JPH0682190A - 強制液冷用アルミニウム冷却板 - Google Patents
強制液冷用アルミニウム冷却板Info
- Publication number
- JPH0682190A JPH0682190A JP23343992A JP23343992A JPH0682190A JP H0682190 A JPH0682190 A JP H0682190A JP 23343992 A JP23343992 A JP 23343992A JP 23343992 A JP23343992 A JP 23343992A JP H0682190 A JPH0682190 A JP H0682190A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- aluminum
- plate
- brazing
- cooling
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F3/00—Plate-like or laminated elements; Assemblies of plate-like or laminated elements
- F28F3/12—Elements constructed in the shape of a hollow panel, e.g. with channels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 熱効率が優れていると共に、生産性が高く、
低コストの強制液冷用アルミニウム合金冷却板を提供す
る。 【構成】 アルミニウムブレージングシート１のろう材
配置面に、所定の形状に延びる溝５を形成し、この溝５
の縁部に沿う部分のろう材８を残し、この部分に近接す
る領域６，７のろう材８を溝加工により除去する。そし
て、同様の形状の溝が形成されたアルミニウム板をブレ
ージングシート１に重ね合わせ、ろう材８の溶融により
両者を接合する。そうすると、ブレージングシート１及
びアルミニウム板の両溝により液路が形成され、冷却板
はこの液路を通流する液体冷媒により直接冷却されて高
効率で熱が伝達される。
低コストの強制液冷用アルミニウム合金冷却板を提供す
る。 【構成】 アルミニウムブレージングシート１のろう材
配置面に、所定の形状に延びる溝５を形成し、この溝５
の縁部に沿う部分のろう材８を残し、この部分に近接す
る領域６，７のろう材８を溝加工により除去する。そし
て、同様の形状の溝が形成されたアルミニウム板をブレ
ージングシート１に重ね合わせ、ろう材８の溶融により
両者を接合する。そうすると、ブレージングシート１及
びアルミニウム板の両溝により液路が形成され、冷却板
はこの液路を通流する液体冷媒により直接冷却されて高
効率で熱が伝達される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大電流用の整流装置及
び制御装置の放熱のために使用される強制液冷用アルミ
ニウム冷却板に関する。
び制御装置の放熱のために使用される強制液冷用アルミ
ニウム冷却板に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】従来のこの種の冷却板に
は、種々の形のパワートランジスタ、整流素子及びＳＣ
Ｒ等の発熱部材が取り付けられ、水又はフロン等の液冷
媒が冷却板の内部等を通流することにより、前記パワー
トランジスタ等を冷却するようになっている。この強制
液冷却用アルミニウム合金板は、メッキ用整流装置、分
子加速器、マグネット制御装置又は電子計算機電源等に
使用される。
は、種々の形のパワートランジスタ、整流素子及びＳＣ
Ｒ等の発熱部材が取り付けられ、水又はフロン等の液冷
媒が冷却板の内部等を通流することにより、前記パワー
トランジスタ等を冷却するようになっている。この強制
液冷却用アルミニウム合金板は、メッキ用整流装置、分
子加速器、マグネット制御装置又は電子計算機電源等に
使用される。
【０００３】即ち、大電流用の整流装置及び制御装置に
おいては、パワートランジスタ整流素子等のように単位
面積当たりの発生熱が大きい半導体素子の温度上昇を抑
制するために、空冷方式では、放射性能が不足するの
で、水又は液体フロン等による液冷方式にすることが必
要である。従来、この液路に相当する部分に銅管を使用
し、液体の漏れがない密閉構造の液路を得ている。
おいては、パワートランジスタ整流素子等のように単位
面積当たりの発生熱が大きい半導体素子の温度上昇を抑
制するために、空冷方式では、放射性能が不足するの
で、水又は液体フロン等による液冷方式にすることが必
要である。従来、この液路に相当する部分に銅管を使用
し、液体の漏れがない密閉構造の液路を得ている。
【０００４】図６は従来の強制液冷用冷却板の第１の例
を示す模式図である。この冷却板はアルミニウム合金押
出型材を使用した冷却板２３，２６の下面に、所定の形
状に曲げ加工した銅管２４，２７をかしめ部２５，２８
によりかしめ固定して構成されている。図５はアルミニ
ウム合金押出型材の冷却板２０（２３，２６）の下面に
設けたかしめ部２２（２５，２８）を拡大して示す。こ
の図５に示すように、この冷却板は、銅管２１（２４，
２７）をかしめ部２２に嵌合してかしめ固定する構造を
有しているので、銅管２１とアルミニウム製冷却板２０
との間の熱抵抗が大きく、熱効率が低いので、大型化し
てしまうという難点がある。また、銅管２１とアルミニ
ウム製冷却板２０との間の隙間腐食及び境界部の電食等
の問題点がある。更に、長年にわたり、ヒートサイクル
を受けると、かしめ部２２の嵌合状態が緩くなってくる
ため、熱効率が更に一層低下してしまう。
を示す模式図である。この冷却板はアルミニウム合金押
出型材を使用した冷却板２３，２６の下面に、所定の形
状に曲げ加工した銅管２４，２７をかしめ部２５，２８
によりかしめ固定して構成されている。図５はアルミニ
ウム合金押出型材の冷却板２０（２３，２６）の下面に
設けたかしめ部２２（２５，２８）を拡大して示す。こ
の図５に示すように、この冷却板は、銅管２１（２４，
２７）をかしめ部２２に嵌合してかしめ固定する構造を
有しているので、銅管２１とアルミニウム製冷却板２０
との間の熱抵抗が大きく、熱効率が低いので、大型化し
てしまうという難点がある。また、銅管２１とアルミニ
ウム製冷却板２０との間の隙間腐食及び境界部の電食等
の問題点がある。更に、長年にわたり、ヒートサイクル
を受けると、かしめ部２２の嵌合状態が緩くなってくる
ため、熱効率が更に一層低下してしまう。
【０００５】一方、図７に示すように、曲げ加工した銅
管３１をアルミニウム合金の鋳物で鋳ぐるんだ強制液冷
用冷却板３０も提案されている。しかし、この冷却板に
おいては、アルミニウム合金の鋳物が多数の巣欠陥を具
備するため、熱効率が低いという欠点がある。また、ア
ルミニウム合金鋳物の鋳肌の面粗度が悪いため、半導体
素子の取付面を機械的に切削する必要がある。更に、こ
の従来の冷却板は、境界部の電食の問題があると共に、
製造コストが高いという難点がある。
管３１をアルミニウム合金の鋳物で鋳ぐるんだ強制液冷
用冷却板３０も提案されている。しかし、この冷却板に
おいては、アルミニウム合金の鋳物が多数の巣欠陥を具
備するため、熱効率が低いという欠点がある。また、ア
ルミニウム合金鋳物の鋳肌の面粗度が悪いため、半導体
素子の取付面を機械的に切削する必要がある。更に、こ
の従来の冷却板は、境界部の電食の問題があると共に、
製造コストが高いという難点がある。
【０００６】図８は従来の更に他の強制液冷用冷却板を
示す。アルミニウム合金の厚板４０に所定の液路に沿っ
て延びる溝４１を加工し、この溝４１内に、曲げ加工し
た銅管４２を配置し、その上に熱伝導性接着剤（硬質）
４３を充填して銅管４２を溝４１内に埋め込む。その
後、接着剤４３の面と厚板４０の表面とが面一になるよ
うに、厚板４０及び接着剤４３を機械加工する。
示す。アルミニウム合金の厚板４０に所定の液路に沿っ
て延びる溝４１を加工し、この溝４１内に、曲げ加工し
た銅管４２を配置し、その上に熱伝導性接着剤（硬質）
４３を充填して銅管４２を溝４１内に埋め込む。その
後、接着剤４３の面と厚板４０の表面とが面一になるよ
うに、厚板４０及び接着剤４３を機械加工する。
【０００７】この従来の強制液冷用冷却板も、銅管４２
とアルミニウム合金製厚板４０との間の熱抵抗が若干大
きいため、熱効率が十分ではないという難点がある。ま
た、この冷却板には、熱伝導性接着剤の充填作業性が悪
いと共に、乾燥時間を設ける必要があり、生産性が悪い
という欠点がある。更に、熱伝導性接着剤４３の切削性
が悪いため、これが更に一層生産性を低下させていると
共に、境界部で電食が発生する虞がある。
とアルミニウム合金製厚板４０との間の熱抵抗が若干大
きいため、熱効率が十分ではないという難点がある。ま
た、この冷却板には、熱伝導性接着剤の充填作業性が悪
いと共に、乾燥時間を設ける必要があり、生産性が悪い
という欠点がある。更に、熱伝導性接着剤４３の切削性
が悪いため、これが更に一層生産性を低下させていると
共に、境界部で電食が発生する虞がある。
【０００８】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、熱効率が優れていると共に、生産性が高
く、低コストの強制液冷用アルミニウム合金冷却板を提
供することを目的とする。
のであって、熱効率が優れていると共に、生産性が高
く、低コストの強制液冷用アルミニウム合金冷却板を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係る強制液冷用
アルミニウム合金冷却板は、その一面に第１の溝が形成
された第１のアルミニウム合金製分割板と、その一面に
前記第１の溝と整合する形状の第２の溝が形成された第
２のアルミニウム合金製分割板とをその溝形成面を前記
第１及び第２の溝を整合させて重ね合わせ、両者を前記
溝の縁部に沿って配置したろう材により接合処理して構
成されており、前記第１及び第２の溝により液路が形成
されていることを特徴とする。
アルミニウム合金冷却板は、その一面に第１の溝が形成
された第１のアルミニウム合金製分割板と、その一面に
前記第１の溝と整合する形状の第２の溝が形成された第
２のアルミニウム合金製分割板とをその溝形成面を前記
第１及び第２の溝を整合させて重ね合わせ、両者を前記
溝の縁部に沿って配置したろう材により接合処理して構
成されており、前記第１及び第２の溝により液路が形成
されていることを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明においては、第１及び第２の分割板をそ
の溝形成面で重ね合わせて両者を接合することにより、
冷却板が構成されている。そして、前記各分割板には、
第１及び第２の溝が形成されているので、この第１及び
第２の溝により液路が構成される。
の溝形成面で重ね合わせて両者を接合することにより、
冷却板が構成されている。そして、前記各分割板には、
第１及び第２の溝が形成されているので、この第１及び
第２の溝により液路が構成される。
【００１１】このように、本発明においては、液冷媒が
直接分割板、ひいては冷却板に接触しているので、従来
のように銅管を介して熱を伝達させる必要がないため、
熱効率が極めて高い。
直接分割板、ひいては冷却板に接触しているので、従来
のように銅管を介して熱を伝達させる必要がないため、
熱効率が極めて高い。
【００１２】また、本発明においては、ろう材を溝の縁
部に沿って配置しているので、接合時に溶けたろう材
は、溝内によりも、毛細管現象により、ろう材が配置さ
れていない部分の前記第１及び第２の分割板の対向する
溝形成面間に導かれる。このため、接合面積がろう材配
置部よりも拡大して接合強度が増大すると共に、溶けた
ろう材が溝内に侵入して溝を閉塞したりすることがな
い。また、溝に沿ってろう材を配置することにより、液
路に露出する接合部（分割板の溝形成面間）はろう材に
より占められ、液冷媒が液路から漏出することはない。
部に沿って配置しているので、接合時に溶けたろう材
は、溝内によりも、毛細管現象により、ろう材が配置さ
れていない部分の前記第１及び第２の分割板の対向する
溝形成面間に導かれる。このため、接合面積がろう材配
置部よりも拡大して接合強度が増大すると共に、溶けた
ろう材が溝内に侵入して溝を閉塞したりすることがな
い。また、溝に沿ってろう材を配置することにより、液
路に露出する接合部（分割板の溝形成面間）はろう材に
より占められ、液冷媒が液路から漏出することはない。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について、添付の図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１４】図１は本発明の実施例に係る強制液冷用ア
ルミニウム冷却板を示す正面図、図２は図１の２−２線
による断面図、図３は図２の２−２線による断面図であ
る。本実施例においては、アルミニウム又はアルミニウ
ム合金シート上にろう材を配置したアルミニウムブレー
ジングシート１（第１の分割板）と、ベア材を使用した
アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウ
ム板２（第２の分割板）とを重ね合わせ、重ね合わせ面
３にて両者をブレージングシート１のろう材により接合
している。
ルミニウム冷却板を示す正面図、図２は図１の２−２線
による断面図、図３は図２の２−２線による断面図であ
る。本実施例においては、アルミニウム又はアルミニウ
ム合金シート上にろう材を配置したアルミニウムブレー
ジングシート１（第１の分割板）と、ベア材を使用した
アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウ
ム板２（第２の分割板）とを重ね合わせ、重ね合わせ面
３にて両者をブレージングシート１のろう材により接合
している。
【００１５】図２に示すように、アルミニウムブレージ
ングシート１はそのろう材配置面に３回屈曲して延びる
溝５が形成されており、この溝５は図３に示すように、
断面が半円状をなしている。また、アルミニウムブレー
ジングシート１の正面の端面には溝５より若干大径の液
冷媒供給接続部４が設けられている。このブレージング
シート１と重ね合わされるアルミニウム板２にも、溝５
と同様の形状で延びる溝が形成されており、それらの溝
形成面を重ね合わせることにより、断面が円形の液路が
形成される。なお、液冷媒供給接続部４は後述するよう
にしてブレージングシート１とアルミニウム板２とを接
合した後に、例えばネジ加工される。
ングシート１はそのろう材配置面に３回屈曲して延びる
溝５が形成されており、この溝５は図３に示すように、
断面が半円状をなしている。また、アルミニウムブレー
ジングシート１の正面の端面には溝５より若干大径の液
冷媒供給接続部４が設けられている。このブレージング
シート１と重ね合わされるアルミニウム板２にも、溝５
と同様の形状で延びる溝が形成されており、それらの溝
形成面を重ね合わせることにより、断面が円形の液路が
形成される。なお、液冷媒供給接続部４は後述するよう
にしてブレージングシート１とアルミニウム板２とを接
合した後に、例えばネジ加工される。
【００１６】図２のハッチングはアルミニウムブレージ
ングシート１の表面に配置されたろう材を示す。この図
２に示すように、ブレージングシート１の表面に断面半
円形の溝５を加工すると共に、この溝５を挟むようにし
て溝５に沿って延びる適幅の領域６，７に配置されてい
る部分のろう材を溝加工により取り除く。このろう材除
去領域６，７は、図３に示すように、表面上のろう材を
含めてブレージングシート１の表面を浅く切削除去する
ことにより設けられる。このようにして、ブレージング
シート１の表面には、溝５の縁部に沿って延びる領域
と、この溝間の中央部等とにろう材８が配置され、溝５
の縁部に沿って延びる領域の近傍の領域６，７には、ろ
う材が配置されていない。
ングシート１の表面に配置されたろう材を示す。この図
２に示すように、ブレージングシート１の表面に断面半
円形の溝５を加工すると共に、この溝５を挟むようにし
て溝５に沿って延びる適幅の領域６，７に配置されてい
る部分のろう材を溝加工により取り除く。このろう材除
去領域６，７は、図３に示すように、表面上のろう材を
含めてブレージングシート１の表面を浅く切削除去する
ことにより設けられる。このようにして、ブレージング
シート１の表面には、溝５の縁部に沿って延びる領域
と、この溝間の中央部等とにろう材８が配置され、溝５
の縁部に沿って延びる領域の近傍の領域６，７には、ろ
う材が配置されていない。
【００１７】本実施例の冷却板においては、ブレージン
グシート１とアルミニウム板２とをろう材の溶融により
接合する際に、ろう材８は図３に示すように、溝５の縁
部及びこの縁部から離れた領域にのみ配置されていて、
溝５の縁部のろう材８が配置された領域の近傍の領域
６，７には、ろう材が配置されていない。このため、接
合時に溶融し、加圧されたろう材８は、ブレージングシ
ート１とアルミニウム板２との間のろう材除去領域６，
７に毛細管現象により侵入し、ブレージングシート１と
アルミニウム板２との間の広範な領域にろう材が介在し
て両者が接合される。このため、両者の接合強度が高い
と共に、ろう材８が溝５内に垂れ込むことはなく、ろう
材により液路が閉塞することもない。
グシート１とアルミニウム板２とをろう材の溶融により
接合する際に、ろう材８は図３に示すように、溝５の縁
部及びこの縁部から離れた領域にのみ配置されていて、
溝５の縁部のろう材８が配置された領域の近傍の領域
６，７には、ろう材が配置されていない。このため、接
合時に溶融し、加圧されたろう材８は、ブレージングシ
ート１とアルミニウム板２との間のろう材除去領域６，
７に毛細管現象により侵入し、ブレージングシート１と
アルミニウム板２との間の広範な領域にろう材が介在し
て両者が接合される。このため、両者の接合強度が高い
と共に、ろう材８が溝５内に垂れ込むことはなく、ろう
材により液路が閉塞することもない。
【００１８】ブレージングシート１の全面にろう材を配
置すると、接合時にろう材が溶融し分割板同士が押圧さ
れたときに、溶けたろう材が溝５内に垂れ込む。従っ
て、このろう材が配置されている領域と、ろう材が配置
されていない領域との割合は、接合時にろう材が広がる
領域を勘案して、十分な接合強度と、溝内へのろう材の
垂れ込み防止との双方の効果が得られるものにする。
置すると、接合時にろう材が溶融し分割板同士が押圧さ
れたときに、溶けたろう材が溝５内に垂れ込む。従っ
て、このろう材が配置されている領域と、ろう材が配置
されていない領域との割合は、接合時にろう材が広がる
領域を勘案して、十分な接合強度と、溝内へのろう材の
垂れ込み防止との双方の効果が得られるものにする。
【００１９】上述の如くして製造された冷却板は、ブレ
ージングシート１の断面半円形の溝５とアルミニウム板
２の断面半円形の溝とにより構成される断面円形の液路
内を水又は液体フロンが通流して冷却される。このた
め、アルミニウム冷却板に搭載された大電流用の整流装
置等にて発生した熱は、従来のように銅管などを介して
液路の液体冷媒に伝達されるのではなく、アルミニウム
製シート１及びアルミニウム板２から直接液体冷媒に伝
達され、放散する。このため、本実施例の冷却板は熱効
率が著しく高い。
ージングシート１の断面半円形の溝５とアルミニウム板
２の断面半円形の溝とにより構成される断面円形の液路
内を水又は液体フロンが通流して冷却される。このた
め、アルミニウム冷却板に搭載された大電流用の整流装
置等にて発生した熱は、従来のように銅管などを介して
液路の液体冷媒に伝達されるのではなく、アルミニウム
製シート１及びアルミニウム板２から直接液体冷媒に伝
達され、放散する。このため、本実施例の冷却板は熱効
率が著しく高い。
【００２０】図４は本発明の第２の実施例を示す正面図
である。本実施例においては、ベア材からなるアルミニ
ウム板１３，１４の重ね合わせ面に液路となる溝１５，
１６を加工し、この溝形成面間に両面クラッドのブレー
ジングシート１０を介装する。このブレージングシート
１０はアルミニウムシート１１の両面にろう材１２を設
けたものである。このブレージングシート１０も、その
ろう材１２は、溝１５，１６の縁部に沿って延びる領域
に配置され、この領域に近接する領域には、配置されて
いない。
である。本実施例においては、ベア材からなるアルミニ
ウム板１３，１４の重ね合わせ面に液路となる溝１５，
１６を加工し、この溝形成面間に両面クラッドのブレー
ジングシート１０を介装する。このブレージングシート
１０はアルミニウムシート１１の両面にろう材１２を設
けたものである。このブレージングシート１０も、その
ろう材１２は、溝１５，１６の縁部に沿って延びる領域
に配置され、この領域に近接する領域には、配置されて
いない。
【００２１】本実施例においても、ブレージングシート
１０のろう材１２によりアルミニウム板１３，１４が相
互に接合され、溝１５，１６により液路が構成され、第
１の実施例と同様の効果を奏する。
１０のろう材１２によりアルミニウム板１３，１４が相
互に接合され、溝１５，１６により液路が構成され、第
１の実施例と同様の効果を奏する。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１及び第２の分割板を適所に配置したろう材により接
合処理することにより、冷却板が構成されているから、
極めて熱効率が高い強制液冷用アルミニウム合金冷却板
が得られる。また、本発明の冷却板は、分割板を溝加工
すると共に、両者をろう付けすることにより製造される
ので、生産性が高いと共に、製造コストが低い。
第１及び第２の分割板を適所に配置したろう材により接
合処理することにより、冷却板が構成されているから、
極めて熱効率が高い強制液冷用アルミニウム合金冷却板
が得られる。また、本発明の冷却板は、分割板を溝加工
すると共に、両者をろう付けすることにより製造される
ので、生産性が高いと共に、製造コストが低い。
【図１】本発明の実施例に係る冷却板を示す正面図であ
る。
る。
【図２】図１の２−２線による平面図である。
【図３】図２の３−３線による断面図である。
【図４】本発明の他の実施例に係る冷却板を示す正面図
である。
である。
【図５】従来の強制液冷用冷却板の銅管取り付け態様を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図６】同じくその銅管配置を示す模式図である。
【図７】従来の他の強制液冷用冷却板を示す模式図であ
る。
る。
【図８】従来の更に他の強制液冷用冷却板を示す模式図
である。
である。
１；アルミニウムブレージングシート ２，１３，１４；アルミニウム板 ５，１５，１６；溝 ６，７；ろう材除去領域 ８；ろう材 １０；両面クラッドブレージングシート ２１，２４，２７，３１，４２；銅管
Claims (2)
- 【請求項１】 その一面に第１の溝が形成された第１の
アルミニウム合金製分割板と、その一面に前記第１の溝
と整合する形状の第２の溝が形成された第２のアルミニ
ウム合金製分割板とをその溝形成面を前記第１及び第２
の溝を整合させて重ね合わせ、両者を前記溝の縁部に沿
って配置したろう材により接合処理して構成されてお
り、前記第１及び第２の溝により液路が形成されている
ことを特徴とする強制液冷用アルミニウム冷却板。 - 【請求項２】 前記第１の分割板は、アルミニウムブレ
ージングシートに溝加工したものであることを特徴とす
る請求項１に記載の強制液冷用アルミニウム冷却板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23343992A JPH0682190A (ja) | 1992-09-01 | 1992-09-01 | 強制液冷用アルミニウム冷却板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23343992A JPH0682190A (ja) | 1992-09-01 | 1992-09-01 | 強制液冷用アルミニウム冷却板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682190A true JPH0682190A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=16955064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23343992A Pending JPH0682190A (ja) | 1992-09-01 | 1992-09-01 | 強制液冷用アルミニウム冷却板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682190A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005326068A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Daikin Ind Ltd | 熱交換器用プレート及び熱交換器 |
| JP2006064364A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-03-09 | Showa Denko Kk | 液冷式放熱装置およびその製造方法 |
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