JPH07104298B2 - Ｘ線分光分析におけるデータ処理方法 - Google Patents
Ｘ線分光分析におけるデータ処理方法Info
- Publication number
- JPH07104298B2 JPH07104298B2 JP63148586A JP14858688A JPH07104298B2 JP H07104298 B2 JPH07104298 B2 JP H07104298B2 JP 63148586 A JP63148586 A JP 63148586A JP 14858688 A JP14858688 A JP 14858688A JP H07104298 B2 JPH07104298 B2 JP H07104298B2
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- Japan
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- peak
- ray
- wavelength
- data
- memory
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はＸ線分光分析における定性分析のためのデータ
処理方法に関する。
処理方法に関する。
（従来の技術） 試料を電子線で励起した場合、試料を構成している各元
素からは夫々多種の特性Ｘ線が放射される。そのためＸ
線分光装置で試料のＸ線スペクトルを測定すると多数の
ピークが現れてきわめて複雑な様相を呈する。上述した
ように各元素の特性Ｘ線のピークは一つでない上、異な
る元素の特性Ｘ線のピークが互いに近接して現れる場合
が多いので、Ｘ線スペクトルの各ピークを種々な元素に
対応させて定性分析を行う際、一つのピークだけで対応
元素を決めると誤判定となる可能性が大であり、Ｘ線ス
ペクトルデータから自動的に定性分析の結果を得る方法
は信頼性が乏しい。このため従来は分析する者がＸ線ス
ペクトルの全体を見ながら経験的に元素同定を行ってお
り、Ｘ線分光法による定性分析は熟練を要する作業であ
った。
素からは夫々多種の特性Ｘ線が放射される。そのためＸ
線分光装置で試料のＸ線スペクトルを測定すると多数の
ピークが現れてきわめて複雑な様相を呈する。上述した
ように各元素の特性Ｘ線のピークは一つでない上、異な
る元素の特性Ｘ線のピークが互いに近接して現れる場合
が多いので、Ｘ線スペクトルの各ピークを種々な元素に
対応させて定性分析を行う際、一つのピークだけで対応
元素を決めると誤判定となる可能性が大であり、Ｘ線ス
ペクトルデータから自動的に定性分析の結果を得る方法
は信頼性が乏しい。このため従来は分析する者がＸ線ス
ペクトルの全体を見ながら経験的に元素同定を行ってお
り、Ｘ線分光法による定性分析は熟練を要する作業であ
った。
（発明が解決しようとする課題） 本発明はＸ線分光装置によって得られたＸ線スペクトル
データから自動的に信頼性の高い定性分析結果を得るこ
とができるデータ処理方法を提供しようとするものであ
る。
データから自動的に信頼性の高い定性分析結果を得るこ
とができるデータ処理方法を提供しようとするものであ
る。
（課題を解決するための手段） 多種の元素について、一番強い特性Ｘ線ピークの波長と
次に強い特性Ｘ線ピークの波長を記載した第１の表と、
上記多種の元素について全特性Ｘ線ピークの波長を記載
した第２の表を用意し、一つの試料について収集された
Ｘ線スペクトルデータから全ピークニついての強度と波
長との表（試料ピーク波長表）を作成し、この表の中の
一番強いＸ線ピークについて上記第１の表から一つの対
応元素を複数種索出し、索出された元素の２番目に強い
ピーク波長を上記第１の表から求めて、上記試料ピーク
波長表内に同ピークに相当するピークがあるか否か調べ
て、あれば上記索出された元素を以って試料成分元素と
決定し、上記第２の表によって同元素の全てのピークの
データを求めて上記試料のピーク波長表から上記元素の
全てのピークのデータを削除すると云う動作を試料ピー
ク波長表の残存ピークデータに対して繰返し行って試料
構成元素を決定するようにした。
次に強い特性Ｘ線ピークの波長を記載した第１の表と、
上記多種の元素について全特性Ｘ線ピークの波長を記載
した第２の表を用意し、一つの試料について収集された
Ｘ線スペクトルデータから全ピークニついての強度と波
長との表（試料ピーク波長表）を作成し、この表の中の
一番強いＸ線ピークについて上記第１の表から一つの対
応元素を複数種索出し、索出された元素の２番目に強い
ピーク波長を上記第１の表から求めて、上記試料ピーク
波長表内に同ピークに相当するピークがあるか否か調べ
て、あれば上記索出された元素を以って試料成分元素と
決定し、上記第２の表によって同元素の全てのピークの
データを求めて上記試料のピーク波長表から上記元素の
全てのピークのデータを削除すると云う動作を試料ピー
ク波長表の残存ピークデータに対して繰返し行って試料
構成元素を決定するようにした。
（作用） 上述した手順によると、試料成分元素の決定はその元素
の一番強い特性Ｘ線ピークと次に強い特性Ｘ線ピークと
の両方を確認して行うことになるので、二種の元素が一
番強い特性Ｘ線ピークと次に強いＸ線ピークの波長が共
に夫々互いに近接していると云うことは殆んどないから
元素決定の確度は著しく向上する。測定データから一番
強いピークおよびその次に強いピークを索出すると云う
動作は自動化が容易であり、一つの成分元素が決定され
ると測定データからその元素に関するピークデータを削
除するので、残存ピークデータから一番強いピーク、次
に強いピークを検索して元素を決定すると云う動作を遂
次進めて行くと云う動作の自動化も容易である。特にＸ
線スペクルから元素を決めるのに初めに複数の候補元素
を索出し、２番目のピークが有るか否かを見て一つの元
素を決めるので、候補元素を一つだけ考えて駄目なら別
の候補を考えると云うやり方より自動動作として単純な
ものとなる。
の一番強い特性Ｘ線ピークと次に強い特性Ｘ線ピークと
の両方を確認して行うことになるので、二種の元素が一
番強い特性Ｘ線ピークと次に強いＸ線ピークの波長が共
に夫々互いに近接していると云うことは殆んどないから
元素決定の確度は著しく向上する。測定データから一番
強いピークおよびその次に強いピークを索出すると云う
動作は自動化が容易であり、一つの成分元素が決定され
ると測定データからその元素に関するピークデータを削
除するので、残存ピークデータから一番強いピーク、次
に強いピークを検索して元素を決定すると云う動作を遂
次進めて行くと云う動作の自動化も容易である。特にＸ
線スペクルから元素を決めるのに初めに複数の候補元素
を索出し、２番目のピークが有るか否かを見て一つの元
素を決めるので、候補元素を一つだけ考えて駄目なら別
の候補を考えると云うやり方より自動動作として単純な
ものとなる。
（実施例） 第１図は本発明方法を実施するＸ線分光分析装置の一例
を示す。XsはＸ線分光装置で具体的にEPMAである。M1は
第１メモリで後述する第１の表が記憶せしめられてい
る。M2は第２メモリで後述する第２の表が記憶せしめら
れている。MsはＸ線分光装置Xsの出力を波長値を共に記
憶せしめられる測定データメモリ、M3は後述する試料ピ
ーク波長表を記憶せしめる第３メモリ、M4は定数分析結
果を格納する第４メモリで、Ｄは表示装置、CPUはデー
タ処理を行う演算制御装置である。
を示す。XsはＸ線分光装置で具体的にEPMAである。M1は
第１メモリで後述する第１の表が記憶せしめられてい
る。M2は第２メモリで後述する第２の表が記憶せしめら
れている。MsはＸ線分光装置Xsの出力を波長値を共に記
憶せしめられる測定データメモリ、M3は後述する試料ピ
ーク波長表を記憶せしめる第３メモリ、M4は定数分析結
果を格納する第４メモリで、Ｄは表示装置、CPUはデー
タ処理を行う演算制御装置である。
第２図は第１メモリM1に格納される第１の表の構成に示
す。この表にはＸ線分光装置における測定波長範囲に現
れる全元素の特性Ｘ線ピークのうち、各元素A,B,…につ
いて一番強い特性Ｘ線ピークの波長と次に強い特性Ｘ線
ピークの波長を各元素に対応させて記載してある。第３
図は第２メモリM2に格納される第２の表の構成を示す。
この表には第１の表に記載された各元素毎に夫々の特性
Ｘ線ピークの全ての波長を記載してある。任意の試料に
ついてＸ線分光装置で分析動作を行うと波長と検出され
たＸ線強度のデータが測定データメモリMsに格納され
る。CPUは測定データメモリMsに格納されたデータに対
してスムージング処理を施し、Ｘ線スペクトルの端から
順に全てのピークにつきその波長と強度との第４図に示
すような関係表を作成し、第３メモリに記憶させる。こ
の準備動作を終わった後CPUは第５図に示すフローチャ
ートに従って定性分析動作を行い、その結果を第４メモ
リM4に格納する。第４メモリに格納されたデータはプリ
ンタ等の表示装置Ｄによって表示させることができる。
す。この表にはＸ線分光装置における測定波長範囲に現
れる全元素の特性Ｘ線ピークのうち、各元素A,B,…につ
いて一番強い特性Ｘ線ピークの波長と次に強い特性Ｘ線
ピークの波長を各元素に対応させて記載してある。第３
図は第２メモリM2に格納される第２の表の構成を示す。
この表には第１の表に記載された各元素毎に夫々の特性
Ｘ線ピークの全ての波長を記載してある。任意の試料に
ついてＸ線分光装置で分析動作を行うと波長と検出され
たＸ線強度のデータが測定データメモリMsに格納され
る。CPUは測定データメモリMsに格納されたデータに対
してスムージング処理を施し、Ｘ線スペクトルの端から
順に全てのピークにつきその波長と強度との第４図に示
すような関係表を作成し、第３メモリに記憶させる。こ
の準備動作を終わった後CPUは第５図に示すフローチャ
ートに従って定性分析動作を行い、その結果を第４メモ
リM4に格納する。第４メモリに格納されたデータはプリ
ンタ等の表示装置Ｄによって表示させることができる。
定性分析動作は次のように行われる。第５図に示すよう
に、ステップ（イ）において、第３メモリM3内のデータ
から一番強いピークに対する波長を読出す。第３メモリ
の内容は第４図に示したように試料についてのＸ線スペ
クトルの測定データから作成した各ピークの波長と強度
との表である。ステップ（ロ）で上記波長或はそれに近
い波長のピークが第１メモリ内の第１の表中の一番目の
ピークの欄にあるか否か調べる。あれば（YES）で次の
ステップに進むが、その場合第１の表から索出されるピ
ークは一つに限られないから第１候補、第２候補等とし
てCPU内に一時登録してステップ（ハ）に進み、第１の
表の２番目のピークの欄から上記第１候補のピークに対
応する元素の２番目に強い特性Ｘ線ピークの波長を読出
し、ステップ（ニ）において、第３メモリ内の試料ピー
ク波長表に上記波長のピークがあるか否か調べ、あれば
（YES）、次にステップ（ホ）に進んで（ロ）のステッ
プで索出されたピークに対応する元素を試料成分元素名
として決定し、第４メモリM4に登録し、その次のステッ
プ（ヘ）において、第２メモリM2内の第２の表から上記
元素の全ピークの波長を読出し、第３メモリM3内の表か
ら該当するピークのデータを削除して、動作は（イ）の
ステップに戻る。（ニ）のステップがNOの場合動作は
（ト）に進んで次の候補ピークがあれば（YES）動作は
（ハ）のステップに戻り、NOであれば動作は（チ）に進
んで、この場合第１の表の１番目のピークに対応する２
番目のピークが測定データ上にはないが１番目のピーク
に対応する元素を成分元素として（ヘ）の動作へ進む。
（ロ）のステップがNOのときは測定データ上のピークに
対応元素が見つからないのであるから、動作は（リ）の
ステップに進み、不詳ピークとして第４メモリM4に登録
すると共に第３メモリM3の試料ピーク波長表から、その
ピークのデータを削除し、動作は（イ）のステップに戻
る。上述のように第３メモリM3内のデータを順々に削除
しながら分析動作を進めて行くとM3内のデータは全部削
除されるからそこで動作は終る。
に、ステップ（イ）において、第３メモリM3内のデータ
から一番強いピークに対する波長を読出す。第３メモリ
の内容は第４図に示したように試料についてのＸ線スペ
クトルの測定データから作成した各ピークの波長と強度
との表である。ステップ（ロ）で上記波長或はそれに近
い波長のピークが第１メモリ内の第１の表中の一番目の
ピークの欄にあるか否か調べる。あれば（YES）で次の
ステップに進むが、その場合第１の表から索出されるピ
ークは一つに限られないから第１候補、第２候補等とし
てCPU内に一時登録してステップ（ハ）に進み、第１の
表の２番目のピークの欄から上記第１候補のピークに対
応する元素の２番目に強い特性Ｘ線ピークの波長を読出
し、ステップ（ニ）において、第３メモリ内の試料ピー
ク波長表に上記波長のピークがあるか否か調べ、あれば
（YES）、次にステップ（ホ）に進んで（ロ）のステッ
プで索出されたピークに対応する元素を試料成分元素名
として決定し、第４メモリM4に登録し、その次のステッ
プ（ヘ）において、第２メモリM2内の第２の表から上記
元素の全ピークの波長を読出し、第３メモリM3内の表か
ら該当するピークのデータを削除して、動作は（イ）の
ステップに戻る。（ニ）のステップがNOの場合動作は
（ト）に進んで次の候補ピークがあれば（YES）動作は
（ハ）のステップに戻り、NOであれば動作は（チ）に進
んで、この場合第１の表の１番目のピークに対応する２
番目のピークが測定データ上にはないが１番目のピーク
に対応する元素を成分元素として（ヘ）の動作へ進む。
（ロ）のステップがNOのときは測定データ上のピークに
対応元素が見つからないのであるから、動作は（リ）の
ステップに進み、不詳ピークとして第４メモリM4に登録
すると共に第３メモリM3の試料ピーク波長表から、その
ピークのデータを削除し、動作は（イ）のステップに戻
る。上述のように第３メモリM3内のデータを順々に削除
しながら分析動作を進めて行くとM3内のデータは全部削
除されるからそこで動作は終る。
（発明の効果） 本発明によれば元素の同定が一元素につき二つの特性Ｘ
線によって行われるから同定の確度が高く、測定された
データから同定された元素の全ピークを消去して、次の
同定動作を行うようにしているので、扱うデータ料が漸
次減少して行うことになり、また一つのピークを二つの
元素の同定に混用すると云う誤りが自動的に回避されて
データ処理速度が向上できる。
線によって行われるから同定の確度が高く、測定された
データから同定された元素の全ピークを消去して、次の
同定動作を行うようにしているので、扱うデータ料が漸
次減少して行うことになり、また一つのピークを二つの
元素の同定に混用すると云う誤りが自動的に回避されて
データ処理速度が向上できる。
第１図は本発明方法を実施する装置の一例のブロック
図、第２図は上記装置の第１メモリ内の構成図、第３図
は上記装置の第２メモリ内の構成図、第４図は同じく第
３メモリ内の構成図、第５図は上記装置の動作のフロー
チャートである。 Xs……Ｘ線分光装置、M1……第１メモリ、M2……第２メ
モリ、M3……第３メモリ、Ms……測定データメモリ、M4
……第４メモリ、Ｄ……表示装置。
図、第２図は上記装置の第１メモリ内の構成図、第３図
は上記装置の第２メモリ内の構成図、第４図は同じく第
３メモリ内の構成図、第５図は上記装置の動作のフロー
チャートである。 Xs……Ｘ線分光装置、M1……第１メモリ、M2……第２メ
モリ、M3……第３メモリ、Ms……測定データメモリ、M4
……第４メモリ、Ｄ……表示装置。
Claims (1)
- 【請求項１】各元素とその元素における１番目に強い特
性Ｘ線のピークの波長と２番目に強い特性Ｘ線ピークの
波長を記載した第１の表と、上記各元素とそれらの元素
の全ての特性Ｘ線ピークの波長を記載した第２の表とを
用意し、試料について測定されたＸ線スペクトルのデー
タから１番強いピークに該当するピークを複数個上記第
１の表の１番目に強い特性Ｘ線ピークの波長欄から索出
し、その波長に対応する複数種の元素について２番目に
強いピークの波長を読出し、上記Ｘ線スペクトルデータ
中にその波長のピークがあるか否かを検索し、あったと
きその元素を試料の成分元素と決定して、上記第２の表
からその元素の全ての特性Ｘ線ピークの波長を読出し、
Ｘ線スペクトルデータから該当するピークのデータを削
除すると云う動作を繰返すことにより試料成分元素を順
次決定して行くことを特徴とするＸ線分光分析における
データ処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63148586A JPH07104298B2 (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | Ｘ線分光分析におけるデータ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63148586A JPH07104298B2 (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | Ｘ線分光分析におけるデータ処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01314956A JPH01314956A (ja) | 1989-12-20 |
| JPH07104298B2 true JPH07104298B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=15456059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63148586A Expired - Fee Related JPH07104298B2 (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | Ｘ線分光分析におけるデータ処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104298B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6033716B2 (ja) * | 2013-03-18 | 2016-11-30 | 新日鐵住金株式会社 | 金属内の異物弁別方法 |
| JP7367605B2 (ja) * | 2020-05-12 | 2023-10-24 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線分析装置及びピークサーチ方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58210556A (ja) * | 1982-05-31 | 1983-12-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光分析装置 |
| JPH0678998B2 (ja) * | 1983-12-26 | 1994-10-05 | 株式会社島津製作所 | 定性分析装置 |
-
1988
- 1988-06-16 JP JP63148586A patent/JPH07104298B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01314956A (ja) | 1989-12-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |