JPH068442A

JPH068442A - インクジェット記録ヘッド、その製造方法、及びインクジェット記録ヘッドを備えた記録装置

Info

Publication number: JPH068442A
Application number: JP4171193A
Authority: JP
Inventors: Junichi Kobayashi; 順一小林; Keiichi Murai; 啓一村井; Toshiaki Sasaki; 敏明佐々木; Hajime Yamamoto; 肇山本
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1992-06-29
Filing date: 1992-06-29
Publication date: 1994-01-18
Anticipated expiration: 2015-01-11
Also published as: JP2997132B2

Abstract

(57)【要約】【目的】インクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、トランスファーモールド成形法の欠点であったモー
ルド樹脂と基板との熱収縮率の差による剥離を解消す
る。【構成】基板１上にエネルギー発生素子２及び固体層
４を順次形成したインクジェット記録ヘッド工程品の外
枠５を被覆樹脂でトランスファーモールド成形する際、
基板のエネルギー発生素子を取付けた面の反対面の一部
が露出するように空洞孔１０を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録液小滴を発生するためのインクジェット
記録ヘッド、その製造方法、及びインクジェット記録ヘ
ッドを備えた記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】前記インクジェット記録方式に適用され
るインクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」と
いう）には、一般に、インクが吐出されるためのインク
吐出口と、前記吐出口に供給するためのインクを貯える
インク室と、前記吐出口と前記インク室とを連通するイ
ンク路と、前記インク路の一部に設けられたインクを吐
出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子
と、前記インク室に外部からインクを供給するためのイ
ンク供給口が設けられている。

【０００３】従来の記録ヘッドの製造方法としては次の
ようなものが知られている。

【０００４】（１）エネルギー発生素子が設けられた第
１の基板を備え、ガラスや金属などからなる第２の基板
に切削やエッチングなどの加工手段によりインク吐出
口、インク路及びインク室を形成するための凹部ならび
に前記インク室と外部とを連通するためのインク供給口
を設けたのち、前記第１の基板に前記第２の基板をエネ
ルギー発生素子とインク路との位置を合わせて接着剤に
より貼り合わせる方法。

【０００５】（２）エネルギー発生素子が設けられたガ
ラスなどからなる第１の基板にポジ型もしくはネガ型の
感光性ドライフィルムを貼り、前記感光性ドライフィル
ムのうちインク吐出口、インク路及びインク室に相当す
るパターンをマスクもしくは露出させて露光し、現像し
て前記吐出口、インク路及びインク室に相当するパター
ンの固体層を第１の基板上に設ける。前記固体層および
第１の基板の上に硬化剤が混合された液状の硬化性材料
を適宜厚さに塗布し、所定の温度で長時間放置して前記
硬化性材料を硬化させる。ついで、前記硬化性材料が硬
化した第１の基板をインク吐出口を形成する位置で切断
して前記固体層の端面を露出させたのち前記固体層を溶
解する溶剤中に浸漬し、前記硬化性材料が硬化した第１
の基板から前記固体層を溶解除去して内部にインク路及
びインク室を形成する空間を設ける方法（特開昭６１−
１５４９７号公報参照）。

【０００６】（３）エネルギー発生素子が設けられた第
１の基板にポジ型もしくはネガ型の感光性ドライフィル
ムを貼り、前記感光性ドライフィルムのうちインク吐出
口、インク路及びインク室に相当するパターンをマスク
もしくは露出させて露光し、現像して前記インク吐出
口、インク路及びインク室に相当するパターンの固体層
を第１の基板上に設ける。前記固体層及び第１の基板の
上に活性エネルギー線により硬化する活性エネルギー線
硬化性材料を適宜厚さに塗布し、インク室の一部を形成
するための凹部および供給口が設けられた活性エネルギ
ー線透過性の第２の基板を前記活性エネルギー線硬化性
材料の上に前記凹部をインク室が形成される予定位置に
合わせて貼り付け積層体を作る。つぎに、前記活性エネ
ルギー線硬化性材料のうちインク室が形成される予定部
分を隠すように第２の基板をマスクして活性エネルギー
線をその第２の基板を通して活性エネルギー線硬化性材
料に照射し硬化させる。ついで、前記活性エネルギー線
硬化性材料が硬化された積層体をインク吐出口を形成す
る位置で切断して前記固体層の端面を露出させたのち前
記固体層と未硬化の活性エネルギー線硬化性材料とを溶
解する溶剤中に浸漬し、前記積層体から前記固体層およ
び未硬化の活性エネルギー線硬化性材料を溶解除去して
内部にインク路およびインク室を形成する空間を設ける
方法（特開昭６２−２５３４５７号公報参照）。

【０００７】（４）インク吐出エネルギー発生素子が設
けられたガラス等からなる第１の基板上に除去可能な材
料からなる固体層によりインク吐出口、インク路および
インク室に相当する部分を形成する。前記固体層及び第
１の基板上にトランスファーモールド成形により、前記
固体層の表面の内、少なくともインク室の一部に相当す
る部分の表面を除く他の部分をモールド樹脂により被覆
する。ついで、第１の基板をインク吐出口を形成する位
置で切断して前記固体層の端面を露出させた後、前記固
体層を溶解する溶剤中に浸漬し、モールド樹脂で被覆さ
れた第１の基板から前記固体層を溶解除去して、内部に
インク路及びインク室を形成する空間を設ける方法が提
案されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の各記録ヘッ
ドの製造方法は、以下のような問題点があった。

【０００９】（１）の記録ヘッドの製造方法では、第２
の基板に設けられるインク室を形成するための凹部を大
きくすることにより、高速記録に好適な大きなインク室
を有する記録ヘッドを製造することができるという利点
はあるが、第１の基板と第２の基板とを接着剤により貼
り合わせる際、第１の基板の微細なエネルギー発生素子
と第２の基板の微細なインク路とを精密に位置合わせす
る必要があり、また接着剤で貼り合わせる際、微細なイ
ンク路に接着剤が流れ込まないような工夫が必要であ
り、そのため、インクジェット記録ヘッド製造装置が複
雑、高価なものとなるほか、多量生産性に欠けるため、
製品のコストアップを引き起こすという問題点がある。

【００１０】（２）の記録ヘッドの製造方法では、
（１）の記録ヘッドの製造方法にみられるような第１の
基板と第２の基板との貼り合わせで発生する問題点を解
決できる利点はあるが、インク室の容積は、インク室の
高さが第１の基板上に設けられるパターン状の固体層の
厚さによって制限される為、大容積化が困難となる。ま
た、工程が複雑で時間がかかり、工程数も多いのでやは
り多量生産性に欠け、製品のコストアップを引き起こす
という問題点がある。

【００１１】（３）の記録ヘッドの製造方法では、第２
の基板に設けるインク室の他の一部を形成するための凹
部を大きくすることにより、大きな液室を有する記録ヘ
ッドを製造することができるという利点と、（１）の記
録ヘッドの製造方法にみられるような第１の基板と第２
の基板との貼り合せで発生する問題点を解決できる利点
とがあるが、（２）の記録ヘッドの製造方法と同様に、
工程が複雑で時間がかかり、工程数はさらに多いのでや
はり多量生産性に欠け、製品のコストアップを引き起こ
すという問題点がある。

【００１２】（４）の記録ヘッドの製造方法では、
（１）、（２）、（３）で示される製造方法の上記問題
点を解決し、多量生産性に優れた、安価なインクジェッ
ト記録ヘッドを提供できる。しかしながら、基板とモー
ルド樹脂との界面の応力緩和及び／又は基板とモールド
樹脂との密着力向上を目的として、基板全体をモールド
樹脂で包む、所謂パッケージング構造を取ると、基板か
らの発熱に対し、放熱性が悪くなる。前記することは、
インク吐出エネルギー発生素子の配設が多くなるほど顕
著な傾向となる。

【００１３】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、２つの基板を精密に位置
合わせして貼り合わせるという工程を必要とせずに、簡
単かつ少ない工程により精密度及び信頼性が高く、多量
生産に適した安価なインクジェット記録ヘッドと、該記
録ヘッドを備えたインクジェット記録装置と、該記録ヘ
ッドの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。

【００１４】また、インク路が精度良く正確で、かつ歩
留り良く微細加工された構成を有するインクジェット記
録ヘッド及び記録装置を提供することが可能なインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法を提供することも目的とす
る。

【００１５】また、基板の支持体と、記録装置への取付
部材とを兼ねた金属部材を用いることで、放熱性が向上
し安定な吐出が得られるインクジェット記録ヘッド及び
記録装置を提供することが可能な製造方法を提供するこ
とも目的とする

【００１６】

【課題を解決するための手段】上述目的を達成するため
の本発明は、基板上にインクを吐出するために利用され
るエネルギーを発生するエネルギー発生素子を設け、前
記エネルギー発生素子に一致させて、基板上にインク
路、インク室及びインク供給口の各相当部を有する固体
層を形成し、前記固体層及び基板を履って樹脂からなる
外枠をトランスファーモールド成形法によって形成した
後、固体層を溶解除去してインク路、インク室及びイン
ク供給口を形成する工程を含むインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法において、エネルギー発生素子を設けた面
とは反対の基板面の一部が露出するように、外枠形成時
に空洞孔を設けるインクジェット記録ヘッドの製造方法
である。

【００１７】また、本発明は、上記製造方法で製造され
たインクジェット記録ヘッドであり、該記録ヘッドは前
記空洞孔を介して、基板と金属部材が接合してなるもの
である。

【００１８】また本発明の記録ヘッドは、記録媒体の記
録領域の全幅にわたって吐出口が複数設けられているフ
ルラインタイプのものであり、該記録ヘッドのインク吐
出エネルギー発生素子は、電気エネルギーを与えること
によって発熱し、インクに状態変化を生ぜしめて吐出を
行わせるための電気熱変換体である。

【００１９】また、本発明は、記録媒体の被記録面に対
向して、インクを吐出するインク吐出口が設けられてい
る上記記録ヘッドと、該記録ヘッドを載置するための部
材とを少なくとも具備する記録装置である。

【００２０】以下、図面を用いて本発明を詳述する。

【００２１】図１から図５は、本発明の記録ヘッドの製
造方法の一例を示すための模式図であり、図１から図５
の夫々には、本発明の方法に関わるインクジェット記録
ヘッドの構成とその製作手順の一例が示されている。
尚、本例では、３つの吐出口を有するインクジェット記
録ヘッドが示されているが、勿論これ以上の吐出口を有
する高密度マルチアレイインクジェット記録ヘッドの場
合でも同様であることは、言うまでもない。

【００２２】まず、本発明に係るインクジェット記録ヘ
ッドにおいては、例えば図１に示されるような、ガラ
ス、セラミックス、プラスチックあるいは金属等からな
る基板１が用いられる。

【００２３】このような基板１は、インク路構成部材の
一部として機能し、又、後述するレジスト層の支持体と
して機能し得るものであれば、その形状、材質〓定され
ることなく使用できる。上記基板１上には、電気熱変換
素子あるいは圧電素子等のインク吐出エネルギー発生素
子２が所望の個数配置される（図１では３個にて例
示）。このような、インク吐出エネルギー発生素子２に
よってインク小滴を吐出させるための吐出エネルギーが
インク液に与えられ、記録が行われる。因に、例えば、
上記インク吐出エネルギー発生素子２として電気熱変換
素子が用いられるときには、この素子が近傍のインクを
加熱することにより、吐出エネルギーを発生する。又、
例えば、圧電素子が用いられるときは、この素子の機械
的振動によって、吐出エネルギーが発生される。

【００２４】尚、これらの素子２には、これら素子を動
作させるための制御信号入力用電極３が接続されてい
る。又、一般にはこれら吐出エネルギー発生素子２と前
記電極３の一部の耐久性を向上させる目的で、保護膜層
等の各種機能層が設けられる場合があるが、勿論本発明
においてもこの様な各種機能層を設けることには一向に
差し支えない。

【００２５】基板上１へのエネルギー発生素子２及び制
御信号入力用電極３の形成は、蒸着法、スパッタ法、エ
ッチング法などの半導体プロセスにより行う。

【００２６】ついで、上記インク吐出エネルギー発生素
子２を含む基板１上に、溶剤等により除去可能な、例え
ばレジストからなる固体層４を形成する。この固体層４
は、何らかの手段で除去可能なものであれば、特にレジ
ストに限らず使用可能である。

【００２７】次に、図２に示すように、インクジェット
記録ヘッドの外枠とインク供給口９と本発明の特徴であ
る空洞孔１０を形成できる型を用いて、モールド樹脂か
らなる外枠５をトランスファーモールド成形により成形
する。

【００２８】ここで、トランスファーモールド成形方法
について説明する。

【００２９】本実施例のトランスファーモールド成形を
用いる工法として、固体層２、３が形成された基板１を
適切なランナー、ゲート、エア抜き構造を備えたキャビ
ティーからなる上型、下型のいずれかへ挿入したのち型
締めを行う。外枠５の材料として例えば熱硬化性のエポ
キシ樹脂を用いる場合は、樹脂の予備加熱温度６０〜９
０℃、注入圧力２０〜１４０Ｋｇｆ／ｃｍ² 、成形型温
度１００〜１８０℃、保圧硬化時間１〜１０分及び成形
後のポストキュアという一般的な成形条件、工法に従っ
て行うことができる。前記する条件は、成形性（形状、
樹脂内の気泡、バリ、フラッシュなど）を確認し、それ
ぞれ適切なポイントを設定すれば良い。一般に成形温度
を高くすれば、硬化時間は短くて済む。また注入圧力が
高いほど、形状の安定性、気泡の発生が無くなるが、過
剰な圧力は製品へのダメージ、樹脂のバリ、フラッシュ
の問題を起こす。ここで、ポストキュアを行う時期とし
ては、必ずしも成形と連続して行う必要ななく、製品が
完成するまでのどの時点で行っても良い。従って、工程
の都合の良い段階で行うことができる。もちろん製品の
使用状態によっては、前記工程を除くことも可能であ
る。

【００３０】また、成形後に型から製品を離型する場合
の離型性を良くする目的で、成形型などに離型剤を用い
ることがある。

【００３１】モールド樹脂の成形手段としては、量産
性、精度、タクトを考えると、トランスファーモールド
成形法が本発明に最も適している。もちろん、モールド
樹脂の種類に応じて、他の方法、例えば、射出成形法、
ポッティング法、液状の樹脂に好適な注型法および紫外
線硬化型の樹脂に好適な選択的露光による成形法等を用
いても差し支えない。

【００３２】外枠５形成材料であるモールド樹脂として
は、アリル系樹脂、ジアリルフタレート系樹脂、シリコ
ン系樹脂、ポリエステル、フェノール、メラミン、成形
手段によっては、液状であって、常温硬化、熱硬化、紫
外線硬化などの材料を用いることができ、例えば、アク
リル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹
脂、ポリイミド樹脂、尿素樹脂等が挙げられる。

【００３３】次いで、モールド成形後に除去可能な固体
層４を除去し、図３に示す本発明のインクジェット記録
ヘッドを得る。

【００３４】固体層の除去手段としては、例えば、固体
層がポジ型レジストの場合は苛性ソーダ水溶液、アセン
ト等の有機溶剤等の溶液により溶解除去する方法があ
る。前記溶液は、外枠形成材料を浸さないものであれば
上記のものに限らない。また、溶剤の撹拌、超音波等の
促進手段を併用することで、より効果的に固体層を除去
できることは言うまでもない。

【００３５】ここで、インクの吐出特性はインク路の長
さにより変化することから、必要とあれば、最適な位置
を決めるために吐出口部を所定の位置で、切断して得る
こともある。切断はウェハーを切断する公知のダイシン
グ法等により行う。

【００３６】また、吐出口部の切断を行ってから固体層
を除去することも可能である。この方法は、吐出口部を
切断するときに、インクジェットの重要な役割を占める
インク路内等に固体層があることから、切削粉、ゴミ等
によるインク路内の詰まりといった問題を解決でき、ま
た、インク路が短くなる為固体層の除去性も向上する利
点があり好ましい。

【００３７】図４は、前記成形により得られた空洞孔１
０を介して、基板１と金属部材１１とを接合する工程を
示すものである。前記することにより、基板１で生じる
発熱を金属部材１１へ逃がしてやることが可能となる。

【００３８】金属部材としては、Ａｌステンレス、Ｓ
ｉＣ等を挙げることができる。

【００３９】金属部材と基板との接合に際して、空洞孔
部には主に銀ペースト、シリコンコンパウンド等、比較
的放熱性に優れた接合材料を用いた方がより効果的であ
る。また、空洞孔以外は、他の一般的な接着剤を用いて
接着強度を高めることは差し支えない。

【００４０】また、金属部材１１は記録装置への接続部
品としての役割を持たせる。さらに、前記金属部材にヘ
ッドを駆動させるための電気的な部品を実装することも
可能である。

【００４１】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装
置に於いて、優れた効果をもたらすものである。

【００４２】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。この記録方式
は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれに
も適用可能である。

【００４３】この記録方式を簡単に説明すると、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じる様
な急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆動
信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。この
様に液体（インク）から電気熱変換体に付与する駆動信
号に一対一対応した気泡を形成できるため、特にオンデ
マンド型の記録法には有効である。この気泡の成長、収
縮により吐出口を介して液体（インク）を吐出させて、
少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス
形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれる
ので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成
でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５
２６２号明細書に記載されているようなものが適してい
る。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国
特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を
採用すると、更に優れた記録を行なうことができる。

【００４４】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されている様に、熱作
用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものも本発
明に含まれる。

【００４５】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づいた
構成においても本発明は有効である。

【００４６】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅
に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがあ
る。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示さ
れているような記録ヘッドを複数組み合わせることによ
ってフルライン構成にしたものや、一体的に形成された
一個のフルライン記録ヘッドであっても良い。

【００４７】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４８】又、本発明の記録装置に、記録ヘッドに対
する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング
手段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別
の加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
手段を付加することも安定した記録を行なうために有効
である。

【００４９】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせて
構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色カ
ラー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００５０】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。

【００５１】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることも出来る。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。

【００５２】このようなインクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部又は貫通孔に液状
又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。

【００５３】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００５４】図５は本発明により得られた記録ヘッドを
インクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装
着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を示
す外観斜視図である。

【００５５】図において、２０はプラテン２４上に送紙
されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行な
うノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリッジ
（ＩＪＣ）である。１６はＩＪＣ２０を保持するキャリ
ッジＨＣであり、駆動モータ１７の駆動力を伝達する駆
動ベルト１８の一部と連結し、互いに平行に配設された
２本のガイドシャフト１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能と
することにより、ＩＪＣ２０の記録紙の全幅にわたる往
復移動が可能となる。

【００５６】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ヘッド回復装置２６を動作せしめ、Ｉ
ＪＣ２０のキャッピングを行なう。このヘッド回復装置
２６のキャップ部２６ＡによるＩＪＣ２０へのキャッピ
ングに関連させて、ヘッド回復装置２６内に設けた適宜
の吸引手段によるインク吸引もしくはＩＪＣ２０へのイ
ンク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送
を行い、インクを吐出口より強制的に排出させることに
よりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処理
を行なう。また、記録終了時等にキャッピングを施すこ
とによりＩＪＣが保護される。

【００５７】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３１はブレード保持部材３１
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３１をＩＪＣ２０の移動経路中に突出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴なってＩＪＣ２０の吐出
面における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるもので
ある。

【００５８】

【実施例】以下、実施例により本発明を更に具体的に説
明する。

【００５９】シリコンウェハーからなる基板上に電気熱
変換体（材質ＨｆＢ₂からなるヒーター）及び前記電気
熱変換体に対応する電極（材質Ａｌ）をスパッタリング
で成膜し、フォトリソグラフィ技術でパターン形成法に
より形成し、素子面を得た。

【００６０】次に、前記素子面上にＳｉＯ₂ 膜からなる
保護膜を設けた。

【００６１】次いで、保護膜上に、ポジレジストをイン
ク吐出口の高さと同等の厚さにスピンナーコーティング
した後、各電気熱変換体に相対するインク路及びインク
室となるパターンマスクを用いて、露光、現像工程を経
て、固体層４を形成した。

【００６２】次に、外枠形成材料として、熱硬化性のエ
ポキシ樹脂を用いて、一般的なマイクロ波を使用するプ
レヒーターで予備加熱温度８０℃、注入圧力６０Ｋｇｆ
／ｃｍ² 、成型温度１５０℃及び保圧硬化時間４分でト
ランスファーモールド成形により、空洞孔を有する外枠
を形成した。

【００６３】トランスファー成形終了後、該工程品を５
ｗｔ％苛性ソーダ溶液中に浸漬し、ポジレジストからな
る固体層を溶解除去し、インク室、インク路及びインク
供給口を得た。

【００６４】次いで、トランスファー成形によって形成
した空洞部を介して、基板とＡｌからなる金属部材をシ
リコンコンパウンド（例えば、トーレシリコーン（株）
製ＳＨ―３４０）を用いて接着し、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドを得た。

【００６５】

【発明の効果】本発明のインクジェット記録ヘッド製造
方法によれば、（１）ヘッド作製のための主要工程がフ
ォトレジストや、ドライフィルム等を用いたフォトリソ
グラフィー技術による為、ヘッドの細密部を所望のパタ
ーンで、しかも極めて容易に形成できるばかりか、ウェ
ハー内に同構成の多数のヘッドを同時に加工することも
可能となり、（２）空洞孔が基板と金属部材を接合する
際の位置決め機構にできる利点がある。

【００６６】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
は（３）基板が金属部材と直接接触しているので、イン
ク吐出時、エネルギー発生素子の発熱による熱エネルギ
ーを外部へ逃がし、基板と硬化性樹脂との熱収縮率の違
いによる剥離を生じることなく、（４）更に、多くのエ
ネルギー発生素子を配設する場合にも、放熱性に優れる
ので、長期にわたって安定吐出が得られる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】基板上にエネルギー発生素子、制御信号入力用
電極及び固体層を形成した記録ヘッド工程品の構成を示
す断面図である。

【図２】トランスファーモールド成形後、成形型より、
記録ヘッド工程品をとりだす様子を示す説明図である。

【図３】固体層を除去した後の記録ヘッド工程品の構成
を示す、（Ａ）断面図（Ｂ）空洞孔側よりみた斜視図である。

【図４】空洞孔を介して、基板と金属部材とを接合した
本発明に係る記録ヘッドの一構成例の断面図である。

【図５】本発明に係るインクジェット記録ヘッドを備え
た記録装置を示す模式的斜視図である。

【符号の説明】

１基板２エネルギー発生素子３制御信号入力用電極４固体層５外枠６トランスファーモールド成形用上金型７トランスファーモールド成形用下金型８インク吐出口９インク供給口１０空洞孔１１金属部材１６キャリッジ１７駆動モータ１８駆動ベルト１９Ａ、１９Ｂガイドシャフト２０インクジェットヘッドカートリッジ２２クリーニング用モータ２３伝導機構２４プラテン２６キャップ部材３０ブレード３０Ａブレード保持部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ４１Ｊ 2/16 // Ｂ２９Ｌ 31:00 4Ｆ 9012−2ＣＢ４１Ｊ 3/04 １０３Ｈ (72)発明者山本肇東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上にインクを吐出するために利用さ
れるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を設け、
前記エネルギー発生素子に一致させて、基板上にインク
路、インク室及びインク供給口の各相当部を有する固体
層を形成し、前記固体層及び基板を覆って樹脂からなる
外枠をトランスファーモールド成形法によって形成した
後、固体層を溶解除去してインク路、インク室及びイン
ク供給口を形成する工程を含むインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法において、エネルギー発生素子を設けた面
とは反対の基板面の一部が露出するように、外枠形成時
に空洞孔を設けることを特長とするインクジェット記録
ヘッドの製造方法。
【請求項２】請求項１記載の製造方法で製造したイン
クジェット記録ヘッド。
【請求項３】空洞孔を介して、基板と金属部材が接合
してなる請求項２記載の記録ヘッド。
【請求項４】インク吐出エネルギー発生素子が電気エ
ネルギーを与えることによって発熱し、インクに状態変
化を生ぜしめて吐出を行わせるための電気熱変換体であ
る請求項２記載の記録ヘッド。
【請求項５】記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
ることを特徴とする請求項２記載の記録ヘッド。
【請求項６】記録媒体の被記録面に対向してインクを
吐出するインク吐出口が設けられている請求項２記載の
記録ヘッドと、該記録ヘッドを載置するための部材とを
少なくとも具備することを特徴とする記録装置。