JPH0696640A - 電子キー又は電子キーボード及びその製造方法 - Google Patents

電子キー又は電子キーボード及びその製造方法

Info

Publication number
JPH0696640A
JPH0696640A JP15394593A JP15394593A JPH0696640A JP H0696640 A JPH0696640 A JP H0696640A JP 15394593 A JP15394593 A JP 15394593A JP 15394593 A JP15394593 A JP 15394593A JP H0696640 A JPH0696640 A JP H0696640A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
piezoelectric
conductive
piezoelectric material
keyboard
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15394593A
Other languages
English (en)
Inventor
Albert Buehlmann
ビュールマン アルベルト
Hans Schenk
シェンク ハンス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ARUGURA HOLDING AG
Algra Holding AG
Original Assignee
ARUGURA HOLDING AG
Algra Holding AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ARUGURA HOLDING AG, Algra Holding AG filed Critical ARUGURA HOLDING AG
Publication of JPH0696640A publication Critical patent/JPH0696640A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H13/00—Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch
    • H01H13/70—Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch having a plurality of operating members associated with different sets of contacts, e.g. keyboard
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/96—Touch switches
    • H03K17/964—Piezo-electric touch switches
    • H03K17/9643—Piezo-electric touch switches using a plurality of detectors, e.g. keyboard
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
    • H10N30/045—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
    • H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
    • H10N30/077—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302—Sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2201/00—Contacts
    • H01H2201/02—Piezo element

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【構成】 一方が基層１上に形成された２つの導電領域
２間に接着して結合された圧電層３を有するモノリシッ
ク圧電キーであって、基層１は基本の導電領域に流体と
して接着され、基本の導電領域に接着するように密着す
る固体に変化される。他方の導電領域は、圧電層の接着
して形成され、これらモノリシック構造が分極される。 【効果】 多くの複雑な電気的素子を基層に接着される
層に集積することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感圧キー又は感圧キー
ボードとして公知である圧電素子及びそれらの製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】多くの場合、圧電材料は
両側に電極が形成され、それに対応する構造素子が取り
付けられた状態で使用される。このタイプの圧電キーの
例は、欧州特許第０４７２８８８号明細書及びスイス特
許第６００５８１号明細書に記載されている。しかし、
そのような構成素子はいくつもの要素からなっており、
構成素子にそれら要素を組込むには多額な工程を要する
ので、製造することは困難である。したがって、欧州特
許第０４７２８８８号明細書に記載されたキーボード
は、少なくとも２層のフィルムからなっており、それら
は各キーに対し細長い導体、接触面及び１の圧電セラミ
ック薄膜を有している。キーボードを組立てるために、
フィルムと圧電セラミック薄膜とは、相互に接触しなけ
ればならず、接着されなけらばならない。圧電セラミッ
ク薄膜を形成するには、多額の費用を要し、効率及びそ
のようなキーボードの生産コスト面において限界を示し
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、生産過程に
おいて手作業が実質的に省略可能な構造の圧電素子を提
供することを目的とする。さらに本発明の特別な目的
は、労力を要する組立てや予め製造された個々の圧電素
子を取付けることなく、改良された方法で動作位置に置
かれ得る少なくとも１つの圧電層を提供することであ
る。他の目的は、電気的に導電する層及び／又は導電
路、圧電層領域、及びいわゆる“厚膜”又は“薄膜”形
成技術、及び実質的に望ましい形状や外形に形成された
コーティング等のような組織的に均一した連続の工程や
本質的に類似の処理工程により基層、キャリア又は基板
に形成され得る局部的に限定された絶縁領域及び間隙領
域を有する、全ての局部的に限定された素子における圧
電素子を提供することを目的とする。他の目的は、動作
特性を損失することなく且つ改良された特性を有し、よ
り経済的な方法で製造され得る圧電素子を提供すること
である。さらに、かなり大きなキーボードや電力節約の
ため複数に直列接続されたキーボード等、望ましい複雑
さの圧電構造の製造方法を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】これら及び他の目的は、
少なくとも１つの第１導電領域を有する基層が形成され
る製造方法により得られる。流体の圧電前駆材料からな
る薄層は、第１導電領域上に形成され、該第１導電領域
に確実に接着された合成圧電材料である本質的に互いに
密着する均一な固体フィルムに変化される。第２導電領
域は、圧電材料に強固に接着する第１導電領域から間隔
を置いて形成される。このことにより基層に強固に接着
し、合成圧電材料、第１導電領域、及び第２導電領域を
有するキー位置に実質的にモノリシック圧電材料素子を
形成する。合成圧電材料は、極性化され、被覆層が形成
される。モノリシック素子に隣接する領域にスペーサや
間隙素子も形成される。様々な層、すなわち、導電領
域、圧電層及び任意のスペーサは、流体による層形成
法、望ましくはスクリーン印刷により形成される。
【０００５】使用される材料、望ましい圧電材料の厚
さ、及び他の形成される層により、多くの形成や変化又
は調整工程が実行され得る。全体のキー構造の厚さをさ
らに増加させるために、第１導電領域は、基層の両側に
形成され、該基層上に１対の重ね合わせ素子を有し得
る。バイオモーフィック圧電重ね合わせ素子も形成され
得る。形成方法は、第２電極に第２合成圧電材料を形成
し、第２圧電材料に付加的な電極を形成することにより
修正される。
【０００６】本発明のさらなる利点は、適用される加工
技術により、さらに導電層、絶縁層及び圧電層構造、さ
らに抵抗、キャパシタ或いはダイオード等の素子を集積
可能にするということである。さらに連続的なウェブ又
は帯状形態の連続的な圧電素子を得ることが可能であ
る。
【０００７】他の利点及び応用は、以下、図により構造
素子のいくつかの実施例の表示で見られる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面を参照しつ
つ説明する。図１は、キーボードの各圧電キーの構造を
示している。それは、キャリア層又は基層１と、第１導
電層２と、圧電層３と、第２導電層４と、絶縁層又は保
護層５と、支持フォイル又は支持プレート８に結合する
接合層又は間隙形成層６とを有している。接合層６にお
いて、キーに該当する圧力点９の下方に間隙が設けられ
ている。
【０００９】圧力点９に対し図示の矢印方向に力を作用
させると、この配列の場合では、圧電層３が屈曲され、
圧電効果により導電層２と４との間に電圧が発生する。
導電層２及び４は、この圧電効果による電圧を検出し、
キーボードの作動信号を送る電子回路に結合されてい
る。
【００１０】この例においては、キーの製造にあたり、
層２から層６がコーティングとしてキャリア層１上に印
刷されるか又は薄膜として接着されるスクリーン印刷工
程が数回行われる。圧電層３と導電層２及び４は、キャ
リア層１に強固に接着するモノリシック圧電重ね合わせ
素子を形成するために相互に強固に接着する。
【００１１】この場合、一般的な層の厚さは、１μｍか
ら１００μｍのオーダーである。
【００１２】図１に示す構造は変更することも可能であ
る。したがって、例えば、金属薄膜がキャリア層１とし
て使用可能であり、図２に示すように、該キャリア層１
に構造素子が印刷される。この場合、金属薄膜１は、キ
ーボードのフロントプレートとして直接に使用可能であ
る。この場合、用途に応じて金属薄膜１を共通電極とし
て直接に使用するのが有益であり、これにより図２に示
すように導電層２が省略される。付加的な絶縁層は、金
属薄膜と導電層２との間に挿入され得る。
【００１３】他の実施例においては、接合層６及び支持
プレート８が省略し得る。圧電層の屈曲は、キー表面の
一点に力を集中して作用させることによりなされる。こ
れは、例えば、フロントプレート１の裏面が望ましく下
方へ押し下げられることにより達成される。
【００１４】さらに他の実施例においては、例えば、絶
縁層５が省略可能であり、特に、支持プレート８が導電
性を有しない場合又は導電層４と等電位である場合に省
略可能である。
【００１５】形成されるべき層がパターン形成されるこ
とも可能であり、これにより一層のキャリア層に複数の
分離した圧電素子を有するさらに複雑な構造を形成する
ことも可能となる。例えば、図３から図５は、キーボー
ドのマトリックスの一部を示している。この場合、導電
層２及び４は、圧電層３の島状に点在した素子の箇所に
おいて夫々に交差する複数の平行な行と列の導体片とし
て構成される。
【００１６】図６は、機械エネルギーを電気エネルギー
に変換可能なパターン化された素子の実施例を示してい
る。この場合、導電層２と圧電層３とは、パターン化さ
れず面状にに形成される。この形成によると、第２導電
層４は、細長い片状又は島状にパターン化し得る。この
ように組込まれた構成素子が、曲げにより機械的応力を
生じる場合、例えば、風中の旗のように振動する場合
は、正又は負の電荷が、層４の島状素子又は小片に発生
し、ダイオード１４やキャパシタ１５により整流され得
る。この場合、ダイオード１４及びキャパシタ１５は、
薄膜又は厚膜技術により構成素子に集積され得る。
【００１７】圧電効果を伴う電気ひずみ効果により、本
発明に係る構成素子の動作を逆に動作させることも可能
となる。この場合、電極に電圧を供給することにより圧
電層のひずみが発生し得る。したがって、例えば、超低
コストの音声発生器が構成され得る。
【００１８】キー又はキーボードは、本発明の最も望ま
しい実施例にしたがって、以下の工程を含む図９に示す
方法により製造される。
【００１９】（Ａ）基層１は、基板としての役割をな
し、該基層上にモノリシック圧電重ね合わせ素子が接着
して形成され、最終的なキーボード又はキーの一部とな
る。
【００２０】そのような基層を必要とする本質的な理由
は、基層上に少なくとも１つの導電領域２を形成するた
めである。この必要性は様々な方法で満たされ得る。第
１の望ましい実施例では、本質的に電気的に絶縁された
熱可塑性を有するポリマーや、“耐久性のあるプラスチ
ィク”（ｄｕｒｏｐｌａｓｔｉｃ）ポリマーの有機ポリ
マー合成物からなる自己保持性（ｓｅｌｆ−ｓｕｐｐｏ
ｒｔｉｎｇ）フィルムを使用することができる。ジュロ
プラスチィクポリマーは、弾性も熱可塑性も有しない
が、熱硬化等の種々の望ましい方法によりクロスリンク
されている。
【００２１】代表的な例は、商業用に利用可能なポリエ
ステル、ポリカーボナイト、ポリプロピレン、ポリアミ
ド、ポリアセタール等、通常、厚さが約５０μｍから２
０００μｍの範囲内にあるフィルムを使用している。基
層フィルムは弾性を有しているのは望ましいが、張力に
対して伸張性を有しないのが望ましい。したがって、フ
ィルムの分子配向や固有の結晶性を有するのが望まし
い。フィルムは、老朽化しにくく、機械的な耐久性を有
しているのが望ましく、それらフィルムは、半透明や透
明又は不透明及び／又は色彩を有し得る。例えば、１０
０℃以上の可塑化温度を有するというように、フィルム
が温度安定性を有することは大変望ましい。これによ
り、乾燥、硬化、加硫或いはモノリシック圧電重ね合わ
せ素子の製造に必要とされる種々の熱処理に対し、一般
的に要求される加熱温度の制限が解消されるからであ
る。
【００２２】少なくとも１つの導電領域２は、前述のよ
うな有機ポリマーの基層に選択的に（局部的に予め決め
られて）、形成され、或いはパターン印刷（例えば、ス
クリーン印刷）を含む従来の方法や、スパッタリング、
真空蒸着や他の類似の方法により、表面層として形成さ
れ得る。導電領域２、４及びその間の圧電材料の島状素
子３の特殊な形状は、例えば、円形状や多角形状等の種
々の形状とすることができる。それらは、隣合う領域と
の同時作動（ｃｒｏｓｓｔａｌｋ）を発生することな
く、作用力９に応答して反応する限定的な領域であるこ
とが重要である。
【００２３】導電層を局部的に選択して形成するための
望ましい合成物は、商業用に利用可能で、一般的にバイ
ンダーや導電材料、例えば、銀やカーボンブラック等の
メタリック顔料を有しているのが望ましい。特殊な例
は、種々の製造元から“銀塗料”（ｓｉｌｖｅｒ ｐａ
ｉｎｔ）として提供されるものである。塗料やインク等
の粘性は、少なくとも１つの導電領域を形成するために
使用され、ふるいサイズ（該サイズは、メートル法或い
はメートル法でない基準で定義される）のような、特別
な用途に応じて選択される。該領域は、本発明に係るキ
ーやキーボードの第２導電層又はそれに続く電極層と区
別するために時々“第１導電層”と表現する。
【００２４】前記少なくとも１つの導電領域間の結合
は、キーやキーボードが通常に使用されている間は、実
質的に分離してはならない。結合方法、例えば、アイオ
ノマーやＥＶＡ樹脂等の基層に従来の下塗り層を形成す
る方法や、ボンディング表面処理、例えば、ポリマーの
基層シートの表面を酸化又はハロゲン化する方法は、基
層に少なくとも前記１つの導電領域の接着を改良するの
に必要であり、或いは有利である。
【００２５】これに代えて、基層は、例えば導電性の有
機材料或いは無機材料の局部的な層形成により形成され
る、金属シート等の導電材料とすることができる。該導
電材料は、表面パターンを必要に応じて具備したものと
される。
【００２６】（Ｂ）圧電前駆材料：本発明の本質的な特
徴は、キー又はキーボードの圧電層３又は複数からなる
圧電層が先行技術に係るキーボードのように予め製造さ
れるのではなく、少なくとも１つの導電領域（順次、基
層に強固に接着する）に形成され強固に接着する点にあ
る。上記指摘したように、“強固な接着”とは“キー又
はキーボードの動作寿命中、動作状態のもとで剥離して
分離しない”という意味である。この特性は本発明にし
たがって達成され、商業的実現可能性のために不可欠で
あると思われる。さらに、本発明に係るキー又はキーボ
ードの幾つかの層は密着しなければならない。
【００２７】本発明にしたがって形成された圧電材料の
密着する単一又は複数の層の説明に使用される“前駆材
料”という語は、非固体状で存在し得るある組織、すな
わち、薄膜（“薄い”とは、通常、固化したときに厚さ
１μｍから約１００μｍの範囲であり、２０μｍ以下で
あるのが望ましい）として形成されるのに望ましい流体
について述べている。図７は、印刷技術により形成され
るのに望ましい合成組織を示している。この組織におい
て、粒状の圧電セラミックス材料１０は、バインダー内
に保持している。バインダーは、作用する力が粒子にで
きる限り伝達され得るように可能な限り高い硬度を有し
なければならない。
【００２８】前駆材料は、通常、圧電性を有し又は付与
される細かく分離された固体材料の液状組織について言
われる“圧電塗料”を使用するのが望ましい。そのよう
な固体材料は、一般的にＰＺＴ型（鉛−ジルコニウム−
チタン）であり、“セラミック”の圧電材料として述べ
られる。それらセラミックスの圧電材料は、種々の製造
元から商業的に利用可能である。ここで使用される圧電
固体材料の一般的な粒子サイズは、概して約０．５μｍ
から２０μｍまでの範囲であり、望ましくは１μｍから
１０μｍまでの範囲、とりわけ約１μｍから５μｍまで
の範囲であるのが望ましい。下限は本発明の効果上望ま
しというよりもむしろ実際の製品の実用性によるもので
ある。一方、上限はそのような材料を形成する固体の層
の密着性と均一性のため本発明の多くの適用例に不可欠
であると思われるからである。
【００２９】圧電セラミックス粉末の含有量は、機械的
接触が可能な限り多くの隣接するセラミックス片間で保
証され得るようにできるだけ高くされ、一般的に、イン
ク素材或いはビヒクルとセラミック材料との体積比は
０．１から１０である。これは粒子にできる限り効率的
に力伝達を保証するために必要なことである。この場
合、セラミックスの量は、乾燥材料の接着と機械的な耐
久性に関する必要性により制限される。
【００３０】セラミックス塊、例えば、酒石酸、酒石酸
塩、サリチル酸塩、及び糖類、ポリビニル、ポリビニリ
デン、ハロゲン化物等、通常、固体の有機酸や有機塩の
ような細かい結晶状の有機材料は、ここでは使用不可能
ではないけれども、本発明の目的達成のためには余り望
ましくない。
【００３１】前駆材料に関してここで使用される“流
体”という語は、液体及び気体又は液状組織及び気体状
組織を含んでいる。取扱いが容易であるという実用的な
理由と、利用性及び処理制御が比較的容易であることか
ら、液状組織は、一般的に最も望ましい。代表的な例
は、１又はそれ以上の商業的に利用性のある基材として
の液体又は糊状物、「ビヒクル」又は「ラッカー」のよ
うなスクリーン印刷技術のための材料中に、細かく分離
された固体の圧電材料が分散されたものである。一般的
に、そのような基材は、１又はそれ以上の溶剤及び１又
はそれ以上のバインダー、例えば、適当な溶剤や、任意
の蒸発、固化、硬化、加硫等の割合を制御するための添
加剤又は補助剤により溶解した有機ポリマーを有してい
る。
【００３２】他の液状組織又は気体状組織の例として
は、スパッタリングや蒸着方法により形成可能な物質が
挙げられる。すなわち、酸化亜鉛のような気体の又は液
体の前駆材料から圧電固体材料を形成し得る物質を有し
ている。
【００３３】（Ｃ）前駆材料の適用：前駆材料を適用す
るために使用される技術は、使用される前駆材料のタイ
プに勿論依存する。望ましい液状組織を使用すると、前
駆材料のフィルムは、スクリーン印刷、スプレー、ロー
ラコーティング等により層として形成され得る。そのよ
うな液状組織は、望ましくは乾燥、硬化、加硫の固化の
中間段階で上記限定した連続する薄膜を層形成すること
により適用することができる。前駆材料のための開口１
５を有するスペーサ１６は、印刷により形成され、開口
１４を有するために形成されパターン化された層とする
ことができる。スペーサは、前駆材料を形成する前に形
成され形成工程の際に使用することもでき、又は前駆材
料を形成した後に形成することもできる。スペーサは隣
合う領域との同時作動を防止するために圧縮性を有しな
いのが望ましい。
【００３４】（Ｄ）前駆材料層の変化：前駆材料を変化
させるために使用される技術は、使用される組織に依存
している。望ましい液状組織を使用する場合、変化は固
体化、例えば、乾燥、硬化、加硫により液状段階を取り
除くことにより行われる。多くの目的のために、熱変化
方法は、他の構成素子に破損を与えないのが望ましい。
温度は約５０℃から２００℃までの範囲が一般的であ
る。多くの目的のために、結果として密着する層の厚さ
は、約１２５μｍ以下であるのが望ましく、１００μｍ
であるのがさらに望ましい。特に望ましい厚さはさらに
小さく、すなわち、７５μｍ以下でとりわけ５０μｍ以
下であるのが望ましい。しかし、層は上記限定した意味
においては密着しなければならない。これは繰り返して
形成し、固化する必要があり、使用される構成素子に依
存し、特に、細かく分散された固体の圧電材料を有する
ポリマーマトリックスの弾性に依存している。
【００３５】上記したように、結果として生じる層は、
本質的に“均一”でなければならない。一般的に、この
語は、密着する圧電層は、隣接する電極層が短絡するの
を防止しなければならないということを意味している。
液状組織又は糊状組織が固化することにより発生する層
の不十分な均一性を有する共通の原因は、顕微鏡的に極
めて微細な気泡の場合は別として小さな気泡を含むこと
である。これを回避するための従来の方法は、ガス抜
き、すなわち、減圧を行うことである。圧電層の密着性
と均一性を獲得し改良するための他の方法は、機械的圧
力又は静水圧力を適用することである。
【００３６】層の電気的な特性を測定することによる、
望ましくは隣接する電極層２及び４が形成された後に測
定することによる、幾つかの簡単な実験により与えられ
たシステムに対して最適な結果を得ることができる。
【００３７】本発明に係る密着した圧電フィルムについ
て述べる“合成の”という語は、ボンディングのタイプ
に拘らず多数の固体粒子により形成された層状組織を有
しているという意味である。これは電気的層形成及び結
合性或いは接着性を有する物質を使用することにより形
成された層に見られるタイプの面ボンディングを有して
いる。圧電粒子をボンディングする望ましい方法は、マ
トリックスを形成すること、例えば、無機材料又は望ま
しポリマー（必ずしも必要ではないがクロスリンクした
もの）のような有機材料のマトリックスを形成すること
である。マトリックスは圧電材料の固体粒子を強固に保
持し、長時間にわたる機械的な圧力による引延ばし（例
えば、２００万回又は４００万回のキーのスイッチング
試験）、及び老化（数年間の使用に相当すると考えられ
る上昇された温度において操作を行う加速試験により明
らかにされるように）による層の望ましくない変化を抑
制するように本質的に連続的な相で形成するのが望まし
い。
【００３８】厳格な条件を満足するキー又はキーボード
が、本発明にしたがって得られることは注目すべきであ
る。すなわち、本発明の２つの主な目的、すなわち、実
質的に改良された生産性及び同等又は改良された特性を
同時に達成し得るのである。
【００３９】（Ｅ）任意の第２電極層：工程（Ｄ）終了
後、他の導電層４（第２電極層）は、図１０で示される
ように合成の圧電材料３のフィルムの上面に形成され
る。一般に、これは電気的に絶縁な基板に第１電極層２
を形成するため上記工程（Ａ）で説明した方法により達
成され、さらなる説明は要しない。層５のような保護層
又は絶縁層は、第２電極層４に被覆され得る。
【００４０】（Ｆ）分極又はポーリング：圧電材料を有
する感圧素子を動作させるためには、一般に電圧や電界
をかけることを要することは公知である。通常、従来の
ポーリング方法は、導電層２と４との間に電圧を印加す
ることにより行われる。強誘電体内の電界は、余りにも
大きくなりすぎて抗電力を超えてしまう。これは強誘電
体の相対的な電界に対する許容範囲が結合材料の許容範
囲よりも遥かに大きい場合に特に重要であり、その結
果、強誘電体内に付与された電界がそれに応じて減少す
る。分極工程の際に、温度を上昇させたり降下させたり
することにより、相対的な電界に対する許容範囲と強誘
電体の抗電力を減少させること、すなわち、分極化を容
易にすることが可能となる。圧電層がポリマーマトリッ
クスを有する合成物である場合、ポーリングは上昇した
温度（例えば、８０℃から１５０℃）で行われるのが望
ましい。このとき、同時に加圧してもよくしなくてもよ
い。
【００４１】さらに、ポーリングは被覆層や、実質的に
曲がらないマウンティングプレートのような付加的な支
持層８を形成する前後でも行われ得る。
【００４２】分極化工程の際、電極間破壊を防止するた
めに、分極はコロナ放電により分極される。これは圧電
材料３が固化した後に行い、第２電極層４が形成される
前に行われる。図８に示すように、この場合、第１導電
層２は零電位に結合されている。そのとき、基板から数
センチメートル離れて位置する電極針１２は、高電圧電
源１３に接続されている。コロナ放電による結果とし分
極された圧電材料に表面電荷が誘起される。
【００４３】分極の他の方法、特に電極を分極する方法
は、望ましい点で局部的にのみ圧電材料を分極し、隣接
する領域間の誘導妨害は減少され得る。
【００４４】他の圧電材料の例は、分極されたポリフッ
化ビニリデン（ＰＶＤＦ）のような望ましい圧電ポリマ
ーからなっている。この場合、ポリマーは溶融した状
態、又は１６０℃から１８０℃の融点よりも高温の状態
で印刷される。材料は、例えば、静電粉末スプレー方法
により形成され得る。形成後、材料は電界に通すことに
より分極され、この場合、上記方法が使用できる。これ
はガラス移転温度以上又はフィルムが固化されていない
状態で行わなければならない。
【００４５】このタイプの分極されたフォイルをキャリ
アフォイルとして使用することも可能であり、該フォイ
ル上に、例えば、印刷技術により他の全ての層が形成さ
れる。
【００４６】図９に示すように圧電材料３と導電層４と
の結合された厚さは、スペーサ１６の厚さよりも小さ
い。このことにより、図１のボンディング層６を形成可
能にする重ね合わせ素子の下方に間隙が形成される。従
来の間隙要素又は空間形成要素は、例えば、キーボード
のパターンにマッチングする開口を有するカード板又は
プラスチィクの小片を有している。この明細書の参考文
献として欧州特許Ａ−０４７２８８８号明細書が挙げら
れる。この先行技術は、被覆シートをシールする種々の
方法を示しており、有機ポリマー材料のフィルムとして
望ましい形態で基層と同じ形態とされるが、必ずしも同
じ形態でなくてもよい。
【００４７】一般的に間隙要素は、各キーの下方に小さ
な間隙を形成するための手段で、圧電層は、キーボード
上面に作用する圧力により電気信号を増加させる曲げ応
力が発生するように、その周辺で支持され、その中心で
は支持されないか或いは補助的に支持される。この特徴
は公知であるので、さらなる説明は必要ではない。
【００４８】圧電技術において公知であるように、キー
又はキーボードは、いわゆるバイモフィック（ｂｉｍｏ
ｒｐｈｉｃ）構造を有し得る。これは、本発明に係る工
程（Ｃ）から（Ｅ）を繰り返し行う改良された方法によ
り達成し得る。図１０に示すように、この実施例による
モノリシック圧電重ね合わせ素子は、第１電極層２、第
２電極層４の間において中間の「第３」電極層１７によ
り分離された状態で固体圧電材料からなる２つの密着し
た２つのフィルム３Ａ、３Ｂを有している。付加的な又
は中間の層が、隣接する層の改良された接着性、密着性
又は互換性のために提供され得る。
【００４９】他の多層からなる圧電材料の実施例は、図
１１に示されており、圧電材料の密着性を損なうことな
く重ね合わせの厚さを増加させるためである。基層１Ａ
は両面に第１電極層２Ａ、２Ｂを有している。島状の圧
電材料３Ａ、３Ｂは、夫々第１電極層２Ａ、２Ｂに形成
され第２電極層４Ａ、４Ｂは島状圧電材料３Ａ、３Ｂ上
に形成される。
【００５０】本発明の全ての望ましい実施例において、
キー又はキーボードは、圧電重ね合わせ素子の安定した
モノリシック構造、すなわち、一体構造の形態をなす基
層と電極層と圧電フィルム層とを有する多層状構造をな
し、前記一体構造の層は、対応する前駆材料、すなわ
ち、合成物又は固体よりもむしろ液体状態の必要とされ
る構成要素を有する物質又は提供する物質から層を形成
することにより製造された相互密着関係にある。したが
って、予め製造された素子を使用されたり、適用された
りしない。
【００５１】以下に本発明について実際に実施をした例
を挙げる。以下の割合及びパーセント表示は、特に断ら
ない限り重量を基準としたものである。 実施例１：感圧キーボードは以下のようにして製造され
た。
【００５２】（ａ）基層 キーボードの製造に使用された基層は、商業的に入手可
能なポリエチレンテレフタレートフィルム（ＩＣＩ社に
より供給されるタイプ５０５ＳＴで厚さ１７５μｍ；登
録商標；Ｍｅｌｉｎｅｘ）であって、従来のプライマー
層を有するもの又は改良された粘着のために表面に従来
方法により塩素殺菌されたものとされた。
【００５３】（ｂ）第１導電層 商業的な銀塗装（例えば、米国エイクソンインダストリ
ー社又は英国オリンハント社から入手可能である）は、
例えば、公知の１６のキー領域と、各々の又はグループ
（行／列）の結合のための導電路の第１パターンとから
なるキーボードパターンを製造するために約７．５μｍ
の厚さ（乾燥状態）で、スクリーン印刷（２３０Ｔメシ
ュに相当するスクリーン標準９０Ｔ）により基層に局部
的に形成された。パターンは、１６の環状の電極領域及
び結合する導電路を形成するために従来の写真方法によ
り得ることができた。印刷されたパターンは、１１０℃
で２０分間空気乾燥された。
【００５４】（ｃ）圧電層 印刷インクは、ミリングにより実験室用ミルにかけられ
ることにより用意された。０．５μｍから２．５μｍま
での大きさの粒子サイズを有する商業用のＰＺＴタイプ
のセラミック粉末（オランダ国フィリップス社により供
給されるタイプＰＸＥ５又はタイプＰＸＥ５２）の１０
０パーツ；商業用スクリーン印刷ラッカー（スイス国プ
リントカラー社により供給される樹脂２９０−０５）の
２０パーツ；アクリルラッカー（プリントカラー社によ
り供給されるタイプ２９０）の５パーツ；蒸発遅延因子
（プリントカラー社により供給されるタイプ１０−９
９）の１パート；製粉は従来のスクリーン印刷により同
質（視覚上）且つ粘度を得るために３回繰り返された。
インクは、層に気泡が形成されるのを防止するために４
３Ｔ（１１０メシュＴ）のスクリーンで厳重に３回印刷
することにより工程（ｂ）で製造された電極部の領域の
基層に局部的に形成される。写真技術により製造された
パターンは、工程（ｂ）により製造された電極領域を同
心円状に被覆するために使用され、約１ｍｍのマージン
をとって電極領域に重ねられた。各印刷工程終了後、形
成された層は、１００℃で３０分間空気乾燥された。結
果として得られた乾燥された圧電フィルムの合計の厚さ
は、約５０μｍであった。
【００５５】（ｄ）第２電極層 工程（ｂ）及びそれに対応する各キー動作のための結合
路の通信セットにおける電極形成用のパターンは、工程
（ｂ）により説明した方法で１２０Ｔ（３０５Ｔメシ
ュ）スクリーンでスクリーン印刷することにより工程
（ｂ）及び（ｃ）で製造されたパターンにマッチングす
る領域の基層上に形成された。印刷された層は、１１０
℃で２０分間空気乾燥された。
【００５６】（ｅ）保護層 シール層は、１２０Ｔスクリーン（３０５メシュ）によ
り紫外線重合可能なラッカー（オリンハント社により供
給されるタイプＩｓｏＵＶ）の層を形成することにより
結合器両端の領域に形成された。紫外線発光は、商業用
の紫外線ランプを使用して行われた。
【００５７】（ｆ）ポーリング 工程（ｅ）により得られる製品は、相互に０．０バール
で圧縮された２枚のプレート間で約１５０℃に熱せら
れ、導電路を経て１対の電極間に直流電圧１００ボルト
が印加された。
【００５８】（ｇ）層の被覆及び間隙の付与 厚さ１２５μｍのポリエチレンテレフタレートのシート
は、２つの電極間の重ね合わせ素子の下に円形状の間隙
と、相互にシールする中間の圧電層とを形成するために
電極パターンにより本質的に対応する開口を有するペー
パシートに接着して結合された。このシートは、分極さ
れた製品と直線的に配列され、３Ｍ（ミネソタ、マイニ
ング アンド マニュファクチャリング株式会社）によ
り供給されるタイプ４６７の接着剤等の商業用の接着剤
を使用してシールされた。
【００５９】実施例２ 感圧キーボードは以下のようにして製造された。
【００６０】（ａ）基層 キーボードの製造に使用された基層１Ａは、商業的に入
手可能なポリエチレンテレフタレートフィルム（ＩＣＩ
社により供給されるタイプ５０５ＳＴで厚さ１７５μ
ｍ；登録商標；Ｍｅｌｉｎｅｘ）であって、従来のプラ
イマー層を有するもの又は改良された粘着のために表面
に従来方法により塩素殺菌されたものとされた。
【００６１】（ｂ）ベース導電層 同様の銀塗装は、実施例１の第１導電層の場合と同様に
基層１Ａの両側に局部的に行われる。１６のキー領域と
結合導電路とを有するパターン２Ａ、２Ｂは、基層の両
側に得られた。
【００６２】（ｃ）圧電層 圧電印刷インクは、実施例１と同様にして用意された。
インクは工程（ｂ）で製造された１６の導電キー領域の
各領域の基層の両側にスクリーン印刷により形成され
た。印刷は実施例１と同様に３回繰り返され、工程
（ｂ）で製造されたキー領域を被覆した。結果として各
フィルム３Ａ、３Ｂの合計の厚さは、約５０μｍであっ
た。
【００６３】（ｄ）上部導電層 電極のパターンは、実施例１の第２電極層４Ａ、４Ｂと
同様にして基層の両側の圧電層に形成された。
【００６４】（ｅ）保護層 工程（ａ）から（ｄ）で製造された重ね合わせ構造を保
護し電気的に絶縁するためのシール層が、実施例１の保
護層と同様にして基層の両側に形成された。
【００６５】（ｆ）ポーリング 工程（ａ）から（ｅ）で製造されたバイモフィク構造を
ポーリングするために、３２の重ね合わせ素子全てのベ
ース導電層２Ａ及び２Ｂは、共に直列に結合された。基
層の一方の面にある外側の導電層４Ａ上の１６の重ね合
わせ素子は共に結合され、他方の面の層４Ｂ上の１６の
導電領域は、共に結合された。外側の導電層４Ａ、４Ｂ
間には２００ボルトの直流電圧が印加され、製品は１５
０℃まで熱せられた。ポーリングは１０分間継続され
た。ポーリングしている間、基層の両側の重ね合わせ素
子は、直列結合された。ポーリング後、２つの対応する
重ね合わせ素子は、結合する基層及び基層の外部の導電
層により並列結合された。
【００６６】（ｇ）層の被覆及び間隙の付与 厚さ１２５μｍのポリエチレンテレフタレートのシート
は、２つの電極間の重ね合わせ素子の下に円形状の間隙
と、相互にシールする中間の圧電層とを形成するために
電極パターンにより本質的に対応する開口を有するペー
パシートに接着して結合された。このシートは、分極さ
れた製品と直線的に配列され、３Ｍ（ミネソタ、マイニ
ング アンド マニュファクチャリング株式会社）によ
り供給されるタイプ４６７の接着剤等の商業用の接着剤
を使用してシールされた。最終的な製品は、約１０ボル
トの最大信号強度を発生した。
【００６７】実施例３ この実施例は、予め製造された挿入物を使用するよりも
むしろ流体での層形成方法により本発明にしたがって、
キー又はキーボードのための間隙要素を形成する望まし
い実施例を示している。
【００６８】間隙要素、すなわち、スペーサ層１６（図
９）が、合計の厚さが約１００μｍの層を形成するため
工程（ｄ）の前で印刷により形成されることを除いて実
施例１が繰り返して行われる。印刷は実施例１の工程
（ｃ）で示されるように行われるが、インク素材にセラ
ミックス材料を付加するのは、以下に説明するよう“不
活性（ｉｎｓｅｒｔ）”要素のより置き換えられる。そ
の代わりに、間隙層は、望ましい硬化剤を有する商業的
なエポキシドポリマー、例えば、ポリマーが“不活性”
部材として機能するアラルダイト（登録商標名）のよう
な上記紫外線硬化できるポリマーや反応的なポリマー合
成物からなるインクを使用してパターンを印刷すること
により本発明にしたがって製造され得る。
【００６９】これは以下のように説明される。本発明方
法にしたがって流体蒸着方法により製造された間隙要素
又はスペーサ層のいくらかの成分は、“圧電的に不活
性”でなければならない。この“圧電的に不活性”とい
う語は、ピコ クーロン パーニュートン（ｐＣ／Ｎ）
で一般的に示され、一般的に、圧電電荷の方向や、添字
“ｄxy”（例えばｄ31）による力と機械的な歪との関係
を示す圧電歪定数に基づいている。したがって、間隙層
の構成要素として使用される材料は、接触する圧電層、
例えば、ｄ31（層１６）≦０．０１ｄ31（層３）の圧電
歪定数の約１％（基数）を越えない圧電歪定数を有しな
ければならない。
【００７０】間隙層を製造するのに使用される望ましい
インクは、もしインクが、例えば、溶解可能な液体ポリ
マー合成物の使用により又は一般的にガラス粉末や上記
の意味及び通常の化学的な意味においての“不活性”で
ある粒子状の固体物質等のようなフィルターを使用する
ことにより、十分な濃度や粘性を有しているならば、唯
一の形成工程により形成され得る。この必要条件を満た
す多くの無機ケイ酸塩、炭酸塩や酸化物が使用可能であ
る。粒子サイズは、５０μｍから、例えば、３０μｍま
でであるのが望ましい。
【００７１】実施例４ 間隙要素１６Ａ、１６Ｂ（図１０）がガラス粉末（粒子
サイズは２０μｍ以下）と、約２：３の割合、すなわ
ち、ガラス粉末の重量の約３５％を包含する実施例１の
工程（ｃ）に使用される素材のような商業用インク素材
とからなっているインクを使用して印刷することにより
製造される以外は実施例２が繰り返される。
【００７２】間隙層１６Ａは、印刷により第１圧電層３
Ａを形成した後、第３電極層を形成する前に形成され、
間隙層１６Ｂは、１６Ａと同様にインクにより形成され
るが、第２圧電印刷層３Ｂを形成した後、電極層４を形
成する前に形成される。
【００７３】実施例５ 図１１に示される型の構造をしたキーやキーボードを製
造するために、実施例３に記載した工程が本質的に繰り
返された。基層１Ａから着手して、第１の“重ね合わ
せ”構造が導電電極層２Ａ、圧電層３Ａ、間隙層１６Ａ
及び電極層１６Ｂが連続的に積み重ねられて形成され
た。そして、第２の重ね合わせ構造は、導電電極層２
Ｂ、圧電層３Ｂ、間隙層１６及び電極層４Ｂを連続的に
基層１Ａの反対側の面に積み重ねることにより形成され
た。その上、被覆層１Ｂが実施例１と同様に形成され
る。勿論、２つの重ね合わせ構造からなる連続部材は、
基層１Ａの反対側の面に電極層２Ｂを形成することから
着手して逆に行うこともできる。
【００７４】実施例６ 図１２から図１４に示される構造を有するキー又はキー
ボードは、本発明にしたがい以下のようにして製造され
た。基層２１は実施例１に示すふるい印刷又は従来のイ
ンターデジタル変換器による方法で電気的に導電するよ
うにパターン化され、導電路２４３、２４４を有する相
互に間隔を置かれた２つの同一平面内の電極２４１、２
４２からなる真空蒸着（ポリマー基板に比較的に薄い導
電層を形成するために望ましい他のなんらかの技術）に
より形成された。
【００７５】そして、圧電層２３は、実施例１の工程
（ｃ）と同様の方法により形成された。さらに理解し易
くするために、層２３は、完全に電極２４１、２４２を
被覆することなく両側に重ねられて図示されている。こ
のことは重要ではなく、むしろ、層２３が本質的に電極
２４１、２４２を被覆し又は重ねることは多くの目的の
ために望ましいことである。そして、間隙層２６は上記
方法により製造され、望ましい最終製品を製造するため
のさらなる工程を以下に示す。
【００７６】分極は導電路２４３、２４４を経て１対の
電極対２４１、２４２間に電界を加えることにより行わ
れた。電界の一部は圧電層２３を通過し、電極周辺の領
域が分極された。
【００７７】機械的な歪みがキー又はキーボードの感圧
領域、すなわち、共通に作用する圧電層２３を有する同
一平面内の電極層間に間隙領域に作用した場合、通常、
５ボルトの電気信号が電極２４１、２４２間に発生す
る。信号発生過程は、図６に示されるように行われる。
【００７８】本発明の範囲内において、圧電キー又は圧
電キーボードの製造に携わる人々にとって種々の修正を
なし得るのは明らかであり、キーボードはキーが多数設
けられたものであり、１０、２６、４８からなる所定の
パターンに必要な回路素子又はアルファベット記号やキ
ーボードから制御し得るシステムに使用される他の記号
のようななんらかの記号を表示するさらなるキーが備え
られたものである。
【００７９】例えば、他の種々の圧電材料は、密着する
圧電層を形成するために望ましい材料を包含する流体の
（すなわち、液体又は気体）前駆材料システムを伴う合
成物の形態に使用され、形成され得る。例えば、上記に
説明した合成の圧電層のマトリックスからなるポリマー
は、挿入より圧電作用的に活発である。スクリーン印刷
以外の他の方法、例えば、スプレー、ブラッシング、デ
ィプコーティング等の形成方法は、圧電キー又は圧電キ
ーボードのために必要とされる局部的に限定されたパタ
ーンが、本質的に全ての構成要素の自動化された組立て
が圧電キー又は圧電キーボードの製造において達成され
るような商業的な製造方法が獲得され得るならば、使用
可能である。
【００８０】
【発明の効果】本発明方法にしたがって、スクリーン印
刷により基層上に複数の薄膜を接着することができるの
で、多くの複雑な電気的素子を多層状の薄膜に集積する
ことが可能である。したがって、かなり大きなキーボー
ドや電力節約のために複数に直列接続されたキーボード
に使用される電子キーの圧電構造として提供でき、ま
た、集積技術により圧電素子を連続的なウェブ又は帯状
形態に製造することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る各圧電キーの構造を概略的に示す
断面図である。
【図２】フロントプレートの後面に直接印刷されたいく
つかのキーの構造を示す断面図である。
【図３】キーボードマトリックスの実施例を示す平面図
である。
【図４】図３の線IV−IVに沿うキーボードマトリックス
の断面図である。
【図５】図３の線Ｖ−Ｖに沿うキーボードマトリックス
の断面図である。
【図６】圧電変換器の一部を示す側面図である。
【図７】圧電合成材料を示す断面図である。
【図８】圧電合成材料をコロナ放電により分極させるた
めの配列を示す概略図である。
【図９】本発明に係る各圧電キーの他の実施例を示す断
面図である。
【図１０】本発明に係るバイモフィック圧電キーを示す
断面図である。
【図１１】図１０に示す圧電キーに修正を加えた断面図
である。
【図１２】本発明に係る基層に数字の又はデジタル配列
されたキー又はキーボードの電極を図式的に分解して示
す平面図である。
【図１３】本発明に係る流体蒸着技術により電極対に圧
電層が接着された後の状態を示す平面図である。
【図１４】図１３に示す構造の断面図である。
【符号の説明】
１Ａ 基層 １Ｂ 被覆層 ２Ａ 導電層 ２４１ 電極 ２４２ 電極 ２４３ 導電路 ２４４ 導電路
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 41/26

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも１つの第１導電領域を有する
    基層を形成する工程、 前記少なくとも１つの第１導電領域に少なくとも１つの
    流体の圧電前駆材料の薄膜を形成する工程、 前記少なくとも１つの前駆材料の薄膜を前記第１導電領
    域に強固に接着する合成圧電材料製の実質的に密着する
    均一な固体フィルムに変化させる工程、 前記第１導電領域から間隔を置いて第２導電領域を形成
    し、前記基層に強固に接着し、前記第１導電領域及び第
    ２導電領域からなる前記固体の合成圧電材料を包含する
    少なくとも１つの実質的にモノリシックな圧電素子を形
    成するために前記導電領域間の空間を結合する前記固体
    の合成圧電材料に強固に接着する工程、前記第１導電領
    域及び第２導電領域に関して前記合成圧電材料を分極す
    る工程、を備えていることを特徴とする感圧電子キー又
    は感圧電子キーボードの製造方法。
  2. 【請求項２】 前記基層は、片側に少なくとも１つの局
    部的に予め決められた領域で流体による層形成技術によ
    り接合形成された導電層を有する有機ポリマー合成物か
    らなるフィルムを有し、前記前駆材料の薄膜は、流体に
    よる層形成技術により形成されることを特徴とする請求
    項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】 前記流体による層形成技術は、スクリー
    ン印刷技術であることを特徴とする請求項２に記載の方
    法。
  4. 【請求項４】 分極工程に至るまでの前記工程は、前記
    合成圧電材料からなる２つの重ねられた密着する固体フ
    ィルムを有するバイモフィック圧電重ね合わせ素子を形
    成するために繰り返して行われ、前記合成圧電材料は、
    前記圧電材料の前記重ねられたフィルムの両側に接着し
    て結合された第３導電層により分離されることを特徴と
    する請求項１から３のいずれかに記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記基層は、各面に少なくとも１つの第
    １導電層が形成され、分極工程に至るまでの前記工程
    は、前記基層の各面上の第１導電層で行われることを特
    徴とする請求項４に記載の方法。
  6. 【請求項６】 前記少なくとも１つのモノリシック圧電
    素子に隣接する領域で少なくとも１つの間隙要素を形成
    し、該間隙要素は、流体による層形成方法により形成さ
    れることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載
    の方法。
  7. 【請求項７】 前記間隙要素は、印刷により形成される
    ことを特徴とする請求項６に記載の方法。
  8. 【請求項８】 前記間隙要素は、本質的に圧電挿入材料
    から構成される層を印刷することにより形成されること
    を特徴とする請求項９に記載の方法。
  9. 【請求項９】 請求項１から８のいずれかの方法により
    製造される機械的に安定した耐久性のある感圧電子キー
    又は感圧電子キーボード。
  10. 【請求項１０】 前記モノリシック圧電素子は、前記合
    成圧電材料の２つの重ねられた密着する固体フィルムを
    有し、前記合成圧電材料は、前記合成圧電材料の前記重
    ねられたフィルムの両側に接着して結合された第３導電
    層により分離されることを特徴とする請求項９に記載の
    キー又はキーボード。
JP15394593A 1992-06-24 1993-06-24 電子キー又は電子キーボード及びその製造方法 Pending JPH0696640A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1983/92-4 1992-06-24
CH198392 1992-06-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0696640A true JPH0696640A (ja) 1994-04-08

Family

ID=4223169

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15394593A Pending JPH0696640A (ja) 1992-06-24 1993-06-24 電子キー又は電子キーボード及びその製造方法

Country Status (12)

Country Link
US (1) US5374449A (ja)
EP (1) EP0576400B1 (ja)
JP (1) JPH0696640A (ja)
KR (1) KR100326900B1 (ja)
CN (1) CN1083163C (ja)
AT (1) ATE142375T1 (ja)
AU (1) AU664622B2 (ja)
CA (1) CA2099089C (ja)
DE (1) DE69304443T2 (ja)
FI (1) FI112556B (ja)
NO (1) NO308277B1 (ja)
TW (1) TW241398B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006236988A (ja) * 2005-01-31 2006-09-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 感圧導電シート及びその製造方法、並びにこれを用いたタッチパネル

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5459461A (en) * 1993-07-29 1995-10-17 Crowley; Robert J. Inflatable keyboard
US7126583B1 (en) 1999-12-15 2006-10-24 Automotive Technologies International, Inc. Interactive vehicle display system
JPH09326668A (ja) * 1996-04-02 1997-12-16 Seiko Epson Corp 圧電素子とその製造方法
US6367132B2 (en) * 1998-08-31 2002-04-09 Eastman Kodak Company Method of making a print head
US6495642B2 (en) 2000-03-06 2002-12-17 Rutgers, The State University Process for preparing electrostrictive polymers and resulting polymers and articles
US6861782B2 (en) * 2001-04-05 2005-03-01 Head Sport Ag Flexible piezoelectric films
KR100846762B1 (ko) * 2001-09-11 2008-07-16 삼성전자주식회사 키보드유닛의 키스위치
FI112415B (fi) * 2001-11-28 2003-11-28 Nokia Oyj Pietsosähköinen käyttöliittymä
US6994950B2 (en) * 2002-03-19 2006-02-07 California Institute Of Technology Method for integrating micro- and nanoparticles into MEMS and apparatus including the same
US6824321B2 (en) * 2002-09-19 2004-11-30 Siemens Communications, Inc. Keypad assembly
US7572524B2 (en) * 2002-09-23 2009-08-11 Siemens Energy, Inc. Method of instrumenting a component
US20050145122A1 (en) * 2003-09-24 2005-07-07 Matthew Adams Use of a UV-curable thermal ribbon in conjunction with a porous substrate to form a durable, on-demand electro-chemical stencil
US20060127581A1 (en) * 2003-12-11 2006-06-15 Aspens Glenn D Method for on-demand direct item marking via a screen printing process
DE10359297A1 (de) 2003-12-17 2005-07-28 Lisa Dräxlmaier GmbH Piezoschalter
DE102004023420A1 (de) 2004-05-12 2005-12-08 Lisa Dräxlmaier GmbH Verfahren zum Herstellen einer kombinierten Piezo-/Leuchtfolie und Betätigungselement mit einer derartigen Piezo-/Leuchtfolie
DE102004043578B4 (de) 2004-07-12 2007-11-08 Diehl Ako Stiftung & Co. Kg Bedienfeld für ein elektrisches Gerät sowie Verfahren zur Herstellung eines Bedienfelds
US7324020B2 (en) * 2004-09-21 2008-01-29 Nokia Corporation General purpose input board for a touch actuation
US7158054B2 (en) * 2004-09-21 2007-01-02 Nokia Corporation General purpose input board for a touch actuation
JP5044196B2 (ja) 2006-11-13 2012-10-10 アイシン精機株式会社 圧電センサ及びその製造方法
DE102007013078B4 (de) 2007-03-19 2016-09-01 Lisa Dräxlmaier GmbH Bedienelement zum Bedienen eines elektrischen Verbrauchers in einem Fahrzeug
AT506531B1 (de) * 2008-03-13 2010-01-15 Univ Linz Tastenfeld
DE102008046531A1 (de) 2008-09-10 2010-03-18 Lisa Dräxlmaier GmbH Bedienelement für eine elektrische Einrichtung in einem Kraftfahrzeug
US9870053B2 (en) * 2010-02-08 2018-01-16 Immersion Corporation Systems and methods for haptic feedback using laterally driven piezoelectric actuators
US10429929B2 (en) 2010-09-24 2019-10-01 Blackberry Limited Piezoelectric actuator apparatus and methods
WO2012058777A1 (en) 2010-11-04 2012-05-10 Algra Holding Ag Piezoelectric signal generator
CN102221897A (zh) * 2011-07-15 2011-10-19 厦门大学 一种压电储能键盘
CN103843365B (zh) * 2011-09-30 2016-08-17 富士胶片株式会社 电声转换膜、柔性显示器、声带麦克风以及乐器传感器
DE102011089454A1 (de) * 2011-12-21 2013-06-27 E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH Bedieneinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Bedieneinrichtung
TW201435946A (zh) * 2012-11-08 2014-09-16 Ajinomoto Kk 薄膜開關及使用其所成之物品
TWI471620B (zh) * 2012-12-13 2015-02-01 Darfon Electronics Corp 導光板結構、發光鍵盤及導光板結構製造方法
CN103812491B (zh) * 2013-11-29 2016-08-17 贝骨新材料科技（上海）有限公司 一种整体式面板压电键盘及其误操作的识别方法
US10079336B2 (en) * 2014-01-13 2018-09-18 Meggitt A/S Flexible piezoelectric material, production and use thereof
CN103902052B (zh) * 2014-04-18 2017-06-16 中国科学技术大学 一种卷曲键盘制备方法
US10068465B2 (en) 2014-10-22 2018-09-04 Mitutoyo Corporation Battery-less data transmission module accessory for portable and handheld metrology devices
EP3018826A1 (de) 2014-11-10 2016-05-11 Algra Holding AG Mensch-maschine-schnittstelle und verfahren zum ändern einer visuellen markierung einer schaltfläche einer mensch-maschine-schnittstelle
DE102016109467A1 (de) 2016-05-24 2017-11-30 Lisa Dräxlmaier GmbH Bauteil, insbesondere Innenausstattungsbauteil für Fahrzeuge
EP3282587A1 (en) 2016-08-12 2018-02-14 Big Kaiser Präzisionswerkzeuge Ag Electronic appliance with a button device
CN106873720A (zh) * 2017-03-10 2017-06-20 深圳市赛亿科技开发有限公司 一种键盘和采用该键盘的便携式电脑
US10936073B1 (en) * 2020-01-31 2021-03-02 Dell Products, Lp System and method for generating high-frequency and mid-frequency audible sound via piezoelectric actuators of a haptic keyboard

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5410214B2 (ja) * 1973-10-15 1979-05-02
US4056654A (en) * 1975-07-24 1977-11-01 Kkf Corporation Coating compositions, processes for depositing the same, and articles resulting therefrom
GB1543089A (en) * 1976-12-02 1979-03-28 Marconi Co Ltd Pressure sensitive generator
US4190785A (en) * 1976-12-09 1980-02-26 Essex Transducers Corporation Pressure sensitive signal generator using piezoelectric coating
FR2519503B1 (fr) * 1981-12-31 1991-09-06 Thomson Csf Transducteurs piezoelectriques polymeres et procede de fabrication
JPS6077600A (ja) * 1983-10-05 1985-05-02 Kureha Chem Ind Co Ltd アレイ型超音波探触子の製造方法
JPS60137112A (ja) * 1983-12-26 1985-07-20 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子
JPS60191511A (ja) * 1984-03-12 1985-09-30 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子とその製造方法
GB2161647A (en) * 1984-07-10 1986-01-15 Gen Electric Co Plc Piezoelectric devices
FR2570223B1 (fr) * 1984-09-07 1986-12-05 Labo Electronique Physique Dispositif piezoelectrique et procede de realisation d'un tel dispositif
US4633123A (en) * 1985-05-29 1986-12-30 Pennwalt Corporation Piezoelectric polymer keyboard apparatus
US4764244A (en) * 1985-06-11 1988-08-16 The Foxboro Company Resonant sensor and method of making same
DE8611844U1 (de) * 1986-04-30 1986-08-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ultraschall-Applikator mit einer Anpassungsschicht
US5047162A (en) * 1986-05-30 1991-09-10 Martin Marietta Corporation Piezoelectric composite materials and method of making
JP2585018B2 (ja) * 1987-09-08 1997-02-26 富山県 圧電型感圧素子及びその製造方法
JPH02197183A (ja) * 1988-03-29 1990-08-03 Pennwalt Corp 積層圧電構造及びその形成方法
US5072035A (en) * 1989-04-18 1991-12-10 The Regents Of The University Of California Method for making piezoelectric ceramic fibers
DE69026765T2 (de) * 1989-07-11 1996-10-24 Ngk Insulators Ltd Einen piezoelektrischen/elektrostriktiven Film enthaltende piezoelektrischer/elektrostriktiver Antrieb
CH680890A5 (ja) * 1990-08-29 1992-11-30 Dynalab Ag

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006236988A (ja) * 2005-01-31 2006-09-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 感圧導電シート及びその製造方法、並びにこれを用いたタッチパネル
JP4655948B2 (ja) * 2005-01-31 2011-03-23 パナソニック株式会社 感圧導電シート及びその製造方法、並びにこれを用いたタッチパネル

Also Published As

Publication number Publication date
KR940006161A (ko) 1994-03-23
FI112556B (fi) 2003-12-15
TW241398B (ja) 1995-02-21
FI932893A (fi) 1993-12-25
CA2099089C (en) 2004-01-06
CN1089758A (zh) 1994-07-20
DE69304443D1 (de) 1996-10-10
EP0576400B1 (en) 1996-09-04
NO932306D0 (no) 1993-06-23
EP0576400A1 (en) 1993-12-29
KR100326900B1 (ko) 2002-07-02
DE69304443T2 (de) 1997-04-03
NO932306L (no) 1993-12-27
AU664622B2 (en) 1995-11-23
NO308277B1 (no) 2000-08-21
FI932893A0 (fi) 1993-06-22
US5374449A (en) 1994-12-20
ATE142375T1 (de) 1996-09-15
AU4147093A (en) 1994-01-06
CN1083163C (zh) 2002-04-17
CA2099089A1 (en) 1993-12-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0696640A (ja) 電子キー又は電子キーボード及びその製造方法
CA2228741C (en) Electroding of ceramic piezoelectric transducers
US4562315A (en) Capacitance membrane switch
US20120126663A1 (en) Method for producing an electromechanical converter
US20120068572A1 (en) Method for producing of an electromechanical transducer
KR100669636B1 (ko) 기능성층을 갖는 전사용 기능성 필름, 그 기능성층이부여된 물체 및 그 제조방법
DE2444220A1 (de) Tastaturschalter
CN115486095A (zh) 压电元件及压电扬声器
JPS6317354B2 (ja)
CN102736351A (zh) 电光显示器
US6536880B2 (en) Piezoelectric ink jet printer head and method for manufacturing same
US20050214528A1 (en) Transfer functional film, method for forming functional layer and object to which functional layer is applied
CN101382719A (zh) 电光显示器
EP0931435A1 (en) Electroluminescent device production process
US20230276177A1 (en) Transparent electrostatic transducers
WO2009000922A1 (de) Elektrostatischer folienschallwandler und verfahren zu dessen herstellung
JP2003001783A (ja) 機能性フィルムの製造方法
JPH0590624A (ja) 太陽電池用貼付材
EP0964788B1 (en) Ink-jet print head
JPH03100525A (ja) エレクトロクロミックディスプレイ
CN111584286A (zh) 纳米粒子薄膜开关的制造方法
JP2638044B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JPH02130970A (ja) 電歪素子
JPS6465820A (en) Ink for printing electrode on ceramic
EP1005987A3 (en) Ink jet head and method of manufacturing ink jet head