JPH0682726A - 位相格子光学的ローパスフィルタ - Google Patents

位相格子光学的ローパスフィルタ

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JPH0682726A
JPH0682726A JP4229853A JP22985392A JPH0682726A JP H0682726 A JPH0682726 A JP H0682726A JP 4229853 A JP4229853 A JP 4229853A JP 22985392 A JP22985392 A JP 22985392A JP H0682726 A JPH0682726 A JP H0682726A
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裕昭 岡山
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    • G02B5/18Diffraction gratings
    • G02B5/1866Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
    • G02B5/1871Transmissive phase gratings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/42Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
    • G02B27/46Systems using spatial filters

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  • Optics & Photonics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 2次元方向に対してローパス効果を得ること
が出来る位相格子光学的ローパスフィルタを提供するこ
と。 【構成】 フィルタ基板上の1周期の中央部に位相差部
8〜11が十字形に形成され、四角形の位相差部4〜7
が、その角部4a〜7aと十字形の切り欠き部の隅部4
b〜7bとを対応させ所定の間隔を開けて、1周期の4
隅に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、撮像管や固体撮像素子
などの空間的に離散的サンプリングを行う撮像素子を用
いたビデオカメラ等の光学系において、像面上の不用な
空間周波数成分を除去あるいは十分減衰させる光学的ロ
ーパスフィルタに関するものであり、特に、撮像素子と
一体化して構成することも可能な位相格子光学的ローパ
スフィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般的に、ビデオカメラ等の映像取り込
み装置では、撮像管や固体撮像素子等の撮像素子を用い
ており、画像情報を空間的に離散的にサンプリングする
ことで、出力信号を得ている。撮像素子に入力される映
像が、撮像素子の持つナイキスト周波数よりも高い空間
周波数成分を含んでいる場合、撮像素子から得られる出
力信号には、エイリアジングの影響により、モアレ縞
や、単管あるいは単板式のカラーカメラの場合には偽色
等の本来入力画像が持たない構造や色を出力する偽信号
が発生する。このため、従来から撮像系の一部にナイキ
スト周波数以上の空間周波数成分を遮断あるいは減衰さ
せる光学的なフィルタを挿入している。光学的ローパス
フィルタとして、従来から主に水晶光学的ローパスフィ
ルタが用いられてきた。しかし、水晶光学的ローパスフ
ィルタは、厚みでローパス効果を制御するものであり、
所望のローパス効果を得るためには光学系中に、フィル
タを配置する十分な空間を確保する必要があり、また、
水晶自体の原材料が非常に高価なものであるため、最近
では安価で、大きな空間を必要としない位相格子光学的
ローパスフィルタも用いられるようになってきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般に
用いられている位相格子光学的ローパスフィルタでは、
位相格子を形成する基板の片面にのみ位相差部を構成す
る場合に、撮像面全面に対してローパス効果を与えるこ
とは困難であり、従来から考えられているような1つの
周期に1つの位相差構造のみを構成しただけでは、撮像
面全域すなわち、2次元方向に対してローパス効果を得
ることは困難であるという課題がある。たとえば、図1
1に示すような位相格子を考える。図11中の直線1に
おける位相格子の断面形状は図12に示すような形状と
なる。また、図11中の直線2における断面形状は図1
3に示すようになり、同じく直線3における断面形状は
図14に示すようになる。図12から図14に示す各形
状の空間周波数特性は図15に示すように、図11中の
それぞれの、直線1における断面の特性が曲線4のよう
になり、直線2における断面の特性が曲線5のようにな
り、また、直線3における断面の特性が曲線6のように
なる。2次元位相格子では、上記断面に平行な方向の空
間周波数特性は、各断面形状における空間周波数特性の
積分値として得られることが知られており、直線3での
断面形状による特性をもつことにより、空間周波数特性
の最低値が持ち上がる結果となる。この領域が多いと、
全体的に浮き上がり気味の特性となり、遮断周波数を持
たなくなり、あるいは、システム構成上必要な高さに特
性を落とすことが出来なくなり、ローパスフィルタとし
ての機能を果たさなくなる。また、最も効果的にローパ
ス効果を得るためには、凸部と凹部がほぼ等しい比率で
あることが望ましいのであるが、そうすると、位相差形
状を持たない領域が大きくなるため、ローパス効果を得
られなくなる。また、逆に位相差形状を持たない領域を
減らすようにすると、凸部と凹部の比率が減少し、特性
が得られない原因となる。
【0004】本発明は、従来のこのような課題を考慮
し、2次元方向に対してローパス効果を得ることが出来
る位相格子光学的ローパスフィルタを提供することを目
的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1の本発明は、格
子面を構成する面上に周期構造があって、実質上格子面
の端から端まで貫く平坦部が続いていない構造の位相差
部を備えた位相格子光学的ローパスフィルタである。
【0006】請求項2の本発明は、格子面を構成する面
上の周期構造の中の一つの周期単位に、辺自身もしくは
辺と辺との間を横切る平坦部がない、又はあっても連続
する所定の数の周期単位を貫いて直線状に形成された平
坦部を持たない位相差部を備えた位相格子光学的ローパ
スフィルタである。
【0007】
【作用】本発明は、位相差部が、実質上格子面の端から
端まで貫く平坦部が続いていない構造を持つため、格子
面を構成する面上のどの方向の断面であっても位相差形
状を持たない断面が存在しない。
【0008】
【実施例】以下に、本発明をその実施例を示す図面に基
づいて説明する。
【0009】図1は、本発明にかかる第1の実施例の位
相格子の1周期分の斜視図である。すなわち、凸部にな
っている部分が位相差部4〜11である。この位相差部
4〜11に例えば、屈折率ndが1.5597、アッベ数νd
が44の樹脂材料を用い、各部分の形状を下記条件を満
たすように構成することによって満足な2次元方向の伝
達特性が得られる。
【0010】0.4V<Vp<0.6V
【0011】
【数1】 ただし、V=h×S h:位相差部の基板からの高さ S:位相格子の1周期の面積 Vp:位相格子の基板からみたときの位相差形成部分の
体積 Vpi:n種類の位相差形成部分のうちi番目の位相差
形成部分の位相格子の基板からみたときの体積(n及び
iは自然数) 上記実施例の体積は0.45Vになる。更に、十字形の
周辺部の四角部分の形状を中央部をくぼませた形で形成
したとしても、基本特性を満たすことが容易に考えられ
る。そこで、0.45Vに余裕を持たせ、下限を0.4
Vとする。又、形成パターンは凸凹逆転して使用しても
構成上何等問題がないことから、 1V−0.4V=0.6V を上限として考える。
【0012】次に、例えば587nmの波長における、2次
元平面上の各方向の空間周波数特性(OTF特性)を図
2から図6に示す。それぞれの特性は図1中のx軸とy
軸についてx軸方向を0゜とし、0゜方向の特性を図2
に、y軸方向に30゜の特性を図3に、45゜の特性を
図4に、60゜の特性を図5に、90゜方向(すなわ
ち、y軸方向)の特性を図6に示している。
【0013】図7は、第2の実施例の平面図を示してい
る。斜線部分が凹部12であり、白色部分が凸部になっ
ており位相差部13である。
【0014】図8は第3の実施例であり、図7と同様斜
線部分が凹部14であり、白色部分が凸部になっており
位相差部15である。
【0015】本発明の位相格子光学的ローパスフィルタ
を用いて構成した位相格子一体型の撮像素子の構成例を
図9に示す。図9は撮像素子のパッケージの断面図であ
る。撮像素子のパッケージは、一端側に撮像素子のカバ
ーガラス16が設けられ、カバーガラス16側から順に
本発明にかかる位相格子光学的ローパスフィルタ17、
色分離フィルタ18、撮像面19などが設けられてい
る。また、位相格子光学的ローパスフィルタ17は撮像
面19から適当な距離だけ間隔をおいて設置する必要が
あり、スペーサー20を用いて間隔を確保するように構
成されている。以上のように位相格子光学的ローパスフ
ィルタ17を一体化して撮像素子を構成することによっ
て、高性能の撮像素子が構成できる。本構成は、基本的
な構成であり、色分離フィルタ18と撮像面19の間に
オンチップレンズ等の付加機能素子が挿入されても、換
算距離が保たれておれば、性能に何等変化があるもので
はない。
【0016】ここで、第1の実施例の位相格子の設計デ
ータを一周期分について示すと、図10(a)、(b)
のようになる。すなわち、図10(a)は、位相格子の
平面図であり、各位相差部はその寸法比がそれぞれ図に
示すように形成され、又、A−Aにおける断面図は図1
0(b)に示すようになり、位相差部の基板面からの高
さが図に示す寸法比に形成される。また、この場合に、
図9に示す撮像素子における位相格子光学的ローパスフ
ィルタ17から撮像面19までの距離の寸法比を20に
とる。
【0017】また、図1、図7、図8に示すそれぞれの
実施例は、基本的な特性は等しいが、水平及び垂直方向
の特性を保証しようとした際に、それ以外の方向の特性
に違いが生じる。そこで、形状を前述の3タイプの中か
ら選択することによって、システム構成上、適当な特性
のものを選ぶことができる。さらに、図1に示すような
形状について、中央部の十字形は各方向の突出部分が互
いに接するように構成されているが離れていてもよく、
断面形状は必ずしも矩形である必要はない。又、前述以
外の形状として、中央部の十字形の回りに構成されてい
る四角部分の形状についても、その内部にくぼみを持た
せることによって特性を変化させることも考えられる。
【0018】以上のように、例えば、位相差部の形状を
十字形と四角形の2種類で形成し、図1に示すように位
相差部8〜11を1つの周期の中央に十字形になるよう
に配置し、四角形の位相差部4〜7を、その角部4a〜
7aと十字形の切り欠き部の隅部4b〜7bとを対応さ
せ所定の間隔を開けて、1つの周期の4隅に配置するこ
とにより、各周期の境界付近にも必ず位相差形状をもつ
ように構成することができる。また、位相格子構成面上
のどの方向のどの断面であっても位相差形状を持たない
断面が存在しなくなるか、もし有ったとしても、位相差
形状を持たない領域をフィルタの伝達特性として評価し
た場合に十分に効果を得ることができる範囲に制限する
ことができる。さらに、一般的な撮像系における位相格
子光学的ローパスフィルタでは、各波長について同等の
性能を得ることが必要となる。1次元形状の場合に関し
ては、特開昭63-311323にあるように断面形状を最適化
することによって、前記課題を解決することができる
が、2次元形状の場合はそのまま適用することができな
いのは明かである。しかし、本発明においては、1周期
中の複数種類の位相差部の形状を独立に変化させる自由
度があるため、位相差部の配置を最適化することによっ
て、異なる波長間においてもほぼ等しい伝達特性を得る
ことができる。
【0019】なお、上記実施例では、各位相差部の断面
形状を矩形波状を例にとって説明したが、これに限ら
ず、その他の断面形状、例えば、台形波、三角波、正弦
波あるいはその他の形状を取ってもよく、形状の最適化
によって同様の効果が得られることはもちろんである。
【0020】また、上記実施例では、位相差部の形状を
十字形と四角形としたが、これに限らず、2次元方向に
対して実用的なローパス効果があれば、他の形状であっ
てもよい。
【0021】また、上記実施例では、位相差部を十字形
と四角形との2つの独立した位相差形状により構成した
が、これに限らず、3つ以上の独立した位相差形状によ
り構成してもよい。
【0022】また、上記実施例では、各位相差部の高さ
を同じに構成したが、これに限らず、異なるように選ぶ
ことも可能であり、本発明の範囲は位相部の高さによっ
て制限されるものではない。
【0023】また、上記実施例では、各周期の境界に位
相差構造を持たない領域が存在しないように構成した
が、これに限らず、特性がシステム構成上十分な特性を
持つように構成すれば、各周期の境界、あるいは端部に
位相差構造を持たない領域が存在してもよい。
【0024】
【発明の効果】以上述べたところから明らかなように本
発明は、格子面を構成する面上に周期構造があって、実
質上格子面の端から端まで貫く平坦部が続いていない構
造の位相差部を備えているので、2次元方向に対してロ
ーパス効果を得ることが出来るという長所を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる第1の実施例の位相格子の1周
期分の斜視図である。
【図2】同実施例の位相格子の0゜方向のOTF特性を
示す図である。
【図3】同実施例の位相格子の30゜方向のOTF特性
を示す図である。
【図4】同実施例の位相格子の45゜方向のOTF特性
を示す図である。
【図5】同実施例の位相格子の60゜方向のOTF特性
を示す図である。
【図6】同実施例の位相格子の90゜方向のOTF特性
を示す図である。
【図7】第2の実施例の位相格子の平面図である。
【図8】第3の実施例の位相格子の平面図である。
【図9】本発明の位相格子光学的ローパスフィルタを一
体化した撮像素子の断面図である。
【図10】同図(a)は、第1の実施例の設計データの
一例を示す平面図、同図(b)は、A−Aにおける断面
図である。
【図11】従来の位相格子の斜視図である。
【図12】図11の直線1の位置における断面形状を示
す図である。
【図13】図11の直線2の位置における断面形状を示
す図である。
【図14】図11の直線3の位置における断面形状を示
す図である。
【図15】図11の各断面形状におけるMTF特性の模
式図である。
【符号の説明】
4〜11 位相差部 13、15 位相差部 17 位相格子光学的ローパスフィルタ 19 撮像面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年11月25日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【数1】 ただし、V=h×S h:位相差部の基板からの高さ S:位相格子の1周期の面積 Vp:位相格子の基板からみたときの位相差部形成部分
の体積 Vpi:n種類の位相差形成部分のうちi番目の位相差
部形成部分の位相格子の基板からみたときの体積(n及
びiは自然数)
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正内容】
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の位相格子光学的
ローパスフィルタは、位相差形状を構成する周期構造の
任意の方向の断面が必ず凹凸の位相差構造を有する様
に、位相差を発生させる形状を構成することによって、
回折が必ず生じローパス効果が得られる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0007】
【作用】本発明は、位相差形状の周期構造がどのような
方向の断面においても位相差構造を有するために、格子
形状を形成する面上に広がる局所的な位相差形状の境界
を単純な1本の直線で表現できないように、例えば、隣
り合う形状同士で図16のa〜dに示すような空間をあ
けた凹と凸の形状のはめあわせの関係を有している。例
えば、CCDのように1つの画素が正方形あるいは長方
形であり、2次元平面上に周期的に存在する場合につい
て考えれば、隣り合う画素が4つあり、それぞれの境界
において空間をあけた凹と凸のはめ合いとなる形状を必
要とする。さらに、1周期の形状を等しくする場合に
は、隣り合う周期の位相差形状が凸同士あるいは凹同士
になるため、本発明の条件であるはめ合いの関係が満た
せなくなる。そこで、図17のa、bに示すように、境
界部分に双方の形状を連結するような、両方の周期に対
して両凹形状あるいは両凸形状を有することが必要とな
る。この考え方に基づき、隣り合う4つの周期に対し
て、はめ合いの構造を満たすためには、図18a、bに
示すような形状が必要となる。しかしながら、図18の
aに示す形状であれば、隣り合う部分の凸形状をつなぐ
ための両凹の部分に本発明の条件にあるように連続した
平坦部分が発生してしまう。そこで、図18のbに示す
ような形状が本発明の条件を満たすものとなる。さら
に、図16のbの形状から、本考えに従い位相差形状を
構成すると、図18のcに示すような形状も考えられ
る。ただし、本発明における凹凸のはめ合いの関係は、
例に挙げたものに限定するのではなく、図16a〜d中
の形状の凹部と凸部の組み合わせは1対1に決めるもの
ではなく、凹に対する凸の組み合わせをa〜dの中で任
意に組み替えても同様の効果が得られることは、本発明
の条件を考えても明らかである。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる第1の実施例の位相格子の1周
期分の斜視図である。
【図2】同実施例の位相格子の0゜方向のOTF特性を
示す図である。
【図3】同実施例の位相格子の30゜方向のOTF特性
を示す図である。
【図4】同実施例の位相格子の45゜方向のOTF特性
を示す図である。
【図5】同実施例の位相格子の60゜方向のOTF特性
を示す図である。
【図6】同実施例の位相格子の90゜方向のOTF特性
を示す図である。
【図7】第2の実施例の位相格子の平面図である。
【図8】第3の実施例の位相格子の平面図である。
【図9】本発明の位相格子光学的ローパスフィルタを一
体化した撮像素子の断面図である。
【図10】同図(a)は、第1の実施例の設計データの
一例を示す平面図、同図(b)は、A−Aにおける断面
図である。
【図11】従来の位相格子の斜視図である。
【図12】図11の直線1の位置における断面形状を示
す図である。
【図13】図11の直線2の位置における断面形状を示
す図である。
【図14】図11の直線3の位置における断面形状を示
す図である。
【図15】図11の各断面形状におけるMTF特性の模
式図である。
【図16】同図(a)から(d)は、位相差形状の境界
でのはめ合いを示す具体的な例を示す図である。図中の
1点鎖線は境界を示している。
【図17】同図(a)、(b)は、隣り合う1周期分に
おいて等しい位相差形状を有するように、境界が有する
形状の具体的な例を示す図である。図中の1点鎖線は境
界を示している。
【図18】隣り合う1周期分の構造が4つ隣り合う場合
に、同図(a)は、(図17)の(a)に基づき構成し
た具体例であり、境界上に設けた両凹のはめ合い部分が
つながっている場合であり、同図(b)は(図17)の
(b)に基づき構成した同様の具体例であり、境界上の
位相差構造が分離している場合であり、同図(c)は、
(図16)の(b)に基づき構成した具体例である。図
中の1点鎖線は境界を示している。
【符号の説明】 4〜11 位相差部 13、15 位相差部 17 位相格子光学的ローパスフィルタ 19 撮像面
【手続補正5】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図16
【補正方法】追加
【補正内容】
【図16】
【手続補正6】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図17
【補正方法】追加
【補正内容】
【図17】
【手続補正7】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図18
【補正方法】追加
【補正内容】
【図18】

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 格子面を構成する面上に周期構造があっ
    て、実質上前記格子面の端から端まで貫く平坦部が続い
    ていない構造の位相差部を備えたことを特徴とする位相
    格子光学的ローパスフィルタ。
  2. 【請求項2】 格子面を構成する面上の周期構造の中の
    一つの周期単位に、辺自身もしくは辺と辺との間を横切
    る平坦部がない、又はあっても連続する所定の数の周期
    単位を貫いて直線状に形成された平坦部を持たない位相
    差部を備えたことを特徴とする位相格子光学的ローパス
    フィルタ。
  3. 【請求項3】 位相差部は、格子面を構成する面上の周
    期構造の中の1つの周期に、少なくとも2つの独立した
    位相差構造を有することを特徴とする請求項1又は2記
    載の位相格子光学的ローパスフィルタ。
  4. 【請求項4】 位相差部は、撮像素子の撮像面上のあら
    ゆる方向に対して、実質上十分なローパス効果を得るた
    めに、以下の条件を満たすものであることを特徴とする
    請求項1、2又は3記載の位相格子光学的ローパスフィ
    ルタ。 0.4V<Vp<0.6V 【数1】 ただし、V=h×S h:位相差部の基板からの高さ S:位相格子の1周期の面積 Vp:位相格子の基板からみたときの位相差部形成部分
    の体積 Vpi:n種類の位相差形成部分のうちi番目の位相差
    部形成部分の位相格子の基板からみたときの体積(n及
    びiは自然数)
  5. 【請求項5】 位相差部は、一つが十字形部であり、残
    りが四角形部であり、前記十字形部は前記一つの周期の
    中央部に配置され、前記四角形部は前記十字形部の切り
    欠き部に両者の隅が対応するように、前記十字形部から
    所定の間隔を隔てて配置されていることを特徴とする請
    求項3又は4記載の位相格子光学的ローパスフィルタ。
  6. 【請求項6】 撮像素子の撮像面上のあらゆる方向に対
    して、実質上十分なローパス効果を得るために、前記撮
    像素子と一体化されたことを特徴とする請求項1、2、
    3、4又は5記載の位相格子光学的ローパスフィルタ。
JP4229853A 1992-08-28 1992-08-28 位相格子光学的ローパスフィルタ Expired - Fee Related JP2987016B2 (ja)

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