JPH0678989B2 - 検査用照明装置 - Google Patents
検査用照明装置Info
- Publication number
- JPH0678989B2 JPH0678989B2 JP61198320A JP19832086A JPH0678989B2 JP H0678989 B2 JPH0678989 B2 JP H0678989B2 JP 61198320 A JP61198320 A JP 61198320A JP 19832086 A JP19832086 A JP 19832086A JP H0678989 B2 JPH0678989 B2 JP H0678989B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- light
- inspected
- light projecting
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、医薬品（錠剤，カプセル等）、食品、機械
部品、電子部品等の外観の欠損を検出するための検査用
照明装置に関するものである。
部品、電子部品等の外観の欠損を検出するための検査用
照明装置に関するものである。
第４図は通常の錠剤外観検査装置を示す説明図であり、
この検査装置は錠剤である被検査物ｍの水平搬送方向に
沿ってホッパ40、バイブレータ41を有するフィーダ42、
振動トラフ43、錠剤整流装置44、ベルトコンベア45、第
１の搬送装置X1、第２の搬送装置X2および錠剤選別機構
46がこの順に配列されて構成される。錠剤選別機構46の
下方には良品回収用ダクト47と不良品回収用ダクト48と
が設けられる。
この検査装置は錠剤である被検査物ｍの水平搬送方向に
沿ってホッパ40、バイブレータ41を有するフィーダ42、
振動トラフ43、錠剤整流装置44、ベルトコンベア45、第
１の搬送装置X1、第２の搬送装置X2および錠剤選別機構
46がこの順に配列されて構成される。錠剤選別機構46の
下方には良品回収用ダクト47と不良品回収用ダクト48と
が設けられる。
前記搬送装置X1,X2はバキュームコンベアで被検査物ｍ
をそのコンベア上に吸着した状態で搬送する。そして、
搬送過程において、外観検査装置T1〜T6で被検査物ｍの
外観の欠損の有無を検出し、これに基づいて錠剤選別機
構46で被検査物ｍの振り分けが行われる。かかる外観検
査装置T1〜T6では、被検査物ｍを撮像するイメージセン
サと被検査物ｍを照明する照明装置とが設けられ、搬送
される被検査物ｍを均質に照明しながらイメージセンサ
（ラインセンサカメラ）で被検査物ｍの外観の欠損を検
出する。
をそのコンベア上に吸着した状態で搬送する。そして、
搬送過程において、外観検査装置T1〜T6で被検査物ｍの
外観の欠損の有無を検出し、これに基づいて錠剤選別機
構46で被検査物ｍの振り分けが行われる。かかる外観検
査装置T1〜T6では、被検査物ｍを撮像するイメージセン
サと被検査物ｍを照明する照明装置とが設けられ、搬送
される被検査物ｍを均質に照明しながらイメージセンサ
（ラインセンサカメラ）で被検査物ｍの外観の欠損を検
出する。
この場合、照明装置としては、光源からの光を直接被検
査物ｍに照明する装置または被検査物ｍの検査面より均
質な反射光を得るために光源からの光を照明ドーム内で
反射あるいは拡散させて間接照明する装置が用いられて
いた。
査物ｍに照明する装置または被検査物ｍの検査面より均
質な反射光を得るために光源からの光を照明ドーム内で
反射あるいは拡散させて間接照明する装置が用いられて
いた。
搬送装置X1〜X2によって高速度で搬送される被検査物ｍ
をイメージセンサを用いて高精度な外観検査を行うため
には、高輝度でしかも被検査物ｍの表面形状に応じた均
質照明可能な照明装置が必要となる。とくに、ラインセ
ンサカメラを用いて高速外観検査を行う場合、走査周期
が短くなり、検査上充分なゲインを得るためには、高輝
度でかつ均質な照明が必要となる。
をイメージセンサを用いて高精度な外観検査を行うため
には、高輝度でしかも被検査物ｍの表面形状に応じた均
質照明可能な照明装置が必要となる。とくに、ラインセ
ンサカメラを用いて高速外観検査を行う場合、走査周期
が短くなり、検査上充分なゲインを得るためには、高輝
度でかつ均質な照明が必要となる。
しかしながら、被検査物ｍを光源からの光で直接照明す
る従来の照明装置では、直接光による被検査物ｍの表面
の明度差が大きく均質照明が困難であり、また均質化の
ためには多数の光源を必要とするため、経済上の問題が
あった。
る従来の照明装置では、直接光による被検査物ｍの表面
の明度差が大きく均質照明が困難であり、また均質化の
ためには多数の光源を必要とするため、経済上の問題が
あった。
一方、間接照明による従来の他の照明装置では、均質照
明効果が得られるものの、被検査物ｍの表面が低輝度で
あるため検査に必要な高い光量が得られないため、高速
外観検査ができないという問題があった。
明効果が得られるものの、被検査物ｍの表面が低輝度で
あるため検査に必要な高い光量が得られないため、高速
外観検査ができないという問題があった。
したがって、この発明の目的は、被検査物を高輝度でか
つ均質に照明することができ、高速外観検査を可能にす
るとともに、低廉な検査用照明装置を提供することであ
る。
つ均質に照明することができ、高速外観検査を可能にす
るとともに、低廉な検査用照明装置を提供することであ
る。
この発明の検査用照明装置は、光源と、この光源の前面
に受光部を配置しかつ複数の分岐した位置調整可能な投
光部で被検査物を多方向から照明する光ファイバ束と、
この光ファイバ束の前記投光部と前記被検査物との間に
介在した拡散透光性部材とを備え、前記拡散透光性部材
はドーム形であって頂部に検査用の孔を有するとともに
底部の一対向縁に切欠状の一対の通過口を有し、かつ前
記拡散透光性部材の外側に複数の前記投光部を配置して
なり、前記被検査物を前記通過口を通して前記拡散透光
性部材の内側に搬送可能としたことを特徴とするもので
ある。
に受光部を配置しかつ複数の分岐した位置調整可能な投
光部で被検査物を多方向から照明する光ファイバ束と、
この光ファイバ束の前記投光部と前記被検査物との間に
介在した拡散透光性部材とを備え、前記拡散透光性部材
はドーム形であって頂部に検査用の孔を有するとともに
底部の一対向縁に切欠状の一対の通過口を有し、かつ前
記拡散透光性部材の外側に複数の前記投光部を配置して
なり、前記被検査物を前記通過口を通して前記拡散透光
性部材の内側に搬送可能としたことを特徴とするもので
ある。
この発明によれば、以下の作用がある。
（Ａ）光ファイバ束の投光部を被検査物の照明バランス
が崩れない程度に被検査物に近づけることができ、被検
査物の表面を高輝度に照明できる。
が崩れない程度に被検査物に近づけることができ、被検
査物の表面を高輝度に照明できる。
（Ｂ）光ファイバ束を分岐させて複数の投光部を形成
し、この投光部で様々な位置から被検査物を照明するの
で、たとえば拡散投光性部材の上方および側方に投光部
を分散配置するとともに拡散透光性部材に対する接近距
離を個別に調整する等により、均質照明がつくりやす
い。また、投光部を出た光は拡散透光性部材を通過する
ことによって拡散され、被検査物をより一層均質に照明
することができ、上記（Ａ）と相まって高速外観検査が
可能になる。
し、この投光部で様々な位置から被検査物を照明するの
で、たとえば拡散投光性部材の上方および側方に投光部
を分散配置するとともに拡散透光性部材に対する接近距
離を個別に調整する等により、均質照明がつくりやす
い。また、投光部を出た光は拡散透光性部材を通過する
ことによって拡散され、被検査物をより一層均質に照明
することができ、上記（Ａ）と相まって高速外観検査が
可能になる。
（Ｃ）光ファイバ束から分岐した投光部はフレキシブル
な配置が可能であるので、被検査物が複雑な表面形状を
有する場合でも、その表面形状に対応した任意な位置か
らの均質照明が可能になる。たとえば表面に刻印のある
錠剤の検査では側方からの照明が強過ぎると刻印の部分
で影を生じ検査の妨げとなるが、側方の投光部を拡散透
光性部材から離し、上方の投光部を拡散透光性部材に接
近することにより影をなくすことができる。
な配置が可能であるので、被検査物が複雑な表面形状を
有する場合でも、その表面形状に対応した任意な位置か
らの均質照明が可能になる。たとえば表面に刻印のある
錠剤の検査では側方からの照明が強過ぎると刻印の部分
で影を生じ検査の妨げとなるが、側方の投光部を拡散透
光性部材から離し、上方の投光部を拡散透光性部材に接
近することにより影をなくすことができる。
（Ｄ）光源と被検査物とは光ファイバ束を介して離隔し
ているため、被検査物が光源の熱の影響を受けるのが少
なくなる。
ているため、被検査物が光源の熱の影響を受けるのが少
なくなる。
（Ｅ）光源の光を光ファイバ束で分岐させて多方向から
被検査物に照明するので、光源の数が少なくてすみ経済
的である。
被検査物に照明するので、光源の数が少なくてすみ経済
的である。
（Ｆ）構造が簡単であるため、製造が容易であり、低コ
ストで製造できる。
ストで製造できる。
（Ｇ）ドーム状の拡散透光性部材の底部に一対の通過口
を切欠状に形成したため、通過口を通して被検査物を搬
送することにより大量の被検査物を連続して検査するこ
とができるとともに、被検査物を搬送するコンベアの上
方の任意の位置にその搬送を阻害することなく容易に配
置固定でき、さらに拡散透光性部材の底部側が被検査物
の側面に位置して光を拡散透過するため、拡散効率をア
ップでき、被検査物の周側面の照度を高めることができ
る。
を切欠状に形成したため、通過口を通して被検査物を搬
送することにより大量の被検査物を連続して検査するこ
とができるとともに、被検査物を搬送するコンベアの上
方の任意の位置にその搬送を阻害することなく容易に配
置固定でき、さらに拡散透光性部材の底部側が被検査物
の側面に位置して光を拡散透過するため、拡散効率をア
ップでき、被検査物の周側面の照度を高めることができ
る。
この発明の一実施例を第１図ないし第３図に基づいて説
明する。すなわち、この検査用照明装置は、第１図に示
すように、光源１の前面に光ファイバ束２の受光部３を
配置し、この光ファイバ束２を分岐させてつくった複数
の投光部4,…で被検査物ｍを多方向から照明するととも
に、光ファイバ束２の前記投光部4,…と前記被検査物ｍ
との間にドーム状の拡散透光性部材５を介在させたもの
である。
明する。すなわち、この検査用照明装置は、第１図に示
すように、光源１の前面に光ファイバ束２の受光部３を
配置し、この光ファイバ束２を分岐させてつくった複数
の投光部4,…で被検査物ｍを多方向から照明するととも
に、光ファイバ束２の前記投光部4,…と前記被検査物ｍ
との間にドーム状の拡散透光性部材５を介在させたもの
である。
前記光源１としては、集光性の高い高輝度ランプが好適
に使用可能であり、これにより光ファイバ束２の受光部
３に効率よく光を入射し、高速外観検査に必要な充分な
光量を得ることができる。
に使用可能であり、これにより光ファイバ束２の受光部
３に効率よく光を入射し、高速外観検査に必要な充分な
光量を得ることができる。
光ファイバ束２は光源１からの光を減衰させることなく
高輝度な状態で被検査物ｍの表面に導くためのものであ
って、多数本の光ファイバを束ねて構成される。光ファ
イバ束２の分岐した複数の投光部4,…は光ファイバ束２
が可撓性を有するために自由な立体配置が可能であり、
被検査物ｍを多方向から照明することができるととも
に、投光部４…はコンパクトであるために被検査物ｍの
表面の照明バランスが崩れない程度に投光部4,…を被検
査物ｍの近くまで接近させることが可能である。このた
め、高輝度による均質照明が可能になる。
高輝度な状態で被検査物ｍの表面に導くためのものであ
って、多数本の光ファイバを束ねて構成される。光ファ
イバ束２の分岐した複数の投光部4,…は光ファイバ束２
が可撓性を有するために自由な立体配置が可能であり、
被検査物ｍを多方向から照明することができるととも
に、投光部４…はコンパクトであるために被検査物ｍの
表面の照明バランスが崩れない程度に投光部4,…を被検
査物ｍの近くまで接近させることが可能である。このた
め、高輝度による均質照明が可能になる。
前記拡散透光性部材５は、搬送装置のコンベア６上を搬
送される被検査物ｍの検査位置で被検査物ｍを覆うよう
な形で配置されたドーム状で構成される。拡散透光性部
材５としては、たとえば通常のタイプ用紙のほか、透光
性プラスチックシートやフィルムなどが使用可能であ
る。これらの拡散透光性部材５は光ファイバ束２から出
た光を拡散させ、被検査物ｍの照明を均質化させる。ま
た、拡散透光性部材５は被検査物ｍを覆うドーム形で構
成されているので、拡散透光性部材５を透過拡散して入
射した光がドーム内面で反射して被検査物ｍを間接照明
するため、これによっても均質照明に寄与することがで
きる。かかるドーム形の拡散透光性部材５の頂部にはの
ぞき窓となるスリット状の孔７が形成され、上方にある
イメージセンサ８がこの孔７を経て被検査物ｍを撮像す
るように構成される。10は被検査物ｍの通過口であり、
拡散透光性部材５の底部の一対向縁に一対切欠状に形成
され、この通過口をコンベア６が通過するようにコンベ
ア６上に拡散透光性部材５が配置固定される。
送される被検査物ｍの検査位置で被検査物ｍを覆うよう
な形で配置されたドーム状で構成される。拡散透光性部
材５としては、たとえば通常のタイプ用紙のほか、透光
性プラスチックシートやフィルムなどが使用可能であ
る。これらの拡散透光性部材５は光ファイバ束２から出
た光を拡散させ、被検査物ｍの照明を均質化させる。ま
た、拡散透光性部材５は被検査物ｍを覆うドーム形で構
成されているので、拡散透光性部材５を透過拡散して入
射した光がドーム内面で反射して被検査物ｍを間接照明
するため、これによっても均質照明に寄与することがで
きる。かかるドーム形の拡散透光性部材５の頂部にはの
ぞき窓となるスリット状の孔７が形成され、上方にある
イメージセンサ８がこの孔７を経て被検査物ｍを撮像す
るように構成される。10は被検査物ｍの通過口であり、
拡散透光性部材５の底部の一対向縁に一対切欠状に形成
され、この通過口をコンベア６が通過するようにコンベ
ア６上に拡散透光性部材５が配置固定される。
第２図および第３図はそれぞれ光ファイバ束２の投光部
の立体配置の一例を示す平面図および正面図である。す
なわち、第２図および第３図では８本の投光部4a〜4hが
被検査物ｍの表面を均質に照明するような位置にそれぞ
れ配置されており、投光部4aと4eは被検査物ｍの上部表
面を照明し、投光部4cと4gは被検査物ｍの上部側面を照
明し、投光部4b,4d,4fおよび4hは被検査物ｍの周辺部分
を照明している。
の立体配置の一例を示す平面図および正面図である。す
なわち、第２図および第３図では８本の投光部4a〜4hが
被検査物ｍの表面を均質に照明するような位置にそれぞ
れ配置されており、投光部4aと4eは被検査物ｍの上部表
面を照明し、投光部4cと4gは被検査物ｍの上部側面を照
明し、投光部4b,4d,4fおよび4hは被検査物ｍの周辺部分
を照明している。
投光部の数や配置は立体的な被検査物ｍの形状に応じて
任意に設定可能であり、さらに投光部から出る光量も投
光部と被検査物ｍとの離隔距離を変えることにより任意
に調節可能である。これにより複雑な形状の被検査物ｍ
であっても均質照明が可能となる。
任意に設定可能であり、さらに投光部から出る光量も投
光部と被検査物ｍとの離隔距離を変えることにより任意
に調節可能である。これにより複雑な形状の被検査物ｍ
であっても均質照明が可能となる。
また、被検査物ｍの表面の輝度は、従来の照明ドームに
よる間接照明方式に比べて数百倍も増大し、イメージセ
ンサ８であるラインセンサカメラによる高速外観検査が
可能となる。
よる間接照明方式に比べて数百倍も増大し、イメージセ
ンサ８であるラインセンサカメラによる高速外観検査が
可能となる。
なお、以上の実施例では、拡散透光性部材としてドーム
状のものを使用したが、たとえば光ファイバ束２の投光
部４…の前面に拡散透光性部材を直接取付けたものであ
っても同様な光の拡散効果を得ることができる。
状のものを使用したが、たとえば光ファイバ束２の投光
部４…の前面に拡散透光性部材を直接取付けたものであ
っても同様な光の拡散効果を得ることができる。
この発明によれば、以下の効果がある。
（Ａ）光ファイバ束の投光部を被検査物の照明バランス
が崩れない程度に被検査物に近づけることができ、被検
査物の表面を高輝度に照明できる。
が崩れない程度に被検査物に近づけることができ、被検
査物の表面を高輝度に照明できる。
（Ｂ）光ファイバ束を分岐させて複数の投光部を形成
し、この投光部で様々な位置から被検査物を照明するの
で、たとえば拡散投光性部材の上方および側方に投光部
を分散配置するとともに拡散透光性部材に対する接近距
離を個別に調整する等により、均質照明がつくりやす
い。また、投光部を出た光は拡散透光性部材を通過する
ことによって拡散され、被検査物をより一層均質に照明
することができ、上記（Ａ）と相まって高速外観検査が
可能になる。
し、この投光部で様々な位置から被検査物を照明するの
で、たとえば拡散投光性部材の上方および側方に投光部
を分散配置するとともに拡散透光性部材に対する接近距
離を個別に調整する等により、均質照明がつくりやす
い。また、投光部を出た光は拡散透光性部材を通過する
ことによって拡散され、被検査物をより一層均質に照明
することができ、上記（Ａ）と相まって高速外観検査が
可能になる。
（Ｃ）光ファイバ束から分岐した投光部はフレキシブル
な配置が可能であるので、被検査物が複雑な表面形状を
有する場合でも、その表面形状に対応した任意な位置か
らの均質照明が可能になる。たとえば表面に刻印のある
錠剤の検査では側方からの照明が強過ぎると刻印の部分
で影を生じ検査の妨げとなるが、側方の投光部を拡散透
光性部材から離し、上方の透光部を拡散透光性部材に接
近することにより影をなくすことができる。
な配置が可能であるので、被検査物が複雑な表面形状を
有する場合でも、その表面形状に対応した任意な位置か
らの均質照明が可能になる。たとえば表面に刻印のある
錠剤の検査では側方からの照明が強過ぎると刻印の部分
で影を生じ検査の妨げとなるが、側方の投光部を拡散透
光性部材から離し、上方の透光部を拡散透光性部材に接
近することにより影をなくすことができる。
（Ｄ）光源と被検査物とは光ファイバ束を介して離隔し
ているため、被検査物が光源の熱の影響を受けるのが少
なくなる。
ているため、被検査物が光源の熱の影響を受けるのが少
なくなる。
（Ｅ）光源の光を光ファイバ束で分岐させて多方向から
被検査物に照明するので、光源の数が少なくてすみ経済
的である。
被検査物に照明するので、光源の数が少なくてすみ経済
的である。
（Ｆ）構造が簡単であるため、製造が容易であり、低コ
ストで製造できる。
ストで製造できる。
（Ｇ）ドーム状の拡散透光性部材の底部に一対の通過口
を切欠状に形成したため、通過口を通して被検査物を搬
送することにより大量の被検査物を連続して検査するこ
とができるとともに、被検査物を搬送するコンベアの上
方の任意の位置にその搬送を阻害することなく容易に配
置固定でき、さらに拡散透光性部材の底部側が被検査物
の側面に位置して光を拡散透過するため、拡散効率をア
ップでき、被検査物の周側面の照度を高めることができ
る。
を切欠状に形成したため、通過口を通して被検査物を搬
送することにより大量の被検査物を連続して検査するこ
とができるとともに、被検査物を搬送するコンベアの上
方の任意の位置にその搬送を阻害することなく容易に配
置固定でき、さらに拡散透光性部材の底部側が被検査物
の側面に位置して光を拡散透過するため、拡散効率をア
ップでき、被検査物の周側面の照度を高めることができ
る。
第１図はこの発明の一実施例を示す説明図、第２図およ
び第３図は光ファイバ束の投光部の立体配置の一例を示
す平面図および正面図、第４図は通常の外観検査装置を
示す説明図である。 １……光源、２……光ファイバ束、３……受光部、4,4a
〜4h……投光部、５……拡散透光性部材、ｍ……被検査
物
び第３図は光ファイバ束の投光部の立体配置の一例を示
す平面図および正面図、第４図は通常の外観検査装置を
示す説明図である。 １……光源、２……光ファイバ束、３……受光部、4,4a
〜4h……投光部、５……拡散透光性部材、ｍ……被検査
物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 順之助 大阪府大阪市都島区友渕町１丁目６番４− 302号 (72)発明者 杉山 誠治 大阪府門真市千石西町２番９−204号 (56)参考文献 特開 昭59−119246（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−70150（ＪＰ，Ａ) 特公 昭58−25961（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】光源と、この光源の前面に受光部を配置し
かつ複数の分岐した位置調整可能な投光部で被検査物を
多方向から照明する光ファイバ束と、この光ファイバ束
の前記投光部と前記被検査物との間に介在した拡散透光
性部材とを備え、前記拡散透光性部材はドーム形であっ
て頂部に検査用の孔を有するとともに底部の一対向線に
切欠状の一対の通過口を有し、かつ前記拡散透光性部材
の外側に複数の前記投光部を配置してなり、前記被検査
物を前記通過口を通して前記拡散透光性部材の内側に搬
送可能としたことを特徴とする検査用照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61198320A JPH0678989B2 (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 検査用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61198320A JPH0678989B2 (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 検査用照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6353452A JPS6353452A (ja) | 1988-03-07 |
| JPH0678989B2 true JPH0678989B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=16389154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61198320A Expired - Lifetime JPH0678989B2 (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 検査用照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0678989B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5012116A (en) * | 1989-10-12 | 1991-04-30 | Russell John P | System for inspecting bearing balls for defects |
| IL94368A (en) * | 1990-05-11 | 1993-07-08 | Orbot Systems Ltd | Optic inspection apparatus and illumination system particularly useful therein |
| EP0473989B1 (en) * | 1990-08-24 | 1995-06-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Light beam irradiation apparatus and method |
| US5969752A (en) * | 1998-06-15 | 1999-10-19 | Electro Scientific Industries | Multi-function viewer/tester for miniature electric components |
| JP5542367B2 (ja) * | 2009-05-08 | 2014-07-09 | 池上通信機株式会社 | 外観検査装置及び外観検査用の光学装置 |
| JP5670915B2 (ja) * | 2009-12-11 | 2015-02-18 | 第一実業ビスウィル株式会社 | 外観検査装置 |
| JP5451560B2 (ja) * | 2010-09-01 | 2014-03-26 | キユーピー株式会社 | 樹脂製キャップ内部品の検査装置および樹脂製キャップ内部品の検査方法 |
| JP6157086B2 (ja) * | 2012-10-30 | 2017-07-05 | 株式会社クボタ | 粒状体検査装置 |
| JP6128730B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2017-05-17 | 株式会社クボタ | 粒状体検査装置 |
| JP6153311B2 (ja) * | 2012-10-30 | 2017-06-28 | 株式会社クボタ | 粒状体検査装置 |
| KR101683065B1 (ko) * | 2011-11-09 | 2016-12-07 | 가부시끼 가이샤 구보다 | 입상체 검사 장치 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59119246A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 被検査物照明装置 |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP61198320A patent/JPH0678989B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6353452A (ja) | 1988-03-07 |
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