JPH069886U - 真空吸着装置 - Google Patents

真空吸着装置

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JPH069886U
JPH069886U JP750092U JP750092U JPH069886U JP H069886 U JPH069886 U JP H069886U JP 750092 U JP750092 U JP 750092U JP 750092 U JP750092 U JP 750092U JP H069886 U JPH069886 U JP H069886U
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vacuum suction
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vacuum
suction
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稔 永井
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 弁体及びそれに付随する部分の構成を簡略化
させることにより、製造・組立作業を容易にしてコスト
の低減を図ることができ、又、保守・点検作業を容易に
することができるとともに軽量化を図り、さらに、真空
状態の不用意な破壊を防止することができる真空吸着装
置を提供すること。 【構成】 排気手段に接続された真空吸着装置本体と、
上記真空吸着装置本体の吸着面側に形成された複数個の
貫通孔13と、上記貫通孔にそれぞれ取付けられ筒体1
9及びこの筒体内に移動可能に収容された弁体27とか
らなる弁ユニットと、を具備したものである。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、例えば、木工工場等における生産ラインにおいて、板材等のワーク を真空吸着して搬送する真空吸着装置に係り、特に、弁部の構成を改良したもの に関する。
【0002】
【従来の技術】
真空吸着装置としては、例えば、特開昭62−84987号公報、実開平3− 47790号公報に示されているようなものがある。これらの真空吸着装置を図 4及び図5を参照して説明する。まず、特開昭62−84987号公報に示され ている真空吸着装置を図4に示す。マニホールド101があり、このマニホール ド101には孔103が形成されている。上記マニホールド101の開口側には 、上板105、基板107、中間板109が積層された状態で固定されている。
【0003】 上記基板107には円筒状の弁室111が複数個形成されている。又、中間板 109には、上記弁室111に連通する吸着口113が形成されている。上記弁 室111の上部には弁座部材115が配置されていて、この弁座部材115は上 板105を貫通した状態で固定されている。弁座部材115の上端は吸引口11 7となっている。又、上記弁座部材115の下方位置であって弁室111内には 球状の弁体119が収容されている。
【0004】 中間板109の図中下面側には、吸着板121が接着・固定されている。この 吸着板119は、各吸着口113毎に独立して設けられている。又、既に述べた マニホールド101の孔103には、図示しない排気手段が連結されている。
【0005】 上記構成の真空吸着装置によって図示しないワークを吸着して搬送する場合に は、吸着板121側をワークに当接させた状態で排気手段によって吸引する。そ れによって、弁室111、吸引口113、孔103内の空気が吸引・排気され、 弁体119は浮遊状態となる(若干浮いた状態となる)。それによって、ワーク を吸着して吸着板121に密着させた状態とする。その状態で別の場所にワーク を搬送する。そして、搬送した後は、排気手段による吸引・排気を停止すれば、 ワークは吸着板121より離脱することになる。
【0006】 ところで、搬送するワークの大きさ、形状によっては、複数個の吸着口113 の中にはワークによって閉塞されない吸着口113が存在する。そのような所で は、排気手段による吸引・排気によって、弁体119が弁座部材115に着座す ることになるので、真空状態が不用意に破壊されて吸着力が低下するようなこと はない。
【0007】 一方、実開平3−47790号公報に示されている真空吸着装置を図5に示す 。まず、真空チャンバー201があり、この真空チャンバー201にはエア排気 口203が形成されている。真空チャンバー201の開口側には、吸着板205 が固定されている。この吸着板205は、2枚の板体207、209を積層させ た構成になっている。又、上記吸着板205にはスポンジ211が固定されてい る。
【0008】 上記吸着板205には貫通孔213が形成されているとともに、スポンジ21 1にも上記貫通孔213に連通する貫通孔215が形成されている。上記貫通孔 213の途中は拡径されていて弁室217となっている。この弁室217には球 状の弁体219が収容されている。
【0009】 上記構成の真空吸着装置によってワーク221を搬送する作用は、特開昭62 −84987号公報に示されている真空吸着装置の場合と同じである。そして、 この場合にも、ワーク221によって閉塞されない位置の弁体219は上方に吸 引されて貫通孔213を閉塞することになり、真空状態が不用意に破壊されない ようになっている。
【0010】
【考案が解決しようとする課題】
上記従来の構成によると次のような問題があった。まず、何れの場合にも、弁 室111、217、弁体119、219の付近の構成が複雑であり、又、製造・ 組立が困難であるという問題があった。
【0011】 例えば、特開昭62−84987号公報に示されている真空吸着装置の場合に は、3枚の板部材、すなわち、上板105、基板107、中間板109を積層さ せることにより弁室111を形成するようになっており、又、弁座部材115の 形状も極めて複雑なものである。特に、3枚の板部材である上板105、基板1 07、中間板109に多数の孔を開ける必要があり、面倒な作業を要してしまう 。又、板部材に多数の孔を開けた場合には板部材に撓みが発生し易く、よって、 そのような撓みが発生した板部材を3枚積層させた場合には、板部材相互の密着 性が損なわれて隙間が発生してしまい、真空状態が損なわれることになってしま う。又、実開平3−47790号公報に示されている真空吸着装置の場合も同様 であり、3枚の板部材207、209、211のそれぞれに多数の孔を開ける作 業が必要となり、特に、板部材207、209については、さらにその孔を拡大 する作業も必要になってしまう。よって、特開昭62−84987号公報に示さ れている真空吸着装置の場合と同様に、製造・組立上の問題があるとともに、真 空状態が損なわれるという問題があった。
【0012】 又、別の問題として保守・点検の問題がある。すなわち、真空吸着装置を長期 浮きにわたって使用した場合には、塵等の侵入・付着によって、弁体119、2 19の動作に支障が生じるようなことが予想される。そのような場合、特開昭6 2−84987号公報、実開平3−47790号公報に示されている真空吸着装 置の場合には、弁体119、219の付近に保守・点検作業を容易に施すことは 不可能であり、仮に、弁体119、219を交換したいような事態が生じても殆 ど不可能であった。さらに、弁部としては、弁体119、219の移動距離をあ る程度確保する必要があるので、その部分をある程度厚くする必要がある。その ため、真空吸着装置が大重量化してしまうという問題もあった。
【0013】 本考案はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、弁 体及びそれに付随する部分の構成を簡略化させることにより、製造・組立作業を 容易にしてコストの低減を図ることができ、又、保守・点検作業を容易にするこ とができるとともに軽量化を図り、さらに、真空状態の不用意な破壊を防止する ことが可能な真空吸着装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するべく本願考案による真空吸着装置は、排気手段に接続され た真空吸着装置本体と、上記真空吸着装置本体の吸着面側に形成された複数個の 貫通孔と、上記貫通孔にそれぞれ取付けられ筒体及びこの筒体内に移動可能に収 容された弁体とからなる弁ユニットと、を具備したことを特徴とするものである 。その際、弁ユニットの弁体を、球状をなすボール、又は、紡錘形状のものとす ることが考えられる。又、真空吸着装置本体の吸着面側には吸着パットを取付け 、この吸着パットに真空吸着装置本体の吸着面側に形成された複数個の貫通孔に 連通するとともに該連通孔より大径の貫通孔が形成することが考えられる。
【0015】
【作用】
真空吸着装置本体の吸着面側には複数個の貫通孔が形成されていて、それぞれ の貫通孔には弁ユニットが取付けられている。この弁ユニットは、予めユニット として製造・組立てられたもので、筒体内に弁体を移動可能に収容したものであ る。そして、ワークを吸着する場合には、ワークに対応する部分に位置する弁ユ ニットの弁体は自重により落下した状態にあり、それ以外の弁ユニットの弁体は 上方に吸引されて弁ユニットを閉弁する。それによって、真空状態の不用意な破 壊を防止する。
【0016】 又、弁ユニットの弁体としては、球状をなすボール、又は、紡錘形状のものが 考えられる。勿論それ以外の形状のものであってもよい。又、真空吸着装置本体 の吸着面側には吸着パットを取付け、この吸着パットに真空吸着装置本体の吸着 面側に形成された複数個の貫通孔より大径の貫通孔が形成した場合には、該貫通 孔を介して、弁ユニットの保守・点検、交換作業を容易に行うことができる。
【0017】
【実施例】
以下、図1乃至図3を参照して本考案の一実施例を説明する。図1に示すよう に、まず、真空チャンバ1があり、この真空チャンバ1には排気口3が形成され ている。この排気口3には、図示しない排気手段としてのブロアが連結されてい る。尚、排気手段としては、ブロア以外にも真空ポンプ等であってもよい。上記 真空チャンバ1の開口部5には、吸着板7が固定されていて、開口部5を閉塞し ている。真空チャンバ1と上記吸着板7とによって室9を形成している。上記真 空チャンバ1と吸着板7とによって、真空吸着装置本体を構成している。
【0018】 上記吸着板7の図中下面側には吸着パッド11が固定されている。この吸着パ ッド11としては、スポンジ、弾性ゴム等の使用が考えられる。上記吸着板7に は、多数の貫通孔13が形成されているとともに、この貫通孔13に連通するよ うに、吸着バッド11にも貫通孔15が形成されている。上記貫通孔15は貫通 孔13より大径なものとなっている。
【0019】 上記貫通孔13には、弁ユニット17が取付けられている。この弁ユニット1 7は、図2に示すような構成になっている。まず、中空円筒状の筒体19があり 、この筒体19の上下端は、開口部21、23となっている。又、開口部21側 の下端淵部はシート部25となっている。上記筒体19内には弁体としてのボー ル27が図中矢印A方向に移動可能に収容されている。
【0020】 上記構成の弁ユニット17は、予めユニット化された状態で製造・組立てされ ていて、吸着板7の貫通孔13内に圧入・固定されるものである。又、貫通孔1 3内に一旦圧入・固定した後に、これを取り外すような場合には、例えば、開口 部23内に図示しない治具を挿入して引き抜くことにより容易に取り外すことが できる。
【0021】 以上の構成を基にその作用を説明する。まず、真空吸着装置としての作用から 説明する。まず、非使用時、すなわち、ブロアによって吸引していない場合には 、図1に示すような状態にある。各弁ユニット17のボール27は自重によって 下方に落下した状態にある。
【0022】 次に、使用時について図3を参照して説明する。ブロアによって吸引すると、 排気口3、室9内の空気が吸引・排気され、ワーク29は吸着パット11を介し て吸着された状態にある。その際、ワーク29によって閉塞された部分の弁ユニ ット17は次のように作用する。まず、ブロアの吸引によって、ボール27は一 旦上方に吸引されるが、ボール27の前後の空間が共に吸引されて同圧状態にな るので、自重によって落下して図に示すような状態になる。
【0023】 これに対して、ワーク29によって閉塞されない部分の弁ユニット17のボー ル27は、上方に吸引されてシート部25に着座した状態となる。つまり、その 部分では完全に気密の状態となり、よって、真空状態が不用意に損なわれるよう なことはない。後は、図3に示す状態でワーク29を吸着・保持して、任意の場 所まで搬送し、そこで、ブロアによる吸引を停止すれば、ワーク29はそこに載 置されることになる。
【0024】 次に、弁ユニット17の製造・組立作業、吸着板7への取付作業、交換作業等 について説明する。まず、弁ユニット17は、既に述べたように、予めユニット として製造・組立てられている。よって、吸着板7への取付けは、吸着板7の貫 通孔13内に、弁ユニット17を圧入・固定するだけでよい。又、交換作業であ るが、これは、弁ユニット17の開口部23を介して治具を挿入して引き抜けば 、弁ユニット17を容易に取り外すことができる。よって、交換する場合には、 そのようにして取り外した後、新たな弁ユニット17を貫通孔13内に圧入・固 定すればよい。尚、その際、スポンジ11の貫通孔15が比較的大きく形成され ているので、作業性も良好である。
【0025】 以上本実施例によると次のような効果を奏することができる。まず、真空吸着 装置の構成が簡略化された。特に、弁部を中心とした部分の構成が大幅に簡略化 された。これは、予め製造・組立てられた弁ユニット17を採用したからである 。つまり、従来の場合には、弁室を形成するために、複数枚の板部材に孔を開け てこれを積層させる必要があったが、本実施例の場合には、孔開け作業は吸着板 7一枚だけに施せばよく、後は、そこに弁ユニット17を圧入・固定すれば所望 の弁構造を得ることができるからである。よって、製造・組立作業も簡単になり 、コストの低減を図ることができる。
【0026】 又、真空状態が不用意に損なわれることを防止することができる。すなわち、 従来の場合には複数枚の板部材に孔を開けてこれを積層させており、その際、孔 開け時に各板部材に撓みが発生してしまい、よって、それらを積層させた場合に 密着性が損なわれて隙間が発生するおそれがあった。これに対して、本実施例の 場合には、孔を開けるのは一枚の吸着板7だけであり、上記したような問題はな いからである。
【0027】 又、仮に任意の弁ユニット17が、塵の侵入・付着によって動作不良になった ような場合にも、容易に対処することができる。すなわち、比較的大径に形成さ れた貫通孔15及び開口部23より治具を差し込んで付着した塵等を除去できる からである。又、弁ユニット17を交換するような場合にも、貫通孔15及び開 口部23に治具を挿入して引き抜けば、新しい弁ユニット17と容易に交換する ことができる。
【0028】 さらに、真空吸着装置の軽量化を図ることができる。すなわち、従来の場合に は、弁部において弁体の移動距離を確保するめたに、各板材の厚みを厚くする必 要があった。これに対して本実施例の場合には、上記移動距離は弁ユニット17 だけで確保すればよく、吸着板7としては薄肉でよいからである。よって、軽量 化が図られるとともにそれによって搬送動作に要する動力も軽減されることにな る。
【0029】 尚、本考案は前記一実施例に限定されるものではない。まず、前記一実施例で は、真空吸着装置本体を、真空チャンバー1と吸着板7とによって構成したが、 別の組合せによって構成してもよい。弁ユニット17の弁体としては、ボール2 7以外に紡錘形状のもの、それ以外の形状のものでもよい。吸着パットとしては 、前記一実施例のように、一枚の板状であってもよいし、弁ユニット17毎に別 体のものを使用してもよい。その他、弁ユニット17の個数、位置、大きさ等に ついては図示したものに限定されない。
【0030】
【考案の効果】
以上詳述したように本考案による真空吸着装置によると、予めユニット化され た弁ユニットを使用しているので、製造・組立が容易になるとともに構成が簡略 化された。又、複数枚の板部材に孔を開けて積層させることにより弁室を構成す る構成ではないので、真空状態の維持も確実なものとなる。又、弁としてのスト ロークは弁ユニット自体の構成により確保すればよいので、真空吸着装置本体の 吸着面側としては薄肉状でよくなり、その分物量の低減及び軽量化を図ることが できる。さらに、吸着パットの貫通孔を真空吸着装置本体の吸着面側の貫通孔よ り大径にして形成した場合には、弁ユニットの保守・点検、交換が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例を示す図で真空吸着装置の構
成を示す断面図である。
【図2】本考案の一実施例を示す図で弁ユニットの構成
を示す断面図である。
【図3】本考案の一実施例を示す図で真空吸着装置の作
用を示す断面図である。
【図4】従来例を示す図で真空吸着装置の構成を示す断
面図である。
【図5】従来例を示す図で真空吸着装置の構成を示す断
面図である。
【符号の説明】
1 真空チャンバ(真空吸着装置本体の一部) 7 吸着板(真空吸着装置本体の一部) 11 吸着パット 13 貫通孔 15 貫通孔 17 弁ユニット 19 筒体 27 ボール(弁体)

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 排気手段に接続された真空吸着装置本体
    と、上記真空吸着装置本体の吸着面側に形成された複数
    個の貫通孔と、上記貫通孔にそれぞれ取付けられ筒体及
    びこの筒体内に移動可能に収容された弁体とからなる弁
    ユニットと、を具備したことを特徴とする真空吸着装
    置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の真空吸着装置において、
    弁ユニットの弁体は、球状をなすボール、又は、紡錘形
    状をなすものであることを特徴とする真空吸着装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は請求項2記載の真空吸着装
    置において、真空吸着装置本体の吸着面側には吸着パッ
    トが取付けられていて、この吸着パットには真空吸着装
    置本体の吸着面側に形成された複数個の貫通孔に連通す
    るとともに該貫通孔より大径の貫通孔が形成されている
    ことを特徴とする真空吸着装置。
JP1992007500U 1992-01-24 1992-01-24 真空吸着装置 Expired - Lifetime JPH0753912Y2 (ja)

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JPH0753912Y2 JPH0753912Y2 (ja) 1995-12-13

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