を揃って通過し、これ以外のイオンはウィー
ン条件を満たさないために通過することができない。ウ
ィーンフィルタ３を通過したビームは、一様磁場を与え
る磁石４により各質量の相違によって空間的に分離さ
れ、磁場の後段の面上で一次の角度（α）収束と速度
（β）収束を行う。このα収束を行う面５をα収束面、
β収束を行う面６をβ収束面と呼び、この２つが一致し
た所で二重収束の条件が成立する。αとβの収束面間の
角度θが小さい時には、この収束面上のある範囲で二重
収束がほぼ成立している考えられる。従って、この２つ
の収束面の位置に２次元検出器を置けば、１つの親イオ
ンから生じた一連の娘イオンの同時検出ができることと
なる。実際には、α収束面とβ収束面が交差した第１図
のＰ点を通り、α収束面とβ収束面との中間に位置する
ように２次元検出器を配置すれば、質量分散とエネルギ
分散の両方の条件をほぼ満たすことができる。
加速されたイオンビームは、主スリット１を通り、ウィ
ーンフィルタ３に入射するが、この間の自由空間での解
裂により質量の異なる一連の娘イオンが生成する。生成
した一連の娘イオンは親イオンとほぼ同一の速度ｖを持
つため、この速度がウィーン条件を満たせば、ウィーン
フィルタ３を揃って通過し、これ以外のイオンはウィー
ン条件を満たさないために通過することができない。ウ
ィーンフィルタ３を通過したビームは、一様磁場を与え
る磁石４により各質量の相違によって空間的に分離さ
れ、磁場の後段の面上で一次の角度（α）収束と速度
（β）収束を行う。このα収束を行う面５をα収束面、
β収束を行う面６をβ収束面と呼び、この２つが一致し
た所で二重収束の条件が成立する。αとβの収束面間の
角度θが小さい時には、この収束面上のある範囲で二重
収束がほぼ成立している考えられる。従って、この２つ
の収束面の位置に２次元検出器を置けば、１つの親イオ
ンから生じた一連の娘イオンの同時検出ができることと
なる。実際には、α収束面とβ収束面が交差した第１図
のＰ点を通り、α収束面とβ収束面との中間に位置する
ように２次元検出器を配置すれば、質量分散とエネルギ
分散の両方の条件をほぼ満たすことができる。
次に第２図〜第４図によりウィーンフィルタを用いて二
重収束の条件を成立させる具体的配置について説明す
る。
重収束の条件を成立させる具体的配置について説明す
る。
第２図は本発明によるウィーンフィルタを用いた二重収
束質量分析装置の一実施例を示す図、第３図は第１図に
おけるウィーンフィルタのＡ−Ａ断面図で、第１図と同
一符号は同一内容を示している。図中、７は四極子レン
ズ（Q.P）、31、32は磁極、θは収束面同士のなす角、E
1は磁場入射角、E2は磁場出射角、WAはイオンが回転す
る角度、L1は主スリットとQ.Pとの距離、QLはQ.Pの長
さ、L2はQ.Pとウィーンフィルタとの距離、LFはウィー
ンフィルタ長、L3はウィーンフィタと磁石間の距離、Lf
は磁石端と収束面間の距離、AMはイオンの回転半径、Ｐ
は収束面の交差する点である。
束質量分析装置の一実施例を示す図、第３図は第１図に
おけるウィーンフィルタのＡ−Ａ断面図で、第１図と同
一符号は同一内容を示している。図中、７は四極子レン
ズ（Q.P）、31、32は磁極、θは収束面同士のなす角、E
1は磁場入射角、E2は磁場出射角、WAはイオンが回転す
る角度、L1は主スリットとQ.Pとの距離、QLはQ.Pの長
さ、L2はQ.Pとウィーンフィルタとの距離、LFはウィー
ンフィルタ長、L3はウィーンフィタと磁石間の距離、Lf
は磁石端と収束面間の距離、AMはイオンの回転半径、Ｐ
は収束面の交差する点である。
イオン軌道の計算は、現在では通常CPUを用いて行われ
ているが、そのため、次のような方法がとられる。ま
ず、イオンをベクトル（水平位置Ｘ、水平角度αｒ、質
量γ、速度β、縦位置Ｙ、縦角度αｚ）で表示する。任
意の場の作用はこのベクトルを掛算により変換する変換
マトリックスの形にまとめられる。ここで、質量γと速
度βは場によって不変に保たれるが、水平位置Ｘ、水平
角度αｒ、縦位置Ｙ、縦角度αｚは場の作用によって変
換を受ける。ここで収束に関係するのは水平位置Ｘ、縦
位置Ｙである。
ているが、そのため、次のような方法がとられる。ま
ず、イオンをベクトル（水平位置Ｘ、水平角度αｒ、質
量γ、速度β、縦位置Ｙ、縦角度αｚ）で表示する。任
意の場の作用はこのベクトルを掛算により変換する変換
マトリックスの形にまとめられる。ここで、質量γと速
度βは場によって不変に保たれるが、水平位置Ｘ、水平
角度αｒ、縦位置Ｙ、縦角度αｚは場の作用によって変
換を受ける。ここで収束に関係するのは水平位置Ｘ、縦
位置Ｙである。
収束点（面）のイオンを（XF,αr,F，γ，β,YF,
αZ,F）と記述し、初期のイオンを（x,αr,β，γ,y,α
ｚ）と表したとき、 XF＝XX＋Ａαｒ＋Ｓβ＋Ｃγ…… αr,F＝Ｘ′ｘ＋Ａ′αｒ＋Ｓ′β＋Ｃ′γ… YF＝Yy＋ＢαＺ αZ,F＝Ｙ′ｙ＋Ｂ′αＺ と１次近似で表すことができる。この係数Ｘ、Ａ、Ｓ、
Ｃ、Ｙ、Ｂ、Ｘ′、Ａ′、Ｓ′、Ｃ′、Ｙ′、Ｂ′を計
算し、これを用いてイオンの収束性を検討することがで
きる。
αZ,F）と記述し、初期のイオンを（x,αr,β，γ,y,α
ｚ）と表したとき、 XF＝XX＋Ａαｒ＋Ｓβ＋Ｃγ…… αr,F＝Ｘ′ｘ＋Ａ′αｒ＋Ｓ′β＋Ｃ′γ… YF＝Yy＋ＢαＺ αZ,F＝Ｙ′ｙ＋Ｂ′αＺ と１次近似で表すことができる。この係数Ｘ、Ａ、Ｓ、
Ｃ、Ｙ、Ｂ、Ｘ′、Ａ′、Ｓ′、Ｃ′、Ｙ′、Ｂ′を計
算し、これを用いてイオンの収束性を検討することがで
きる。
ウィーンフィルタ３は第３図に示すようにその磁極面が
AX（1/PX）なる距離で中心平面と交わるようなテーパー
を付けて磁界方向にも収束性を持たせている。そして、
一様磁場で中心イオンが回転する角度WA＝50゜に対応す
るイオンの回転半径をAM0＝1.0としてすべての長さを測
る。この例ではイオンの回転半径AM＝1.8〜1.2の範囲で
検討し、E2＋WA＝50゜としている。
AX（1/PX）なる距離で中心平面と交わるようなテーパー
を付けて磁界方向にも収束性を持たせている。そして、
一様磁場で中心イオンが回転する角度WA＝50゜に対応す
るイオンの回転半径をAM0＝1.0としてすべての長さを測
る。この例ではイオンの回転半径AM＝1.8〜1.2の範囲で
検討し、E2＋WA＝50゜としている。
ビームに沿ったα収束面とβ収束面間の距離δはＳ′＝
dS/dLF、ΔLF＝δ、dS≒ΔＳとして、 δ＝ΔS/S′≒S/S′ …… より得られる。
dS/dLF、ΔLF＝δ、dS≒ΔＳとして、 δ＝ΔS/S′≒S/S′ …… より得られる。
記号FM、MR、QKを、それぞれウィーンフィルター中の磁
場BFによるイオンの回転半径、FM/AM、四極子レンズの
強さとする。
場BFによるイオンの回転半径、FM/AM、四極子レンズの
強さとする。
FM＝MR・AM、PP＝1/FM−PX、 K2＝PP/FMの時 ウィーンフィルター中のイオン軌道方程式は dX2/dZ2＝−K2X と表される。
第４図はイオンの高さ方向ｙでの軌道の様子を示す図
で、出射点で縦位置と縦角度（y,αｚ）が（1,0）およ
び（0,1）のビームが、磁場の入口でy1＝Y1,y2＝B1,出
口でy3＝Y2,y4＝B2となり、磁場の出入口でのＹ方向の
位置は、入口ではＹ＝Y1y＋B1αＺ、出口ではＹ＝Y2y＋
B2αＺと表される。
で、出射点で縦位置と縦角度（y,αｚ）が（1,0）およ
び（0,1）のビームが、磁場の入口でy1＝Y1,y2＝B1,出
口でy3＝Y2,y4＝B2となり、磁場の出入口でのＹ方向の
位置は、入口ではＹ＝Y1y＋B1αＺ、出口ではＹ＝Y2y＋
B2αＺと表される。
第５図にその計算結果の例を示す。
第６図は第５図の計算例につき、図の各〜に対する
Ｓ、Ｃの値からα−β収束面間距離δ＝S/S′，エネル
ギ巾β＝Δv/v＝0.01に対する分解能Ｒ＝C/S・v/Δｖを
求めた例を示している。この例ではAM＝1.6の所でほぼ
二重収束が成立している。
Ｓ、Ｃの値からα−β収束面間距離δ＝S/S′，エネル
ギ巾β＝Δv/v＝0.01に対する分解能Ｒ＝C/S・v/Δｖを
求めた例を示している。この例ではAM＝1.6の所でほぼ
二重収束が成立している。
ここでのイオンの質量をM0＝5000と仮定すると、M/M0＝
AM/1.6より、各AMに対する質量Ｍが求められる。
AM/1.6より、各AMに対する質量Ｍが求められる。
いま、ウィーンフィルタの長さLF＝1mとすると、の例
ではLf＝2.7×AM0＝100cm,AM＝1.6M0であるので、Lf＝
2.7×AM0/AM・AM＝2.7/1.6AMより、AM＝59.3cmとなる。
また、同じくにおいて、分離能5000を得るためのスリ
ット巾S0を求めると、分散係数Ｃを像倍率Ｘを用いて、
XS0＝AM0Cγ,C＝1.448,X＝0.354であり、またγ＝1/R＝
1/5000とすると S0＝302.8μｍが得られる。
ではLf＝2.7×AM0＝100cm,AM＝1.6M0であるので、Lf＝
2.7×AM0/AM・AM＝2.7/1.6AMより、AM＝59.3cmとなる。
また、同じくにおいて、分離能5000を得るためのスリ
ット巾S0を求めると、分散係数Ｃを像倍率Ｘを用いて、
XS0＝AM0Cγ,C＝1.448,X＝0.354であり、またγ＝1/R＝
1/5000とすると S0＝302.8μｍが得られる。
また、速度巾をβ＝Δv/v＝1/100に取った時に得られる
分解能Rvは、 Rv＝C/S×v/Δｖ＝C/Sβ-1＝C/S×100 となり、第７図に示すような結果が得られる。
分解能Rvは、 Rv＝C/S×v/Δｖ＝C/Sβ-1＝C/S×100 となり、第７図に示すような結果が得られる。
なお、上記実施例においては四極子レンズを用いたが、
収束条件が満たされれば必ずしも必要としない。
収束条件が満たされれば必ずしも必要としない。
以上のように本発明によれば、ウィーンフィルタと一様
磁場の組合せにより、イオン源より一定の加速電圧で加
速されて、ほぼエネルギーの揃っている準安定イオン
が、イオン源とウィーンフィルタの間の自由空間で小さ
なエネルギー放出により、分裂してできる娘イオンを磁
場の後の二重収束面で、同時検出を行うことが可能とな
る。従って、従来は一連の娘イオンを検出するために
は、電場と磁場をスキャンする必要があったが、すべて
の質量につき同時に検出でき、感度を向上させることが
できる。
磁場の組合せにより、イオン源より一定の加速電圧で加
速されて、ほぼエネルギーの揃っている準安定イオン
が、イオン源とウィーンフィルタの間の自由空間で小さ
なエネルギー放出により、分裂してできる娘イオンを磁
場の後の二重収束面で、同時検出を行うことが可能とな
る。従って、従来は一連の娘イオンを検出するために
は、電場と磁場をスキャンする必要があったが、すべて
の質量につき同時に検出でき、感度を向上させることが
できる。
第１図は本発明によるウィーンフィルタを用いた二重収
束質量分析装置の原理を説明するための図、第２図は本
発明によるウィーンフィルタを用いた二重収束質量分析
装置の一実施例を示す図、第３図は第１図におけるウィ
ーンフィルタのＡ−Ａ断面図、第４図はイオンの高さ方
向での軌道の様子を示す図、第５図、第６図は計算結果
の一例を示す図、第７図は分解能を示す図である。 １……主スリット、２……イオンビーム、３……ウィー
ンフィルタ、４……磁石、５……α収束面、６……β収
束面、m1、m2、m3……質量、a1、a2、a3……各イオンの
回転半径、l1、l2、l3……磁石出口端と収束面間の距
離、δ１、δ２、δ３……収束面間の距離、７……四極
子レンズ（Q.P）、31、32……磁極、θ……収束面同士
のなす角、E1……磁場入射角、E2……磁場出射角、WA…
…イオンが回転する角度、L1……主スリットとQ.Pとの
距離、QL……Q.Pの長さ、L2……Q.Pとウィーンフィルタ
との距離、L3……ウィーンフィルタと磁石間の距離、Lf
……磁石端と収束面間の距離、AM……イオンの回転半
径、Ｐ……収束面の交差する点。
束質量分析装置の原理を説明するための図、第２図は本
発明によるウィーンフィルタを用いた二重収束質量分析
装置の一実施例を示す図、第３図は第１図におけるウィ
ーンフィルタのＡ−Ａ断面図、第４図はイオンの高さ方
向での軌道の様子を示す図、第５図、第６図は計算結果
の一例を示す図、第７図は分解能を示す図である。 １……主スリット、２……イオンビーム、３……ウィー
ンフィルタ、４……磁石、５……α収束面、６……β収
束面、m1、m2、m3……質量、a1、a2、a3……各イオンの
回転半径、l1、l2、l3……磁石出口端と収束面間の距
離、δ１、δ２、δ３……収束面間の距離、７……四極
子レンズ（Q.P）、31、32……磁極、θ……収束面同士
のなす角、E1……磁場入射角、E2……磁場出射角、WA…
…イオンが回転する角度、L1……主スリットとQ.Pとの
距離、QL……Q.Pの長さ、L2……Q.Pとウィーンフィルタ
との距離、L3……ウィーンフィルタと磁石間の距離、Lf
……磁石端と収束面間の距離、AM……イオンの回転半
径、Ｐ……収束面の交差する点。
Claims (1)
- 【請求項１】主スリットと、主スリットからのイオンビ
ームが入射するウィーンフィルタと、ウィーンフィルタ
からの出射ビームに質量分散を与える磁場発生用扇形磁
石と、主スリットとウィーンフィルタとの間の空間で１
つの親イオンから派生した質量の異なる一連の娘イオン
に対して二重収束条件が成立する位置を含む平面に配置
された２次元検出器とからなり、前記扇形磁石を、扇形
磁場の回転角50゜、磁場入射角−20゜とすることによ
り、娘イオンを高分解能で、広い質量範囲にわたって同
時検出するようにしたことを特徴とするウィーンフィル
タを用いた二重収束質量分析装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62092604A JPH07111882B2 (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | ウイ−ンフイルタを用いた二重収束質量分析装置 |
| US07/180,305 US4866267A (en) | 1987-04-15 | 1988-04-12 | Double-focusing mass spectrometer having Wien filter and MS/MS instrument using such spectrometer |
| GB8808795A GB2219688B (en) | 1987-04-15 | 1988-04-14 | Double-focusing mass spectrometer with wien filter and instrument using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62092604A JPH07111882B2 (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | ウイ−ンフイルタを用いた二重収束質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63259955A JPS63259955A (ja) | 1988-10-27 |
| JPH07111882B2 true JPH07111882B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=14059053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62092604A Expired - Fee Related JPH07111882B2 (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | ウイ−ンフイルタを用いた二重収束質量分析装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4866267A (ja) |
| JP (1) | JPH07111882B2 (ja) |
| GB (1) | GB2219688B (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2523781B2 (ja) * | 1988-04-28 | 1996-08-14 | 日本電子株式会社 | 飛行時間型／偏向二重収束型切換質量分析装置 |
| US5313061A (en) * | 1989-06-06 | 1994-05-17 | Viking Instrument | Miniaturized mass spectrometer system |
| EP0453808A1 (de) * | 1990-04-05 | 1991-10-30 | IONENTECHNIK GESELLSCHAFT m.b.H. | Einrichtung zur Analyse von Gasgemischen mittels Massenspektrometrie |
| DE4129791A1 (de) * | 1991-09-05 | 1993-03-11 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Verfahren und detektor zum nachweis schwerer molekuelionen in einem flugzeitmassenspektrometer |
| AT403214B (de) * | 1991-10-21 | 1997-12-29 | Ionentechnik Ges M B H | Verfahren zur analyse von gasgemischen |
| GB9211458D0 (en) * | 1992-05-29 | 1992-07-15 | Fisons Plc | Mass spectrometer having means for observing the radiation emitted when ions collide with a target gas |
| US5530244A (en) * | 1993-09-22 | 1996-06-25 | Northrop Grumman Corporation | Solid state detector for sensing low energy charged particles |
| US5386115A (en) * | 1993-09-22 | 1995-01-31 | Westinghouse Electric Corporation | Solid state micro-machined mass spectrograph universal gas detection sensor |
| US5401963A (en) * | 1993-11-01 | 1995-03-28 | Rosemount Analytical Inc. | Micromachined mass spectrometer |
| US5621209A (en) * | 1995-04-10 | 1997-04-15 | High Voltage Engineering Europa B.V. | Attomole detector |
| GB2477985B (en) | 2010-02-22 | 2012-01-18 | Ilika Technologies Ltd | Mass spectrometers and methods of ion separation and detection |
| GB201804386D0 (en) * | 2018-03-19 | 2018-05-02 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Mass Spectrometer |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4022876A (en) * | 1973-06-21 | 1977-05-10 | Stanford Research Institute | Mass spectrometric immunoassay |
| US3885155A (en) * | 1973-11-01 | 1975-05-20 | Stanford Research Inst | Mass spectrometric determination of carbon 14 |
| JPS52120890A (en) * | 1976-04-05 | 1977-10-11 | Hitachi Ltd | Mass analyzer |
| JPS58169857A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-06 | Jeol Ltd | 荷電粒子フイルタ |
| US4472631A (en) * | 1982-06-04 | 1984-09-18 | Research Corporation | Combination of time resolution and mass dispersive techniques in mass spectrometry |
| DE3238474C2 (de) * | 1982-10-16 | 1987-01-08 | Finnigan MAT GmbH, 2800 Bremen | Hybrid-Massenspektrometer |
| US4521687A (en) * | 1983-01-17 | 1985-06-04 | Jeol Ltd. | Mass spectrometer |
| JPS59137855A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-08 | Jeol Ltd | 質量分析装置 |
| JPS59215650A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-05 | Jeol Ltd | 質量分析装置 |
| US4588889A (en) * | 1984-02-10 | 1986-05-13 | Jeol Ltd. | Sweeping process for mass spectrometer having superimposed fields |
| JPS614148A (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-10 | Jeol Ltd | 重畳場質量分析装置の掃引方法 |
| JPS6188445A (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-06 | Hitachi Ltd | 質量分析装置 |
-
1987
- 1987-04-15 JP JP62092604A patent/JPH07111882B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-04-12 US US07/180,305 patent/US4866267A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-04-14 GB GB8808795A patent/GB2219688B/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2219688A (en) | 1989-12-13 |
| US4866267A (en) | 1989-09-12 |
| JPS63259955A (ja) | 1988-10-27 |
| GB8808795D0 (en) | 1988-05-18 |
| GB2219688B (en) | 1992-02-05 |
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