JPH0679678A - 基板保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 異なる大きさの基板にも容易に対応すること
ができる基板保持装置を提供する。 【構成】 ガラス基板Ｂの短辺Ｘ，Ｙ間および長辺Ｖ，
Ｗ間の長さに合わせて、ストッパピン16，32を位置合わ
せする。エアアクチュエータ15を駆動させて、スライド
ガイド11により第１の保持アーム18をガラス基板Ｂ側に
移動させる。第１の保持アーム18が移動する際にスライ
ドガイド11のラックギア13でピニオンギア14を回転さ
せ、ピニオンギア14の回転によりラックギア12を移動さ
せ、第１の保持アーム17をガラス基板Ｂ方向に移動させ
る。保持体19，19間に、ガラス基板Ｂの短辺部Ｘ，Ｙが
保持される。同様に、第２の保持アーム36とともに、第
２の保持アーム35をガラス基板Ｂ方向に移動させる。第
２の保持アーム35，36間に、ガラス基板Ｂの長辺部Ｖ，
Ｗが保持される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板の交差する部分を
それぞれ挟持する基板保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、基板を保持する基板保持装置は、
搬送する基板の大きさにそれぞれ合わせて構成されてい
る。

【０００３】ところが、近年、多品種少量生産が増加し
てきているため、基板保持装置は異なる大きさの基板を
保持しなければならない。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板保持装置は、１つの種類の大きさの基板にしか対応
していないため、異なる大きさの基板を保持する場合に
は、その都度部品などを交換したり、あるいは、基板を
保持するための複雑な調整を行なわなければならない問
題を有している。

【０００５】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、異なる大きさの基板にも容易に対応することができ
る基板保持装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の基板保持
装置は、基板の対向する部分とこの部分と交差する方向
の対向する部分とをそれぞれ挟持して搬送する基板保持
装置において、対向する間隙を狭くしつつ前記一対の部
分を挟持する一対の第１の保持アームと、対向する間隙
を狭くしつつ前記第１の保持アームと交差する方向の一
対の部分を挟持する第２の保持アームとを具備したもの
である。

【０００７】請求項２記載の基板保持装置は、請求項１
記載の基板保持装置において、第１の保持アームおよび
第２の保持アームの少なくともいずれか一方に、挟持し
て保持する保持力を所定値以下にする過負荷防止機構を
具備したものである。

【０００８】

【作用】請求項１記載の基板保持装置は、対向する間隙
を狭くしつつ一対の部分を挟持する一対の第１の保持ア
ームと、対向する間隙を狭くしつつ第１の保持アームと
交差する方向の一対の部分を挟持する第２の保持アーム
とを具備したため、異なる大きさの基板を保持する場合
でも、容易に保持する大きさを変えることができる。

【０００９】請求項２記載の基板保持装置は、請求項１
記載の基板保持装置において、第１の保持アームおよび
第２の保持アームの少なくともいずれか一方に、挟持し
て保持する保持力を所定値以下にする過負荷防止機構を
具備したため、基板に必要以上の保持力が加わることが
なくなるとともに、第１の保持アームおよび第２の保持
アームが、自動的に基板の大きさに対応することができ
る。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の基板保持装置の一実施例を図
面を参照して説明する。

【００１１】図１および図２に示すように、装置本体１
には、長方形状のたとえば液晶表示基板のガラス基板Ｂ
の対向する短辺Ｘ，Ｙを保持する第１の保持アーム機構
２と、ガラス基板Ｂの短辺Ｘ，Ｙに交差する方向に対向
する長辺Ｖ，Ｗを保持する第２の保持アーム機構３とが
設けられている。

【００１２】そして、第１の保持アーム機構２は、装置
本体１に一対の取付体４にて、この取付体４に直交する
方向に長手方向を有するテーブル５が取り付けられ、こ
のテーブル５には長手方向に沿って、一対のスライド溝
６，７が形成されている。

【００１３】また、これら一対のスライド溝６，７に
は、それぞれ下面にスライド片８，９が取り付けられた
スライドガイド10，11が摺動自在に取り付けられてい
る。さらに、これらスライドガイド10，11の対向する辺
には、ラックギア12，13が形成され、これらラックギア
12，13はテーブル５の長手方向ほぼ中央で、かつ、スラ
イド溝６，７間に設けられた回転自在の協調用のピニオ
ンギア14に噛合される。

【００１４】さらに、スライドガイド11には駆動用のエ
アアクチュエータ15が取り付けられ、このエアアクチュ
エータ15は、ストッパピン16にて駆動量が規制される。

【００１５】また、それぞれのスライドガイド10，11の
端部には、平行に第１の保持アーム17，18が取り付けら
れている。そして、これら第１の保持アーム17，18の先
端には、保持体19，19がそれぞれ設けられ、これら保持
体19，19間にて、ガラス基板Ｂの短辺Ｘ，Ｙ間を挟持す
る。

【００１６】一方、第２の保持アーム機構３は、装置本
体１に取り付けられ、この装置本体１にはスライド溝
６，７と直交する方向に１本のスライド溝21が形成され
ている。

【００１７】また、このスライド溝21には、それぞれ下
面にスライド片22，23が取り付けられたスライドガイド
24，25が摺動自在に取り付けられている。さらに、これ
らスライドガイド24，25の一側には、ラックギア26，27
が形成され、これらラックギア26，27は装置本体１に設
けられ、かつ、ラックギア26，27間に設けられた回転自
在の協調用のピニオンギア28に噛合される。

【００１８】さらに、スライドガイド24には駆動用のエ
アアクチュエータ31が取り付けられ、このエアアクチュ
エータ31は、ストッパピン32にて駆動量が規制される。

【００１９】また、それぞれのスライドガイド24，25の
端部には、平行にそれぞれ一対ずつの第２のスライドア
ーム33，34が取り付けられている。そして、これらスラ
イドアーム33，34の先端には、平行に設けられた第２の
保持アーム35，36がそれぞれ設けられ、これら第２の保
持アーム35，36間にて、ガラス基板Ｂの長辺Ｖ，Ｗ間を
挟持する。

【００２０】次に、上記実施例の動作について説明す
る。

【００２１】まず、ガラス基板Ｂの短辺Ｘ，Ｙ間および
長辺Ｖ，Ｗ間の長さに合わせて、ストッパピン16および
ストッパピン32の位置合わせを行なう。

【００２２】そして、ガラス基板Ｂを搬送するに際して
は、エアアクチュエータ15を駆動させて、スライドガイ
ド11により第１の保持アーム18をガラス基板Ｂ側に移動
させ、この第１の保持アーム18が移動する際にスライド
ガイド11のラックギア13でピニオンギア14を回転させ、
このピニオンギア14の回転によりラックギア12を移動さ
せて、第１の保持アーム18とともに、第１の保持アーム
17をガラス基板Ｂ方向に移動させる。なお、これら第１
の保持アーム17および第１の保持アーム18が狭まる際の
中心は、ピニオンギア14により協調させているため、常
に一定である。

【００２３】そうして、ストッパピン16により設定され
た量だけスライドガイド10，11が移動し、この設定され
た移動量に対応してこれらスライドガイド10，11が移動
することにより、保持体19，19間に、ガラス基板Ｂの短
辺部Ｘ，Ｙが保持される。

【００２４】また、エアアクチュエータ15の駆動にとも
ない、エアアクチュエータ31を駆動させて、スライドガ
イド24により第２の保持アーム35をガラス基板Ｂ側に移
動させ、この第２の保持アーム35が移動する際にスライ
ドガイド24のラックギア27でピニオンギア28を回転さ
せ、このピニオンギア28の回転によりラックギア26を移
動させて、第２の保持アーム36とともに、第２の保持ア
ーム35をガラス基板Ｂ方向に移動させる。なお、これら
第２の保持アーム35および第２の保持アーム36が狭まる
際の中心も、ピニオンギア28により協調させているた
め、常に一定である。

【００２５】そうして、ストッパピン32により設定され
た量だけスライドガイド24，25が移動し、この設定され
た移動量に対応してこれらスライドガイド24，25が移動
することにより、第２の保持アーム35，36間に、ガラス
基板Ｂの長辺部Ｖ，Ｗが保持される。

【００２６】このように、図１および図２に示す実施例
によれば、ガラス基板Ｂの大きさを変えた場合でも、ス
トッパピン16およびストッパピン32の位置を変えるのみ
で対応でき、従来のように、部品の交換および大きな調
整をする必要がない。

【００２７】次に、他の実施例を図３ないし図５を参照
して説明する。

【００２８】図３および図４に示すように、装置本体41
には、長方形状のガラス基板Ｂの対向する短辺Ｘ，Ｙを
保持する第１の保持アーム機構42と、ガラス基板Ｂの対
向する長辺Ｖ，Ｗを保持する第２の保持アーム機構43と
が設けられている。

【００２９】そして、第１の保持アーム機構42は、装置
本体41に取り付けられている。

【００３０】また、装置本体41の一端には、スライド部
44が取り付けられ、このスライド部44の一面側には、ス
ライド片45，46が取り付けられたＬ字状の第１の保持ア
ーム47，48が摺動自在に取り付けられ、これら第１の保
持アーム47，48の先端には、保持体49が取り付けられて
いる。そして、これら保持体49，49間にて、ガラス基板
Ｂの短辺Ｘ，Ｙ間を挟持する。

【００３１】さらに、これら第１の保持アーム47，48の
基端側の平行な部分の対向する辺には、過負荷防止機構
としての機能を有する第１の駆動機構51が設けられてい
る。

【００３２】この第１の駆動機構51は、図５に示すよう
に、第１の保持アーム47，48の対向する辺に、ラックギ
ア52，53が形成され、これらラックギア52，53はスライ
ド部44のほぼ中央でピニオンギア54に噛合される。

【００３３】そして、ピニオンギア54はシャフト55を介
してクラッチ部56に接続され、このクラッチ部56は、雌
部57と雄部58とを有し、雌部57に形成された凹状の面の
表面は摩擦板59が形成され、雌部57の凹状の部分に対応
して形成された突状の表面には摩擦板59と摩擦で結合す
る摩擦板60が形成されている。すなわち、摩擦板59，60
間の摩擦力より作動力が大きい場合には空転し、反対
に、摩擦板59，60間の摩擦力より作動力が小さい場合に
は結合して回転する。

【００３４】さらに、雄部58にはシャフト61が接続さ
れ、このシャフト61はギア機構62内で、キー63によりシ
ャフト61の長手方向には摺動可能に、かつ、回転方向に
は係止されて歯車64が接続され、この歯車64には歯車65
が噛合され、この歯車65はモータ66の駆動シャフト67に
接続されて回転するようになっている。

【００３５】また、シャフト61の雄部58の反対端には、
進退を行なうエアシリンダ68が設けられ、エアシリンダ
68を作動させることにより、シャフト61を進退させ、ク
ラッチ部56の摩擦力を変化させ、第１の保持アーム47，
48間の挟持力を変化させる。

【００３６】一方、第２の保持アーム機構43も、装置本
体41に取り付けられている。

【００３７】そして、下面にスライド片71，72が取り付
けられたスライドガイド73，74が摺動自在に取り付けら
れている。また、それぞれのスライドガイド73，74の端
部には、平行にそれぞれ一対ずつのスライドアーム75，
76がそれぞれ取り付けられている。そして、これらスラ
イドアーム75，76の先端には、平行に設けられた第２の
保持アーム77，78がそれぞれ設けられ、これら第２の保
持アーム77，78間にて、ガラス基板Ｂの長辺Ｖ，Ｗ間を
挟持する。

【００３８】さらに、これらスライドアーム75，76に
は、過負荷防止機構としての機能を有する第２の駆動機
構79が設けられている。そして、この第２の駆動機構79
も、第１の駆動機構51と同様に構成されている。

【００３９】すなわち、この第２の駆動機構79は、スラ
イドガイド73，74の対向する辺に、ラックギア81，82が
形成され、これらラックギア81，82はピニオンギア83に
噛合される。

【００４０】そして、ピニオンギア83はシャフト84を介
してクラッチ部85に接続され、このクラッチ部85は、図
示しない摩擦板を有し、摩擦板間の摩擦力より作動力が
大きい場合には空転し、反対に、摩擦板間の摩擦力より
作動力が小さい場合には結合して回転する。

【００４１】さらに、シャフト86が接続され、このシャ
フト86はギア機構87内で、図示しないモータの駆動シャ
フトに接続されて回転するようになっている。

【００４２】また、シャフト86の反対端には、進退を行
なうエアシリンダ88が設けられ、エアシリンダ88を作動
させることにより、シャフト86を進退させ、クラッチ部
85の摩擦力を変化させ、第２の保持アーム77，78間の挟
持力を変化させる。

【００４３】次に、上記実施例の動作について説明す
る。

【００４４】まず、エアシリンダ68およびエアシリンダ
88にエアを供給あるいは排出することにより、クラッチ
部56およびクラッチ部85の摩擦板に加えられる操作力を
調整して、第１の保持アーム47，48間の挟持力、およ
び、第２の保持アーム77，78間の挟持力を調整する。

【００４５】そして、ガラス基板Ｂを搬送するに際して
は、モータ66を駆動させて、ピニオンギア54により第１
の保持アーム47，48をガラス基板Ｂ側に移動させる。な
お、これら第１の保持アーム47および第１の保持アーム
48が狭まる際の中心は、常に一定である。

【００４６】そうして、モータ66によりギア機構62およ
びクラッチ部56を介してピニオンギア54が回転されるこ
とにより、ラックギア52，53で第１の保持アーム47，48
が移動する。このように第１の保持アーム47，48間の間
隙が狭くなり、第１の保持アーム47，48間にガラス基板
Ｂの短辺Ｘ，Ｙが保持され、所定の挟持力が得られる
と、クラッチ部56の摩擦板59，60間が滑り、第１の保持
アーム47，48間に必要以上の力が加えられることなく、
自動的に所定の間隙となり、保持体49，49間に、ガラス
基板Ｂの短辺部Ｘ，Ｙが保持される。

【００４７】また、モータ66の駆動にともない、第２の
駆動機構79のモータを駆動させて、ピニオンギア83によ
りスライドガイド73で第２の保持アーム77をガラス基板
Ｂ側に移動させるとともに、スライドガイド73で第２の
保持アーム78をガラス基板Ｂ側に移動させ、第２の保持
アーム77，78をガラス基板Ｂ方向に移動させる。なお、
これら第２の保持アーム77および第２の保持アーム78が
狭まる際の中心は、常に一定である。

【００４８】そうして、モータによりギア機構87および
クラッチ部85を介してピニオンギア83が回転されること
により、ラックギア81，82で第２の保持アーム77，78が
移動する。このように第２の保持アーム77，78間の間隙
が狭くなり、第２の保持アーム77，78間にガラス基板Ｂ
の長辺Ｖ，Ｗが保持され、所定の挟持力が得られると、
クラッチ部85の摩擦板間が滑り、第２の保持アーム77，
78間に必要以上の力が加えられることなく、自動的に所
定の間隙となり、ガラス基板Ｂの長辺Ｖ，Ｗが保持され
る。

【００４９】なお、第１の保持アーム47，48および第２
の保持アーム77，78を開く時は、エアシリンダ68および
エアシリンダ88に供給されている圧力を高くして、モー
タ66および図示しないモータを逆転する。

【００５０】このように、図３ないし図５に示す実施例
によれば、ガラス基板Ｂの大きさを変えた場合でも、自
動的に対応でき、従来のように、部品の交換および大き
な調整をする必要がなく、また、必要以上の挟持力が加
えられることがないので、破損などを防止できる。

【００５１】

【発明の効果】請求項１記載の基板保持装置によれば、
対向する間隙を狭くしつつ一対の部分を挟持する一対の
第１の保持アームと、対向する間隙を狭くしつつ第１の
保持アームと交差する方向の一対の部分を挟持する第２
の保持アームとを具備したため、異なる大きさの基板を
保持する場合でも、容易に保持する大きさを変えること
ができる。

【００５２】請求項２記載の基板保持装置によれば、請
求項１記載の基板保持装置に加え、第１の保持アームお
よび第２の保持アームの少なくともいずれか一方に、挟
持して保持する保持力を所定値以下にする過負荷防止機
構を具備したため、基板に必要以上の保持力が加わるこ
とがなくなるとともに、第１の保持アームおよび第２の
保持アームが、自動的に基板の大きさに対応することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板保持装置の一実施例を示す正面図
である。

【図２】同上平面図である。

【図３】他の実施例の基板保持装置を示す正面図であ
る。

【図４】同上平面図である。

【図５】同上駆動機構を示す説明図である。

【符号の説明】

17，18，47，48 第１の保持アーム 35，36，77，78 第２の保持アーム 51 過負荷防止機構としての第１の駆動機構 79 過負荷防止機構としての第２の駆動機構 Ｂ ガラス基板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の対向する部分とこの部分と交差す
   る方向の対向する部分とをそれぞれ挟持して搬送する基
   板保持装置において、 対向する間隙を狭くしつつ前記一対の部分を挟持する一
   対の第１の保持アームと、 対向する間隙を狭くしつつ前記第１の保持アームと交差
   する方向の一対の部分を挟持する第２の保持アームとを
   具備したことを特徴とする基板保持装置。
2. 【請求項２】 第１の保持アームおよび第２の保持アー
   ムの少なくともいずれか一方に、挟持して保持する保持
   力を所定値以下にする過負荷防止機構を具備したことを
   特徴とする請求項１記載の基板保持装置。