JPH0710586A - 光ファイバ用スートプリフォームの製造方法 - Google Patents
光ファイバ用スートプリフォームの製造方法Info
- Publication number
- JPH0710586A JPH0710586A JP17758093A JP17758093A JPH0710586A JP H0710586 A JPH0710586 A JP H0710586A JP 17758093 A JP17758093 A JP 17758093A JP 17758093 A JP17758093 A JP 17758093A JP H0710586 A JPH0710586 A JP H0710586A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soot
- core
- optical fiber
- forming
- effective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＶＡＤ法における歩留りの高い光ファイバ用
スートプリフォームの製造方法を提供する。 【構成】 ＶＡＤ法によって所定長さの石英系の光ファ
イバ用スートプリフォームを得、その破損防止のために
プリフォームの下端部に若干長の固いスート状の焼き締
め部を形成するに際して、クラッド用のサイドバーナへ
の原料ガス、酸素、水素の流量を制御して、有効部形成
時のスート表面温度と同等のスート表面温度を維持しつ
つ焼き締め部の形成を行う。光ファイバ用スートプリフ
ォームとそれに続いて形成される相対的に固いスート状
の焼き締め部とが表面温度差がさほどない状態で形成さ
れるのでスート割れが抑制される。
スートプリフォームの製造方法を提供する。 【構成】 ＶＡＤ法によって所定長さの石英系の光ファ
イバ用スートプリフォームを得、その破損防止のために
プリフォームの下端部に若干長の固いスート状の焼き締
め部を形成するに際して、クラッド用のサイドバーナへ
の原料ガス、酸素、水素の流量を制御して、有効部形成
時のスート表面温度と同等のスート表面温度を維持しつ
つ焼き締め部の形成を行う。光ファイバ用スートプリフ
ォームとそれに続いて形成される相対的に固いスート状
の焼き締め部とが表面温度差がさほどない状態で形成さ
れるのでスート割れが抑制される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＶＡＤ法による光フ
ァイバ用スートプリフォームの製造方法に関するもの
で、歩留りを向上させて生産性のアップを図ったもので
ある。
ァイバ用スートプリフォームの製造方法に関するもの
で、歩留りを向上させて生産性のアップを図ったもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】典型的な光ファイバ用スートプリフォー
ムの製造方法にいわゆるＶＡＤ法がある。この方法は、
出発部材を垂直に支持してその先端にスートを堆積させ
てスートプリフォームとする方法であるが、プリフォー
ムの破損を防止するために所定の有効長が得られた後
に、その下端部に有効部のスートよりも固いスートから
なる非有効部を成長させて焼き締め状態の終端部を形成
するということを行っている。焼き締めを行う理由は、
スートプリフォームの破損防止にある。その場合、定常
時における原料ガス、酸素、水素などのガス供給条件か
ら原料ガスの流量のみを落とすことで、相対的にバーナ
の燃焼温度を上昇させて固いスートを付着させることで
焼き締めを行っている。
ムの製造方法にいわゆるＶＡＤ法がある。この方法は、
出発部材を垂直に支持してその先端にスートを堆積させ
てスートプリフォームとする方法であるが、プリフォー
ムの破損を防止するために所定の有効長が得られた後
に、その下端部に有効部のスートよりも固いスートから
なる非有効部を成長させて焼き締め状態の終端部を形成
するということを行っている。焼き締めを行う理由は、
スートプリフォームの破損防止にある。その場合、定常
時における原料ガス、酸素、水素などのガス供給条件か
ら原料ガスの流量のみを落とすことで、相対的にバーナ
の燃焼温度を上昇させて固いスートを付着させることで
焼き締めを行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法は原料ガスの流量のみを落とすという手段で、定常状
態から焼き締め段階に移るためにスートの表面温度が急
激に変化し、スート割れが生じるということがあった。
法は原料ガスの流量のみを落とすという手段で、定常状
態から焼き締め段階に移るためにスートの表面温度が急
激に変化し、スート割れが生じるということがあった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、以上の観点
からスート割れを低減させて歩留りの向上を図ろうとす
るもので、その特徴とする請求項１記載の発明は、出発
部材の先端にコア用バーナを用いてコアとなるスートを
ロッド状に堆積させつつ、その周りにサイドバーナを用
いて少なくともクラッドの一部をなすスートを堆積させ
て光ファイバとなる有効部を形成し、その後連続してそ
の下端部に前記有効部よりも固いスートからなる焼き締
め状態の非有効部を堆積させて光ファイバ用スートプリ
フォームとするに際して、焼き締め状態の非有効部の形
成をそのスート表面温度が有効部形成時のスート表面温
度と同等になるようにして行うことにある。なお、非有
効部形成時に固いスートを得つつ、有効部形成時のスー
ト表面温度と同等のスート表面温度とするために、ガラ
ス原料ガスを減少させるだけでなく酸素、水素量を調整
する。具体的には、ここでいう同等とは０〜６０℃の範
囲の温度差をいう。
からスート割れを低減させて歩留りの向上を図ろうとす
るもので、その特徴とする請求項１記載の発明は、出発
部材の先端にコア用バーナを用いてコアとなるスートを
ロッド状に堆積させつつ、その周りにサイドバーナを用
いて少なくともクラッドの一部をなすスートを堆積させ
て光ファイバとなる有効部を形成し、その後連続してそ
の下端部に前記有効部よりも固いスートからなる焼き締
め状態の非有効部を堆積させて光ファイバ用スートプリ
フォームとするに際して、焼き締め状態の非有効部の形
成をそのスート表面温度が有効部形成時のスート表面温
度と同等になるようにして行うことにある。なお、非有
効部形成時に固いスートを得つつ、有効部形成時のスー
ト表面温度と同等のスート表面温度とするために、ガラ
ス原料ガスを減少させるだけでなく酸素、水素量を調整
する。具体的には、ここでいう同等とは０〜６０℃の範
囲の温度差をいう。
【０００５】
【作用】光ファイバとなる有効部形成時のスートの表面
温度と、非有効部形成時すなわち焼き締め時のスートの
表面温度とが大差ないのでスート割れが抑制され、得ら
れるスートプリフォームの歩留りの向上が図れる。
温度と、非有効部形成時すなわち焼き締め時のスートの
表面温度とが大差ないのでスート割れが抑制され、得ら
れるスートプリフォームの歩留りの向上が図れる。
【０００６】
〔実施例１〕図１は、この発明による光ファイバ用スー
トプリフォームの製造方法の概略図で、１は垂直に支持
された、石英ガラスロッドからなる出発部材で、その軸
の周りに所定の回転数で回転されると同時に、所定の速
度で引上げられる。２は出発部材１の先端に堆積され
た、コア−クラッド型の石英系スートプリフォームで、
２０はそのコア部、２２，２４はそのクラッド部であ
る。３はコア部を形成するバーナで、このバーナには例
えばＧｅＣｌ4 とＳｉＣｌ4 からなる原料ガスが酸素、
水素とともに供給され、火炎加水分解および熱酸化反応
によってＧｅＯ2 ドープＳｉＯ2 スートを生成して出発
部材１の先端にロッド状のコア部２０として堆積させ
る。４，５はクラッド用のサイドバーナで、典型的には
ＳｉＣｌ4 からなる原料ガスが酸素、水素とともに供給
され、火炎加水分解および熱酸化反応によってＳｉＯ2
スートを生成してコア部２０の周りにクラッド部２２，
２４として層状に堆積させる。このサイドバーナの本数
は２個に限らず適宜選択される。なお、これらバーナ
３，４，５へのガス量はそれぞれＭＦＣ（流量コントロ
ーラ）３０，４０，５０を経て供給されるようになされ
ており、その流量はコンピュータ６によって制御される
ようになされている。一方、出発部材１の引上げ量がセ
ンサ７によって測定されて、その引上げ量が各バーナ
３，４，５にとって所定の値に至ったときにコンピュー
タ６によって各バーナのＭＦＣ３０，４０，５０を制御
して焼き締め状態に入るようになされている。ここで、
出発部材１の引上げ量が所定の値にというのは、製品と
なりうる光ファイバ用スートプリフォーム２の有効長と
リンクしており、具体的にはコア用バーナ３で形成され
るコア部２０の長さが有効長得られた段階での出発部材
１の引上げ量をさしている。そして、コア部２０の長さ
が有効長得られた後、図２に示すように引続いてコア用
バーナ３を用いてコア部２０の下端にスート部２１が形
成される。このスート部２１形成時のコア用バーナ３へ
のガス量は、当初はコア部２０の形成条件と同じでも良
いが、その後適宜減少されて最終的には０とされる。た
だ、このコア用バーナ３で形成されるコア部２０からス
ート部２１への切替えはスート径が細いので製造条件に
よる破損の問題は少なく原料ガスであるＧｅＣｌ4 の供
給を停止してＳｉＣｌ4 だけにしても良く、またＳｉＣ
ｌ4 、酸素、水素量も適宜選択して支障ない。なお、こ
の間有効長のコア部２０には、引続いてサイドバーナ
４，５によりクラッド用スート層２２，２４の堆積が行
われる。このスート部２１形成時も出発部材１は一定速
度で引上げられており、ちょうどコア部２０の最下端が
サイドバーナ４の位置に達したとき、コンピュータ５か
らの指令でＭＦＣ４０への制御が行われ、ガス条件が変
更されてスート部２１の周りに図３に示すように焼き締
め用の固いＳｉＯ2 スート層２３が形成される。このと
き、サイドバーナ５は依然としてスート層２２の周りに
スート層２４を形成しつづける。続いて、コア部２１の
最下端がサイドバーナ５の位置に達したとき、コンピュ
ータ５からの指令でＭＦＣ５０への制御が行われ、ガス
条件が変更されて図４に示すようにスート層２３の周り
にさらに焼き締め用の固いＳｉＯ2 スート層２５が形成
される。このとき、既にバーナ３，４へのガス供給は停
止されている。なお、これら焼き締め用のスート層２
３，２５の形成時のガス条件は、原料ガスであるＳｉＣ
ｌ4 および酸素、水素量が適宜選択されて固い、つまり
カサ密度の高いスート層を形成するが、その際のスート
表面温度は有効部形成時のスート表面温度と同等になる
ように設定される。例えば、有効部形成時のサイドバー
ナ４，５へのガス供給条件がＳｉＣｌ4 ３．５ＳＬＭ、
酸素１８ＳＬＭ、水素４６ＳＬＭであるとき、形成され
るスート層２２，２４の表面温度はおよそ７２０℃であ
り、これに対応する焼き締め用のスート層２３，２５形
成時のサイドバーナ４，５へのガス供給条件をＳｉＣｌ
4 １．０ＳＬＭ、酸素１４ＳＬＭ、水素２６ＳＬＭとす
ることで、そのスート表面温度を同等の７４０℃とする
ことができる。
トプリフォームの製造方法の概略図で、１は垂直に支持
された、石英ガラスロッドからなる出発部材で、その軸
の周りに所定の回転数で回転されると同時に、所定の速
度で引上げられる。２は出発部材１の先端に堆積され
た、コア−クラッド型の石英系スートプリフォームで、
２０はそのコア部、２２，２４はそのクラッド部であ
る。３はコア部を形成するバーナで、このバーナには例
えばＧｅＣｌ4 とＳｉＣｌ4 からなる原料ガスが酸素、
水素とともに供給され、火炎加水分解および熱酸化反応
によってＧｅＯ2 ドープＳｉＯ2 スートを生成して出発
部材１の先端にロッド状のコア部２０として堆積させ
る。４，５はクラッド用のサイドバーナで、典型的には
ＳｉＣｌ4 からなる原料ガスが酸素、水素とともに供給
され、火炎加水分解および熱酸化反応によってＳｉＯ2
スートを生成してコア部２０の周りにクラッド部２２，
２４として層状に堆積させる。このサイドバーナの本数
は２個に限らず適宜選択される。なお、これらバーナ
３，４，５へのガス量はそれぞれＭＦＣ（流量コントロ
ーラ）３０，４０，５０を経て供給されるようになされ
ており、その流量はコンピュータ６によって制御される
ようになされている。一方、出発部材１の引上げ量がセ
ンサ７によって測定されて、その引上げ量が各バーナ
３，４，５にとって所定の値に至ったときにコンピュー
タ６によって各バーナのＭＦＣ３０，４０，５０を制御
して焼き締め状態に入るようになされている。ここで、
出発部材１の引上げ量が所定の値にというのは、製品と
なりうる光ファイバ用スートプリフォーム２の有効長と
リンクしており、具体的にはコア用バーナ３で形成され
るコア部２０の長さが有効長得られた段階での出発部材
１の引上げ量をさしている。そして、コア部２０の長さ
が有効長得られた後、図２に示すように引続いてコア用
バーナ３を用いてコア部２０の下端にスート部２１が形
成される。このスート部２１形成時のコア用バーナ３へ
のガス量は、当初はコア部２０の形成条件と同じでも良
いが、その後適宜減少されて最終的には０とされる。た
だ、このコア用バーナ３で形成されるコア部２０からス
ート部２１への切替えはスート径が細いので製造条件に
よる破損の問題は少なく原料ガスであるＧｅＣｌ4 の供
給を停止してＳｉＣｌ4 だけにしても良く、またＳｉＣ
ｌ4 、酸素、水素量も適宜選択して支障ない。なお、こ
の間有効長のコア部２０には、引続いてサイドバーナ
４，５によりクラッド用スート層２２，２４の堆積が行
われる。このスート部２１形成時も出発部材１は一定速
度で引上げられており、ちょうどコア部２０の最下端が
サイドバーナ４の位置に達したとき、コンピュータ５か
らの指令でＭＦＣ４０への制御が行われ、ガス条件が変
更されてスート部２１の周りに図３に示すように焼き締
め用の固いＳｉＯ2 スート層２３が形成される。このと
き、サイドバーナ５は依然としてスート層２２の周りに
スート層２４を形成しつづける。続いて、コア部２１の
最下端がサイドバーナ５の位置に達したとき、コンピュ
ータ５からの指令でＭＦＣ５０への制御が行われ、ガス
条件が変更されて図４に示すようにスート層２３の周り
にさらに焼き締め用の固いＳｉＯ2 スート層２５が形成
される。このとき、既にバーナ３，４へのガス供給は停
止されている。なお、これら焼き締め用のスート層２
３，２５の形成時のガス条件は、原料ガスであるＳｉＣ
ｌ4 および酸素、水素量が適宜選択されて固い、つまり
カサ密度の高いスート層を形成するが、その際のスート
表面温度は有効部形成時のスート表面温度と同等になる
ように設定される。例えば、有効部形成時のサイドバー
ナ４，５へのガス供給条件がＳｉＣｌ4 ３．５ＳＬＭ、
酸素１８ＳＬＭ、水素４６ＳＬＭであるとき、形成され
るスート層２２，２４の表面温度はおよそ７２０℃であ
り、これに対応する焼き締め用のスート層２３，２５形
成時のサイドバーナ４，５へのガス供給条件をＳｉＣｌ
4 １．０ＳＬＭ、酸素１４ＳＬＭ、水素２６ＳＬＭとす
ることで、そのスート表面温度を同等の７４０℃とする
ことができる。
【０００７】
【発明の効果】この発明方法は、以上のようにＶＡＤ法
によって光ファイバー用スートプリフォームとなる有効
長が得られたのちに、焼き締め部を形成する際に、焼き
締め部形成時の表面温度を有効部形成時のそれと同等に
して行う方法であるので、プリフォームが破損すること
がなく歩留りの向上を図ることができる。
によって光ファイバー用スートプリフォームとなる有効
長が得られたのちに、焼き締め部を形成する際に、焼き
締め部形成時の表面温度を有効部形成時のそれと同等に
して行う方法であるので、プリフォームが破損すること
がなく歩留りの向上を図ることができる。
【図１】この発明方法の定常状態を示す概略図。
【図２】この発明方法の焼き締め工程の各段階を示す概
略図。
略図。
【図３】この発明方法の焼き締め工程の各段階を示す概
略図。
略図。
【図４】この発明方法の焼き締め工程の各段階を示す概
略図。
略図。
２：光ファイバ用スートプリフォーム ２０：コア部 ２２，２４：クラッド部 ２１：スート部 ２３，２５：焼き締め用スート部
Claims (1)
- 【請求項１】 出発部材の先端にコア用バーナを用いて
コアとなるスートをロッド状に堆積させるとともに、そ
の周りにサイドバーナを用いて少なくともクラッドの一
部をなすスートを堆積させて光ファイバとなる有効部を
形成し、その後連続してその下端部に前記有効部よりも
固いスートからなる焼き締め状態の非有効部を堆積させ
て光ファイバ用スートプリフォームとするに際して、焼
き締め状態の非有効部の形成をそのスート表面温度が有
効部形成時のスート表面温度と同等になるようにして行
うことを特徴とする光ファイバ用スートプリフォームの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17758093A JPH0710586A (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 光ファイバ用スートプリフォームの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17758093A JPH0710586A (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 光ファイバ用スートプリフォームの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0710586A true JPH0710586A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=16033464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17758093A Pending JPH0710586A (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 光ファイバ用スートプリフォームの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710586A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000078686A1 (fr) * | 1999-06-22 | 2000-12-28 | Mitsubishi Cable Industries, Ltd. | Procédé de fabrication de matière première pour fibre optique |
| WO2006083354A2 (en) * | 2004-11-18 | 2006-08-10 | Nextrom Holding, S.A. | Low-water optical fiber preform and process for making it |
-
1993
- 1993-06-25 JP JP17758093A patent/JPH0710586A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000078686A1 (fr) * | 1999-06-22 | 2000-12-28 | Mitsubishi Cable Industries, Ltd. | Procédé de fabrication de matière première pour fibre optique |
| WO2006083354A2 (en) * | 2004-11-18 | 2006-08-10 | Nextrom Holding, S.A. | Low-water optical fiber preform and process for making it |
| WO2006083354A3 (en) * | 2004-11-18 | 2006-11-30 | Nextrom Holding Sa | Low-water optical fiber preform and process for making it |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4627867A (en) | Method for producing highly pure glass preform for optical fiber | |
| WO2019142878A1 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材並びに光ファイバの製造方法及び光ファイバ | |
| US7135235B2 (en) | Optical fiber preform and the method of producing the same | |
| JP2005092211A (ja) | 低損失光ファイバ及び光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP4359183B2 (ja) | 光ファイバ・プリフォームの楕円度修正方法 | |
| JPH0710586A (ja) | 光ファイバ用スートプリフォームの製造方法 | |
| WO2007054961A2 (en) | Optical fiber preform having large size soot porous body and its method of preparation | |
| JP7115095B2 (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP3517848B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP3562545B2 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| US20080053155A1 (en) | Optical fiber preform having large size soot porous body and its method of preparation | |
| JP2999095B2 (ja) | スートプリフォームの製法 | |
| JP3816268B2 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JP3567636B2 (ja) | 光ファイバ用母材及びその製造方法 | |
| US20020189298A1 (en) | Apparatus for manufacturing an optical fiber soot, and method for manufacturing an optical fiber soot using the same | |
| JPH03242341A (ja) | シングルモード光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH0986948A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH0454625B2 (ja) | ||
| JP4252871B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| RU2243943C2 (ru) | Оптическое волокно, заготовка оптического волокна и способ их изготовления | |
| JP4081713B2 (ja) | ガラス母材の製造方法及びガラス母材の延伸方法 | |
| JPH0333660B2 (ja) | ||
| JPH0761830A (ja) | シングルモード光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPH08225338A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPH11171579A (ja) | 出発部材、光ファイバ母材の製造装置、および光ファイバ母材の製造方法 |