JPH0679158A - 真空中への運動導入機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空維持のための隔壁を極力薄く、例えば大
気圧が作用した場合に変形してしまうほど薄くすること
により、伝達できる動力を増して真空内での駆動力を大
きくするとともに、大気側と真空側の動きを一致させ得
る真空中への運動導入機構を提供すること。 【構成】 真空容器１の所要の箇所に、真空容器１の真
空側と大気側とを隔てる薄い隔壁である隔膜８を設け、
前記隔膜８を介して電磁気力により大気側から真空側へ
駆動力を伝える運動導入機構において、前記大気側の駆
動力伝達機構部を密閉容器７内に配置し、前記真空容器
１と密閉容器７とを、前記真空容器１の真空排気動作お
よび大気開放動作と、前記密閉容器の真空排気および大
気開放動作とを同期的に行う真空排気系により接続して
構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空容器のように密閉
された空間に、電磁気力を利用して外部より動力を導入
する動力伝達機構において、高精度にしかも高駆動力を
伝達するために好適な電磁気力を利用した真空中への運
動導入機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の動力伝達機構は、例えば
特開昭６２−２６６１３２号公報に記載の「真空装置用
運動導入機」のように、大気側と真空側の少なくとも一
方に磁石（電磁石を含む）を設け、大気側の駆動体を動
かすことによって真空内の従動体を動かすようになって
いる。駆動力は、一方の磁石と他方の強磁性体の吸引
力、あるいは両者を磁石としたときの吸引力による。大
気側と真空側の動体は、真空容器に接続された非磁性材
料の隔壁で隔てられている。したがって、隔壁の板厚が
厚い場合や、大気側と真空側の動体間の距離が大きい場
合は、駆動力が小さいことや、大気側の駆動体の動きに
真空側の従動体が追従しにくいといった問題が生ずる。

【０００３】上記の問題は、特開平３−１３６７７９号
公報に記載の「磁気的に結合された２軸型ロボット」に
おいても同様である。この従来技術では、磁気吸引力を
効果的に利用するため、磁石の極性を適切に配列するよ
うにしている。しかし、本質的には上記の問題点が存在
し、大気側と真空側の動力伝達部は極力接近して設ける
必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、大気側
と真空側の動力伝達部の距離をできるだけ接近して設け
ようとしても、結局真空維持のための隔壁の板厚が限界
となる。

【０００５】本発明の目的は、真空維持のための隔壁を
極力薄く、例えば大気圧が作用した場合に変形してしま
うほど薄くすることにより、伝達できる動力を増して真
空内での駆動力を大きくするとともに、大気側と真空側
の動きを一致させ得る真空中への運動導入機構を提供す
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的は、真空容器の
所要の箇所に、真空容器の真空側と大気側とを隔てる隔
壁を設け、前記隔壁を介して電磁気力により大気側から
真空側へ駆動力を伝える運動導入機構において、前記大
気側の駆動力伝達機構部を密閉容器内に配置し、前記真
空容器と密閉容器とを、前記真空容器の真空排気動作お
よび大気開放動作と、前記密閉容器の真空排気および大
気開放動作とを同期的に行う真空排気系により接続した
ことにより、達成される。

【０００７】また、前記目的は前記真空容器の真空排気
系と、前記大気側の駆動力伝達機構部を配置した密閉容
器の真空排気系とを独立に設けたことにより、達成され
る。

【０００８】さらに、前記目的は前記真空容器の真空排
気系と、前記大気側の駆動力伝達機構部を配置した密閉
容器の真空排気系とを単一の真空ポンプで排気可能に構
成したことにより、達成される。

【０００９】さらにまた、前記目的は真空容器の所要の
箇所に、真空容器の真空側と大気側とを隔てる隔壁を設
け、前記隔壁を介して電磁気力により大気側から真空側
へ駆動力を伝える運動導入機構において、前記大気側の
駆動力伝達機構部を密閉容器内に配置し、前記密閉容器
内の圧力を常に大気圧より低く保持したことによって
も、達成される。

【００１０】そして、前記目的は前記真空容器の大気側
から真空側へ駆動力を導入する真空容器の前記隔壁部分
を、隔壁以外の真空容器材料の板厚より薄い非磁性材料
で構成したことによっても、達成される。

【００１１】

【作用】本発明では、大気側の動力伝達機構部を密閉容
器内に配置し、真空排気系により、真空容器の真空排気
動作および大気開放動作と同期させて、前記密閉容器の
真空排気動作および大気開放動作とを行うようにしてい
る。

【００１２】ところで、真空容器の真空側と大気側とを
隔てる隔壁に作用する力は、隔壁の表裏に作用する圧力
差で決まる。そこで、本発明では前述のごとく、真空排
気系により隔壁の表裏に当たる密閉容器内と真空容器内
の真空排気および大気への開放とを同期的に行うように
している。したがって、本発明では隔壁の表裏の圧力差
は真空排気系の圧力分布程度にしかならず、隔壁に作用
する力はほとんどゼロとなる。そのため、従来技術での
隔壁の板厚に比較して、本発明では大幅に薄くすること
ができる結果、伝達できる動力を増して真空内での駆動
力を大きくするとともに、大気側と真空側の動きを一致
させることが可能となる。

【００１３】また、本発明では前記真空容器の真空排気
系と、前記密閉容器の真空排気系とを独立に設けてい
る。これにより、例えば真空容器に腐食性ガスを使用し
た場合に、そのガスの密閉容器内への流入を完全に防止
することができるし、また密閉容器のメンテナンスをす
る場合でも、真空容器に影響を及ぼすことなくメンテナ
ンスを行うことができ、かつ真空容器内の真空度を見な
がら密閉容器内の真空度を調整し、隔壁の表裏の圧力差
をゼロに極力近づけることが可能となる。

【００１４】さらに、本発明では前記真空容器の真空排
気系と、密閉容器の真空排気系とを単一の真空ポンプで
排気可能にしている。これにより、真空排気系の構造の
簡素化を図り、かつ真空容器の真空排気と密閉容器の真
空排気とをより一層確実に同期化することができる。

【００１５】さらにまた、本発明では駆動力伝達機構部
を配置している密閉容器内の圧力を、常に大気圧より低
く保持するようにしている。

【００１６】すなわち、本発明では運動導入機構の製作
過程において、密閉容器の内部を大気圧より低い、例え
ば１／２気圧に真空排気したのち、密閉容器内を前記真
空状態に完全に封じ切ってしまう。このようにすると、
隔壁の表裏の圧力差は最大でも１／２気圧であり、隔壁
の圧力差について何も対策を講じない場合の１気圧より
も、隔壁の厚さを確実に薄くすることが可能となる。

【００１７】そして、本発明では真空側と大気側とを隔
てる隔壁部分を、薄い非磁性材料で構成しているので、
この発明においても大気側から真空側へ伝達できる動力
を増して真空内での駆動力を大きくすることができ、か
つ大気側と真空側の動きを一致させることができる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。

【００１９】図１は本発明の第１の実施例を示すもの
で、一部を断面とした系統図である。

【００２０】この図１に示す第１の実施例では、真空容
器１に回転導入機２が取り付けられている。前記回転導
入機２は、永久磁石３を配した回転子４を、ベアリング
５により支持して構成されている。また、前記回転子４
を大気側から駆動するための固定子６が密閉容器７の内
側に配置され、永久磁石３と固定子６とは同心軸上に対
向させて配置されており、かつ両者は薄い隔壁としての
隔膜８によって真空的に隔離されている。前記回転子４
は、真空側で真空容器１と同じ空間に位置し、前記固定
子６は回転子４の位置する空間および大気とは隔離され
た密閉容器７の中に設けられている。

【００２１】次に、真空容器１の真空排気系について述
べる。この真空容器１の用途は特に限定されるものでは
ないが、例えば半導体製造装置のウエハ搬送室で、本発
明にかかる運動導入機構の従動部としてのウエハ回転部
が設けられているものとしてもよい。通常の真空排気系
では、真空容器１にゲートバルブ９を介して主ポンプと
してのターボ分子ポンプ１０が接続され、さらにバルブ
１１を介して補助ポンプとしての油回転ポンプ１２が接
続されている。また、真空容器１を大気に戻すとき（以
下、「大気開放」と称す。）は、高純度窒素ガスなどを
リークするが（図には示していない）、そのためのリー
クバルブ１３が真空容器１に設置されている。さらに、
大気開放の際は真空排気系のうち、油回転ポンプ１２を
バルブ１１を閉じることで隔離し、真空容器１への油の
逆流を防ぐ。また、油回転ポンプ１２はリークバルブ１
４を介して大気開放し、油の拡散を防いでいる。

【００２２】そして、この第１の実施例では回転子４と
固定子６の間に作用する電磁気力を強化するために、両
者を隔離している非磁性体材料（ステンレス鋼など）で
形成された隔膜８を密閉容器７の板厚より極力薄くし、
回転子４と固定子６の隙間を少なくしている。そのた
め、真空容器１を真空排気すると、隔膜８が変形する恐
れが出てくる。前記隔膜８の変形は、真空容器１と密閉
容器７の圧力差によるものであるから、両容器内の圧力
が同じになるようにすれば、隔膜８にはそれを変形させ
る力が作用せず、何等問題がない。そこで、油回転ポン
プ１２により密閉容器７を真空排気できるように両者を
バルブ１５を介して接続している。

【００２３】次に、前記第１の実施例の運動導入機構の
操作および動作について説明する。

【００２４】始めに、真空容器１、密閉容器７とも全て
大気圧にあるものとする。また、リークバルブ１３，１
４を閉じ、ゲートバルブ９、バルブ１１を開く。さら
に、バルブ１５も開く。次に、真空ポンプの運転を開始
する。油回転ポンプ１２と、ターボ分子ポンプ１０の起
動を同時に行えば、油回転ポンプ１２からの油汚染を防
ぐことができる。

【００２５】真空排気が進むと、油回転ポンプ１２の吸
気部近傍の圧力は、１０から徐々に０．１Ｐａ程度に下
がって行く。真空容器１の圧力は、その容積，表面積，
真空室内部品の量等や、ターボ分子ポンプ１０の排気速
度などに依存するが、低真空から高真空領域へと低下し
て行く。これに伴い、密閉容器７の圧力も、油回転ポン
プ１２の吸気口部付近の圧力に同期して低下して行く。
油回転ポンプ１２は、主真空ポンプとしてのターボ分子
ポンプ１０の補助ポンプとしての働きの他に、密閉容器
７も排気しなければならないが、密閉容器７の容積が真
空容器１の容積より小さく、油回転ポンプ１２による排
気速度を適切に選定すれば、補助ポンプとしての働きを
十分果たせる。

【００２６】さて、隔膜８に作用する荷重は、隔膜８の
表裏の圧力差、つまり密閉容器側と真空容器側の圧力差
に比例する。また、大気圧（１０００００Ｐａ）の圧力
差で、０．０９８ＭＰａの面圧になるが、密閉容器７の
圧力が、１／１０００気圧（１００Ｐａ）に下がれば、
真空容器１の圧力も同程度に下がっていて、両者の差圧
による隔膜８に作用する面圧は、０．００００９８ＭＰ
ａと非常に小さくなる。この程度の面圧になれば、隔膜
８の厚さを例えば０．１mm以下としても十分耐えること
ができる。また、真空容器１の圧力がこれ以上低下して
も、差圧は密閉容器７の絶対圧によって決まるようにな
るし、その値も非常に小さい。したがって、密閉容器７
の圧力が１０Ｐａ以下になった時点で、バルブ１５を閉
じてもよい。むしろ、このようにする方が、正常に真空
排気しているときの排気システムとなるし、例えば真空
容器１に反応性ガスを導入する場合などのように、その
ガスを密閉容器７に入れないで済むという効果もある。

【００２７】ついで、真空排気系を停止させる場合につ
いて述べる。リークバルブ１３，１４と、バルブ１５が
閉じていて、その他のバルブは開いており、真空ポンプ
としてのターボ分子ポンプ１０と油回転ポンプ１２は動
作している。

【００２８】この状態で停止の信号が出されると、ゲー
トバルブ９、バルブ１１が閉じられ、次にターボ分子ポ
ンプ１０および油回転ポンプ１２が停止される。そし
て、ドライ窒素（図示せず）などに接続されているリー
クバルブ１３とリークバルブ１４が同時に開けられる。
このようにすれば、隔膜８の密閉容器側と真空容器側の
圧力差を小さく抑えることができ、面圧も小さくするこ
とができる。

【００２９】なお、真空容器１と密閉容器７の容積が異
なるために、リークバルブ１３，１４を同時に開くと、
密閉容器７が直ちに大気圧に戻り、真空容器１がなかな
か大気圧に戻らない状態となり、隔膜８に圧力差が発生
してしまう恐れがある。しかし、これも予めリークバル
ブ１３，１４のリーク量を調整しておくことや、真空容
器１のリークバルブ１３を先に開き、真空容器１の圧力
が例えば１００Ｐａに達してからリークバルブ１４を開
けるようにすることなどで、隔膜８に作用する面圧を最
少にすることができる。

【００３０】以上の操作は、停電で装置が非常停止した
ときもほぼ同様である。停電の場合、バルブや真空ポン
プの電源をバックアップしている場合は別にして、真空
ポンプは停止し、ゲートバルブ９、バルブ１１が閉じら
れる。リークバルブ１３，１４とバルブ１５は、停電時
に開くようにしており、真空容器１と密閉容器７の圧力
が同時に上昇するので、隔膜８に発生する面圧を最少に
抑えることができる。

【００３１】なお、停電時に真空容器１を真空のままで
維持しておきたい場合がある。この場合は、停電時にリ
ークバルブ１３，１４とバルブ１５が閉の状態となるよ
うに設定しておけばよい。

【００３２】次に、図２は本発明の第２の実施例を示す
もので、一部を断面で示した系統図である。

【００３３】ところで、基本的には前記第１の実施例に
より本発明の意図した目的が達成でき、隔膜８を薄くす
ることができる。この他に、真空的な要請で密閉容器７
の排気と真空容器１の排気を同じ真空ポンプ系にしては
ならない場合も考えられる。例えば、真空容器１など
で、腐食性ガスを使用する場合は、密閉容器７にそのガ
スが流入することも考えられ、回転導入機２の腐食とい
う問題が生ずる恐れがある。

【００３４】そこで、図２に示す第２の実施例では、真
空容器１と密閉容器７とに、独立に真空排気系を設けて
いる。

【００３５】前記真空容器１の真空排気系は、ゲートバ
ルブ９と、主真空ポンプであるターボ分子ポンプ１０
と、バルブ１１と、リークバルブ１９と、油回転ポンプ
１２とを接続して構成されている。また、真空容器１に
は他にリークバルブ１３が設けられている。

【００３６】一方、密閉容器７の真空排気系はバルブ１
８と、リークバルブ１７と、真空ポンプである油回転ポ
ンプ１６とを接続して構成されている。

【００３７】この第２の実施例の操作および動作は、基
本的には前記第１の実施例と同様であり、真空容器１を
当該真空排気系を通じて真空排気を行い、これと同期さ
せて密閉容器７を独立した真空排気系を通じて真空排気
を行う。なお、真空容器１の真空排気系が真空排気状態
にあっても、密閉容器７の真空排気系の油回転ポンプ１
６を常に運転しておく必要はなく、バルブ１８を閉じて
真空維持してもよい。

【００３８】この第２の実施例によれば、前述のごと
く、例えば真空容器１内で腐食性ガスを使用した場合
に、そのガスの密閉容器７への流入を完全に防止するこ
とができる他に、例えば密閉容器７をメンテナンスする
場合でも、真空容器１に影響を及ぼすことなく実施でき
るし、また独立に密閉容器７の真空度を制御し、隔膜８
の表裏の圧力差を極めて小さくすることもできる。

【００３９】続いて、図３は本発明の第３の実施例を示
すもので、要部の断面図である。

【００４０】この図３に示す第３の実施例は、前記第
１，第２の実施例とは回転導入機構の構造が異なってい
る。

【００４１】この第３の実施例における回転導入機構で
は、真空容器１に永久磁石３と、回転子４とを有する回
転導入機２が設置されており、密閉容器７には永久磁石
２１と、駆動リング２２と、歯車２３とを有する動力伝
達機構が配置されており、密閉容器７の外部には回転駆
動源であるモータ２５が設置されている。

【００４２】前記回転導入機２は、前記第１の実施例で
説明したところと同様である。

【００４３】前記動力伝達機構の永久磁石２１は、回転
導入機２の永久磁石３と同じ数だけ配列され、駆動リン
グ２２の内周に固定されており、かつ隔膜８をはさんで
回転導入機２の永久磁石３に対向させて配置されてい
る。前記駆動リング２２は、ベアリング（図示せず）に
より回転可能に支持されており、また駆動リング２２の
外周には歯車の歯２２ａが形成されている。前記歯車２
３は、駆動リング２２の外周に形成された前記歯２２ａ
に噛み合っている。また、前記歯車２３は密閉容器７の
外部に設置されたモータ２５に、磁性流体シール２４お
よびカップリング２６を介して連結されている。

【００４４】なお、この第３の実施例では真空容器１の
真空排気系と、密閉容器７の真空排気系は前記第２の実
施例とほぼ同じである。

【００４５】この第３の実施例における回転導入機で
は、モータ２５を駆動すると、歯車２３が回転し、この
歯車２３と、駆動リング２２に形成された歯２２ａの噛
み合いを介して駆動リング２２が回転し、これに固定さ
れた永久磁石２１が回転し、回転導入機２の永久磁石３
を通じて回転子４が回転する。したがって、モータ２５
の回転をエンコーダ（図示せず）で計測し、制御するこ
とにより、駆動リング２２および回転子４の回転を制御
することができる。また、歯車２３の歯数が駆動リング
２２の外周部の歯数に比べて少ないため、回転子４を１
回転させるためにはモータ２５の回転を１回転以上とし
なければならない。逆に言えば、回転子４の回転角度を
より精密に制御できることを意味する。

【００４６】なお、密閉容器７の圧力は前述したよう
に、高真空領域まで下げる必要はなく、磁性流体シール
２４が十分使用できる領域である。磁性流体シール２４
を直接真空容器１に接続して回転を導入することも可能
であるが、磁性流体シール２４の使用範囲に制約があ
り、真空容器１を１０マイナス７乗Ｐａ以下の超高真空
にしようとすると、シール特性に問題があって圧力が下
がらないことがあったり、真空容器１のベーキングに際
し、磁性流体シールを冷却しなければならない等の問題
がある。

【００４７】進んで、図４は本発明の第４の実施例を示
すもので、要部の断面図である。

【００４８】前記第１，第２および第３の実施例とも駆
動部が回転導入機であるのに対して、この図４に示す第
４の実施例は、直線運動導入機を対象とした場合の実施
例である。

【００４９】すなわち、この第４の実施例では大気側の
密閉容器である箱型容器３１と、真空容器側の運動体３
５間は、薄い隔壁である隔膜３３により隔てられてい
る。

【００５０】そして、前記箱型容器３１内の空間２７に
は、直線運動の動力伝達機構が配置されている。前記動
力伝達機構は、ボールねじ２８と、これに螺合された駆
動体２９と、永久磁石３２とを有して構成されている。
前記ボールねじ２８は、回転駆動源（図示せず）に連結
されている。前記駆動体２９の外周における隔壁３３側
を除く三方にはベアリング３０が取り付けられており、
各ベアリング３０は箱型容器３１の当該内壁に当接され
ていて、ボールねじ２８の軸方向に沿って真っ直ぐに移
動するように構成されている。前記永久磁石３２は、駆
動体２９における隔膜３３に対向する面に固定されてい
て、駆動体２９と一緒に移動するようになっている。

【００５１】一方、前記運動体３５は隔膜３３をはさん
で箱型容器３１の三方を囲むほぼ凹字型に形成されてい
る。また、運動体３５には永久磁石３４と、ベアリング
３６とが設けられている。前記永久磁石３４は、運動体
３５における隔膜３３側の内面に固定されていて、隔膜
３３をはさんで駆動体２９に設けられた永久磁石３２に
対向させて配置されている。前記ベアリング３６は、運
動体３５における隔膜３３側の面には永久磁石３４をは
さんでその両側に１個ずつ設けられ、箱型容器３１の両
側面側の面には１個ずつ設けられていて、それぞれ箱型
容器３１の外壁に当接されており、運動体３５を箱型容
器３１の軸方向に沿って真っ直ぐに移動させるようにな
っている。

【００５２】なお、この第４の実施例においても、運動
体３５が配置されている真空容器と、密閉容器としての
箱型容器３１には、前記第１，第２または第３の実施例
に示すごとき真空排気系が設けられているが、図４では
省略されている。

【００５３】この第４の実施例に示す直線運動導入機構
では、動力伝達機構のボールねじ２８を回転させると、
そのねじ作用により駆動体２９が直線運動し、この駆動
体２９と一緒に永久磁石３２が直線上を移動する。前記
動力伝達機構の永久磁石３２が直線上を移動するに伴
い、隔膜３３を通して直線運動導入機の永久磁石３４が
吸引されて直線上を移動し、これに追従して運動体３５
が直線運動する。

【００５４】そして、隔膜３３に作用する面圧は空間２
７と真空容器側の圧力差に依存するが、前述のごとく、
前記第１，第２または第３の実施例に示すごとき真空排
気系を設け、前述したところと同様に操作することによ
り、前記面圧を最少に抑えることができる。

【００５５】さて、以上説明した実施例では、そのいず
れも真空排気系を設けて必要時に真空容器や密閉容器を
真空排気し得るように構成している。しかし、隔膜に作
用する面圧を例えば１／２に保持するだけでも、隔膜を
薄くすることができる。

【００５６】つまり、運動導入機構の製作過程におい
て、密閉容器の内部を大気圧より低い、例えば１／２気
圧に真空排気したのち、密閉容器を完全に封じ切ってし
まう。このようにすると、薄い隔壁である隔膜の表裏に
おける圧力差は最大でも１／２気圧であり、何も対策を
講じない場合の１気圧より隔膜の薄型化が可能となり、
また運動導入機構を導入するための真空排気系について
考慮する必要がなく、独立に自由に運動導入機構を設置
することが可能となる。

【００５７】

【発明の効果】以上説明した本発明の請求項１記載の発
明によれば、真空容器の所要の箇所に、真空容器の真空
側と大気側とを隔てる隔壁を設け、前記隔壁を介して電
磁気力により大気側から真空側へ駆動力を伝える運動導
入機構において、前記大気側の駆動力伝達機構部を密閉
容器内に配置し、前記真空容器と密閉容器とを、前記真
空容器の真空排気動作および大気開放動作と、前記密閉
容器の真空排気および大気開放動作とを同期的に行う真
空排気系により接続しているので、真空維持のための隔
壁を極力薄く、例えば大気圧が作用した場合に変形して
しまうほど薄くすることにより、伝達できる動力を増し
て真空内での駆動力を大きくすることができる他、大気
側と真空側の動きを一致させ得る効果がある。

【００５８】また、本発明の請求項２記載の発明によれ
ば、前記真空容器の真空排気系と、前記大気側の駆動力
伝達機構部を配置した密閉容器の真空排気系とを独立に
設けているので、例えば真空容器に腐食性ガスを使用し
た場合に、そのガスの密閉容器内への流入を完全に防止
し得る効果があり、また密閉容器のメンテナンスをする
場合でも、真空容器に影響を及ぼすことなくメンテナン
スを行い得る効果があり、しかも真空容器内の真空度を
見ながら密閉容器内の真空度を調整し、隔壁の表裏の圧
力差をゼロに極力近づけることができるという効果があ
る。

【００５９】さらに、本発明の請求項３記載の発明によ
れば、前記真空容器の真空排気系と、前記大気側の駆動
力伝達機構部を配置した密閉容器の真空排気系とを単一
の真空ポンプで排気可能に構成しているので、真空排気
系の構造の簡素化を図り、かつ真空容器の真空排気と密
閉容器の真空排気とをより一層確実に同期化することが
できるという効果がある。

【００６０】さらにまた、本発明の請求項４記載の発明
によれば、真空容器の所要の箇所に、真空容器の真空側
と大気側とを隔てる隔壁を設け、前記隔壁を介して電磁
気力により大気側から真空側へ駆動力を伝える運動導入
機構において、前記大気側の駆動力伝達機構部を密閉容
器内に配置し、前記真空容器内の圧力を常に大気圧より
低く保持しており、運動導入機構の製作過程において、
密閉容器の内部を大気圧より低い、例えば１／２気圧に
真空排気したのち、密閉容器内を前記真空状態に完全に
封じ切ることにより、隔壁の表裏の圧力差は最大でも１
／２気圧となり、隔壁の圧力差について何も対策を講じ
ない場合の１気圧よりも、隔壁の厚さを確実に薄くする
ことができるという効果がある。

【００６１】そして、本発明の請求項５記載の発明によ
れば、前記真空容器の大気側から真空側へと駆動力を導
入する真空容器の前記隔壁部分を、隔壁以外の真空容器
材料の板厚より薄い非磁性材料で構成しているので、こ
の発明においても大気側から真空側へ伝達できる動力を
増して真空内での駆動力を大きくすることができ、かつ
大気側と真空側の動きを一致させ得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示すもので、一部を断
面とした系統図である。

【図２】本発明の第２の実施例を示すもので、一部を断
面で示した系統図である。

【図３】本発明の第３の実施例を示すもので、要部の断
面図である。

【図４】本発明の第４の実施例を示すもので、要部の断
面図である。

【符号の説明】

１…真空容器、２…回転導入機、３…永久磁石、４…回
転子、５…ベアリング、６…固定子、７…密閉容器、８
…薄い隔壁である隔膜、９…ゲートバルブ、１０…ター
ボ分子ポンプ、１１…バルブ、１２…油回転ポンプ、１
３，１４…リークバルブ、１５…バルブ、１６…真空ポ
ンプ、１７…リークバルブ、１８…バルブ、１９…リー
クバルブ、２０…バルブ、２１…永久磁石、２２…駆動
リング、２３…歯車、２４…磁性流体シール、２５…モ
ータ、２６…カップリング、２７…空間、２８…ボール
ねじ、２９…駆動体、３０…ベアリング、３１…箱型容
器、３２…永久磁石、３３…隔膜、３４…永久磁石、３
５…運動体、３６…ベアリング。

フロントページの続き (72)発明者 本間 和男 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地 株式会社日立製作所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器の所要の箇所に、真空容器の真
   空側と大気側とを隔てる隔壁を設け、前記隔壁を介して
   電磁気力により大気側から真空側へ駆動力を伝える運動
   導入機構において、前記大気側の駆動力伝達機構部を密
   閉容器内に配置し、前記真空容器と密閉容器とを、前記
   真空容器の真空排気動作および大気開放動作と、前記密
   閉容器の真空排気および大気開放動作とを同期的に行う
   真空排気系により接続したことを特徴とする真空中への
   運動導入機構。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の電磁気力を利用した真
   空中への運動導入機構において、前記真空容器の真空排
   気系と、前記大気側の駆動力伝達機構部を配置した密閉
   容器の真空排気系とを独立に設けたことを特徴とする真
   空中への運動導入機構。
3. 【請求項３】 請求項１記載の電磁気力を利用した真空
   中への運動導入機構において、前記真空容器の真空排気
   系と、前記大気側の駆動力伝達機構部を配置した密閉容
   器の真空排気系とを単一の真空ポンプで排気可能に構成
   したことを特徴とする真空中への運動導入機構。
4. 【請求項４】 真空容器の所要の箇所に、真空容器の真
   空側と大気側とを隔てる隔壁を設け、前記隔壁を介して
   電磁気力により大気側から真空側へ駆動力を伝える運動
   導入機構において、前記大気側の駆動力伝達機構部を密
   閉容器内に配置し、前記密閉容器内の圧力を常に大気圧
   より低く保持したことを特徴とする真空中への運動導入
   機構。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４のいずれかに記載
   の真空中への運動導入機構において、前記真空容器の大
   気側から真空側へ駆動力を導入する真空容器の前記隔壁
   部分を、隔壁以外の真空容器材料の板厚より薄い非磁性
   材料で構成したことを特徴とする真空中への運動導入機
   構。