JPH069140U - 精密切削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 横揺れ現象に起因するダイシングミスを未然
に防止すると共に、装置の小型コンパクト化が図れるよ
うにした、ダイシング装置等の精密切削装置を提供す
る。 【構成】 回転ブレードを保持するスピンドル６と、こ
のスピンドルを割り出し方向に移動させるボールスクリ
ュー８と、スピンドルの移動量を読み取りヘッド１５で
読み取るためのスケール１３とを備えたダイシング装置
等の精密切削装置において、スピンドルの割り出し精度
を高めるために、スピンドルとボールスクリューとスケ
ールとを略一垂直線上に配設する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ダイシング装置等の精密切削装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置等の精密切削装置においては 、通常ワーク（半導体ウェーハ）を載置固定したテーブルをＸ軸方向（切削送り 方向）に移動可能に形成し、先端に回転ブレードを保持したスピンドルをＹ軸方 向（割り出し方向）に移動可能に形成すると共に、このスピンドルをＺ軸方向（ 上下方向）に移動可能に設けている。 この場合、前記スピンドルはＹ軸と平行に配設されたボールスクリューによっ てＹ軸方向に移動され、その移動量はボールスクリューに近接して基台のＹ軸方 向に配設されたスケールの目盛りを、スピンドルの可動台側に取り付けた読み取 りヘッドで読み取るようにしている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記スピンドルとボールスクリューとスケールとは何れもＹ軸 と平行に設けられてはいるが、一垂直線上に並んでいるわけではなく横にずれて いるので、所謂ヨーイングと称する横揺れ現象によって読み取りヘッドによるス ケールの測定に誤差が生じ、このためスピンドルのＹ軸方向への割り出し送りが 正確になされず、回転ブレードの切削位置がずれてダイシングミスを引き起こす ことがあった。又、装置が横に広がることから小型コンパクト化が図れないと言 った問題もあった。

【０００４】 本考案は、このような横揺れ現象に起因するダイシングミスを未然に防止する と共に、装置の小型コンパクト化が図れるようにした、ダイシング装置等の精密 切削装置を提供することを課題としたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、回転ブレードを保 持するスピンドルと、このスピンドルを割り出し方向に移動させるボールスクリ ューと、スピンドルの移動量を読み取りヘッドで読み取るためのスケールとを備 えたダイシング装置等の精密切削装置において、前記スピンドルとボールスクリ ューとスケールとを略一垂直線上に配設したことを要旨とするものである。

【０００６】

【作 用】

スピンドルと、このスピンドルを動かすボールスクリューと、移動量を測定す るためのスケールとが略一垂直線上に配設されているため、横揺れ現象による読 み取りヘッドの測定誤差を防止し、スピンドルのＹ軸方向への割り出し送りを正 確に行えることから回転ブレードのダイシングミスを未然に防止することができ る。又、装置が横に広がらないことから、小型コンパクトに纏めることが可能と なる。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて詳説する。 図１において、１は基台であり、その上面に第１のガイドレール２がＸ軸方向（ 紙面に垂直方向）に並設され、この第１のガイドレール２にワーク載置テーブル ３が摺動自在に嵌合している。

【０００８】 前記基台１の上面には、第２のガイドレール４がＹ軸方向（図１の左右方向） に並設され、この第２のガイドレール４に可動台５が摺動自在に嵌合し、更に可 動台５の上面にはスピンドル６をＺ軸方向（図１の上下方向）に移動させるため のＺ軸駆動機構７が装着されている。

【０００９】 ８は前記第２のガイドレール４間にこれと平行に配設されたボールスクリュー であり、前記基台１の上面に軸受９及び駆動用モーター１０を介して保持されて おり、このボールスクリュー８に対して前記可動台５の下面に固定したナット１ １が螺合されている。従って、このボールスクリュー８を正逆回転させることに より、ナット１１及び可動台５を介して前記スピンドル６をＹ軸方向に自在に移 動できるようになっている。

【００１０】 前記スピンドル６の先端部には回転ブレード１２が取り付けられ、且つこのス ピンドル６の軸線６ａと、ボールスクリュー８の軸線８ａとは図２に示すように Ｚ軸方向の一垂直線Ｖ上に位置するようにしてある。

【００１１】 １３はスケールであり、前記軸受９の上端部に保持部材１４を介して固定され 、前記ボールスクリュー８と平行に且つスケール１３の長手方向の中心線１３ａ が前記一垂直線Ｖ上に位置するようにしてある。

【００１２】 １５は前記可動台５の下面に取り付けられた読み取りヘッドであり、前記スケ ール１３を挟むようにしてその両側に発光体と受光体とが取り付けられ、スケー ル１３の目盛りを読み取れるようにしてある。

【００１３】 上記のように構成されたダイシング装置において、前記ワーク載置テーブル３ 上に半導体ウェーハ等のワークＷを載置固定し、可動台５をボールスクリュー８ により第２のガイドレール４に沿ってＹ軸方向に動かすことで回転ブレード１２ の割り出し送りをすると共に、Ｚ軸駆動機構７によりスピンドル６をＺ軸方向に 下降させて所定の切り込み量を設定し、ワーク載置テーブル３を第１のガイドレ ール２に沿ってＸ軸方向に移動しながら、ワークＷを各チップにダイシングする 。

【００１４】 この際、スピンドル６の割り出し送りは、ボールスクリュー８による可動台５ の移動量を前記読み取りヘッド１５でスケール１３の目盛りを読み取り、その読 み取り信号に基づき制御装置（図略）からの指令信号によって制御されるが、可 動台５の移動量が正確に読み取られるためスピンドル６の割り出し送りに誤差が 生じることはない。

【００１５】 その理由はスピンドル６の軸線６ａとボールスクリュー８の軸線８ａとが一垂 直線Ｖ上に位置し、しかもスケール１３の長手方向の中心線１３ａもその垂直線 Ｖ上に位置しているため、スピンドル６の横振れ（ヨーイング）が未然に防止さ れると共に、例え横揺れが生じても読み取りヘッド１５とスケール１３との位置 関係には影響がなく、読み取りヘッド１５による読み取りが正確に行われるから である。従って、回転ブレード１２の位置ずれが生じることなく、ダイシングミ スを未然に防止することができる。

【００１６】 又、スピンドル６とボールスクリュー８及びこれらに付随した構成部材が垂直 線Ｖに沿って上下に並ぶ位置関係となることから、装置が横に広がらず全体を小 型コンパクトに纏めることが可能となる。

【００１７】 尚、本考案はダイシング装置に限らず精密切削装置に広く適用することができ 、スピンドルとボールスクリューとスケールとは厳密に揃えなくとも略一垂直線 上に配設することにより所期の目的を達成することが可能である。

【００１８】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、ダイシング装置等の精密切削装置にお いて、スピンドルと、このスピンドルを動かすボールスクリューと、移動量を測 定するためのスケールとを略一垂直線上に配設したので、横揺れ現象による読み 取りヘッドの測定誤差を防止し、スピンドルのＹ軸方向への割り出し送りを正確 に行えることから回転ブレードのダイシングミスを未然に防止することができ、 更に装置が横に広がらないことから、小型コンパクトに纏めることが可能となる 等の優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例を示す装置要部の概略正面
図である。

【図２】 図１のＡ−Ａ線断面図である。

【符号の説明】

１…基台 ２…第１のガイドレール ３…ワーク載
置テーブル ４…第２のガイドレール ５…可動台
６…スピンドル ７…Ｚ軸駆動機構 ８…ボールスクリュー ８ａ…軸線 ９…軸受
１０…駆動用モーター １１…ナット １２…回転ブレード １３…スケー
ル １３ａ…中心線 １４…保持部材 １５…読み取りヘッド

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転ブレードを保持するスピンドルと、
   このスピンドルを割り出し方向に移動させるボールスク
   リューと、スピンドルの移動量を読み取りヘッドで読み
   取るためのスケールとを備えたダイシング装置等の精密
   切削装置において、前記スピンドルとボールスクリュー
   とスケールとを略垂直線上に配設したことを特徴とする
   精密切削装置。