JPH0683246U - 平面研摩機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 研摩定盤の砥石部の研摩面よりワークを容易
に剥離して取外せる平面研摩機を提供すること。 【構成】 砥石部１５の研摩面を上側として水平回転す
る研摩定盤１３と、ワークを把持してこれを前記砥石部
１５の研摩面に向け押圧研摩する昇降動自在な保持プレ
ート１１とを備えた平面研摩機において、前記砥石部１
５の研摩面の外側部分を適数個の凹部１７が配設された
ワーク剥離用取出し部１６に形成してあるもの。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、保持プレートに把持させた半導体基板のような平板状のワークを回 転している研摩定盤上へ押圧してラッピング・ポリシング等の精密研摩を行う平 面研摩機に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

砥石部の研摩面を上側として水平回転する研摩定盤と、ワークを把持してこれ を前記砥石部の研摩面に向け押圧研摩する昇降動自在な保持プレートとを備えた 従来の平面研摩機においては、研摩定盤の砥石部が円形の金属製基板に層着され た砥石保持用の樹脂系接着部材中にペレット状のメタル砥石をその上面が研摩面 として露呈された状態に埋設して全体として平坦状としたものを普通とするが、 このような砥石部の研摩面に対して保持プレートに保持したワークを押圧させて 研摩液等を供給しながら精密研摩を行った場合、ワークは砥石部へ密着状態とな る。ところが、このように砥石部へ密着されたワークは、砥石部表面に沿った方 向へのスライドは比較的容易であるが、ワークを砥石部より剥離して研摩定盤上 より取外す操作は極めて困難で、無理して上昇させるとワークに歪を生じてその 平坦面精度が低下し、時にはワークが保持プレートから落下する不都合を生ずる 。また、このとき、ワーク保持部が傾いてワーク端面に傷がつく恐れもあり、更 に、研摩定盤の回転軸などに無理を生ずる等の課題がある。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

本考案が解決しようとするところは、前記のような問題点を解決して研摩が的 確に行えるうえに、研摩定盤の研摩面からワークを容易に剥離できるようにして ワーク取外し時における平坦面精度の低下やワーク端面の傷付などをなくした安 価な平面研摩機を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】 前記のような課題を解決した本考案に係る平面研摩機は、砥石部の研摩面を上 側として水平回転する研摩定盤と、ワークを把持してこれを前記砥石部の研摩面 に向け押圧研摩する昇降動自在な保持プレートとを備えた平面研摩機において、 前記砥石部の研摩面の外側部分を適数個の凹部が配設されたワーク剥離用取出し 部に形成してあることを特徴とするものである。

【０００５】

【実施例】

次に、本考案の実施例を図面を参照して詳細に説明する。 １は平面研摩機の箱状の機枠であって、該機枠１に立設した回動軸２には揺動 アーム３が水平状に取付けられていて、該揺動アーム３の先端にはピストンロッ ド５を下向きとした流体圧シリンダ４を固定し、該ピストンロッド５の下端には 回転継手６を介してプレート軸７を縦形として連結してある。プレート軸７は揺 動アーム３に固定した軸受８に軸支させた回転筒体９にスプライン結合等により 同期回転及び上下摺動可能に挿通させてあり、回転筒体９の上部側には、揺動ア ーム３に配設した図示されないモータにベルトを介して連結するプーリ１０が取 付けてあって、プレート軸７は流体圧シリンダ４の作動により昇降するとともに 前記モータにより回転する回転筒体９と同期回転する構成となっている。また、 プレート軸７の下端にはワークを位置決め保持可能とする保持プレート１１を取 付けてこの保持プレート１１の下方には、機枠１の取付板１２に水平回転可能に 軸支させた研摩定盤１３を配設してある。

【０００６】 研摩定盤１３は図３、図４に示すように、円盤状とした金属製の基板１４の中 心側にペレット状とした多数のメタル砥石を樹脂等により固化接着した砥石部１ ５が設けてあり、該砥石部１５の研摩面の外側部分は適数個の凹部１７が配設さ れたワーク剥離用の取外し部１６に形成してある。凹部１７として実施例では基 板１４の中心を中心とする同心円状に配列した断面角形の複数個の環状の溝を示 しているが、凹部１７はこのようなものに限定されることはなく、例えば、半円 形、三角形等の断面形状でもよいし、また、スパイラル状の溝としてもよい。な お、図において１８は回動軸２の下端に連結される歯車、ベルト、モータ等より なる揺動アーム３の揺動駆動装置、１９は研摩定盤１３の回転軸、２０は研摩定 盤１３の駆動装置、Ｗはワークを示す。

【０００７】

【作用】

このように構成されたものは、駆動装置２０の起動により回転軸１９を経て研 摩定盤１３を水平回転させるとともに、揺動駆動装置１８により揺動アーム３を 回動軸２を中心に水平揺動させ、更に、流体圧シリンダ４を作動させてピストン ロッド５を下降させ、また、図示されないモータ、ベルト等によりプーリ１０を 介して回転筒体９を回転させると、プレート軸７は下降しながら回転筒体９と同 期回転し、下端の保持プレート１１の下面に把持させたワークＷは研摩定盤１３ の砥石部１５の研摩面へ揺動押圧されて平面研摩が行われる。そして、研摩終了 後はプレート軸７の回転を停止させて揺動駆動装置１８により図２に示すように 揺動アーム３を揺動させ、研摩済みワークＷを研摩定盤１３の砥石部１５上より スライドさせて取外し部１６上へ位置させた後、流体圧シリンダ４の逆作動によ りプレート軸７を上昇させると、前記ワークＷは砥石部１５の研摩面の外側部分 が適数個の凹部１７の配設されたワーク剥離用の取外し部１６に形成してあるこ とにより、容易に剥離されて保持プレート１１へ把持されたまま上昇し、所定の 位置で保持プレート１１より外されて次工程へ送出される。

【０００８】

【考案の効果】

本考案は以上の説明より明らかなように、研摩終了後のワークは研摩定盤の砥 石部よりその外側部分に形成されている取外し部へスライドされた後、上方へ引 き上げられるので、ワークは取外し部に形成した適数個の凹部の存在により研摩 定盤面への密着力が減少されて容易に剥離でき、ワークに歪等の発生がなくて優 れた平坦面精度が得られるとともにワークの傷の発生や落下等がなくなって歩留 まりが向上し、また、研摩定盤の回転軸にも無理がかからず、かつ、ワークの取 外しは研摩定盤の回転を停止することなくできるので、研摩加工におけるサイク ルタイムを短縮できることとなる。 従って、本考案は従来のこの種平面研摩機の問題点を解決したもので、構造が 簡単で安価に提供できる利点と相俟ち実用的勝ち極めて大きいものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す一部切欠正面図である。

【図２】本考案の実施例を示す平面図である。

【図３】研摩定盤の実施例を示す一部切欠正面図であ
る。

【図４】研摩定盤の実施例を示す平面図である。

【符号の説明】

１１ 保持プレート １３ 研摩定盤 １５ 砥石部 １６ ワーク剥離用の取出し部 １７ 凹部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 砥石部(15)の研摩面を上側として水平回
   転する研摩定盤(13)と、ワークを把持してこれを前記砥
   石部(15)の研摩面に向け押圧研摩する昇降動自在な保持
   プレート(11)とを備えた平面研摩機において、前記砥石
   部(15)の研摩面の外側部分を適数個の凹部(17)が配設さ
   れたワーク剥離用取出し部(16)に形成してあることを特
   徴とする平面研摩機。