JPH0692669A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
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- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/52—Linear array of like burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/66—Relative motion
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ３個のバーナー１、２、３を、復路Ｑの速度
を往路Ｐの速度の約２倍とし、あるバーナー（例えば
３）が往路Ｐの終端にくると、他のバーナー２が往路Ｐ
の始端にくるタイミングで循環させる。原料ガス供給ラ
インは14Ａと14Ｂの２系統とする。自動開閉弁V1A 〜V3
A 、V1B 〜V3B は、あるバーナーが往路終端にくると、
それまでそのバーナーに原料ガスを供給していた原料ガ
ス供給ラインが、往路始端にきたバーナーに原料ガス供
給を切り替えるように動作する。 【効果】 バーナーが往路の始端にきて原料ガスの供給
を開始するとき最初から所定の安定した原料ガス流量が
得られる。往路の始端付近でもガラス微粒子の付着状態
が安定し、光ファイバ母材の端部の不良を最小限に抑え
られる。
を往路Ｐの速度の約２倍とし、あるバーナー（例えば
３）が往路Ｐの終端にくると、他のバーナー２が往路Ｐ
の始端にくるタイミングで循環させる。原料ガス供給ラ
インは14Ａと14Ｂの２系統とする。自動開閉弁V1A 〜V3
A 、V1B 〜V3B は、あるバーナーが往路終端にくると、
それまでそのバーナーに原料ガスを供給していた原料ガ
ス供給ラインが、往路始端にきたバーナーに原料ガス供
給を切り替えるように動作する。 【効果】 バーナーが往路の始端にきて原料ガスの供給
を開始するとき最初から所定の安定した原料ガス流量が
得られる。往路の始端付近でもガラス微粒子の付着状態
が安定し、光ファイバ母材の端部の不良を最小限に抑え
られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＯＶＤ法（外付け法）
による光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
による光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＯＶＤ法は、バーナーで原料ガスを燃焼
させて生成したガラス微粒子を、軸心を中心として回転
する丸棒状の心材（通常は石英ガラスロッド）の外周に
堆積させて光ファイバ母材を製造する方法である。この
方法で光ファイバ母材を製造する場合、心材上にガラス
微粒子を効率よく堆積させるためには、３本以上のバー
ナーを順次循環させ、常に２本以上のバーナーでガラス
微粒子を心材に吹き付けるようにすることが有効である
（特開平２−３０７８３９号公報）。
させて生成したガラス微粒子を、軸心を中心として回転
する丸棒状の心材（通常は石英ガラスロッド）の外周に
堆積させて光ファイバ母材を製造する方法である。この
方法で光ファイバ母材を製造する場合、心材上にガラス
微粒子を効率よく堆積させるためには、３本以上のバー
ナーを順次循環させ、常に２本以上のバーナーでガラス
微粒子を心材に吹き付けるようにすることが有効である
（特開平２−３０７８３９号公報）。
【０００３】図７にその基本構成を示す。図において、
11は石英ガラスの原料となるSiCl4等の原料ガス供給
源、Ａ、Ｂ、Ｃは原料ガスの流量制御器、V1、V2、V3は
原料ガスの供給をオンオフする自動開閉弁、１、２、３
は原料ガスを燃料（Ｈ2 、Ｏ2）と共に燃焼させてガラ
ス微粒子を生成するバーナー、12はバーナー１〜３から
噴射されるガラス微粒子を丸棒状の心材13の外周に堆積
させて形成した光ファイバ母材である。心材13は軸心を
中心として回転している。
11は石英ガラスの原料となるSiCl4等の原料ガス供給
源、Ａ、Ｂ、Ｃは原料ガスの流量制御器、V1、V2、V3は
原料ガスの供給をオンオフする自動開閉弁、１、２、３
は原料ガスを燃料（Ｈ2 、Ｏ2）と共に燃焼させてガラ
ス微粒子を生成するバーナー、12はバーナー１〜３から
噴射されるガラス微粒子を丸棒状の心材13の外周に堆積
させて形成した光ファイバ母材である。心材13は軸心を
中心として回転している。
【０００４】３個のバーナー１、２、３は往路Ｐと復路
Ｑを順次循環しており、往路Ｐでは心材13に向けてガラ
ス微粒子を噴射しながら心材13の一端側から他端側へ移
動し、復路Ｑではガラス微粒子の噴射を停止して（燃料
の燃焼は続ける）心材13の他端側から一端側に戻る。バ
ーナーが復路を戻るときには、往路を進行するときより
速く（約２倍の速度で）戻る。バーナー１、２、３の往
復と自動開閉弁V1、V2、V3の開閉のタイミングは図８の
とおりてある。すなわち自動開閉弁V1、V2、V3はそれぞ
れバーナー１、２、３が往路上を走行しているときだけ
開き、復路を戻るときは閉になる。これにより往路Ｐ上
には常に複数個のバーナーが存在することになり、心材
上にガラス微粒子を効率良く堆積させることができる。
Ｑを順次循環しており、往路Ｐでは心材13に向けてガラ
ス微粒子を噴射しながら心材13の一端側から他端側へ移
動し、復路Ｑではガラス微粒子の噴射を停止して（燃料
の燃焼は続ける）心材13の他端側から一端側に戻る。バ
ーナーが復路を戻るときには、往路を進行するときより
速く（約２倍の速度で）戻る。バーナー１、２、３の往
復と自動開閉弁V1、V2、V3の開閉のタイミングは図８の
とおりてある。すなわち自動開閉弁V1、V2、V3はそれぞ
れバーナー１、２、３が往路上を走行しているときだけ
開き、復路を戻るときは閉になる。これにより往路Ｐ上
には常に複数個のバーナーが存在することになり、心材
上にガラス微粒子を効率良く堆積させることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法では、各バ
ーナー毎に、流量制御器を含む原料ガス供給ラインを設
けて、往路では原料ガスを供給し、復路では原料ガスの
供給を停止するため、バーナーが往路の始端にきて原料
ガスの供給を開始するときに、流量制御器の応答および
配管内のガス圧力の安定に時間がかかり、所定のガス流
量をすぐに得ることができない。このため往路の始端付
近におけるガラス微粒子の堆積が不安定になり、光ファ
イバ母材のロスが大きくなるという問題がある。
ーナー毎に、流量制御器を含む原料ガス供給ラインを設
けて、往路では原料ガスを供給し、復路では原料ガスの
供給を停止するため、バーナーが往路の始端にきて原料
ガスの供給を開始するときに、流量制御器の応答および
配管内のガス圧力の安定に時間がかかり、所定のガス流
量をすぐに得ることができない。このため往路の始端付
近におけるガラス微粒子の堆積が不安定になり、光ファ
イバ母材のロスが大きくなるという問題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
課題を解決した光ファイバ母材の製造方法を提供するも
ので、その方法は、バーナーで原料ガスを燃焼させて生
成したガラス微粒子を、軸心を中心として回転する丸棒
状の心材の外周に堆積させて光ファイバ母材を製造する
場合に、３個以上のバーナーを、心材に向けてガラス微
粒子を噴射しながら心材の一端側から他端側へ移動する
往路と、ガラス微粒子の噴射を停止して心材の他端側か
ら一端側へ戻る復路とからなる経路で順次循環させると
共に、往路上に常に複数個のバーナーが存在するように
して、効率よく光ファイバ母材を製造する方法におい
て、原料ガスの流量制御器を含む原料ガス供給ライン
を、常に往路上に存在するバーナーの数と同じ数だけ設
け、各原料ガス供給ラインは、弁の切替えにより複数個
のバーナーに対し１個毎に原料ガスを供給できるように
し、あるバーナーが往路の終端にくると他のバーナーが
往路の始端（復路の終端）にきて、その間の往路上に１
個以上のバーナーが存在するようにバーナー移動のタイ
ミングを制御し、往路の終端にバーナーがくると、その
バーナーに原料ガスを供給していた原料ガス供給ライン
が弁の切替えにより往路の始端にきたバーナーに原料ガ
スの供給を切り替えることを特徴とするものである。
課題を解決した光ファイバ母材の製造方法を提供するも
ので、その方法は、バーナーで原料ガスを燃焼させて生
成したガラス微粒子を、軸心を中心として回転する丸棒
状の心材の外周に堆積させて光ファイバ母材を製造する
場合に、３個以上のバーナーを、心材に向けてガラス微
粒子を噴射しながら心材の一端側から他端側へ移動する
往路と、ガラス微粒子の噴射を停止して心材の他端側か
ら一端側へ戻る復路とからなる経路で順次循環させると
共に、往路上に常に複数個のバーナーが存在するように
して、効率よく光ファイバ母材を製造する方法におい
て、原料ガスの流量制御器を含む原料ガス供給ライン
を、常に往路上に存在するバーナーの数と同じ数だけ設
け、各原料ガス供給ラインは、弁の切替えにより複数個
のバーナーに対し１個毎に原料ガスを供給できるように
し、あるバーナーが往路の終端にくると他のバーナーが
往路の始端（復路の終端）にきて、その間の往路上に１
個以上のバーナーが存在するようにバーナー移動のタイ
ミングを制御し、往路の終端にバーナーがくると、その
バーナーに原料ガスを供給していた原料ガス供給ライン
が弁の切替えにより往路の始端にきたバーナーに原料ガ
スの供給を切り替えることを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】このようにすると、流量制御器を含む原料ガス
供給ラインには連続して所定の流量の原料ガスが流れる
ようになるため、バーナーが往路の始端にきて原料ガス
の供給を開始すると直ちに安定した所望のガス流量が得
られ、往路の始端付近におけるガラス微粒子の堆積状態
を安定させることが可能となる。
供給ラインには連続して所定の流量の原料ガスが流れる
ようになるため、バーナーが往路の始端にきて原料ガス
の供給を開始すると直ちに安定した所望のガス流量が得
られ、往路の始端付近におけるガラス微粒子の堆積状態
を安定させることが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図１および図２は本発明の一実施例を示
す。図１において先に説明した図７と同一部分には同一
符号が付してある。この実施例では３個のバーナー１、
２、３を往路Ｐと復路Ｑに循環させているが、原料ガス
供給ラインは流量制御器Ａを含む第一の原料ガス供給ラ
イン14Ａと、流量制御器Ｂを含む第二の原料ガス供給ラ
イン14Ｂの２系統である。第一の原料ガス供給ライン14
Ａは自動開閉弁V1A 、V2A 、V3A を介して３個のバーナ
ー１、２、３に接続されており、第二の原料ガス供給ラ
イン14Ｂは自動開閉弁V1B 、V2B 、V3B を介してやはり
３個のバーナー１、２、３に接続されている。
に説明する。図１および図２は本発明の一実施例を示
す。図１において先に説明した図７と同一部分には同一
符号が付してある。この実施例では３個のバーナー１、
２、３を往路Ｐと復路Ｑに循環させているが、原料ガス
供給ラインは流量制御器Ａを含む第一の原料ガス供給ラ
イン14Ａと、流量制御器Ｂを含む第二の原料ガス供給ラ
イン14Ｂの２系統である。第一の原料ガス供給ライン14
Ａは自動開閉弁V1A 、V2A 、V3A を介して３個のバーナ
ー１、２、３に接続されており、第二の原料ガス供給ラ
イン14Ｂは自動開閉弁V1B 、V2B 、V3B を介してやはり
３個のバーナー１、２、３に接続されている。
【０００９】バーナー１、２、３は復路Ｑを走行すると
きの速度を往路Ｐを走行するときの速度の約２倍にし、
図２の上段に示すようなタイミングで循環している。す
なわち、あるバーナー（例えば３）が往路Ｐの終端にく
ると、他のバーナー２が往路Ｐの始端（復路Ｑの終端）
にきて、往路Ｐの中間にもう一つのバーナー１があるよ
うなタイミングである。このようにすると往路Ｐ上には
常に２個のバーナーが存在するようになる。
きの速度を往路Ｐを走行するときの速度の約２倍にし、
図２の上段に示すようなタイミングで循環している。す
なわち、あるバーナー（例えば３）が往路Ｐの終端にく
ると、他のバーナー２が往路Ｐの始端（復路Ｑの終端）
にきて、往路Ｐの中間にもう一つのバーナー１があるよ
うなタイミングである。このようにすると往路Ｐ上には
常に２個のバーナーが存在するようになる。
【００１０】一方、自動開閉弁V1A 〜V3A 、V1B 〜V3B
の開閉は、図２の中段、下段に示すようなタイミングで
行う。すなわち、あるバーナーが往路の終端にくると、
それまでそのバーナーに原料ガスを供給していた原料ガ
ス供給ラインが、自動開閉弁の切替えにより往路の始端
にきたバーナーに原料ガスの供給を切り替えるというタ
イミングである。
の開閉は、図２の中段、下段に示すようなタイミングで
行う。すなわち、あるバーナーが往路の終端にくると、
それまでそのバーナーに原料ガスを供給していた原料ガ
ス供給ラインが、自動開閉弁の切替えにより往路の始端
にきたバーナーに原料ガスの供給を切り替えるというタ
イミングである。
【００１１】この点をさらに具体的に説明すると、図１
の状態は２個のバーナー３、１が往路Ｐを走行し、１個
のバーナー２が復路を走行し、自動開閉弁V3B が開いて
バーナー３に原料ガスを供給し、自動開閉弁V1A が開い
てバーナー１に原料ガスを供給し、その他の自動開閉弁
は閉じてバーナー２には原料ガスが供給されていない状
態である（図２の左端）。
の状態は２個のバーナー３、１が往路Ｐを走行し、１個
のバーナー２が復路を走行し、自動開閉弁V3B が開いて
バーナー３に原料ガスを供給し、自動開閉弁V1A が開い
てバーナー１に原料ガスを供給し、その他の自動開閉弁
は閉じてバーナー２には原料ガスが供給されていない状
態である（図２の左端）。
【００１２】この状態から少し時間が経過してバーナー
３が往路の終端にくると、バーナー２が往路の始端にく
る。この時点ｔ1 で自動開閉弁V3B を閉じると同時にV2
B を開く。すると第二の原料ガス供給ライン14Ｂからの
原料ガスの供給がバーナー３から２に切り替えられる。
このとき流量制御器Ｂを通る原料ガスの流量は変化しな
いので、往路の始端にきたバーナー２には最初から所定
の流量の原料ガスを供給することができる。また復路に
入るバーナー３には原料ガスが供給されなくなる。
３が往路の終端にくると、バーナー２が往路の始端にく
る。この時点ｔ1 で自動開閉弁V3B を閉じると同時にV2
B を開く。すると第二の原料ガス供給ライン14Ｂからの
原料ガスの供給がバーナー３から２に切り替えられる。
このとき流量制御器Ｂを通る原料ガスの流量は変化しな
いので、往路の始端にきたバーナー２には最初から所定
の流量の原料ガスを供給することができる。また復路に
入るバーナー３には原料ガスが供給されなくなる。
【００１３】このあと時間が経過してバーナー１が往路
の終端にくると、バーナー３が復路を戻って往路の始端
にくる。この時点ｔ2 で自動開閉弁V1A を閉じると同時
にV3A を開く。すると第一の原料ガス供給ライン14Ａか
らの原料ガスの供給がバーナー１から３に切り替えられ
る。このとき流量制御器Ａを通る原料ガスの流量は変化
しないので、往路の始端にきたバーナー３には最初から
所定の流量の原料ガスを供給することができる。
の終端にくると、バーナー３が復路を戻って往路の始端
にくる。この時点ｔ2 で自動開閉弁V1A を閉じると同時
にV3A を開く。すると第一の原料ガス供給ライン14Ａか
らの原料ガスの供給がバーナー１から３に切り替えられ
る。このとき流量制御器Ａを通る原料ガスの流量は変化
しないので、往路の始端にきたバーナー３には最初から
所定の流量の原料ガスを供給することができる。
【００１４】このように図２のようなタイミングでバー
ナーの移動と自動開閉弁の切替えを行えば、原料ガス供
給ラインの原料ガスの流れが停止せず、往路の始端にき
たバーナーに最初から所定の流量の原料ガスを供給する
ことができるので、往路の始端付近のガラス微粒子の堆
積状態を他の部分と同様にすることができ、光ファイバ
母材の歩留りを向上させることができる。
ナーの移動と自動開閉弁の切替えを行えば、原料ガス供
給ラインの原料ガスの流れが停止せず、往路の始端にき
たバーナーに最初から所定の流量の原料ガスを供給する
ことができるので、往路の始端付近のガラス微粒子の堆
積状態を他の部分と同様にすることができ、光ファイバ
母材の歩留りを向上させることができる。
【００１５】次に図３および図４は本発明の他の実施例
を示す。この実施例は、４個のバーナー１、２、３、４
を往路Ｐと復路Ｑに循環させ、原料ガス供給ラインは14
Ａ、14Ｂ、14Ｃの３系統としたものである。復路Ｑのバ
ーナー走行速度は往路Ｐのバーナー走行速度の約３倍と
し、あるバーナー（例えば３）が往路Ｐの終端にくる
と、他のバーナー２が往路Ｐの始端（復路Ｑの終端）に
きて、往路Ｐの中間に他の二つのバーナー４、１が存在
するようなタイミングで、バーナーを循環させる。この
ようにすると往路Ｐ上には常に３個のバーナーが存在す
るようになる。
を示す。この実施例は、４個のバーナー１、２、３、４
を往路Ｐと復路Ｑに循環させ、原料ガス供給ラインは14
Ａ、14Ｂ、14Ｃの３系統としたものである。復路Ｑのバ
ーナー走行速度は往路Ｐのバーナー走行速度の約３倍と
し、あるバーナー（例えば３）が往路Ｐの終端にくる
と、他のバーナー２が往路Ｐの始端（復路Ｑの終端）に
きて、往路Ｐの中間に他の二つのバーナー４、１が存在
するようなタイミングで、バーナーを循環させる。この
ようにすると往路Ｐ上には常に３個のバーナーが存在す
るようになる。
【００１６】第一の原料ガス供給ライン14Ａは自動開閉
弁V1A 、V2A 、V3A 、V4A を介して、第二の原料ガス供
給ライン14Ｂは自動開閉弁V1B 、V2B 、V3B 、V4B を介
して、第三の原料ガス供給ライン14Ｃは自動開閉弁V1C
、V2C 、V3C 、V4C を介して、それぞれ４個のバーナ
ー１、２、３、４に接続されている。
弁V1A 、V2A 、V3A 、V4A を介して、第二の原料ガス供
給ライン14Ｂは自動開閉弁V1B 、V2B 、V3B 、V4B を介
して、第三の原料ガス供給ライン14Ｃは自動開閉弁V1C
、V2C 、V3C 、V4C を介して、それぞれ４個のバーナ
ー１、２、３、４に接続されている。
【００１７】バーナー１〜４の移動のタイミングと各自
動開閉弁の開閉のタイミングは図４のとおりである。こ
のような方法でも前記実施例と同様の効果が得られると
共に、バーナーの個数が多い分だけガラス微粒子の堆積
速度を高めることができる。
動開閉弁の開閉のタイミングは図４のとおりである。こ
のような方法でも前記実施例と同様の効果が得られると
共に、バーナーの個数が多い分だけガラス微粒子の堆積
速度を高めることができる。
【００１８】次に図５および図６は本発明のさらに他の
実施例を示す。この実施例は、４個のバーナー１、２、
３、４を往路Ｐと復路Ｑに循環させ、原料ガス供給ライ
ンは14Ａと14Ｂの２ラインとしたものである。復路Ｑの
バーナー走行速度は往路Ｐのバーナー走行速度とほぼ同
じとし、あるバーナー（例えば４）が往路Ｐの終端にく
ると、他のバーナー２が往路Ｐの始端（復路Ｑの終端）
にきて、往路Ｐの中間に一つのバーナー１が、復路Ｑの
中間にもう一つのバーナー３があるようなタイミング
で、バーナーを循環させる。このようにすると往路Ｐ上
には常に２個のバーナーが存在するようになる。
実施例を示す。この実施例は、４個のバーナー１、２、
３、４を往路Ｐと復路Ｑに循環させ、原料ガス供給ライ
ンは14Ａと14Ｂの２ラインとしたものである。復路Ｑの
バーナー走行速度は往路Ｐのバーナー走行速度とほぼ同
じとし、あるバーナー（例えば４）が往路Ｐの終端にく
ると、他のバーナー２が往路Ｐの始端（復路Ｑの終端）
にきて、往路Ｐの中間に一つのバーナー１が、復路Ｑの
中間にもう一つのバーナー３があるようなタイミング
で、バーナーを循環させる。このようにすると往路Ｐ上
には常に２個のバーナーが存在するようになる。
【００１９】第一の原料ガス供給ライン14Ａは自動開閉
弁V1A 、V3A を介して二つのバーナー１、３に接続さ
れ、第二の原料ガス供給ライン14Ｂは自動開閉弁V2B 、
V4B を介して他の二つのバーナー２、４に接続されてい
る。バーナー１〜４の移動のタイミングと各自動開閉弁
の開閉のタイミングは図６のとおりである。このような
方法でも図１の実施例と同様の効果が得られる。ただし
バーナーの数が１個多くなるので若干不経済ではある。
弁V1A 、V3A を介して二つのバーナー１、３に接続さ
れ、第二の原料ガス供給ライン14Ｂは自動開閉弁V2B 、
V4B を介して他の二つのバーナー２、４に接続されてい
る。バーナー１〜４の移動のタイミングと各自動開閉弁
の開閉のタイミングは図６のとおりである。このような
方法でも図１の実施例と同様の効果が得られる。ただし
バーナーの数が１個多くなるので若干不経済ではある。
【００２０】なお以上の各実施例において、バーナーが
復路を戻るときは原料ガスの供給を停止するが、燃料ガ
スの供給は継続し、火炎を維持しておく。ただし復路で
は燃料ガスの流量を少なくして種火維持程度とすれば、
燃料ガスの無駄な消費を抑えることができる。
復路を戻るときは原料ガスの供給を停止するが、燃料ガ
スの供給は継続し、火炎を維持しておく。ただし復路で
は燃料ガスの流量を少なくして種火維持程度とすれば、
燃料ガスの無駄な消費を抑えることができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、３
本以上のバーナーを循環させて効率良く光ファイバ母材
を製造する場合に、原料ガス供給ラインの原料ガスの流
れを停止せずに、往路の終端にきたバーナーから往路の
始端にきたバーナーに原料ガスの供給を切り替えるよう
にしたので、往路の始端では最初から所定の安定した原
料ガス流量が得られる。このため往路の始端付近におい
てもガラス微粒子の付着状態が安定し、光ファイバ母材
の端部の不良を最小限に抑えることができ、歩留りが向
上する。
本以上のバーナーを循環させて効率良く光ファイバ母材
を製造する場合に、原料ガス供給ラインの原料ガスの流
れを停止せずに、往路の終端にきたバーナーから往路の
始端にきたバーナーに原料ガスの供給を切り替えるよう
にしたので、往路の始端では最初から所定の安定した原
料ガス流量が得られる。このため往路の始端付近におい
てもガラス微粒子の付着状態が安定し、光ファイバ母材
の端部の不良を最小限に抑えることができ、歩留りが向
上する。
【図１】 本発明に係る光ファイバ母材の製造方法の一
実施例を示す説明図。
実施例を示す説明図。
【図２】 図１の製造方法におけるバーナーの往復と自
動開閉弁の開閉のタイミングを示すタイミングチャー
ト。
動開閉弁の開閉のタイミングを示すタイミングチャー
ト。
【図３】 本発明の製造方法の他の実施例を示す説明
図。
図。
【図４】 図３の製造方法におけるバーナーの往復と自
動開閉弁の開閉のタイミングを示すタイミングチャー
ト。
動開閉弁の開閉のタイミングを示すタイミングチャー
ト。
【図５】 本発明の製造方法のさらに他の実施例を示す
説明図。
説明図。
【図６】 図５の製造方法におけるバーナーの往復と自
動開閉弁の開閉のタイミングを示すタイミングチャー
ト。
動開閉弁の開閉のタイミングを示すタイミングチャー
ト。
【図７】 従来の光ファイバ母材の製造方法を示す説明
図。
図。
【図８】 図７の製造方法におけるバーナーの往復と自
動開閉弁の開閉のタイミングを示すタイミングチャー
ト。
動開閉弁の開閉のタイミングを示すタイミングチャー
ト。
１、２、３：バーナー V1A 〜V4A 、V1B 〜V4B 、V1C 〜V4C ：自動開閉弁 Ａ、Ｂ、Ｃ：流量制御器 Ｐ：往路 Ｑ：復路 11：原料ガス供給源 12：光ファイバ母材 13：心材 14Ａ〜14Ｃ：原料ガス供給ライン
Claims (1)
- 【請求項１】バーナーで原料ガスを燃焼させて生成した
ガラス微粒子を、軸心を中心として回転する丸棒状の心
材の外周に堆積させて光ファイバ母材を製造する場合
に、３個以上のバーナーを、心材に向けてガラス微粒子
を噴射しながら心材の一端側から他端側へ移動する往路
と、ガラス微粒子の噴射を停止して心材の他端側から一
端側へ戻る復路とからなる経路で順次循環させると共
に、往路上に常に複数個のバーナーが存在するようにし
て、効率よく光ファイバ母材を製造する方法において、 原料ガスの流量制御器を含む原料ガス供給ラインを、常
に往路上に存在するバーナーの数と同じ数だけ設け、 各原料ガス供給ラインは、弁の切替えにより複数個のバ
ーナーに対し１個毎に原料ガスを供給できるようにし、 あるバーナーが往路の終端にくると他のバーナーが往路
の始端（復路の終端）にきて、その間の往路上に１個以
上のバーナーが存在するようにバーナー移動のタイミン
グを制御し、 往路の終端にバーナーがくると、そのバーナーに原料ガ
スを供給していた原料ガス供給ラインが弁の切替えによ
り往路の始端にきたバーナーに原料ガスの供給を切り替
えることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26686092A JPH0692669A (ja) | 1992-09-10 | 1992-09-10 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26686092A JPH0692669A (ja) | 1992-09-10 | 1992-09-10 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0692669A true JPH0692669A (ja) | 1994-04-05 |
Family
ID=17436669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26686092A Pending JPH0692669A (ja) | 1992-09-10 | 1992-09-10 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0692669A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002024591A1 (de) * | 2000-09-21 | 2002-03-28 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines zylinders aus dotiertem quarzglas |
| KR100348970B1 (ko) * | 1998-12-31 | 2002-12-26 | 주식회사 머큐리 | 광섬유모재증착장치 |
| KR20030015605A (ko) * | 2001-08-16 | 2003-02-25 | 화이콤(주) | 광섬유 모재 제조 장치 |
| WO2004039737A1 (de) * | 2002-11-01 | 2004-05-13 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung zylinderförmigen körpers aus quarzglas |
| EP1997783A2 (en) | 2007-05-29 | 2008-12-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | A method of manufacturing an optical fiber preform using a high frequency induction thermal plasma |
| US8322165B2 (en) | 2007-08-10 | 2012-12-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Apparatus for fabricating an optical fiber |
-
1992
- 1992-09-10 JP JP26686092A patent/JPH0692669A/ja active Pending
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| US7310975B2 (en) | 2002-11-01 | 2007-12-25 | Heraeus Tenevo Gmbh | Method and device for producing a cylindrical body consisting of quartz glass |
| EP1997783A2 (en) | 2007-05-29 | 2008-12-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | A method of manufacturing an optical fiber preform using a high frequency induction thermal plasma |
| EP1997783A3 (en) * | 2007-05-29 | 2011-03-30 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | A method of manufacturing an optical fiber preform using a high frequency induction thermal plasma |
| US8322165B2 (en) | 2007-08-10 | 2012-12-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Apparatus for fabricating an optical fiber |
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