JPH0679979B2 - ホウ化チタンセラミックス焼結体の製造方法 - Google Patents

ホウ化チタンセラミックス焼結体の製造方法

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JPH0679979B2
JPH0679979B2 JP62328628A JP32862887A JPH0679979B2 JP H0679979 B2 JPH0679979 B2 JP H0679979B2 JP 62328628 A JP62328628 A JP 62328628A JP 32862887 A JP32862887 A JP 32862887A JP H0679979 B2 JPH0679979 B2 JP H0679979B2
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Esu Teii Seramitsukusu Kenkyusho Kk
Coorstek KK
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Esu Teii Seramitsukusu Kenkyusho Kk
Toshiba Ceramics Co Ltd
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【発明の詳細な説明】 (1)発明の目的 [産業上の利用分野] 本発明は、ホウ化チタンセラミックス焼結体の製造方法
に関し、特にクロムのホウ化物と炭化チタンとの混合固
溶した結合層すなわちマトリックス層をホウ化チタン粒
子間に配設せしめてなるホウ化チタンセラミックス焼結
体の製造方法に関するものである。
[従来の技術] 従来この種のホウ化チタンセラミックス焼結体の製造方
法としては、ホウ化チタン粉末とアルミナ粉末とを混合
して作成したセラミックス混合物からセラミックス成形
体を作成してホットプレス焼結することにより、ホウ化
チタン粒子間にα型のアルミナを配設せしめてなるもの
が提案されていた。
[解決すべき問題点] しかしながら従来のホウ化チタンセラミックス焼結体の
製造方法では、ホウ化チタンTiB2の粒界近傍に粒界相が
形成されておらず、ホウ化チタンTiB2粒子の成長を抑制
することが殆んどできないので、ホウ化チタン粒子間に
空孔が発生し易い欠点があり、ひいては高密度および高
強度とでき難い欠点があった。
そこで本発明は、これらの欠点を除去するため、ホウ化
チタン粒子間に空孔の発生が十分に抑制された結合層す
なわちマトリックス層を配設せしめることにより高密度
で高強度とされたホウ化チタンセラミックス焼結体の製
造方法を提供せんとするものである。
(2)発明の構成 [問題点の解決手段] 本発明により提供される問題点の解決手段は、 (a)平均粒径、最大粒径がそれぞれ0.5〜8μm、12
μmのホウ化チタン粉末75〜99重量%に対し、 平均粒径、最大粒径がそれぞれ1〜5μm、12μmのク
ロム粉末および 平均粒径、最大粒径がそれぞれ10〜100nm、150nmで、比
表面積が、50〜150m2/gの炭素粉末を 合計で1〜25重量%だけ配合せしめることによりセラミ
ックス配合物を作成する第1の工程と、 (b)前記セラミックス配合物を均質に混合してセラミ
ックス混合物を作成する第2の工程と、 (c)前記セラミックス混合物をバインダとともに金型
に収容して加圧したセラミックス圧粉体を作成する第3
の工程と、 (d)前記セラミックス圧粉体を加圧したセラミックス
成形体を作成する第4の工程と、 (e)前記セラミックス成形体を非酸化性雰囲気中で焼
結しセラミックス焼結体を作成する第5の工程と を備えてなることを特徴とするホウ化チタンセラミック
ス焼結体の製造方法」 である。
[作用] 本発明にかかるホウ化チタンセラミックス焼結体の製造
方法は、75〜99重量%のホウ化チタン粉末に対しクロム
粉末および炭素粉末を合計で1〜25重量%だけ配合せし
めたセラミックス配合物を混合し加圧成形したのち焼結
してなるので、ホウ化チタン粒子間に対しクロムのホウ
化物と炭化チタンとの混合固溶した結合層すなわちマト
リックス層を配設せしめる作用をなし、結果的にホウ化
チタン粒子間のマトリックス層に空孔が発生することを
十分に抑制する作用をなし、ひいては高密度および高強
度とする作用をなす。
[実施例] 次に本発明について、添付図面を参照しつつ具体的に説
明する。
第1図は、本発明にかかるホウ化チタンセラミックス焼
結体の製造方法の一実施例によって製造されたホウ化チ
タンセラミックス焼結体を示す拡大断面図である。
第2図は、第1図のホウ化チタンセラミックス焼結体の
研磨処理をした外表面の組織を示す光学顕微鏡であっ
て、実施例4の場合を示している。
第3図は、第1図のホウ化チタンセラミックス焼結体の
破断面の組織を示す走査型電子顕微鏡写真であって、実
施例4の場合を示している。
第4図は、第1図の実施例のホウ化チタンセラミックス
焼結体のエッチング処理した外表面の組織を示す光学顕
微鏡写真であって、実施例4の場合を示している。
第5図は、第1図のホウ化チタンセラミックス焼結体の
エッチング処理した外表面の組織を示す走査型電子顕微
鏡写真であって、実施例4の場合を示している。
第6図は、第1図のホウ化チタンセラミックス焼結体の
研磨処理した外表面の組織を示す走査型電子顕微鏡写真
であって、実施例4の場合を示しており、研磨処理時の
粒子の脱落部分が黒色で示されている。
第7図は、第6図の模写図であって、研磨処理時の粒子
の脱落部分が黒色で示されている。
第8図は、第1図のホウ化チタンセラミックス焼結体の
研磨処理した外表面の組織のEPMA分析すなわち電子プロ
ーブ微小分析の結果を示すX線強度分布図であって、第
7図の直線A−A′にそって実行された場合を示してい
る。
第9図(a)は、第1図のホウ化チタンセラミックス焼
結体の研磨処理した外表面の組織のEPMA分析すなわち電
子プローブ微小分析の結果を示すX線強度分布写真であ
って、第6図および第7図のほぼ全体について実行され
た場合を示しており、クロムに対応する部分が黒色で示
されている。
第9図(b)は、第1図のホウ化チタンセラミックス焼
結体の研磨処理した外表面の組織のEPMA分析すなわち電
子プローブ微小分析の結果を示すX線強度分布写真であ
って、第6図および第7図のほぼ全体について実行され
た場合を示しており、チタンに対応する部分が黒色で示
されている。
第9図(c)は、第9図(a)(b)を重ね合わせて作
成した模写図であって、クロムが破線で示され、かつチ
タンが実線で示されている。
第10図は第1図のホウ化チタンセラミックス焼結体のX
線回折分析の結果を示すグラフ図であって、実施例4の
場合を示しており、横軸にX線の回折角度がとられかつ
縦軸にX線の回折強度がとられている。
第11図は、比較例1として示したホウ化チタンセラミッ
クス焼結体の製造方法によって製造されたホウ化チタン
セラミックス焼結体の破断面の組織を示す走査型電子顕
微鏡写真である。
まず本発明にかかるホウ化チタンセラミックス焼結体の
製造方法の一実施例よって製造されたホウ化チタンセラ
ミックス焼結体について、その組織を詳細に説明する。10 は、本発明にかかるホウ化チタンセラミックス焼結体
の製造方法によって製造されたホウ化チタンセラミック
ス焼結体(以下、“セラミックス焼結体”と称すること
もある)で、ホウ化チタンTiB2粒子20と、ホウ化チタン
TiB2粒子20を結合するための網目状の結合層30とを含有
している。
ホウ化チタンTiB2粒子20は、平均粒径が0.5〜8μmで
かつ最大粒径が12μmであり、特に平均粒径が0.5〜3
μmでかつ最大粒径が6μmであれば好ましい。ここで
ホウ化チタンTiB2粒子20の平均粒径を0.5〜8μmとす
る根拠は、(i)平均粒径が0.5μm未満となれば、ホ
ウ化チタンTiB2粒子20の表面酸化が顕著化し、かつホウ
化チタンTiB2粒子20間の凝集が顕著となって、ホウ化チ
タンセラミックス焼結体10の焼結を著しく阻害すること
となり、また(ii)平均粒径が8μmを超えれば、焼結
の駆動力が小さくなって、ホウ化チタンセラミックス焼
結体10を緻密化せしめることが困難化し、ホウ化チタン
TiB2粒子20に既存の亀裂が拡大されホウ化チタンセラミ
ックス焼結体10の強度を低下せしめることにある。加え
てホウ化チタンTiB2粒子20の最大粒径が12μmとされて
いる根拠は、最大粒径が12μmを超えれば、ホウ化チタ
ンセラミックス焼結体10中に粗大粒子として存在するこ
ととなり、ホウ化チタンセラミックス焼結体10の高密度
化ないし高強度化を阻害することにある。
ホウ化チタンTiB2粒子20の粒界近傍には、ホウ化チタン
TiB2とクロムCrのホウ化物CrB1CrB2あるいはCr3Bとの混
合固溶相からなる粒界相21が形成されている。これによ
りホウ化チタンTiB2粒子20と結合層30との間の結合力
が、十分の大きさとされており、結果的にホウ化チタン
セラミックス焼結体10の強度を確保している。
結合層30は、クロムCrとホウ化チタンTiB2と炭素Cとの
間の TiB2+2Cr+C→2CrB+TiC あるいは TiB2+Cr+C→CrB2+TiC あるいは TiB2+6Cr+C→2Cr3B+TiC などの反応によって生成されたホウ化クロムCrB,CrB2
るいはCr3Bなどと炭化チタンTiCとが混合固溶したマト
リックス層であって、空孔が十分に除去されている。こ
れによりホウ化チタンTiB2粒子20間の結合力が、十分の
大きさとされており、またセラミックス焼結体10の相対
密度(すなわち全体積から空孔体積を差し引いた堆積を
全体積で除した値)が95%以上となっているので、結果
的にホウ化チタンセラミックス焼結体10の密度および強
度が確保されている。ここで結合層すなわちマトリック
ス層30から空孔が実質的に除去されている根拠は、ホウ
化クロムCrB,CrB2あるいはCr3Bなどの粒径と炭化チタン
TiCの粒径とがほぼ一致しており、互いに均質に混合固
溶していることにある。
更に本発明にかかるホウ化チタンセラミックス焼結体の
製造方法の一実施例について、その構成を説明する。
第1工程において、ホウ化チタンTiB2粉末とクロムCr粉
末と炭素C粉末とを適宜の配合比で互いに配合すること
により、セラミックス配合物を作成する。
すなわち(i)平均粒径が0.5〜8μm(好ましくは0.5
〜3μm)で最大粒径が12μm(好ましくは6μm)で
あり純度が99重量%以上のホウ化チタンTiB2と、(ii)
平均粒径が1〜5μm(好ましくは1〜3μm)で最大
粒径が12μm(好ましくは6μm)のクロムCrと、(ii
i)比表面積が50〜150m2/g(好ましくは80〜150m2/g)
で純度が99.9重量%以上であり平均粒径が10〜100nm
(好ましくは10〜50nm)で最大粒径が150nm(好ましく
は100nm)の炭素(たとえばカーボンブラックなど)C
とを、互いに配合し、セラミックス配合物を作成する。
セラミックス配合物においては、クロムCrおよび炭素C
の混合物1〜25重量%に対しホウ化チタンTiB2が75〜99
重量%だけ配合されている。またクロムCrと炭素Cとの
配合比は、重量比で7:0.1〜10である。
ここでホウ化チタンTiB2の純度が99重量%以上とされて
いる根拠は、焼結時に不純物が悪影響を及ぼすことを回
避することにある。
クロムCrの平均粒径が1〜5μmとされている根拠は、
(i)平均粒径が1μm未満となれば、クロムCr粒子の
表面酸化が顕著化し、かつクロムCr粒子間の凝集もしく
はクロムCr粒子とホウ化チタンTiB2粒子あるいは炭素C
粒子との間の凝集が顕著となって、ホウ化チタンセラミ
ックス焼結体10の焼結を著しく阻害することとなり、ま
た(ii)平均粒径が5μmを超えれば、ホウ化チタンセ
ラミックス焼結体10のマトリックス層30あるいはホウ化
チタンTiB2粒子20の粒界近傍に形成された粒界相21中に
粗大粒子となって存在し、ホウ化チタンセラミックス焼
結体10の強度を低下せしめることとなることにある。ク
ロムCrの最大粒径が12μmとされている根拠は、最大粒
径が12μmを超えれば、クロムCr粒子に既存の亀裂が拡
大され、ホウ化チタンセラミックス焼結体10の強度が低
下されることにある。
また炭素Cの平均粒径が10〜10nmとされている根拠は、
(i)平均粒径が10nm未満となれば、炭素C粒子の表面
酸化が顕著化し、かつ炭素C粒子間の凝集が顕著となっ
て、ホウ化チタンセラミックス焼結体10の焼結を著しく
阻害することとなり、また(ii)平均粒径が100nmを超
えれば、マトリックス層30中に粗大粒子として存在する
こととなって、ホウ化チタンセラミックス焼結体10の強
度を低下せしめることにある。炭素Cの最大粒径が150n
mとされている根拠は、最大粒径が150nmを超えれば、炭
素C粒子に既存の亀裂あるいはホウ化チタンTiB2との間
の反応によって生じた炭化チタンTiC粒子に既存の亀裂
が拡大され、ホウ化チタンセラミックス焼結体10の強度
を低下せしめることにある。
更に炭素Cの比表面積が50〜150m2/gとされている根拠
は、(i)比表面積が50m2/g未満となれば、炭素C粒子
が大き過ぎることとなってホウ化チタンTiB2との間の反
応が短時間で進行できないこととなり、また(ii)比表
面積が150m2/gを超えれば、炭素C粒子が互いに凝集す
ることとなってホウ化チタンTiB2およびクロムCrとの混
合ができなくなることにある。
第2工程において、セラミックス配合物を、適宜の混合
機によって均質に混合し、セラミックス混合物を作成す
る。
第3工程において、セラミックス混合物を、バインダ
(たとえばポリビニルアルコール)とともに適宜の金型
に収容したのち、適宜の圧力(たとえば100〜800kg/cm2
の圧力)を印加して一軸加圧し、セラミックス圧粉体を
作成する。
第4工程において、セラミックス圧粉体を、適宜の圧力
(たとえば800〜3500kg/cm2の圧力)を印加してCIP処理
すなわち常温静水圧圧縮成形処理を施し、セラミックス
成形体とする。
第5工程において、セラミックス成形体を、真空雰囲気
(10-3Torr以下の気圧であることが好ましい),アルゴ
ン雰囲気あるいは水素ガス雰囲気などの非酸化性雰囲気
(すなわち中性ないし還元性の雰囲気)中において無加
圧状態もしくは加圧状態(100〜500kg/cm2の圧力を印
加)で1500〜2000℃(好ましくは1700〜1900℃)の温度
により適宜の時間をかけて焼結し、セラミックス焼結体
10とする。ここで非酸化性雰囲気とされる根拠は、チタ
ンTi,ホウ素B,クロムCrもしくは炭素Cが酸化されない
ようにすることにある。
以上により、ホウ化チタンセラミックス焼結体10が製造
される。
加えて本発明にかかるホウ化チタンセラミックス焼結体
の製造方法の一実施例について、一層の理解を図るため
に、具体的な数値などを挙げて説明する。
(実施例1〜7) 平均粒径が1μmであるクロムCrと、比表面積が135m2/
gで純度が99重量%であるカーボンブラックCとの混合
比を変えて作成した混合物2.5重量%に対し、平均粒径
が3μmでかつ最大粒径が6μmであり純度が99重量%
であるホウ化チタンTiB2を97.5重量%だけ配合して作成
したセラミックス配合物100部を、プラスチック容器中
にウレタンボールおよび300部のエチレンアルコールと
ともに収容せしめ、24時間かけて湿式混合し、これによ
りセラミックス混合物を作成した。
セラミックス混合物は、60℃の温度に10時間保持して十
分に乾燥した。そののちセラミックス混合物100部は、
バインダとしてのポリビニルアルコール2部とともに適
宜の金型に収容し、300kg/cm2の圧力を印加して一軸加
圧することにより、セラミックス圧粉体とした。
セラミックス圧粉体は、3000kg/cm2の圧力を印加してCI
P処理すなわち常温静水圧圧縮成形処理を施すことによ
り、セラミックス成形体とした。
セラミックス成形体は、無加圧状態のアルゴン雰囲気中
において15℃/分の昇温速度で1900℃の温度まで加熱
し、かつ1900℃の温度に1時間にわたり維持することに
より、セラミックス焼結体10とした。
セラミックス焼結体10は、外表面を研磨処理したのち、
たとえば実施例4の場合(以下同様)について光学顕微
鏡で写真観察したところ、第2図に示すとおりであっ
た。すなわちホウ化チタン粒子20の脱落により生じた陥
凹部が散点状に配置されており、また結合層30が空孔を
有さず緻密であることが判明した。
セラミックス焼結体10は、適度な力を作用せしめて破断
し、その破断面を走査型電子顕微鏡で写真観察したとこ
ろ、第3図に示すとおりであった。すなわちホウ化チタ
ンTiB2粒子20において粒内破壊が生じており、ホウ化チ
タンTiB2粒子20が結合層30によって強固に結合されてい
ることが判明した。結合層30は、X線回折分析およびEP
MA分析により、ホウ化チタンTiB2とホウ化クロムCrBと
カーボンブラックCとの間の反応 TiB2+2Cr+C→2CrB+TiC によって生じたホウ化クロムCrBおよび炭化チタンTiCの
混合固溶したマトリックス層(第4図〜第10図参照)で
あることが判明した。
セラミックス焼結体10は、60℃に加温された王水に3分
間浸漬することによってその外表面をエッチング処理し
たのち、光学顕微鏡によって写真観察したところ、第4
図に示すとおりであった。すなわちエッチング処理によ
りホウ化チタンTiB2粒子20が脱落して生じた陥凹部を測
定することにより、ホウ化チタンTiB2粒子20の平均粒径
が2〜4μmに止まっていることが判明した。換言すれ
ばホウ化チタンTiB2粒子20は、当初に比しほとんど成長
していないことが判明した。これはクロムCrおよびカー
ボンブラックCが、焼結に際し TiB2+2Cr+C→2CrB+TiC の反応を生じており、ホウ化チタンTiB2粒子20の成長が
抑制されているためである。またホウ化チタンTiB2粒子
20の粒界近傍には、X線回折分析およびEPMA分析によ
り、ホウ化チタンTiB2とクロムCrとの混合固溶相からな
る粒界相が形成されていることも判明した(第6図〜第
10図参照)。
加えてセラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度
を測定したところ、それぞれ第1表に示すとおりであっ
た。
(実施例8〜14) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物5.0重量%に
対し、ホウ化チタンTiB2を95重量%だけ配合したことを
除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(実施例15〜21) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物7.5重量%に
対し、ホウ化チタンTiB2を92.5重量%だけ配合したこと
を除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(実施例22〜28) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物10.0重量%に
対し、ホウ化チタンTiB2を90.0重量%だけ配合したこと
を除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(実施例29〜35) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物12.5重量%に
対し、ホウ化チタンTiB2を87.5重量%だけ配合したこと
を除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(実施例36〜42) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物15.0重量%に
対し、ホウ化チタンTiB2を85.0重量%だけ配合したこと
を除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(実施例43〜49) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物17.5重量%に
対し、ホウ化チタンTiB2を82.5重量%だけ配合したこと
を除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(実施例50〜56) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物20.0重量%に
対し、ホウ化チタンTiB2を80.0重量%だけ配合したこと
を除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(実施例57〜63) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物22.5重量%に
対し、ホウ化チタンTiB2を77.5重量%だけ配合したこと
を除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(実施例64〜70) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物25.0重量%に
対し、ホウ化チタンTiB2を75.0重量%だけ配合したこと
を除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(実施例71〜77) クロムCrとカーボンブラックCとの混合物7.5重量%に
対してホウ化チタンTiB2を92.5重量%だけ配合し、かつ
焼結温度を1500℃としたことを除き、実施例1〜7を反
復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(実施例78〜84) 焼結温度を1600℃としたことを除き、実施例71〜77を反
復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(実施例85〜91) 焼結温度を1700℃としたことを除き、実施例71〜77を反
復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(実施例92〜98) 焼結温度を1800℃としたことを除き、実施例71〜77を反
復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(実施例99〜105) 実施例15〜21を反復した。
セラミックス焼結体10の相対密度および抗折強度を測定
したところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例1) セラミックス配合物からクロムCrおよびカーボンブラッ
クCを除去したことを除き、実施例1〜70を反復した。
すなわち平均粒径が3μmで最大粒径が6μmであり純
度が99重量%のホウ化チタンTiB2100部を、バインンダ
としてのポリビニルアルコール2部とともに適宜の金型
に収容し、300kg/cm2の圧力を印加して一軸加圧するこ
とにより、セラミックス圧粉体を作成した。
セラミックス圧粉体は、3000kg/cm2の圧力を印加してCI
P処理すなわち常温静水圧圧縮成形処理を施すことによ
り、セラミックス成形体とした。
セラミックス成形体は、無加圧状態のアルゴン雰囲気中
において15℃/分の昇温速度で1900℃の温度まで加熱
し、かつ1900℃の温度に1時間にわたり維持することに
より、セラミックス焼結体とした。
セラミックス焼結体は、適度な力を作用せしめて破断
し、その破断面を走査型電子顕微鏡で写真観察したとこ
ろ第11図に示すとおりであった。すなわちホウ化チタン
TiB2粒子の粒界破壊が支配的に生じており、ホウ化チタ
ンTiB2粒子間の結合があまり強固でないことが判明し
た。
加えてセラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を
測定したところ、それぞれ第1表に示すとおりであっ
た。
(比較例2) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例1〜7を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(比較例3) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例8〜14を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(比較例4) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例15〜21を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(比較例5) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例22〜28を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(比較例6) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例29〜35を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(比較例7) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例36〜42を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(比較例8) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例43〜49を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(比較例9) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例50〜56を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(比較例10) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例57〜63を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおり であった。
(比較例11) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例64〜70を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第1表に示すとおりであった。
(比較例12) セラミックス配合物からクロムCrおよびカーボンブラッ
クCを除去したことを除き、実施例71〜77を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例13) セラミックス配合物からクロムCrおよびカーボンブラッ
クCを除去したことを除き、実施例78〜84を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例14) セラミックス配合物からクロムCrおよびカーボンブラッ
クCを除去したことを除き、実施例85〜91を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例15) セラミックス配合物からクロムCrおよびカーボンブラッ
クCを除去したことを除き、実施例92〜98を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例16) セラミックス配合物からクロムCrおよびカーボンブラッ
クCを除去したことを除き、実施例99〜105を反復し
た。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例17) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例71〜77を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例18) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例78〜84を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例19) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例85〜91を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例20) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例92〜98を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
(比較例21) セラミックス配合物からカーボンブラックCを除去した
ことを除き、実施例99〜105を反復した。
セラミックス焼結体の相対密度および抗折強度を測定し
たところ、それぞれ第2表に示すとおりであった。
なお上述の実施例1〜105は、クロムCrおよびカーボン
ブラックCの混合物2.5〜25重量%に対しホウ化チタンT
iB2を75〜97.5重量%だけ配合し、かつクロムCrおよび
カーボンブラックCとの配合比を重量比で7:0.2〜5と
して作成されたセラミックス配合物に関してのみ実行さ
れたが、クロムCrおよびカーボンブラックCの混合物1
〜25重量%に対しホウ化チタンを75〜99重量%だけ配合
し、かつクロムCrおよびカーボンブラックCとの配合比
を重量比で7:0.1〜10として作成されたセラミックス配
合物についても良好な結果が得られている。
(3)発明の効果 上述より明らかなように本発明にかかるホウ化チタンセ
ラミックス焼結体の製造方法は、 (a)平均粒径、最大粒径がそれぞれ0.5〜8μm、12
μmのホウ化チタン粉末75〜99重量%に対し、 平均粒径、最大粒径がそれぞれ1〜5μm、12μmのク
ロム粉末および 平均粒径、最大粒径がそれぞれ10〜100nm、150nmで、比
表面積が、50〜150m2/gの炭素粉末を 合計で1〜25重量%だけ配合せしめることによりセラミ
ックス配合物を作成する第1の工程と、 (b)前記セラミックス配合物を均質に混合してセラミ
ックス混合物を作成する第2の工程と、 (c)前記セラミックス混合物をバインダとともに金型
に収容して加圧しセラミックス圧粉体を作成する第3の
工程と、 (d)前記セラミックス圧粉体を加圧したセラミックス
成形体を作成する第4の工程と、 (e)前記セラミックス成形体を非酸化性雰囲気中で焼
結しセラミックス焼結体を作成する第5の工程と を備えてなるので、 (i)ホウ化チタン粒子間のクロムのホウ化物と炭化チ
タンとの混合固溶した結合層すなわちマトリックス層を
配設できる効果 を有し、結果的に (ii)ホウ化チタンTiB2粒子間のマトリックス層に空孔
が発生することを十分に抑制できる効果 を有し、ひいては (iii)高密度および高強度とできる効果を有する。
さらに、前述のように炭素粉末の平均粒径、最大粒径、
比表面積を限定することにより焼結性の向上、強度向
上、反応時間の短縮などをはかることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にかかるホウ化チタンセラミックス焼結
体の製造方法の一実施例によって製造されたホウ化チタ
ンセラミックス焼結体を示す拡大断面図、第2図は第1
図のホウ化チタンセラミックス焼結体の研磨処理後した
外表面の組織を示す光学顕微鏡写真、第3図は第1図の
ホウ化チタンセラミックス焼結体の破断面の組織を示す
走査型電子顕微鏡写真、第4図は第1図のホウ化チタン
セラミックス焼結体のエッチング処理した外表面の組織
を示す光学顕微鏡写真、第5図は第1図のホウ化チタン
セラミックス焼結体のエッチング処理した外表面の組織
を示す走査型電子顕微鏡写真、第6図は第1図のホウ化
チタンセラミックス焼結体の研磨処理した外表面の組織
を示す走査型電子顕微鏡写真、第7図は第6図の模写
図、第8図は第1図のホウ化チタンセラミックス焼結体
の研磨処理した外表面の組織のEPMA分析すなわち電子プ
ローブ微小分析の結果を示すX線強度分布図、第9図
(a)は第1図のホウ化チタンセラミックス焼結体の研
磨処理した外表面の組織のEPMA分析すなわち電子プロー
ブ微小分析の結果を示すX線強度分布写真、第9図
(b)は第1図のホウ化チタンセラミックス焼結体の研
磨処理した外表面の組織のEPMA分析すなわち電子プロー
ブ微小分析の結果を示すX線強度分布写真、第9図
(c)は第9図(a)(b)を重ね合わせて作成した模
写図、第10図は第1図のホウ化チタンセラミックス焼結
体のX線回折分析の結果を示すグラフ図、第11図は比較
例1として示したホウ化チタンセラミックス焼結体の製
造方法によって製造されたホウ化チタンセラミックス焼
結体の破断面の組織を示す走査型電子顕微鏡写真であ
る。10 ……ホウ化チタンセラミックス焼結体 20……ホウ化チタン粒子 21……粒界相 30……マトリックス層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長島 秀夫 神奈川県秦野市曽屋30番地 東芝セラミッ クス株式会社中央研究所内 (72)発明者 松下 純一 愛知県名古屋市港区築三町1丁目11番地 株式会社エス・ティー・ケー・セラミック ス研究所内 (72)発明者 林 真輔 愛知県名古屋市天白区久方2丁目12番1号 豊田工業大学内 (56)参考文献 特開 昭63−206362(JP,A)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(a)平均粒径、最大粒径がそれぞれ0.5
    〜8μm、12μmのホウ化チタン粉末75〜99重量%に対
    し、 平均粒径、最大粒径がそれぞれ1〜5μm、12μmのク
    ロム粉末および 平均粒径、最大粒径がそれぞれ10〜100nm、150nmで、比
    表面積が、50〜150m2/gの炭素粉末を 合計で1〜25重量%だけ配合せしめることによりセラミ
    ックス配合物を作成する第1の工程と、 (b)前記セラミックス配合物を均質に混合してセラミ
    ックス混合物を作成する第2の工程と、 (c)前記セラミックス混合物をバインダとともに金型
    に収容して加圧しセラミックス圧粉体を作成する第3の
    工程と、 (d)前記セラミックス圧粉体を加圧しセラミックス成
    形体を作成する第4の工程と、 (e)前記セラミックス成形体を非酸化性雰囲気中で焼
    結しセラミックス焼結体を作成する第5の工程と を備えてなることを特徴とするホウ化チタンセラミック
    ス焼結体の製造方法。
  2. 【請求項2】クロム粉末および炭素粉末の配合割合が、
    重量比で7:0.1〜10でなることを特徴とする特許請求の
    範囲第(1)項記載のホウ化チタンセラミックス焼結体
    の製造方法。
  3. 【請求項3】セラミックス成形体が、無加圧状態で1500
    〜2000℃の温度により焼結されてなることを特徴とする
    特許請求の範囲第(1)項または第(2)項に記載のホ
    ウ化チタンセラミックス焼結体の製造方法。
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US07/285,571 US5185112A (en) 1987-12-25 1988-12-16 Titanium boride ceramic material
DE3843712A DE3843712C2 (de) 1987-12-25 1988-12-23 Titanborid-Keramikmaterial und Verfahren zu seiner Herstellung

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