JPH0765434A - 磁気記録媒体とその製造方法、磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気テープを用いた磁気記録再生装置におい
て、記録トラックのリニアリティーが悪くとも装置互換
が保たれ、高トラック密度の記録再生が可能な磁気記録
再生装置を提供する。 【構成】 光ビーム18に対して反射の異なる光ガイド部
22と磁気記録部23とが交互且つ平行に主面上に配された
磁気テープ７と、主面に対して磁気記録を行う磁気ヘッ
ド部14と、主面に光ビーム18を照射する機能と反射され
る光ビーム18を受光して信号10に変換して出力する機能
を有する光ヘッド部16と、磁気ヘッド部14と光ヘッド部
16とを一体化してトラック幅方向に同時に可動とするヘ
ッド可動機構部13と、信号10をもとにヘッド可動機構部
13の動作を制御する信号８をヘッド可動機構部13へ出力
するヘッド可動機構制御部２とを備えた構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、少なくともフィルム状
基体と硬質磁性体とからなる磁気記録媒体と、磁気記録
媒体に情報信号を記録再生する磁気記録再生装置と、磁
気記録再生装置で用いられる電磁変換素子からなる磁気
ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】フィルム状基体と硬質磁性体とからなる
磁気記録媒体として従来よく用いられているものには、
オーディオ用磁気テープやビデオ用磁気テープやフロッ
ピーディスク媒体などがある。これらの磁気記録媒体
は、たとえばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）な
どのフィルム状基体上に酸化鉄からなる硬質磁性体を塗
布された構造からなり、最初の記録が行われる（フロッ
ピーディスク媒体ではフォーマッティング作業）以前
は、何の情報も記録されていない無記録状態である。従
来の磁気記録再生装置の記録再生方法を磁気テープを用
いたビデオテープレコーダー（以下ＶＴＲと呼ぶ）を例
に以下に説明する。

【０００３】従来の磁気記録再生装置では、少なくとも
一対の磁気ヘッドが相対角１８０度で搭載された回転シ
リンダーに、磁気テープが斜めに巻き付けられて走行
し、前記回転シリンダーが回転する毎に前記一対の磁気
ヘッドが交互に磁気テープ上を走査し記録することによ
って、磁気テープ上にその幅方向に対して斜めな記録ト
ラックを形成していた。

【０００４】またこの時、複数の記録トラック間の隙間
を無くしてトラック方向の記録密度を高めるために、先
行する磁気ヘッドで書き込まれた記録トラックに対して
後行する磁気ヘッドが部分的に重なるように走査して記
録する、いわゆるガードバンドレス記録を行っていた。

【０００５】したがってこの場合磁気テープ上に残る最
終的な記録トラックは、前記一対の磁気ヘッドのうち先
行するヘッドと後行するヘッドのそれぞれのヘッド走査
軌跡の差であった。

【０００６】しかしながらヘッド走査は、磁気テープの
回転シリンダーへの斜め方向の巻き付け角度とシリンダ
ー回転数と磁気テープの走行速度、さらに回転シリンダ
ー上の磁気ヘッド間の相対高さ等によって決まるので、
その軌跡は前記回転シリンダーの加工や組立精度（例え
ばリードの直線性や軸垂の精度）、回転ムラ、前記磁気
テープの幅変動やウィービングやテープ送り速度の変動
などによって影響されていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の磁
気記録再生装置では、前述した各変動の程度は装置によ
って異なり、その結果、記録と再生を異なる装置で行う
いわゆる装置互換に多大な悪影響を与えていた。装置互
換を確保するためには、前記変動を出来るだけ少なくし
て全ての装置におけるヘッド走査（記録トラック）を直
線に保つ必要があるが、機械的な加工や組立精度の制約
のために実現可能な直線性は数μｍが限界であった。し
たがって、１０μｍ以下のトラックピッチを実現するこ
とは、出力にかなりの余裕のあるヘッド・媒体系を用い
ても困難であった。

【０００８】また前記装置互換を改善する他の方法とし
て、シリンダー回転中に出力を最大に保つようにトラッ
キングを行うことが可能ないわゆる自動トラッキング再
生ヘッドを別に設けて、直線性の良くない記録トラック
を正確に走査する方法も考えられる。しかしながらこの
ような場合でも、記録時の先行ヘッドと後行ヘッドのヘ
ッド走査（ヘッド軌跡）が平行でない場合には、記録さ
れる時点でトラック幅は部分的に狭くなってしまい、部
分的なトラック痩せによる出力低下は避けられないとい
う問題があった。これは、磁気記録再生装置に対して前
記出力低下分のマージン設計を要求することになり、記
録密度向上を阻む重大な問題であった。

【０００９】本発明の目的は、前記加工精度の制約を受
けるヘッド走査の直線性の影響を受けずに平行な記録ト
ラックを形成して装置互換を確保するとともに、前記マ
ージンを必要とせず、磁気ヘッドと磁気記録媒体の性能
を最大限に生かした高密度記録再生が可能な磁気記録再
生装置と、磁気記録媒体およびその製造方法と、磁気ヘ
ッドを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達す
るため、所定の光ビームに対する反射が異なる光ガイド
部と磁気記録部とが交互かつ平行に配されている主面を
有する磁気記録媒体に対して、前記光ビームが前記磁気
記録媒体主面の光ガイド部を走査しながら磁気ヘッドが
磁気記録もしくは再生を行うものである。

【００１１】より具体的には、前記主面に対して磁気記
録を行う磁気ヘッド部と、前記主面に光ビームを照射す
る機能と反射光ビームを受光してその強度等に応じた信
号に変換して出力する機能を有する光ヘッド部とが、ト
ラック幅方向に可動なヘッド可動機構部に略一体化して
固定され、前記ヘッド可動機構部の動作を制御するヘッ
ド可動機構制御部が前記光ヘッド部から入力される前記
信号に基づいて前記主面の光ガイド部に前記光ビームが
常に照射されるように前記ヘッド可動機構部を制御する
ことにより、略一体化された前記磁気ヘッドが前記光ガ
イド部と平行な走査を行いながら磁気記録もしくは再生
を行うものである。

【００１２】

【作用】本発明は、あらかじめ光ガイド部と磁気記録部
が交互かつ平行に設けられた磁気テープに対して、光ヘ
ッド部が前記光ガイド部をトラッキングすることによっ
て前記光ヘッド部と略一体化された磁気ヘッド部が前記
磁気記録部にトラッキングされ、前記磁気記録部に記録
トラックを形成する構成なので、記録時のヘッド軌跡が
非平行であるために生じる部分的な記録トラックの狭小
化は起こり得ず、幅変動の無い平行な記録トラックを形
成できる。

【００１３】したがって本発明の磁気記録再生装置では
従来のマージン設計の必要がなく、従来よりも高いトラ
ック密度の記録再生が可能である。また前述のような高
いトラック密度においても本発明では再生時にも記録時
と同様のトラッキングがなされるので装置互換が可能で
ある。

【００１４】さらにまた前記光ヘッド部のトラッキング
精度は、シリンダーの加工組立精度（軸垂の傾き、リー
ドの直線性）や回転ムラ、磁気テープの幅変動やウィー
ビングやテープ送り速度の変動には影響されないので、
従来精度の機械部品を使用することは可能であり、前記
諸要因を改善せずとも、より高密度の記録再生が実現で
きる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。図１（ａ）は本発明の第１の実施例
による磁気記録再生装置の構成と記録動作を示す図で、
図１（ｂ）は本実施例で用いる磁気テープ７の主面を模
式的に示した図である。

【００１６】まず磁気テープ７について図１（ｂ）を用
いて説明する。磁気テープ７の主面とは、回転シリンダ
ー１と接する面のことである。２０，２２は、特定波長
の光に対する反射率が低い光ガイド部であって、その幅
はＮである。２１，２３は、反射率が十分高い記録膜を
有する磁気記録部であって、その幅はＭである。図１
（ｂ）に示されているように磁気テープ７の主面には、
光ガイド部２０，２２と磁気記録部２１，２３が交互に
且つ平行にテープ幅方向に対して斜めにあらかじめ形成
されている。その繰り返しピッチはＭ＋Ｎであり、以下
これをトラックピッチＴｐ（Ｔｐ＝Ｍ＋Ｎ）と呼ぶ。

【００１７】次に本実施例の装置構成を図１（ａ）を用
いて説明する。７は図１（ｂ）の主面を有する磁気テー
プであって、その主面が回転シリンダー１の外周面に接
するように回転シリンダー１に巻き付けてある。１４、
１５は通常の誘導型の磁気ヘッド部で、磁気ヘッド部１
４、１５はギャップを有するリング状の軟磁性体にコイ
ルを巻き付けたものであって、磁気テープ７に対して記
録再生を行う。また、磁気ヘッド部１４、１５のトラッ
ク幅Ｔｗはともに前記磁気記録部の幅Ｍより大でＴｐよ
り小とする（すなわちＭ＜Ｔｗ＜Ｔｐ）。

【００１８】１６と１７は互いに同一の構成からなる光
ヘッド部で、光ビーム１８を磁気テープ７の主面に対し
て前記光ガイド部の幅Ｎより大きい直径のスポット形状
で照射して、該主面で反射された光強度に比例した電圧
の信号１０を出力する機能を有している。１２と１３は
互いに同一の構成からなるヘッド可動機構部で、たとえ
ばボイスコイルモーター（ＶＣＭ）を応用したヘッドア
クチュエーターとヘッド支持体などから構成されてお
り、前記ヘッド支持体には磁気ヘッド部１４と光ヘッド
部１６とが磁気ヘッド部１４のトラック幅中心と光ヘッ
ド部１６からの光ビーム１８の中心とが前記トラック幅
方向に０．５Ｔｐだけオフセットされた状態で略一体支
持され、入力されるフィードバック制御信号８に従って
両者を同時にトラック幅方向に可動する機能を有してい
る。前記光ヘッド部と前記磁気ヘッド部の略一体化は、
従来の方法、たとえば紫外線硬化樹脂によって相対高さ
の調整と接着固定を同時に行う方法や、両者を接着した
後に相対高さをレーザ照射によって行う方法（特開平４
−３１０６１５号公報）などで行う。

【００１９】２はヘッド可動機構制御部であり、光ヘッ
ド部１６もしくは１７からの前記信号１０もしくは１１
の電圧に従って、フィードバック制御信号８もしくは９
をヘッド可動機構部１３もしくは１２へ出力し、その動
作を制御するものである。前述した構成要素は回転シリ
ンダー１に固定されて回転シリンダー１とともに矢印Ａ
方向に回転し、磁気テープ７は回転シリンダー１の１／
２回転に対してＴｐ分だけ矢印Ｂ方向に走行する。シリ
ンダーの回転数やテープ走行速度の制御は従来法をその
まま用いた。

【００２０】次に、記録動作について説明する。まず、
先行する磁気ヘッド部１４が光ヘッド部１６とともに磁
気テープ７の主面に接触する。この時、光ヘッド部１６
からは、磁気テープ７の主面の一部で反射された光強度
に比例した電圧の信号１０がヘッド可動機構制御部２に
出力される。ヘッド可動機構制御部２では、信号１０の
電圧が最小値になるようにフィードバック制御信号８を
ヘッド可動機構部１３へ出力している。このフィードバ
ック制御信号８に従ってヘッド可動機構部１３は、光ヘ
ッド部１６をトラック幅方向に上下動させて信号１０が
最小電圧を示す状態、即ち光ヘッド部１６が光ガイド部
２０をトラッキングしている状態を保たせる。

【００２１】この時、磁気ヘッド部１４のトラック中心
は、光ガイド部２０と磁気記録部２１の中心間距離
（０．５Ｔｐ）と等しいオフセット量（０．５Ｔｐ）で
光ヘッド部１６と略一体化されているので、磁気ヘッド
部１４は磁気記録部２１にトラッキングされる。つま
り、光ヘッド部１６を光ガイド部２０上に常にトラッキ
ングすることによって、同時に磁気ヘッド部１４を磁気
記録部２１上に常にトラッキングさせて情報を記録して
いるのである。

【００２２】後行する磁気ヘッド部１５の場合も同様
に、ただし今度は光ヘッド部１７が光ガイド部２２上に
来るようにヘッド可動機構制御部２がヘッド可動機構部
１２を制御して、その結果、磁気ヘッド部１５が磁気記
録部２３上にトラッキングされて情報を記録している。
このように記録時には、磁気テープ７にあらかじめ設け
られた反射率の低い部分での反射光強度をもとにしたト
ラッキングを行って磁気記録部に記録トラックを形成す
るので、先行する磁気ヘッド部１４と後行する磁気ヘッ
ド部１５の軌跡が重なって記録トラックが部分的に幅狭
くなることは有り得ない。また再生時も前記記録時と同
様の動作を行い、磁気ヘッド部は磁気記録部に正確にト
ラッキングされて記録された信号を再生する。

【００２３】図２を用いて本実施例の光ヘッド部の構成
と動作をさらに詳しく説明する。図２（ａ）は、記録時
において後行する磁気ヘッド部１５が光ヘッド部１７と
ともに磁気テープ７上を走査している状態を模式的に示
したものである。光ヘッド部１７は、レーザ発振源２６
とハーフミラー２９と対物レンズ２７と受光素子２８と
からなり、レーザ発振源２６から発せられる光ビーム２
５は対物レンズ２７で集光されて磁気テープ７の主面に
スポット形状３０として照射されている。磁気テープ７
で反射された光ビーム２５はハーフミラー２９でさらに
反射されて受光素子２８に導かれる。反射光は、受光素
子２８で光電変換されて光強度に比例した電圧の信号１
１が図１に示したヘッド可動機構制御部２へ出力され
る。

【００２４】信号１１の出力電圧をトラック幅方向に対
してプロットしたのが図２（ｂ）である。図２（ｂ）で
出力電圧が落ち込んで低くなっているのは、光ビーム２
５が磁気テープ上の光ガイド部２２に乱反射されて反射
光の強度が小さくなっているためである。この信号１１
の電圧が最小値を示すとき、光ヘッド部は光ガイド部２
２上にオントラックされており、略一体化されている磁
気ヘッド部１５は磁気記録部２１にオントラックされて
いる。図２（ｃ）はヘッド可動機構制御部２でこの信号
１１の最小値を精度良く検出するために信号１１を２次
微分したものであり、ヘッド可動機構制御部２では、そ
のピーク値を保つようにヘッド可動機構部を制御してい
る。

【００２５】本実施例で用いた光ガイド部２２を有する
磁気テープ７の構造について、以下図３（ａ）で説明す
る。図３（ａ）は、図１（ｂ）の磁気テープ７のトラッ
ク幅方向の断面模式図である。

【００２６】図３（ａ）において、２１は磁気記録部
で、磁気記録部２１は凸形状をしており、ベースフィル
ム３４と記録膜３３と反射率を高めるための反射膜３２
と保護膜３１とからなっている。２２は光ガイド部で、
光ガイド部２２は凹形状をしており、記録膜３３と反射
膜３２を除かれたベースフィルム３４と保護膜３１とか
らなる。本実施例では、ベースフィルム３４は厚み７μ
ｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で、記録膜
３３は厚み０．１２μｍのＣｏＮｉＣｒ磁性薄膜で、反
射膜３２は厚み０．０１μｍのＡｌ膜で、保護膜３１は
厚み０．０１μｍのダイヤモンド状カーボン膜である。

【００２７】図３（ａ）の構造の磁気テープは、次のよ
うにして作成される。まずベースフィルム３４上に記録
膜３３と反射膜３２を所定の厚みで形成し、図３（ａ）
左側に示したように、加工用レーザ３００を比較的高い
ピークパワーでテープ幅方向の所定方向に走査させなが
ら照射して、照射部を昇華あるいはスパッタして反射膜
３２と記録膜３３を除去し、最後に保護膜３１を形成す
る。

【００２８】この形成方法では光ガイド部２２の幅Ｎは
加工用レーザ３００のスポット径に比例する。光ガイド
部２２の幅Ｎはガードバンドになるので出来るだけ狭い
ほうが好ましい。一般にスポット径はレーザ波長の２〜
３倍が最小なので、スポット径が小さくなるように比較
的波長の短いレーザを選ぶほうがよい。

【００２９】本実施例では、エキシマレーザ（ＡｒＦレ
ーザ：波長約０．１９μｍ）を加工用レーザ３００とし
て用い、磁気テープ７の主面に対して斜め方向に幅いっ
ぱいの照射をピッチ４．０μｍで行った。その結果、本
実施例における光ガイド部２２の幅Ｎは約０．５μｍと
なり、磁気記録部の幅Ｍは約３．５μｍであった。

【００３０】以上述べてきたように本実施例では、あら
かじめ光ガイド部と磁気記録部が交互かつ平行に設けら
れた磁気テープに対して、光ヘッド部が前記光ガイド部
をトラッキングすることによって前記光ヘッド部と略一
体化された磁気ヘッド部が前記磁気記録部にトラッキン
グされ、前記磁気記録部に記録トラックを形成する構成
なので、記録時のヘッド軌跡が非平行であるために生じ
る部分的な記録トラックの狭小化は起こり得ず、幅変動
の無い平行な記録トラックを形成できる。したがって本
実施例の磁気記録再生装置では従来のマージン設計の必
要がなく、従来よりも高いトラック密度の記録再生が可
能である。

【００３１】また前述のような高いトラック密度におい
ても本実施例では再生時にも記録時と同様のトラッキン
グがなされるので装置互換が可能である。さらにまた前
記光ヘッド部のトラッキング精度は、シリンダーの加工
組立精度（軸垂の傾き、リードの直線性）や回転ムラ、
磁気テープの幅変動やウィービングやテープ送り速度の
変動には影響されないので、本実施例に従来精度の機械
部品を使用することは可能であり、前記諸要因を改善せ
ずとも、より高密度の記録再生が実現できる。

【００３２】さらにまた本実施例では同一の磁気ヘッド
部で記録再生を行う構成なので、自動トラッキング再生
ヘッドを別個に設ける従来の装置に比較して、磁気ヘッ
ド部が少なく構成できる。

【００３３】なお、本実施例では、ヘッド可動機構部と
してＶＣＭを使ったヘッドアクチュエーターを用いた
が、他のオートトラッキングヘッド用として良く知られ
ている圧電材料をヘッド可動機構部に用いても良い。ま
た磁気ヘッド部としては、再生に磁気抵抗効果などを用
いる複合型ヘッドであっても良い。

【００３４】さらに、本実施例で用いる事が可能な磁気
テープとしては、図３（ｂ）のほか図３（ｃ）、
（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）や（ｇ）に示す構造の磁気テー
プがある。図３（ｂ）に示した磁気テープは、前述した
加工用レーザ３００のピークパワーを低くして反射膜３
２だけを除去した場合である。図３（ｃ）は、記録膜３
３の反射率が十分に高い場合で、反射膜３２を設けず、
比較的小さいピークパワーで加工レーザ３００を照射し
て記録膜３３の一部だけに凹部を設けて、反射率の低い
光ガイド部２２を形成した場合である。また図３（ｄ）
に示すように、ベースフィルム３４にあらかじめ凹部３
８を設けておいて、その上に記録膜３３や保護膜３１を
形成しても良い。

【００３５】ここでは、光ガイド部２１を形成するため
に加工用レーザを用いたが、高エネルギービームであり
さえすれば同様の光ガイド部を形成することが可能であ
る。高エネルギービームとしては、例えばイオンビーム
や電子ビームやＸ線などがある。さらにまた本実施例で
用いた磁気テープは、磁気記録部での反射率が高く光ガ
イド部では低い反射率を有していたが、当然その逆でも
良い。その場合は例えば図３（ｂ）の反射膜３２を磁気
記録部２１に設ける代わりに図３（ｅ）に示したように
光ガイド部２２に形成すれば良い。

【００３６】一方磁気記録部と反射率の異なる光ガイド
部として反射膜や凹凸形状を利用するのではなく、特定
波長の光を吸収する有色な薄膜を用いる方法がある。そ
の場合は図３（ｅ）の磁気記録部２１にある反射膜３２
を、前記有色な薄膜で形成すれば良い。有色な薄膜とし
てフォトクロミック材料を用いれば、図３（ｆ）に示す
ように、主面に凹凸がなく平坦で且つ反射率の異なる光
ガイド部２２を有する磁気テープを得ることが出来る。
具体的には、磁気テープ主面の全面にフォトクロミック
材料３９を形成した後に所定部位２２を有色化して（フ
ォトクロミック現象を引き起こす波長の光を照射するこ
とで有色化する）特定波長を吸収する部分３４０を得る
ことができる。

【００３７】また、本実施例では、磁気テープ主面上に
反射率の異なる部分を設けて反射光強度を利用したトラ
ッキングを行っているが、反射率の違いを利用するので
はなく、反射光の偏向角を検出しても良い。例えば図３
（ｅ）に示した反射膜３２として磁気光学効果を有する
膜、例えばＭｎＢｉ膜などを形成してあらかじめ所定方
向へ直流磁化しておいて、図２（ａ）に示した光ヘッド
部１７の受光素子２８の手前に偏向板を新たに設けて反
射光の偏光角の変化にともなう受光量変化をもとにトラ
ッキングを行ってもよい。さらに図３（ｆ）の３９を光
磁気膜として、３４０を直流磁化して反射光が偏向する
光ガイド部２２を形成しても良い。

【００３８】図３（ｇ）は磁気テープ主面を示す図であ
って、図３（ａ）〜（ｆ）に示したいずれかの断面構造
を有する光ガイド部２２が、図１（ｂ）の様に磁気テー
プ主面の幅方向に対して斜めに連続的ではなく離散的に
配置されている場合である。この場合、光ヘッド部から
出力される信号は離散的になるが、トラッキングが可能
な程度の周期以内で光ガイド部２２を形成すれば良い。

【００３９】このような離散的な光ガイド部は、特にそ
れが凹凸形状をしている場合にテープ巻取り時の不要な
形状転写が起こりにくくなるメリットがあるし、さらに
形成時に照射する加工用レーザ３００をパルス化してエ
ネルギーを高めたり、Ｑｓｗ加工用レーザの集光レンズ
の移動スピードすなわち形成スピードを早めることが可
能となるメリットがある。

【００４０】次に本発明の第２の実施例を、図４を用い
て説明する。本実施例の磁気記録再生装置は、第１の実
施例の磁気ヘッド部と磁気テープを除いて全て同一の構
成からなるものである。図４に示したように、本実施例
では１８０度配置されたヘッド可動機構部４１、４４の
それぞれに２個の磁気ヘッド部と１つの光ヘッド部を略
一体化して固定してあり、全体で４個の磁気ヘッド部を
構成している。

【００４１】略一体化の構成としては、例えばヘッド可
動機構部４１において、磁気ヘッド部４２のトラック中
心と、磁気ヘッド部４３のトラック中心と、光ヘッド部
１６からの光ビーム１８の中心とは互いにトラック幅方
向に０．５Ｔｐづつオフセットされた状態で固定されて
いる。本実施例では、第１の実施例と同様な方法、すな
わち光ヘッド部１６からの光ビーム１８の反射光強度に
比例した出力信号４５の電圧に応じたフィードバック制
御信号４８によって光ヘッド部１６がトラッキングされ
ることのよって、磁気ヘッド部４２と磁気ヘッド部４３
が同時に磁気記録部にトラッキングされて記録する。

【００４２】本実施例は２個以上の磁気ヘッド部を上記
構成にて用いることにより、１個の光ガイド部で２個の
磁気ヘッド部をトラッキングできるので光ヘッド部は第
１の実施例のように磁気ヘッド部と同数配する必要がな
く磁気ヘッド部の数の半分でよい。また同様に、磁気テ
ープ上に設ける光ガイド部も記録トラックと同数配する
必要がなく比較的少なくて済むので磁気テープの作成が
容易になる。

【００４３】なお、本実施例では、光ヘッド部１個と磁
気ヘッド部２個を略一体化して同時にトラッキングさせ
ているが、磁気ヘッド部の数は２個以上であっても同様
の効果が得られ、その効果自体は略一体化させる磁気ヘ
ッド部の数に比例して増大する。

【００４４】次に本発明の第３の実施例を図５を用いて
説明する。図５は、本実施例の磁気記録再生装置の磁気
ヘッド部と光ヘッド部とが略一体化された構造を示した
図であり、その他の部分は第２の実施例と同一の構成か
らなる。

【００４５】５１はＡｌＴｉＣ等の非磁性基板、５２は
アルミナ膜等の非磁性膜で、５５の磁性薄膜と５６の薄
膜コイルと５３の磁気的ギャップからなる磁気ヘッド部
と、５７のＬｉＮｂＯ３等からなる薄膜状の光導波路と
５８のハーフミラーと５９の半導体レーザ源と６０の受
光素子からなる光ヘッド部とが、成膜プロセスとホトリ
ソグラフィー技術による加工を経て同一基板上に一体形
成されている。

【００４６】以上のように本実施例によれば、第１、第
２の実施例と同様の効果が得られるだけでなく、光ヘッ
ド部と磁気ヘッド部の略一体形成が高精度な加工が可能
なホトリソグラフィー技術によって成されるので、それ
らのオフセット量がより高精度に形成され、Ｔｐをより
小さくして、さらに記録密度を高めることが可能であ
る。また、光ヘッド部の構造として光導波路を構成して
いるので光ビームを磁気テープ主面とほぼ接する位置ま
で導くことが出来るので、対物レンズによる集光をせず
とも十分小さいビーム径の照射が可能となり、光ヘッド
部の構成が簡素化される。

【００４７】なお、薄膜プロセスとして一体形成される
光ヘッド部は、光導波路だけを磁気ヘッド部と同時形成
し、その後に別個に形成されたレーザ源と受光素子と一
体化する場合でも上述の効果が得られるのは言うまでも
ない。また本実施例では、１個の光ヘッド部と略一体化
させる磁気ヘッド部の数は２個であったが、１個以上で
ありさえすれば、本実施例の前述した効果は得られる。

【００４８】

【発明の効果】以上のように本発明は、あらかじめ光ガ
イド部と磁気記録部が交互かつ平行に設けられた磁気テ
ープに対して、光ヘッド部が前記光ガイド部をトラッキ
ングすることによって前記光ヘッド部と略一体化された
磁気ヘッド部が前記磁気記録部にトラッキングされ、前
記磁気記録部に記録トラックを形成する構成なので、記
録時のヘッド軌跡が非平行であるために生じる部分的な
記録トラックの狭小化は起こり得ず、幅変動の無い平行
な記録トラックを形成できる。したがって本発明の磁気
記録再生装置では、従来のマージン設計の必要がなく、
従来よりも高いトラック密度の記録再生が可能である。

【００４９】また前述のような高いトラック密度におい
ても本発明では再生時にも記録時と同様のトラッキング
がなされるので装置互換が可能である。さらにまた前記
光ヘッド部のトラッキング精度は、シリンダーの加工組
立精度（軸垂の傾き、リードの直線性）や回転ムラ、磁
気テープの幅変動やウィービングやテープ送り速度の変
動にはほとんど影響されないので、従来精度の機械部品
を使用することは可能であり、前記諸要因を改善せずと
も、より高密度の記録再生が実現できる。

【００５０】さらに本発明は、２個以上の磁気ヘッド部
を１個の光ヘッド部と略一体化した構成によって、磁気
テープ上の１つの光ガイド部で２個の磁気ヘッド部をト
ラッキングできるので、光ヘッド部は磁気ヘッド部の数
の半分でよく、磁気テープ上に設ける光ガイド部は少な
くて済み、磁気テープの作成が容易になる。

【００５１】さらにまた本発明では、光ヘッド部と磁気
ヘッド部の略一体化が高精度な加工が可能なホトリソグ
ラフィー技術によって成すことができるので、それらの
オフセット量がより高精度に形成され、Ｔｐをより小さ
くしてさらに記録密度を高めることが可能である。

【００５２】また、光ヘッド部の構造として光導波路を
構成しているので光ビームを磁気テープ主面とほぼ接す
る位置まで導くことが出来るので、対物レンズを不要と
し光ヘッド部の構成が簡素化される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の構成及び動作と磁気記
録媒体の主面を説明する模式図

【図２】本発明の第１の実施例における光ヘッド部の構
成とトラッキング動作をより詳しく説明するための模式
図

【図３】本発明の磁気記録媒体の断面および他の主面図

【図４】本発明の第２の実施例の構成図

【図５】本発明の第３の実施例における略一体化された
光ヘッド部と磁気ヘッド部の斜視図

【符号の説明】

１ 回転シリンダー ２ ヘッド可動機構制御部 ７ 磁気テープ １２、１３ ヘッド可動機構部 １４、１５ 磁気ヘッド部 １６、１７ 光ヘッド部 ２１、２３ 磁気記録部 ２０、２２ 光ガイド部

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくともフィルム状基体と硬質磁性体と
   からなる磁気記録媒体であって、その主面に所定の光ビ
   ームに対して反射の異なる光ガイド部と磁気記録部とが
   交互にかつ平行に配されていることを特徴とする磁気記
   録媒体。
2. 【請求項２】光ガイド部もしくは磁気記録部の、いずれ
   か一方が凹形状もしくは凸形状をなしていることを特徴
   とする請求項１記載の磁気記録媒体。
3. 【請求項３】光ガイド部もしくは磁気記録部の、いずれ
   か一方に所定の光ビームに対して高い反射率を示す反射
   膜が配されていることを特徴とする請求項１記載の磁気
   記録媒体。
4. 【請求項４】光ガイド部もしくは磁気記録部の、少なく
   ともいずれか一方に、所定の光ビームに対して高い吸収
   率を示す有色な光吸収膜が配されていることを特徴とす
   る請求項１記載の磁気記録媒体。
5. 【請求項５】光ガイド部に直流磁化された磁気光学効果
   を有する光磁気記録膜が配されていることを特徴とする
   請求項１記載の磁気記録媒体。
6. 【請求項６】光ガイド部が互いに平行な略直線上に連続
   的に形成されていることを特徴とする請求項１から５の
   いずれかに記載の磁気記録媒体。
7. 【請求項７】光ガイド部が互いに平行な略直線上に離散
   的に形成されていることを特徴とする請求項１から５の
   いずれかに記載の磁気記録媒体。
8. 【請求項８】硬質磁性体の一部もしくは全部を高エネル
   ギービームを照射して昇華あるいはスパッタ除去して凹
   形状の光ガイド部を主面に得ることを特徴とした磁気記
   録媒体の製造方法。
9. 【請求項９】フィルム状基体に凹凸形状を形成した後に
   硬質磁性体を形成することによって主面に前記凹凸形状
   と略同一形状の凹凸形状を転写して、いずれかが凹形状
   もしくは凸形状を有する光ガイド部と磁気記録部とを主
   面に得ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
10. 【請求項１０】フィルム状基体上に硬質磁性体を形成
    し、さらに前記硬質磁性体上にフォトクロミック材料か
    らなる薄膜を主面に凹凸形状を有しない様に均一な厚み
    で形成した後に、前記フォトクロミック材料が有色化も
    しくは無色化する所定波長の光を照射して部分的な有色
    化もしくは無色化を行って光ガイド部を主面に得ること
    を特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
11. 【請求項１１】フィルム状基体上に硬質磁性体を形成
    し、さらに前記硬質磁性体上に磁気光学効果を有する光
    磁気膜を形成し、前記光磁気膜を直流磁化して光ガイド
    部を主面に得ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方
    法。
12. 【請求項１２】所定の光ビームに対する反射が異なる光
    ガイド部と磁気記録部とが交互にかつ平行に配された主
    面を有する磁気記録媒体に対して、前記光ビームが前記
    光ガイド部を走査しながら磁気記録を行うことを特徴と
    する磁気記録再生装置。
13. 【請求項１３】磁気記録媒体の主面に対して磁気記録を
    行う磁気ヘッド部と、前記主面に光ビームを照射する機
    能と反射される光ビームを受光して第１の信号に変換し
    て出力する機能を有する光ヘッド部と、前記磁気ヘッド
    部と前記光ヘッド部とを略一体化してトラック幅方向に
    同時に可動とするヘッド可動機構部と、前記光ヘッド部
    から入力される前記第１の信号をもとに前記ヘッド可動
    機構部の動作を制御する第２の信号を前記ヘッド可動機
    構部へ出力するヘッド可動機構制御部とから構成され、
    前記磁気ヘッド部が前記主面に対して記録を行う際に、
    前記主面の前記光ガイド部に前記光ビームが常に照射さ
    れるように前記ヘッド可動機構制御部が前記ヘッド可動
    機構部を制御することを特徴とする請求項１２記載の磁
    気記録再生装置。
14. 【請求項１４】少なくとも薄膜状光導波路を有する光ヘ
    ッド部と、少なくとも磁性薄膜コアおよび導体薄膜コイ
    ルとからなる磁気ヘッド部とが、薄膜加工技術によって
    同一基板上に略一体化形成されていることを特徴とする
    磁気ヘッド。