JPS6188445A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPS6188445A JPS6188445A JP59208236A JP20823684A JPS6188445A JP S6188445 A JPS6188445 A JP S6188445A JP 59208236 A JP59208236 A JP 59208236A JP 20823684 A JP20823684 A JP 20823684A JP S6188445 A JPS6188445 A JP S6188445A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- ion
- power supply
- ions
- analyzing system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/32—Static spectrometers using double focusing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は質量分析装置に係り、特にイオンの中心軌道位
置を調整するのに好適な質量分析装置に関する。
置を調整するのに好適な質量分析装置に関する。
従来この種の装置にｋける四重極し／ズは、それぞれの
対向電極に直流電圧のみを印加する方式が知られている
。この方式はイオンを効率良く透過させるために極めて
有効であるが、イオンが四″重極レンズの中心軌道を描
いているか否かは判断できなかった、この種の装置に関
連するものとしてはＭＡＳＳ ＳＰＥＣＴＲＯＭＥＴ
ＲＹ ＲＥＶＩＥＷＳＶＯＬｕｍｅ２．ＮＯ２，１９
８３におけるＨ 、 Ｍａｔｕｄａ。
対向電極に直流電圧のみを印加する方式が知られている
。この方式はイオンを効率良く透過させるために極めて
有効であるが、イオンが四″重極レンズの中心軌道を描
いているか否かは判断できなかった、この種の装置に関
連するものとしてはＭＡＳＳ ＳＰＥＣＴＲＯＭＥＴ
ＲＹ ＲＥＶＩＥＷＳＶＯＬｕｍｅ２．ＮＯ２，１９
８３におけるＨ 、 Ｍａｔｕｄａ。
による ＨＩＧＨ−ＲＥＳＯＬＵＴＩＯＮ ＨＩＧＨ−
８ＥＮ８ＩＴＩＶＩＴＹ ＭＡＳＳ ８ＰＥＣＴＲ，
ＯＭＥＴＥＲ８”などが挙げられる。
８ＥＮ８ＩＴＩＶＩＴＹ ＭＡＳＳ ８ＰＥＣＴＲ，
ＯＭＥＴＥＲ８”などが挙げられる。
本発明の目的は、従来技術の欠点を改善し、四重極レン
ズに加えられる直流電圧に、位相が同相である交流電圧
金型ねて印加することにより、イオンの軌道位置をイオ
ンピーク形状変化として表わすことにより、イオンの中
心軌道調整全容易にすることを提供することにある。
ズに加えられる直流電圧に、位相が同相である交流電圧
金型ねて印加することにより、イオンの軌道位置をイオ
ンピーク形状変化として表わすことにより、イオンの中
心軌道調整全容易にすることを提供することにある。
本発明は四重極レンズに加えられている直流電圧に同位
相の交流電圧を重ね加えると、イオンの中心軌道がずれ
たときのみイオンのピーク形状が乱れることに着目し、
四重極レンズの対向電極に加えられている直流電圧に同
位相の交流電圧を重ね加え、イオンのピーク形状の変化
から、イオンの中心軌道調整を容易にしている。
相の交流電圧を重ね加えると、イオンの中心軌道がずれ
たときのみイオンのピーク形状が乱れることに着目し、
四重極レンズの対向電極に加えられている直流電圧に同
位相の交流電圧を重ね加え、イオンのピーク形状の変化
から、イオンの中心軌道調整を容易にしている。
以下本発明の一実施例を第１図及び第２図を用いて説明
する。第２図において、１はイオン源、２は磁場、３は
゛電場、４は検出器、５は表示装置、６は八重極レンズ
、７は直流電源、８は交流電源、９はスイッチ、ｌＯは
ピーク波形を示す。また第１図は第２図における八重極
レンズ６、直流電源７、交流電源８、スイッチ９の詳細
図である。第１図において、７ＹはＹ方向直流電源、７
ＸはＸ方向直流電源、８は交流電源、９はスイッチ、６
は検出器、７は表示装置でらる。尚、第１図では電場、
磁場、イオン源は割愛しである。
する。第２図において、１はイオン源、２は磁場、３は
゛電場、４は検出器、５は表示装置、６は八重極レンズ
、７は直流電源、８は交流電源、９はスイッチ、ｌＯは
ピーク波形を示す。また第１図は第２図における八重極
レンズ６、直流電源７、交流電源８、スイッチ９の詳細
図である。第１図において、７ＹはＹ方向直流電源、７
ＸはＸ方向直流電源、８は交流電源、９はスイッチ、６
は検出器、７は表示装置でらる。尚、第１図では電場、
磁場、イオン源は割愛しである。
第２図において、イオン源ｌを出射し次イオンは磁場２
及び電場３により偏向され、検出器４７！ｉｌ−経て表
示装置５に表示される。ここで、磁場２の磁束密度を一
定とし、電場３の電界強度と、イオン加速電圧を変化さ
せると、ピーク波形ｌＯが得られる。次にスイッチ９を
閉として、交流電源８を直流電源７と接続した時の状態
を第１図で説明する。
及び電場３により偏向され、検出器４７！ｉｌ−経て表
示装置５に表示される。ここで、磁場２の磁束密度を一
定とし、電場３の電界強度と、イオン加速電圧を変化さ
せると、ピーク波形ｌＯが得られる。次にスイッチ９を
閉として、交流電源８を直流電源７と接続した時の状態
を第１図で説明する。
第１図において、交流電源８は電圧１０ｍＶ。
周波数５０Ｈ２とし、同位相電源とする、ここでスイッ
チ９を閉とするとＸ方向直流電源７Ｘの電圧に交流電源
８の電圧が重ね加えられる。もしイオンが八重極レンズ
６の中心軌道を描いていれば、交流電圧は八重極レンズ
６の対向電極の作用により、お互いに打ち消し合いイオ
ンは何らかの交流電圧の影響を受けることなく検出器４
を経て表示装置５により表示され、この時のイオ／ヒ゛
−り波形１０のようになる。しかしイオンが八重極レン
ズ６の中心軌道上になければイオンは交流電圧の影！＃
を受は検出器４を性て表示装置５により表示され、この
時のイオンピーク波形はピーク波形９のようになり、ピ
ーク波形１０と比較し父流分の乗ったひずんだピークと
なる。このピーク波形９のひずみが無くなるようにＸ方
向直流電源７）１調整すれば、イオンは八重極レンズ６
の中心軌道上にあることになる。従がってＸ方向直流電
源７Ｘの電圧に交流電源８の電圧を重ね加えると、イオ
ンの中心軌道調整が表示装置を観察しながら容易に行な
える。
チ９を閉とするとＸ方向直流電源７Ｘの電圧に交流電源
８の電圧が重ね加えられる。もしイオンが八重極レンズ
６の中心軌道を描いていれば、交流電圧は八重極レンズ
６の対向電極の作用により、お互いに打ち消し合いイオ
ンは何らかの交流電圧の影響を受けることなく検出器４
を経て表示装置５により表示され、この時のイオ／ヒ゛
−り波形１０のようになる。しかしイオンが八重極レン
ズ６の中心軌道上になければイオンは交流電圧の影！＃
を受は検出器４を性て表示装置５により表示され、この
時のイオンピーク波形はピーク波形９のようになり、ピ
ーク波形１０と比較し父流分の乗ったひずんだピークと
なる。このピーク波形９のひずみが無くなるようにＸ方
向直流電源７）１調整すれば、イオンは八重極レンズ６
の中心軌道上にあることになる。従がってＸ方向直流電
源７Ｘの電圧に交流電源８の電圧を重ね加えると、イオ
ンの中心軌道調整が表示装置を観察しながら容易に行な
える。
本発明によれば、イオンの中心軌道の位置ずれを表示装
置でイオンビーク形状の乱れとして観察できるので、イ
オンの中心軌道調整を容易にする効果がある。
置でイオンビーク形状の乱れとして観察できるので、イ
オンの中心軌道調整を容易にする効果がある。
第１図は本発明のポイント部分の一実施例の回路図、第
２図は本発明の一実施例の質量分析装置のブロック図で
るる。 １・・・イオン源、２・・・磁場、３・・・電場、４・
・・検出器、手続補正書（方式） ：ｉ’ｊ ＋ｌｌ６０・１２月２７１ ＃’ｉ、ｉ’１．ｊｉ 長 杓 志 賀 学
殿す１ｒ′１−の友小 昭和５９年持許頚第 ２０８２３６ 号定明力名称
質量分析装置 補止をする者 ・屓′１との関（ｆ ↑’Ｉ’１．７「出＠ｉ人＞、
Ｊｌ、、：１山株式会（１日 立 ・波 ｆ乍 所代
理 人 明細書第２頁第３行目乃至第７行目の「駆は・・・・・
られる、」を次の通り訂正する。 記 て ４＝はマス・スペクトロメトリー・レビューズ。
２図は本発明の一実施例の質量分析装置のブロック図で
るる。 １・・・イオン源、２・・・磁場、３・・・電場、４・
・・検出器、手続補正書（方式） ：ｉ’ｊ ＋ｌｌ６０・１２月２７１ ＃’ｉ、ｉ’１．ｊｉ 長 杓 志 賀 学
殿す１ｒ′１−の友小 昭和５９年持許頚第 ２０８２３６ 号定明力名称
質量分析装置 補止をする者 ・屓′１との関（ｆ ↑’Ｉ’１．７「出＠ｉ人＞、
Ｊｌ、、：１山株式会（１日 立 ・波 ｆ乍 所代
理 人 明細書第２頁第３行目乃至第７行目の「駆は・・・・・
られる、」を次の通り訂正する。 記 て ４＝はマス・スペクトロメトリー・レビューズ。
Claims (1)
- １、四重極レンズと磁場を含む質量分析装置において、
該四重極レンズのそれぞれの対向電極に位相が同相であ
る交流電圧に重畳して印加できる交流電源と、交流電圧
を直流電圧に重畳するための開閉手段と、質量分析計の
イオン光学的軌道を調節する手段を備えていることを特
徴とする質量分析装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208236A JPS6188445A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 質量分析装置 |
| US06/783,530 US4694169A (en) | 1984-10-05 | 1985-10-03 | Mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208236A JPS6188445A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6188445A true JPS6188445A (ja) | 1986-05-06 |
Family
ID=16552904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59208236A Pending JPS6188445A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 質量分析装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4694169A (ja) |
| JP (1) | JPS6188445A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112657072A (zh) * | 2021-01-05 | 2021-04-16 | 中国科学院上海高等研究院 | 基于直线加速器的超高剂量率质子治疗装置及扫描方法 |
| CN113454753A (zh) * | 2019-03-11 | 2021-09-28 | 英国质谱公司 | 四极装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07111882B2 (ja) * | 1987-04-15 | 1995-11-29 | 日本電子株式会社 | ウイ−ンフイルタを用いた二重収束質量分析装置 |
| FR2666171B1 (fr) * | 1990-08-24 | 1992-10-16 | Cameca | Spectrometre de masse stigmatique a haute transmission. |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59123155A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-16 | Jeol Ltd | 四重極質量分析装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4107527A (en) * | 1977-07-13 | 1978-08-15 | Valentin Tikhonovich Cherepin | Ion-emission microanalyzer microscope |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP59208236A patent/JPS6188445A/ja active Pending
-
1985
- 1985-10-03 US US06/783,530 patent/US4694169A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59123155A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-16 | Jeol Ltd | 四重極質量分析装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113454753A (zh) * | 2019-03-11 | 2021-09-28 | 英国质谱公司 | 四极装置 |
| CN112657072A (zh) * | 2021-01-05 | 2021-04-16 | 中国科学院上海高等研究院 | 基于直线加速器的超高剂量率质子治疗装置及扫描方法 |
| CN112657072B (zh) * | 2021-01-05 | 2022-09-16 | 中国科学院上海高等研究院 | 基于直线加速器的超高剂量率质子治疗装置及扫描方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4694169A (en) | 1987-09-15 |
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