JPH07105020B2 - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH07105020B2 JPH07105020B2 JP3076235A JP7623591A JPH07105020B2 JP H07105020 B2 JPH07105020 B2 JP H07105020B2 JP 3076235 A JP3076235 A JP 3076235A JP 7623591 A JP7623591 A JP 7623591A JP H07105020 B2 JPH07105020 B2 JP H07105020B2
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- Japan
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- magnetic head
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は回転シリンダーを用いた
磁気記録再生装置の磁気ヘッドおよびその製造方法に関
する。
磁気記録再生装置の磁気ヘッドおよびその製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】業務用として用いられているＶＴＲで
は、高画質であり高性能な編集ができることが要求され
る。
は、高画質であり高性能な編集ができることが要求され
る。
【０００３】ところで、編集時に行うスローやサーチと
いった特殊再生を、回転シリンダに取り付けられた調整
ネジによりヘッド高さが調整されている再生ヘッドで行
う場合は、再生しようとするテープ上の記録トラックに
対して斜めに横切って再生ヘッドが走査してしまう。従
ってその再生ヘッドは、再生しようとする記録トラック
の全長を再生できない。これを防ぐために、前記ヘッド
走査時に記録トラックを横切らないように、ヘッド走査
中であっても再生ヘッドが記録トラック幅方向に可動な
構成を有する（図３（ａ）（ｂ））に示すような磁気ヘ
ッド１００がある。（図３（ａ））に示す磁気ヘッド１
００は、ヘッドチップ３、４とその支持部２からなる可
動部を、（図３（ｂ））中の矢印の方向、すなわち（図
３（ｂ））および（図４）に示す２つのヘッド３、４の
間の相対的な高さｄの方向、に動かす駆動部１により構
成されている。
いった特殊再生を、回転シリンダに取り付けられた調整
ネジによりヘッド高さが調整されている再生ヘッドで行
う場合は、再生しようとするテープ上の記録トラックに
対して斜めに横切って再生ヘッドが走査してしまう。従
ってその再生ヘッドは、再生しようとする記録トラック
の全長を再生できない。これを防ぐために、前記ヘッド
走査時に記録トラックを横切らないように、ヘッド走査
中であっても再生ヘッドが記録トラック幅方向に可動な
構成を有する（図３（ａ）（ｂ））に示すような磁気ヘ
ッド１００がある。（図３（ａ））に示す磁気ヘッド１
００は、ヘッドチップ３、４とその支持部２からなる可
動部を、（図３（ｂ））中の矢印の方向、すなわち（図
３（ｂ））および（図４）に示す２つのヘッド３、４の
間の相対的な高さｄの方向、に動かす駆動部１により構
成されている。
【０００４】ところで磁気ヘッド１００は、（図３
（ａ））に示すように、２個のヘッドチップ３、４が共
通の支持部２の１主面に接着される構成なので、支持部
への接着後にヘッドチップ３、４間の相対的な高さｄを
調整することは不可能であり、さらに前記ヘッドチップ
はヘッド走査中に相対高さ方向に駆動される構成なの
で、従来の回転シリンダに取り付けられた調整ネジによ
る相対高さの調整も行えない。
（ａ））に示すように、２個のヘッドチップ３、４が共
通の支持部２の１主面に接着される構成なので、支持部
への接着後にヘッドチップ３、４間の相対的な高さｄを
調整することは不可能であり、さらに前記ヘッドチップ
はヘッド走査中に相対高さ方向に駆動される構成なの
で、従来の回転シリンダに取り付けられた調整ネジによ
る相対高さの調整も行えない。
【０００５】それ故に今までは、接着後にその相対高さ
ｄが所定高さになるように、前記ヘッドチップ３、４の
厚みやギャップ位置を高精度に制御しながらチップスラ
イス加工を行うなど、接着以前の工程を高精度に行って
いた。
ｄが所定高さになるように、前記ヘッドチップ３、４の
厚みやギャップ位置を高精度に制御しながらチップスラ
イス加工を行うなど、接着以前の工程を高精度に行って
いた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述した磁気ヘッド１
００で再生するときは、磁気テープ上の記録トラックを
正確にトレースしなければならない。つまり図４におい
て、磁気ヘッド１００のヘッドチップ３とヘッドチップ
４とが、記録トラック１５上と記録トラック１６上をそ
れぞれ正確にオントラックして走査しなければならな
い。駆動部１は、ヘッド走査中にヘッドチップ３と４が
常に記録トラック１５と１６上にオントラックするよう
に可動部を相対高さｄの方向、あるいは別の言い方をす
るとヘッド走査方向と垂直な方向、さらに別の言い方を
すると記録トラックの幅方向、に駆動させている。しか
しながら、ヘッドチップ３と４は記録トラック幅方向へ
一括して駆動されるために、相対高さｄと記録トラック
１５と１６のピッチが異なる場合は、両チップが記録ト
ラックを正確にトレースすることはできない。ゆえに前
記相対高さｄは、記録トラックピッチによって規定され
る所定の値に高精度に調整されなければならない。例え
ば、ヘッドチップ３が隣接トラック１６を再生しないよ
うにするためには、少なくとも、記録トラック１５と１
６の間隙（ガードバンド）以下の精度で相対高さｄを所
定の値に調整する必要がある。」に補正します。
００で再生するときは、磁気テープ上の記録トラックを
正確にトレースしなければならない。つまり図４におい
て、磁気ヘッド１００のヘッドチップ３とヘッドチップ
４とが、記録トラック１５上と記録トラック１６上をそ
れぞれ正確にオントラックして走査しなければならな
い。駆動部１は、ヘッド走査中にヘッドチップ３と４が
常に記録トラック１５と１６上にオントラックするよう
に可動部を相対高さｄの方向、あるいは別の言い方をす
るとヘッド走査方向と垂直な方向、さらに別の言い方を
すると記録トラックの幅方向、に駆動させている。しか
しながら、ヘッドチップ３と４は記録トラック幅方向へ
一括して駆動されるために、相対高さｄと記録トラック
１５と１６のピッチが異なる場合は、両チップが記録ト
ラックを正確にトレースすることはできない。ゆえに前
記相対高さｄは、記録トラックピッチによって規定され
る所定の値に高精度に調整されなければならない。例え
ば、ヘッドチップ３が隣接トラック１６を再生しないよ
うにするためには、少なくとも、記録トラック１５と１
６の間隙（ガードバンド）以下の精度で相対高さｄを所
定の値に調整する必要がある。」に補正します。
【０００７】例えば現在実用化されているＭ２−ＶＴＲ
の記録フォーマットでは、輝度信号用トラック１６の幅
Ｍは４４μｍ、色信号用トラック１５の幅Ｎは３８μ
ｍ、さらにトラック１５のピッチＬは８４．５μｍであ
る。従って、記録トラック１５と１６のガードバンドは
１．２５μｍとなる。
の記録フォーマットでは、輝度信号用トラック１６の幅
Ｍは４４μｍ、色信号用トラック１５の幅Ｎは３８μ
ｍ、さらにトラック１５のピッチＬは８４．５μｍであ
る。従って、記録トラック１５と１６のガードバンドは
１．２５μｍとなる。
【０００８】従って、ヘッドチップ間の相対高さｄの調
整には、１μｍ以下の精度が必要である。
整には、１μｍ以下の精度が必要である。
【０００９】前述したチップスライス加工の精度は、こ
の要求精度にたいして不十分であり、どうしても最終的
な磁気ヘッドの歩留りは低くなってしまっていた。ま
た、チップスライス加工がうまくいっても、ヘッドチッ
プの支持部への接着時に所定高さからずれてしまうこと
があった。
の要求精度にたいして不十分であり、どうしても最終的
な磁気ヘッドの歩留りは低くなってしまっていた。ま
た、チップスライス加工がうまくいっても、ヘッドチッ
プの支持部への接着時に所定高さからずれてしまうこと
があった。
【００１０】この様な低い歩留りは、ＶＴＲ製造におけ
る生産性を著しく低下させてしまうという問題があっ
た。
る生産性を著しく低下させてしまうという問題があっ
た。
【００１１】本発明は、この様な問題を解決し、高精度
にヘッド高さが調整された高い歩留りの磁気ヘッドを提
供することを目的としている。
にヘッド高さが調整された高い歩留りの磁気ヘッドを提
供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも２
個以上の複数のヘッドチップと、前記複数のヘッドチッ
プを支持する支持部とからなる可動部と、 前記可動部
を前記複数のヘッドチップ間の相対高さの方向に駆動す
る機能を有する駆動部とからなる磁気ヘッドであって、
前記可動部の一部である前記支持部にレーザ光を照射し
て前記支持部を塑性変形させることで、前記ヘッドチッ
プ間の相対高さが調整されていることを特徴とする磁気
ヘッドを提供するものである。」に補正します。
個以上の複数のヘッドチップと、前記複数のヘッドチッ
プを支持する支持部とからなる可動部と、 前記可動部
を前記複数のヘッドチップ間の相対高さの方向に駆動す
る機能を有する駆動部とからなる磁気ヘッドであって、
前記可動部の一部である前記支持部にレーザ光を照射し
て前記支持部を塑性変形させることで、前記ヘッドチッ
プ間の相対高さが調整されていることを特徴とする磁気
ヘッドを提供するものである。」に補正します。
【００１３】
【作用】本発明によれば、ヘッドチップが支持部に支持
された後にレーザ光を支持部に照射し、前記支持部を塑
性変形させて前記ヘッドチップの相対高さを調整する構
成なので、ヘッドチップを支持する以前に行うチップス
ライス加工や接着工程に高い精度は要求されない。した
がって、より高い歩留まりの磁気ヘッドを実現できる。
また本発明によれば、相対高さは支持部の塑性変形によ
って保たれるので安定であり、高い信頼性を有する。
された後にレーザ光を支持部に照射し、前記支持部を塑
性変形させて前記ヘッドチップの相対高さを調整する構
成なので、ヘッドチップを支持する以前に行うチップス
ライス加工や接着工程に高い精度は要求されない。した
がって、より高い歩留まりの磁気ヘッドを実現できる。
また本発明によれば、相対高さは支持部の塑性変形によ
って保たれるので安定であり、高い信頼性を有する。
【００１４】
【実施例】本発明による一実施例の磁気ヘッド２００の
斜視図を（図１（ａ）（ｂ））に示す。本実施例では、
ヘッドチップ５，６の支持部２として、真鍮のヘッドベ
ースを用い、ヘッドチップ５の近傍の支持部分にレーザ
ー光を照射して、照射側に前記支持部分を塑性変形させ
ることで２つのチップ間の相対高さが調整されている。
また、駆動部１としては、２枚の圧電素子からなるバイ
モルフピエゾセラミック板を用いた。また、本発明によ
る磁気ヘッド２００の再生時のヘッド走査方向やヘッド
チップ５と６と支持部２からなる可動部の前記駆動部１
による駆動方向は、従来技術で述べた方向と同じであ
る。すなわち、前記可動部の駆動方向は、前記ヘッドチ
ップの相対高さｄの方向と同じ方向であり、ヘッド走査
方向とは垂直な方向である。
斜視図を（図１（ａ）（ｂ））に示す。本実施例では、
ヘッドチップ５，６の支持部２として、真鍮のヘッドベ
ースを用い、ヘッドチップ５の近傍の支持部分にレーザ
ー光を照射して、照射側に前記支持部分を塑性変形させ
ることで２つのチップ間の相対高さが調整されている。
また、駆動部１としては、２枚の圧電素子からなるバイ
モルフピエゾセラミック板を用いた。また、本発明によ
る磁気ヘッド２００の再生時のヘッド走査方向やヘッド
チップ５と６と支持部２からなる可動部の前記駆動部１
による駆動方向は、従来技術で述べた方向と同じであ
る。すなわち、前記可動部の駆動方向は、前記ヘッドチ
ップの相対高さｄの方向と同じ方向であり、ヘッド走査
方向とは垂直な方向である。
【００１５】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法につ
いて（図２）を用いて説明する。まず、特に高精度なチ
ップスライス加工を施すことなく得られた２個のヘッド
チップ５，６を厚み１．０ｍｍの真鍮からなる支持部２
に接着し、それを圧電素子９，１０からなる駆動部１に
さらに接着して磁気ヘッドの構成体を得た。
いて（図２）を用いて説明する。まず、特に高精度なチ
ップスライス加工を施すことなく得られた２個のヘッド
チップ５，６を厚み１．０ｍｍの真鍮からなる支持部２
に接着し、それを圧電素子９，１０からなる駆動部１に
さらに接着して磁気ヘッドの構成体を得た。
【００１６】次に、その駆動部１の基準面３０（後に回
転シリンダーに取り付けられる面）が基準ブロック１７
に接触するように固定し、対物レンズ１３とＴＶカメラ
２３を用いて個々のヘッドチップの相対高さｄ（ギャッ
プ中心間の距離）ｄをモニター２５に写し出して測定し
た。このときの相対高さは１２．３μｍであった。
転シリンダーに取り付けられる面）が基準ブロック１７
に接触するように固定し、対物レンズ１３とＴＶカメラ
２３を用いて個々のヘッドチップの相対高さｄ（ギャッ
プ中心間の距離）ｄをモニター２５に写し出して測定し
た。このときの相対高さは１２．３μｍであった。
【００１７】本実施例では、相対高さｄが３９．０μｍ
になるようにΔｄ＝２６．７μｍの調整を行った。但し
今回は、シリンダー回転に伴ってテープに先に接触する
ヘッドチップが、他方のヘッドチップよりも低くなるよ
うに、ヘッドチップ５の調整を行っている。
になるようにΔｄ＝２６．７μｍの調整を行った。但し
今回は、シリンダー回転に伴ってテープに先に接触する
ヘッドチップが、他方のヘッドチップよりも低くなるよ
うに、ヘッドチップ５の調整を行っている。
【００１８】ヘッド相対高さの調整には、Ｎｄ：ＹＡＧ
パルスレーザー光を用いた。このレーザー光を１パルス
当り１ジュールのパワーで照射すると、１．０ｍｍ厚の
真鍮製の支持部を１パルス当り０．５μｍ照射側に変形
させることが可能であった。
パルスレーザー光を用いた。このレーザー光を１パルス
当り１ジュールのパワーで照射すると、１．０ｍｍ厚の
真鍮製の支持部を１パルス当り０．５μｍ照射側に変形
させることが可能であった。
【００１９】また、その変形量の調整には、溶接変形が
加算性であることを用いて、照射したレーザー光の総パ
ルス数で制御した。
加算性であることを用いて、照射したレーザー光の総パ
ルス数で制御した。
【００２０】具体的には、（図１（ａ）（ｂ））に示す
ように、レーザー光２１を集光用レンズ２０を通してヘ
ッドベース１５のヘッドチップ５の貼り付け部の近傍に
照射した。このときの照射パルス数は、狙いの変形量に
最も近い５３パルス（予想変形量は２６．５μｍ）とし
た。１パルスは９ｍｓｅｃなので、総加工時間は１秒以
内であった。
ように、レーザー光２１を集光用レンズ２０を通してヘ
ッドベース１５のヘッドチップ５の貼り付け部の近傍に
照射した。このときの照射パルス数は、狙いの変形量に
最も近い５３パルス（予想変形量は２６．５μｍ）とし
た。１パルスは９ｍｓｅｃなので、総加工時間は１秒以
内であった。
【００２１】レーザー照射後に、ヘッドチップの相対高
さｄを測定したところ、２６．３μｍであった。結局、
狙いに対するずれ量は０．４μｍであり、必要な調整精
度１μｍ以下を満足していた。
さｄを測定したところ、２６．３μｍであった。結局、
狙いに対するずれ量は０．４μｍであり、必要な調整精
度１μｍ以下を満足していた。
【００２２】また、このレーザー光の照射による高さ調
整の信頼性を評価するため、−４０℃〜８０℃の範囲に
おける１０時間のヒートショック試験を行ったが、高さ
ずれは０．１μｍ以内という結果であった。
整の信頼性を評価するため、−４０℃〜８０℃の範囲に
おける１０時間のヒートショック試験を行ったが、高さ
ずれは０．１μｍ以内という結果であった。
【００２３】なお、本実施例では、駆動部を含む磁気ヘ
ッドの状態で高さ調整を行ったが、可動部を駆動部に接
着する前に、複数のヘッドチップを支持部に接着した可
動部だけの状態で高さ調整を行ってもよい。その場合
は、前記可動部自体を基準ブロックに固定してレーザ光
を支持部に照射して相対高さを調整した後に、その可動
部を駆動部に固定して磁気ヘッドを完成させる。
ッドの状態で高さ調整を行ったが、可動部を駆動部に接
着する前に、複数のヘッドチップを支持部に接着した可
動部だけの状態で高さ調整を行ってもよい。その場合
は、前記可動部自体を基準ブロックに固定してレーザ光
を支持部に照射して相対高さを調整した後に、その可動
部を駆動部に固定して磁気ヘッドを完成させる。
【００２４】また、本発明は、駆動部が必ずしも圧電素
子である必要はなく、複数のヘッドチップを一括して動
かせる機能を有するものでありさえすればよく、その材
質や駆動機構については問わない。また支持部は、真鍮
製のヘッドベースでなくてもよく、駆動部の一部を支持
部として、ヘッドチップを直接駆動部に接着してもよ
い。
子である必要はなく、複数のヘッドチップを一括して動
かせる機能を有するものでありさえすればよく、その材
質や駆動機構については問わない。また支持部は、真鍮
製のヘッドベースでなくてもよく、駆動部の一部を支持
部として、ヘッドチップを直接駆動部に接着してもよ
い。
【００２５】さらに、相対高さ調整に用いるレーザ光
は、支持部を塑性変形させることが可能なものならば何
でもよい。また本発明は、レーザ光の照射条件を限定す
るものでもない。
は、支持部を塑性変形させることが可能なものならば何
でもよい。また本発明は、レーザ光の照射条件を限定す
るものでもない。
【００２６】本実施例では、光エネルギーを用いたレー
ザー光の照射による溶接変形を利用したが、原理的に
は、局所加熱が行える方法ならばなんでもよい。たとえ
ば、電気的エネルギーを用いたアーク溶接や電子ビーム
溶接、超音波エネルギーを用いた超音波溶接、化学的エ
ネルギーを用いたガス溶接などがあげられる。
ザー光の照射による溶接変形を利用したが、原理的に
は、局所加熱が行える方法ならばなんでもよい。たとえ
ば、電気的エネルギーを用いたアーク溶接や電子ビーム
溶接、超音波エネルギーを用いた超音波溶接、化学的エ
ネルギーを用いたガス溶接などがあげられる。
【００２７】
【発明の効果】以上実施例で述べたように、本発明の磁
気ヘッドは、複数のヘッドチップが一つの支持部に支持
された状態で、それらの相対高さがヘッド支持部の塑性
変形によって安定保持される構成であるため、高い信頼
性を有する磁気ヘッドとすることができる。 さらに本発
明の磁気ヘッドの製造方法によれば、複数のヘッドチッ
プを支持部に固定した後にレーザ光を照射して相対高さ
を調整する製造方法であるため、チップの張り付け以前
に行うチップ加工を高精度に行う必要がなく、高い歩留
まりの磁気ヘッドが製造可能となる。その結果、ＶＴＲ
の生産性も大幅に向上する。
気ヘッドは、複数のヘッドチップが一つの支持部に支持
された状態で、それらの相対高さがヘッド支持部の塑性
変形によって安定保持される構成であるため、高い信頼
性を有する磁気ヘッドとすることができる。 さらに本発
明の磁気ヘッドの製造方法によれば、複数のヘッドチッ
プを支持部に固定した後にレーザ光を照射して相対高さ
を調整する製造方法であるため、チップの張り付け以前
に行うチップ加工を高精度に行う必要がなく、高い歩留
まりの磁気ヘッドが製造可能となる。その結果、ＶＴＲ
の生産性も大幅に向上する。
【図１】（ａ）は本発明の磁気ヘッドにおけるヘッドチ
ップの相対高さ調整を説明するための説明図である。 （ｂ）は本発明の磁気ヘッドにおけるヘッドチップの相
対高さ調整を説明するためのヘッドチップの部分拡大図
である。
ップの相対高さ調整を説明するための説明図である。 （ｂ）は本発明の磁気ヘッドにおけるヘッドチップの相
対高さ調整を説明するためのヘッドチップの部分拡大図
である。
【図２】本発明の一実施例の磁気ヘッドの斜視図であ
る。
る。
【図３】（ａ）は従来の磁気ヘッドの構成を説明するた
めの斜視図である。 （ｂ）は従来の磁気ヘッドの構成を説明するための部分
拡大図である。
めの斜視図である。 （ｂ）は従来の磁気ヘッドの構成を説明するための部分
拡大図である。
【図４】テープ上の記録トラックパターンとヘッドチッ
プの関係を説明する説明図である。
プの関係を説明する説明図である。
１ 駆動部 ２ 支持部 ３ ヘッドチップ ５ ヘッドチップ ７ レーザー照射部 １３ 対物レンズ ２０ 集光用レンズ ２１ レーザー光 ３０ 基準面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前川 宜章 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−286111（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−227279（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−303237（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−88873（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも２個以上の複数のヘッドチッ
プと前記複数のヘッドチップを支持する支持部とから成
る可動部と、前記可動部の一端を支持しかつ回転シリン
ダーに固定される駆動部とからなる磁気ヘッドであっ
て、前記駆動部は前記回転シリンダーの回転に伴って前
記複数のヘッドチップが磁気テープ上を走査する際に前
記複数のヘッドチップの相対高さの方向に前記可動部を
駆動させる機能を有し、かつ前記相対高さは前記支持部
にレーザ光を照射して生じる支持部の塑性変形で調整さ
れていることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 少なくとも２個以上の複数のヘッドチッ
プと前記複数のヘッドチップを支持する支持部とからな
る可動部と、前記可動部の一端を支持しかつ回転シリン
ダーに固定される駆動部とからなる請求項１記載の磁気
ヘッドの製造方法であって、前記支持部に前記複数のヘ
ッドチップを支持した後に前記支持部にレーザ光を照射
して前記支持部を塑性変形させて前記複数のヘッドチッ
プの相対高さを調整することを特徴とする磁気ヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076235A JPH07105020B2 (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076235A JPH07105020B2 (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04310615A JPH04310615A (ja) | 1992-11-02 |
| JPH07105020B2 true JPH07105020B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=13599509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3076235A Expired - Fee Related JPH07105020B2 (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105020B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5888873A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-27 | Nec Corp | 磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| JPS63303237A (ja) * | 1987-06-03 | 1988-12-09 | Fujitsu Ltd | レ−ザ光によるばね圧力調整方法 |
| JPH0777063B2 (ja) * | 1988-03-08 | 1995-08-16 | 富士通株式会社 | スプリングアームの成形加工方法 |
| JPH01286111A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Canon Inc | 磁気ヘッド装置 |
-
1991
- 1991-04-09 JP JP3076235A patent/JPH07105020B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04310615A (ja) | 1992-11-02 |
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