JPH07103903A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
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- JPH07103903A JPH07103903A JP4193205A JP19320592A JPH07103903A JP H07103903 A JPH07103903 A JP H07103903A JP 4193205 A JP4193205 A JP 4193205A JP 19320592 A JP19320592 A JP 19320592A JP H07103903 A JPH07103903 A JP H07103903A
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- Japan
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- inspected
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 切削加工後の円形周縁表面の検査を自動化す
る。 【構成】 回転する検査台と被検査体の円形周縁検査部
に光を照射する光源とその反射光を受光するカメラとそ
の画素毎に識別された画素の画素数が設定した基準値を
越えたかどうかを判断する手段と基準値を外れた被検査
体を疎外する手段とを備えた検査装置。
る。 【構成】 回転する検査台と被検査体の円形周縁検査部
に光を照射する光源とその反射光を受光するカメラとそ
の画素毎に識別された画素の画素数が設定した基準値を
越えたかどうかを判断する手段と基準値を外れた被検査
体を疎外する手段とを備えた検査装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、切削加工や成形後にお
いて行う表面欠陥を発見する検査や次工程に不良品を送
り込まない装置に関する。
いて行う表面欠陥を発見する検査や次工程に不良品を送
り込まない装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】油圧や空圧装置に使用される円形精密部
品は、成形や切削加工後にＯリングが接する円周面の表
面凹欠陥を検査して次工程に送らねばならないのが通常
であるが、従来は肉眼により目視で検査していた。その
目視検査は全周の細かい欠陥と多数の被検査体を扱うこ
とになるので肉体的疲労と集中力の持続低下により欠陥
を見落とし、不良品も次工程に送る事が度々あった。そ
の場合、その組み付け部品の不良は複数の部品の組み付
け後発見されるので分解や取り替えに過大の労力を必要
とし、無駄が多かった。そこでその検査を自動機械化す
ることが望まれ、次工程に不良品を送らないことも期待
されていた。
品は、成形や切削加工後にＯリングが接する円周面の表
面凹欠陥を検査して次工程に送らねばならないのが通常
であるが、従来は肉眼により目視で検査していた。その
目視検査は全周の細かい欠陥と多数の被検査体を扱うこ
とになるので肉体的疲労と集中力の持続低下により欠陥
を見落とし、不良品も次工程に送る事が度々あった。そ
の場合、その組み付け部品の不良は複数の部品の組み付
け後発見されるので分解や取り替えに過大の労力を必要
とし、無駄が多かった。そこでその検査を自動機械化す
ることが望まれ、次工程に不良品を送らないことも期待
されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、成形
や切削加工後に円形周縁に存する表面凹欠陥を肉眼によ
らず自動的に発見し確実に選別することが出来るように
することにある。
や切削加工後に円形周縁に存する表面凹欠陥を肉眼によ
らず自動的に発見し確実に選別することが出来るように
することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】それには、円形の外周検
査面をもつ被検査体を待機させる定位置と該検査体を検
査台に移送する手段と該検査台上で検査する手段と検査
済みの該検査体を次工程に移送する手段とより構成さ
れ、上記検査手段が回転する検査台と該台と共に回転す
る該被検査体の検査面受光照準部に光を照射する光源と
被検査体より反射された光を受光するＣＣＤカメラとそ
の受光すべき画素の受光した画素と所定の光量を受光し
ない画素とを識別して後者の画素を所定の一団の画素数
内で設定した基準値と比較し被検査体の良否を判定する
電子回路と設定された基準値以下と判定された被検査体
を良品として次工程に移送する指令する回路とで構成さ
れ、ＣＣＤカメラの軸線が被検査体の中心を通る該軸線
の平行線より水平面上反回転方向に該検査円周面直径の
略２０〜３０％ずらし、上記の光を照射する光源にフラ
ットライトをＣＣＤカメラの軸線に水平面上略対称対向
に配置し且つ検査面受光照準部より６０°〜１２０°に
配置照射するようにする。
査面をもつ被検査体を待機させる定位置と該検査体を検
査台に移送する手段と該検査台上で検査する手段と検査
済みの該検査体を次工程に移送する手段とより構成さ
れ、上記検査手段が回転する検査台と該台と共に回転す
る該被検査体の検査面受光照準部に光を照射する光源と
被検査体より反射された光を受光するＣＣＤカメラとそ
の受光すべき画素の受光した画素と所定の光量を受光し
ない画素とを識別して後者の画素を所定の一団の画素数
内で設定した基準値と比較し被検査体の良否を判定する
電子回路と設定された基準値以下と判定された被検査体
を良品として次工程に移送する指令する回路とで構成さ
れ、ＣＣＤカメラの軸線が被検査体の中心を通る該軸線
の平行線より水平面上反回転方向に該検査円周面直径の
略２０〜３０％ずらし、上記の光を照射する光源にフラ
ットライトをＣＣＤカメラの軸線に水平面上略対称対向
に配置し且つ検査面受光照準部より６０°〜１２０°に
配置照射するようにする。
【０００５】
【作用】そうすることにより、検査台上に移送された被
検査体は回転手段により回転するので円形検査面全周を
ＣＣＤカメラのシャッター機能により連続的に被検査面
とすることが出来、表面凹欠陥の限度を決める基準値を
任意に選定することができるので表面凹欠陥の限度を任
意選定することが出来る。また上記画素が設定の基準値
を越えた場合には不良品として工程より疎外し、自動的
に次工程に良品のみを送ることが出来る。さらに画素を
識別するのにフラットライトを略対称対向し上記の角度
で照射光源とし、ＣＣＤカメラの軸線を反回転方向水平
面にずらしたのでその画素自身が各々安定に識別し、適
度の被検査体の回転スピードを確保することが出来、表
面凹欠陥を見落とすこともなくなった。そして定位置に
被検査体を移載すれば人力を煩らわすこともなく円形検
査面の表面凹欠陥を検査することが出来る。
検査体は回転手段により回転するので円形検査面全周を
ＣＣＤカメラのシャッター機能により連続的に被検査面
とすることが出来、表面凹欠陥の限度を決める基準値を
任意に選定することができるので表面凹欠陥の限度を任
意選定することが出来る。また上記画素が設定の基準値
を越えた場合には不良品として工程より疎外し、自動的
に次工程に良品のみを送ることが出来る。さらに画素を
識別するのにフラットライトを略対称対向し上記の角度
で照射光源とし、ＣＣＤカメラの軸線を反回転方向水平
面にずらしたのでその画素自身が各々安定に識別し、適
度の被検査体の回転スピードを確保することが出来、表
面凹欠陥を見落とすこともなくなった。そして定位置に
被検査体を移載すれば人力を煩らわすこともなく円形検
査面の表面凹欠陥を検査することが出来る。
【０００６】
【実施例】では、図面に基ずいてアルミニウム合金でダ
イカスト法にて製造されたものを切削加工してできた自
動車のＡＴ（オートマチックトランスミッション）に組
み込まれるサーボリテーナ部品の検査方法を説明する。
図１は、検査装置の縦断面図を示している。１は被検査
体の移送手段を示し、架台２の上にスライドレール３の
上に設置されアーム４が走行自在に結合されている。さ
らにアーム４の先端にはエアシリンダー５が垂直に取り
付けられ、その上下動するロッド（図示せず）先端には
チャック６が被検査体をつかむべく設けられている。次
に、架台２にチャック６の軌跡となる位置にモーター７
とカップリング（図示せず）で接続された検査台８が筒
状のフレーム９に挿嵌設置されている。また、フラット
ライト１０、１０とＣＣＤカメラ１１が台１２上に微動
調整可能に架台２に設置されている。さらに、ベルトコ
ンベヤ１３が検査台８と同じ高さに架台２より支えられ
て設置されている。この図の場合、被検査体１４が移送
されている状態にある。
イカスト法にて製造されたものを切削加工してできた自
動車のＡＴ（オートマチックトランスミッション）に組
み込まれるサーボリテーナ部品の検査方法を説明する。
図１は、検査装置の縦断面図を示している。１は被検査
体の移送手段を示し、架台２の上にスライドレール３の
上に設置されアーム４が走行自在に結合されている。さ
らにアーム４の先端にはエアシリンダー５が垂直に取り
付けられ、その上下動するロッド（図示せず）先端には
チャック６が被検査体をつかむべく設けられている。次
に、架台２にチャック６の軌跡となる位置にモーター７
とカップリング（図示せず）で接続された検査台８が筒
状のフレーム９に挿嵌設置されている。また、フラット
ライト１０、１０とＣＣＤカメラ１１が台１２上に微動
調整可能に架台２に設置されている。さらに、ベルトコ
ンベヤ１３が検査台８と同じ高さに架台２より支えられ
て設置されている。この図の場合、被検査体１４が移送
されている状態にある。
【０００７】図２は、検査装置の平面図を示している。
架台２には図１で説明した通りスライドレール３にはア
ーム４がエアシリンダー１５により走行駆動されてい
る。また、検査台８と同じ高さのベルトコンベヤ１３上
には被検査体１４が定位置に待機するように治具１６が
設置されている。さらに、台１２上に被検査体１４の中
心を通るＣＣＤカメラ１１軸線の平行線より検査台上に
移送された被検査体１４の反回転方向に１８mm隔てて微
調可能にＣＣＤカメラ１１が、フラットライト１０、１
０がＣＣＤカメラ１１の軸線を挟んで距離約４００mmで
対向し、略９０゜の角度で両者が検査面受光照準部１４
ａを照射するよう設置されている。また、架台２にチャ
ック６の軌跡となる位置に疎外されるはずの不良品を落
し込む孔１７が明けられ、ベルトコンベヤ１８が被検査
体を次工程に搬送するように設置されている。
架台２には図１で説明した通りスライドレール３にはア
ーム４がエアシリンダー１５により走行駆動されてい
る。また、検査台８と同じ高さのベルトコンベヤ１３上
には被検査体１４が定位置に待機するように治具１６が
設置されている。さらに、台１２上に被検査体１４の中
心を通るＣＣＤカメラ１１軸線の平行線より検査台上に
移送された被検査体１４の反回転方向に１８mm隔てて微
調可能にＣＣＤカメラ１１が、フラットライト１０、１
０がＣＣＤカメラ１１の軸線を挟んで距離約４００mmで
対向し、略９０゜の角度で両者が検査面受光照準部１４
ａを照射するよう設置されている。また、架台２にチャ
ック６の軌跡となる位置に疎外されるはずの不良品を落
し込む孔１７が明けられ、ベルトコンベヤ１８が被検査
体を次工程に搬送するように設置されている。
【０００８】図３は、実際の被検査体１４であるダイカ
スト法で製造されたものを切削加工してできた自動車の
ＡＴ（オートマチックトランスミッション）に組み込ま
れるサーボリテーナであり、検査面１９全周を検査対象
としている。図４は、この検査装置に組み込まれた電気
回路のブロック線図であり、ＣＣＤカメラ２０（図２で
は１１）が捉えた画素をイメージコントローラ２１でカ
ウントしてキーボード２２より入力し設定した基準値と
比較して、モニター２３に表示すると共にシーケンサー
２４に伝達し、Ｉ／Ｏ端子２５を経て設定基準を越えた
時孔に不良品を落とす信号を発する。また、モーター２
６へ検査台の回転を駆動制御する信号を発する。
スト法で製造されたものを切削加工してできた自動車の
ＡＴ（オートマチックトランスミッション）に組み込ま
れるサーボリテーナであり、検査面１９全周を検査対象
としている。図４は、この検査装置に組み込まれた電気
回路のブロック線図であり、ＣＣＤカメラ２０（図２で
は１１）が捉えた画素をイメージコントローラ２１でカ
ウントしてキーボード２２より入力し設定した基準値と
比較して、モニター２３に表示すると共にシーケンサー
２４に伝達し、Ｉ／Ｏ端子２５を経て設定基準を越えた
時孔に不良品を落とす信号を発する。また、モーター２
６へ検査台の回転を駆動制御する信号を発する。
【０００９】図５（ア）は、鋳巣の一般的にサーボリテ
ーに出現する様子の断面図である。鋳巣２７の途中で切
削加工（削り取られた部分２８）が終わりアルミニウム
合金鋳物２９に凹欠陥として残ったものである。図５
（イ）は、（ア）の紙面垂直に見た断面図である。ま
た、図６の（ａ）は、回転方向に平行に発生した凹欠陥
３０を検査面１９に垂直に見たもので破線の近傍のみが
反射しているが、（ｂ）は、回転方向に直角に発生した
凹欠陥３１を検査面１９に垂直に見たもので反射光がな
ことを示している。図７の（ｃ）は凹欠陥３０の断面を
示し、（ｄ）は凹欠陥３１の断面を示し、両光源の照射
角９０°の角度で光が入射したとき凹欠陥で反射光がＣ
ＣＤカメラ１１に受光されるかどかを表現している。
（ｃ）においてはＣＣＤカメラ１１軸線に凹欠陥３０が
反射するのは点Ｘ近傍のみであり、斜線部は各々の光源
の影３２、３３であり、（ｄ）においては乱反射のみで
凹欠陥３１で反射光はないことを表現して、斜線部は片
方の影３４、３５であり、両者の重なった部分はさらに
暗い影３６である。図８は画素数と鋳巣面積との相関関
係を示すグラフである。
ーに出現する様子の断面図である。鋳巣２７の途中で切
削加工（削り取られた部分２８）が終わりアルミニウム
合金鋳物２９に凹欠陥として残ったものである。図５
（イ）は、（ア）の紙面垂直に見た断面図である。ま
た、図６の（ａ）は、回転方向に平行に発生した凹欠陥
３０を検査面１９に垂直に見たもので破線の近傍のみが
反射しているが、（ｂ）は、回転方向に直角に発生した
凹欠陥３１を検査面１９に垂直に見たもので反射光がな
ことを示している。図７の（ｃ）は凹欠陥３０の断面を
示し、（ｄ）は凹欠陥３１の断面を示し、両光源の照射
角９０°の角度で光が入射したとき凹欠陥で反射光がＣ
ＣＤカメラ１１に受光されるかどかを表現している。
（ｃ）においてはＣＣＤカメラ１１軸線に凹欠陥３０が
反射するのは点Ｘ近傍のみであり、斜線部は各々の光源
の影３２、３３であり、（ｄ）においては乱反射のみで
凹欠陥３１で反射光はないことを表現して、斜線部は片
方の影３４、３５であり、両者の重なった部分はさらに
暗い影３６である。図８は画素数と鋳巣面積との相関関
係を示すグラフである。
【００１０】次に、検査の行程を順に説明する。まず被
検査体１４である検査面１９直径７０mmのサーボリテー
ナをベルトコンベヤ１３に載せるとサーボリテーナは定
位置に待機する治具１６に衝り定位置で止まる。そうす
ると、アーム４と共にチャック６がサーボリテーナの真
上で走行停止しエアシリンダー５によりチャック６が下
降しサーボリテーナを把み上昇する。そののち検査台８
の真上まで走行し下降し検査台８の上にサーボリテーナ
をセットする。その後検査台８は約１５ｒｐｍで回転
し、照射距離２５０mmで照射面１００mm×１００mmの照
度７５０lxの性能を有するフラットライト１０、１０が
発した光を反射しながらサーボリテーナは１回転少々す
る。このとき水平５１２画素×上下４９２画素のＣＣＤ
カメラ１１が検査面１９の６mm×６mmの面積のみに照準
を合わせシャッター回数約４０回で受光する。そして、
ＣＣＤカメラ１１の軸線は被検査体１４の中心を通る該
軸線の平行線に水平面に、１４〜２１mm被検査体１４の
反回転方向にずれるているのが画素の識別にテストした
結果適切であった。ＣＣＤカメラ１１の軸線が被検査体
１４の中心を通る状態の時、即照準面の中心が最少の距
離であると画素の感度がばらつくため、被検査体１４の
回転スピードを小さくする必要が生じた。１４mm未満又
は２２mm以上隔てているとＣＣＤカメラの画素識別がば
らつき、判定に安定性がなかった。またフラットライト
１０、１０はＣＣＤカメラ１１の軸線に略対称水平面に
距離４００mmで対向し検査面受光照準部１４ａに６０°
〜１２０°に角度で照射するよう配置するのが良好であ
った。フラットライト１０が１つではＣＣＤカメラの画
素識別がばらつき、判定に安定性がなかった。照射角度
についてはそれほど限定されたものではなかったのでＣ
ＣＤカメラの画素識別がばらつかず、判定が安定した範
囲にとどめた。
検査体１４である検査面１９直径７０mmのサーボリテー
ナをベルトコンベヤ１３に載せるとサーボリテーナは定
位置に待機する治具１６に衝り定位置で止まる。そうす
ると、アーム４と共にチャック６がサーボリテーナの真
上で走行停止しエアシリンダー５によりチャック６が下
降しサーボリテーナを把み上昇する。そののち検査台８
の真上まで走行し下降し検査台８の上にサーボリテーナ
をセットする。その後検査台８は約１５ｒｐｍで回転
し、照射距離２５０mmで照射面１００mm×１００mmの照
度７５０lxの性能を有するフラットライト１０、１０が
発した光を反射しながらサーボリテーナは１回転少々す
る。このとき水平５１２画素×上下４９２画素のＣＣＤ
カメラ１１が検査面１９の６mm×６mmの面積のみに照準
を合わせシャッター回数約４０回で受光する。そして、
ＣＣＤカメラ１１の軸線は被検査体１４の中心を通る該
軸線の平行線に水平面に、１４〜２１mm被検査体１４の
反回転方向にずれるているのが画素の識別にテストした
結果適切であった。ＣＣＤカメラ１１の軸線が被検査体
１４の中心を通る状態の時、即照準面の中心が最少の距
離であると画素の感度がばらつくため、被検査体１４の
回転スピードを小さくする必要が生じた。１４mm未満又
は２２mm以上隔てているとＣＣＤカメラの画素識別がば
らつき、判定に安定性がなかった。またフラットライト
１０、１０はＣＣＤカメラ１１の軸線に略対称水平面に
距離４００mmで対向し検査面受光照準部１４ａに６０°
〜１２０°に角度で照射するよう配置するのが良好であ
った。フラットライト１０が１つではＣＣＤカメラの画
素識別がばらつき、判定に安定性がなかった。照射角度
についてはそれほど限定されたものではなかったのでＣ
ＣＤカメラの画素識別がばらつかず、判定が安定した範
囲にとどめた。
【００１１】その１回転少々する間にＣＣＤカメラ１１
（図３では２０）のシャッターのタイミングで画面の境
界を重ねて受光し見落としを防止し、イメージコントロ
ーラ２１の画面を分割したウインドウ（ウインドウ毎に
画素数をカウントするので複数の凹欠陥を必要以上に合
算しないために採用した）５個により適切な範囲で画素
を加算しその画素数が基準値を越えたときシーケンサー
２４に不良品として疎外するよう指令を出し、それによ
りチャック６がサーボリテーナを放し、途中の孔１７に
落す。その他のときはコンベヤ１８に良品としてサーボ
リテーナを移送する。そうすると設定画素数と鋳巣の大
きさとは図８のグラフのように検証してあるので少ない
画素の基準値を２０００に設定した時、鋳巣の基準０．
５０mm2（φ０．８相当）より小さいもの以上を不良品
として疎外し確実に良品のみを次工程に送ることが出来
る。
（図３では２０）のシャッターのタイミングで画面の境
界を重ねて受光し見落としを防止し、イメージコントロ
ーラ２１の画面を分割したウインドウ（ウインドウ毎に
画素数をカウントするので複数の凹欠陥を必要以上に合
算しないために採用した）５個により適切な範囲で画素
を加算しその画素数が基準値を越えたときシーケンサー
２４に不良品として疎外するよう指令を出し、それによ
りチャック６がサーボリテーナを放し、途中の孔１７に
落す。その他のときはコンベヤ１８に良品としてサーボ
リテーナを移送する。そうすると設定画素数と鋳巣の大
きさとは図８のグラフのように検証してあるので少ない
画素の基準値を２０００に設定した時、鋳巣の基準０．
５０mm2（φ０．８相当）より小さいもの以上を不良品
として疎外し確実に良品のみを次工程に送ることが出来
る。
【００１２】次に、鋳巣が反射光を受光しない訳を説明
する。図６（ａ）の水平方向に鋳巣が出現した場合にお
いては図７（ｃ）の影３２、３３の中では反射光はな
く、点Ｘ近傍のみの反射光（図６（ａ）の破線）がＣＣ
Ｄカメラ１１に入光するが設定した基準値との比較には
影響は少ない。図６（ｂ）においては図７（ｄ）の影３
４、３５、３６の中では反射光は非常に弱いので画素は
受光なしと識別する。また凹欠陥が図６（ａ）と図６
（ｂ）との中間方向又は円形のときも以上の説明で説明
出来たことになる。また水平方向にのみ光源を配したの
は水平方向の光源で画素各々が安定した判定が可能であ
ったからである。ここではＣＣＤカメラ１台で小さな部
品について検査したが、複数のＣＣＤカメラでもっと大
きい検査面を検査することも出来ることは言うまでもな
い。また鋳巣に限らず原理を逸脱しない範囲において多
種の凹欠陥にも適用出来ることも言うまでもない。
する。図６（ａ）の水平方向に鋳巣が出現した場合にお
いては図７（ｃ）の影３２、３３の中では反射光はな
く、点Ｘ近傍のみの反射光（図６（ａ）の破線）がＣＣ
Ｄカメラ１１に入光するが設定した基準値との比較には
影響は少ない。図６（ｂ）においては図７（ｄ）の影３
４、３５、３６の中では反射光は非常に弱いので画素は
受光なしと識別する。また凹欠陥が図６（ａ）と図６
（ｂ）との中間方向又は円形のときも以上の説明で説明
出来たことになる。また水平方向にのみ光源を配したの
は水平方向の光源で画素各々が安定した判定が可能であ
ったからである。ここではＣＣＤカメラ１台で小さな部
品について検査したが、複数のＣＣＤカメラでもっと大
きい検査面を検査することも出来ることは言うまでもな
い。また鋳巣に限らず原理を逸脱しない範囲において多
種の凹欠陥にも適用出来ることも言うまでもない。
【００１３】
【発明の効果】このように、光源とＣＣＤカメラの軸線
の配置と光源の仕様を特定し、オプトエレクトロニクス
により機械化したので定位置に被検査体を載置すれば後
は自動的に検査を行うことが出来たので肉眼の目視によ
る誤検査を排除することが出来、組み付け後の無駄を排
除することが出来た。
の配置と光源の仕様を特定し、オプトエレクトロニクス
により機械化したので定位置に被検査体を載置すれば後
は自動的に検査を行うことが出来たので肉眼の目視によ
る誤検査を排除することが出来、組み付け後の無駄を排
除することが出来た。
【図１】 本発明の検査装置の縦断面図。
【図２】 本発明の検査装置の平面図。
【図３】 実施例の被検査体であるサーボリテーナ。
【図４】 本発明の検査装置の電気系統のブロック線
図。
図。
【図５】 （ア）はサーボリテーに出現する鋳巣の一般
的な断面形状である。（イ）はサーボリテーに出現する
鋳巣の一般的な断面形状である。
的な断面形状である。（イ）はサーボリテーに出現する
鋳巣の一般的な断面形状である。
【図６】 （ａ）は鋳巣の長手方向が円周方向に出現し
た状態を示す。（ｂ）は鋳巣の長手方向が円周方向垂直
に出現した状態を示す。
た状態を示す。（ｂ）は鋳巣の長手方向が円周方向垂直
に出現した状態を示す。
【図７】 （ｃ）は図６（ａ）の断面に光が反射する様
子を示す。（ｄ）は図６（ｂ）の断面に光が反射する様
子を示す。
子を示す。（ｄ）は図６（ｂ）の断面に光が反射する様
子を示す。
【図８】 画素数と鋳巣の大きさの関係を示すグラフで
ある。
ある。
１ 被検査体の移送手段 ２ 架台 ３ スライドレール ４ アーム ５ エアシリンダー ６ チャック ７ モーター ８ 検査台 ９ フレーム １０ フラットライト １１ ＣＣＤカメラ １２ 台 １３ ベルトコンベヤ １４ 被検査体 １４ａ 検査面受光照準部 １５ エアシリンダー １６ 治具 １７ 孔 １８ ベルトコンベヤ １９ 検査面 ２０ ＣＣＤカメラ（図４における） ２１ イメージコントローラ ２２ キーボード ２３ モニター ２４ シーケンサー ２５ Ｉ／Ｏ端子 ２６ モーター ２７ 鋳巣 ２８ 削り取られた部分 ２９ アルミニウム合金鋳物 ３０ 凹欠陥 ３１ 凹欠陥 ３２ 影 ３３ 影 ３４ 影 ３５ 影 ３６ 暗い影
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｔ 7/00 1/00
Claims (3)
- 【請求項１】 円形の外周検査面をもつ被検査体を待機
させる定位置と該被検査体を検査台に移送する手段と該
検査台上で検査する手段と検査済みの被検査体を次工程
に移送する手段より構成される検査装置において、上記
検査手段が回転する検査台と該台と共に回転する被検査
体に光を照射する光源と被検査体より反射された光を受
光するＣＣＤカメラとその受光すべき画素の受光しない
画素を識別して所定の一団の画素数内で該画素の合計画
素数と設定された基準値と比較し被検査体の良否を判定
する電子回路と設定された基準値以下と判定された被検
査体のみを次工程へ移送する指令回路とを備えて円形の
外周検査面の表面凹欠陥を検査することを特徴とする検
査方法。 - 【請求項２】 請求項１において、ＣＣＤカメラの軸線
を被検査体の中心を通る該軸線の平行線より水平面上反
回転方向に該検査円周面直径の略２０〜３０％ずらした
ことを特徴とする検査方法。 - 【請求項３】 請求項１において、光を照射する光源に
フラットライトをＣＣＤカメラの軸線に略対称水平に対
向し、６０°〜１２０°の角度で検査面受光照準部に照
射するよう配置したことを特徴とする検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4193205A JPH07103903A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4193205A JPH07103903A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103903A true JPH07103903A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=16304053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4193205A Pending JPH07103903A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07103903A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6490147B2 (en) | 2001-01-24 | 2002-12-03 | The Regents Of The University Of Michigan | High-Q micromechanical device and method of tuning same |
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Citations (4)
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-
1992
- 1992-06-25 JP JP4193205A patent/JPH07103903A/ja active Pending
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| A02 | Decision of refusal |
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