JPH0678959B2 - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
- Publication number
- JPH0678959B2 JPH0678959B2 JP28634285A JP28634285A JPH0678959B2 JP H0678959 B2 JPH0678959 B2 JP H0678959B2 JP 28634285 A JP28634285 A JP 28634285A JP 28634285 A JP28634285 A JP 28634285A JP H0678959 B2 JPH0678959 B2 JP H0678959B2
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- Japan
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- communication passage
- working fluid
- temperature detecting
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- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明は、微少な圧力変化を検出する圧力検出器に関
する。
する。
（ロ）従来の技術 一般に、プロセス制御系における圧力変化や、海底にお
ける圧力変化の検出には、圧力検出器が用いられてい
る。この圧力検出器は、第３図に示すように、ボディａ
の両側部に圧力室ｂ、ｃが形成され、両圧力室ｂ、ｃに
亘って流体回路ｄが構成され、この流体回路ｄに圧力セ
ンサｅ、逆止弁ｆ及び絞り弁ｇが設けられる一方、各圧
力室ｂ、ｃにシールダイヤフラムｈ、ｉが張設されて、
この圧力室ｂ、ｃから流体回路ｄに亘って作動流体ｊが
充填されて構成されている。従って、各圧力室ｂ、ｃに
高圧と低圧とがシールダイヤフラムｈ、ｉを介して作用
し、作動流体ｊを媒体として圧力センサｅに伝達し、そ
の差圧を検出するように成っている。
ける圧力変化の検出には、圧力検出器が用いられてい
る。この圧力検出器は、第３図に示すように、ボディａ
の両側部に圧力室ｂ、ｃが形成され、両圧力室ｂ、ｃに
亘って流体回路ｄが構成され、この流体回路ｄに圧力セ
ンサｅ、逆止弁ｆ及び絞り弁ｇが設けられる一方、各圧
力室ｂ、ｃにシールダイヤフラムｈ、ｉが張設されて、
この圧力室ｂ、ｃから流体回路ｄに亘って作動流体ｊが
充填されて構成されている。従って、各圧力室ｂ、ｃに
高圧と低圧とがシールダイヤフラムｈ、ｉを介して作用
し、作動流体ｊを媒体として圧力センサｅに伝達し、そ
の差圧を検出するように成っている。
（ハ）発明が解決しようとする問題点 上述した圧力検出器において、圧力センサｅは、静電容
量式圧力センサをはじめ、拡散半導体圧力センサや可変
インダクタンス式圧力センサが用いられ、作動流体ｊの
作用によるダイヤフラムｋの歪量を各種の方式で検知
し、差圧を検出している。
量式圧力センサをはじめ、拡散半導体圧力センサや可変
インダクタンス式圧力センサが用いられ、作動流体ｊの
作用によるダイヤフラムｋの歪量を各種の方式で検知
し、差圧を検出している。
しかし、この圧力センサｅでは、ダイヤフラムｋを用い
ているため、あるライン圧力（静圧）が作用した状態で
微少圧力変化を検出しようとすると、歪に対する一定の
変位量が必要となる。従って、ダイヤフラムｋの有効径
を大きくするか、或いは暑さを薄くする必要があり、大
型化したり、構造が複雑化するという問題があった。ま
た、ダイヤフラムｋに直接圧力が作用するので、過渡的
な過大圧力より保護する必要があり、保護構造を要して
いた。
ているため、あるライン圧力（静圧）が作用した状態で
微少圧力変化を検出しようとすると、歪に対する一定の
変位量が必要となる。従って、ダイヤフラムｋの有効径
を大きくするか、或いは暑さを薄くする必要があり、大
型化したり、構造が複雑化するという問題があった。ま
た、ダイヤフラムｋに直接圧力が作用するので、過渡的
な過大圧力より保護する必要があり、保護構造を要して
いた。
更に、設置姿勢によっては作動流体ｊの重量がダイヤフ
ラムｋに作用し（第３図参照）、正確な差圧を検出でき
ないという欠点があった。
ラムｋに作用し（第３図参照）、正確な差圧を検出でき
ないという欠点があった。
（ニ）問題点を解決するための手段及び作用 この発明は、ボディの両側部に圧力室が形成され、両圧
力室に亘って連通路が穿設されると共に、この連通路を
介して両圧力室に作動液体が充填される一方、前記連通
路の近傍に発熱手段が設けられ、この発熱手段と各圧力
室との間における連通路の近傍にそれぞれ温度検出手段
が設けられて構成されている。
力室に亘って連通路が穿設されると共に、この連通路を
介して両圧力室に作動液体が充填される一方、前記連通
路の近傍に発熱手段が設けられ、この発熱手段と各圧力
室との間における連通路の近傍にそれぞれ温度検出手段
が設けられて構成されている。
従って、連通路内における発熱手段近傍の作動流体が発
熱手段で加温され、両圧力室間に差圧が生じると、作動
流体が圧力低下側に移動し、この移動により加温作動流
体も移動し、この温度変化を２つの温度検出手段の片方
で検出し、圧力変化を検出するようになっている。
熱手段で加温され、両圧力室間に差圧が生じると、作動
流体が圧力低下側に移動し、この移動により加温作動流
体も移動し、この温度変化を２つの温度検出手段の片方
で検出し、圧力変化を検出するようになっている。
（ホ）実施例 以下、この発明の一実施例を、図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図に示すように、１は圧力検出器であって、プロセ
ス制御系における圧力変化や海底における圧力変化など
を検出するものである。
ス制御系における圧力変化や海底における圧力変化など
を検出するものである。
この圧力検出器１のボディ２における両側には圧力室3
a、3bがそれぞれ形成され、両圧力室3a、3bはボディ２
にシールダイヤフラム4a、4bが取付けられて密封され、
高圧又は低圧が作用するようになっている。
a、3bがそれぞれ形成され、両圧力室3a、3bはボディ２
にシールダイヤフラム4a、4bが取付けられて密封され、
高圧又は低圧が作用するようになっている。
また、ボディ２には両圧力室3a、3bに亘って連通路５が
穿設され、両圧力室3a、3b及び連通路５に作動流体６が
充填されている。この検出区画部７を連通路５が縦断し
ている。更に、この検出区画部７において、連通路５の
ほぼ中央部８内に発熱素子９（発熱手段）が連通路５に
接して設けられている。
穿設され、両圧力室3a、3b及び連通路５に作動流体６が
充填されている。この検出区画部７を連通路５が縦断し
ている。更に、この検出区画部７において、連通路５の
ほぼ中央部８内に発熱素子９（発熱手段）が連通路５に
接して設けられている。
また、検出区画部７内には第１温度検出素子10a、第２
温度検出素子10b（温度検出手段）が設けられ、両温度
検出素子10a、10bはそれぞれ断熱区画部８と各圧力室3
a、3bとの間において、連通路５に接して設けられてい
る。この両温度検出素子10a、10bは、作動流体６の温度
を検出するもので、差動接続（ブリッジ接続）され、差
動信号を出力するように構成されている。
温度検出素子10b（温度検出手段）が設けられ、両温度
検出素子10a、10bはそれぞれ断熱区画部８と各圧力室3
a、3bとの間において、連通路５に接して設けられてい
る。この両温度検出素子10a、10bは、作動流体６の温度
を検出するもので、差動接続（ブリッジ接続）され、差
動信号を出力するように構成されている。
更にまた、検出区画部７内には補償用温度検出素子11が
設けられ、この補償用温度検出素子11は周囲温度を検出
し、この周囲温度より数度高い加熱を発熱素子９が行う
ようにし、この加熱による周囲温度への影響を少なくす
るように構成されている。
設けられ、この補償用温度検出素子11は周囲温度を検出
し、この周囲温度より数度高い加熱を発熱素子９が行う
ようにし、この加熱による周囲温度への影響を少なくす
るように構成されている。
次に、この圧力検出器１の検出動作について説明する。
先ず、外部圧力は各シールダイヤフラム4a、4bを介して
各圧力室3a、3bに作用し、作動流体６に伝達されてい
る。一方、連通路５内において発熱手段９が作動し、発
熱手段９の近傍の作動流体６のみを周囲より数度高く加
温している。
各圧力室3a、3bに作用し、作動流体６に伝達されてい
る。一方、連通路５内において発熱手段９が作動し、発
熱手段９の近傍の作動流体６のみを周囲より数度高く加
温している。
この状態において、例えば第１図に示すように、左側圧
力室3aに高圧、右側圧力室3bに低圧が作用すると、差圧
が生じ、第２図Ａの圧力信号が入力されると、作動流体
６は連通路５を介して高圧側から低圧側に移動すること
になる。この移動により、発熱手段９近傍の加温作動流
体６も低圧側に移動し、第２温度検出素子10bを通過す
ることになる。この温度変化を第２温度検出素子10bが
検出し、第２図Ｂの作動信号を出力し、圧力変化を検出
する。その後、左右の圧力が等しくなり、次にそれまで
の高圧側が元の圧力に低下すると（第２図Ｃ参照）、作
動流体６は逆に第１図左側に移動するので、発熱素子９
近傍の加温作動流体６は、逆に第１温度検出素子10aを
通過し、その温度変化が検出され、第２図Ｄの作動信号
が出力され、圧力変化が検出されることになる。以上の
ように、圧力変化があると微分的に動作して、微少差圧
を検出することができる。
力室3aに高圧、右側圧力室3bに低圧が作用すると、差圧
が生じ、第２図Ａの圧力信号が入力されると、作動流体
６は連通路５を介して高圧側から低圧側に移動すること
になる。この移動により、発熱手段９近傍の加温作動流
体６も低圧側に移動し、第２温度検出素子10bを通過す
ることになる。この温度変化を第２温度検出素子10bが
検出し、第２図Ｂの作動信号を出力し、圧力変化を検出
する。その後、左右の圧力が等しくなり、次にそれまで
の高圧側が元の圧力に低下すると（第２図Ｃ参照）、作
動流体６は逆に第１図左側に移動するので、発熱素子９
近傍の加温作動流体６は、逆に第１温度検出素子10aを
通過し、その温度変化が検出され、第２図Ｄの作動信号
が出力され、圧力変化が検出されることになる。以上の
ように、圧力変化があると微分的に動作して、微少差圧
を検出することができる。
（ヘ）発明の効果 以上のように、この発明の圧力検出器によれば、作動流
体の一部を発熱手段で加温し、この作動流体の移動によ
る温度変化を温度検出手段で検出して圧力変化を検出す
るようにしたために、微少な圧力変化でも正確に検出す
ることができると共に、従来のように検出用のダイヤフ
ラムを要しないので、小型に且つ構造を簡易にすること
ができる。
体の一部を発熱手段で加温し、この作動流体の移動によ
る温度変化を温度検出手段で検出して圧力変化を検出す
るようにしたために、微少な圧力変化でも正確に検出す
ることができると共に、従来のように検出用のダイヤフ
ラムを要しないので、小型に且つ構造を簡易にすること
ができる。
また、過大圧力が作用しても何ら影響を受けるものがな
いので、保護対策が不要であり、構造が簡素となる。
いので、保護対策が不要であり、構造が簡素となる。
また、設置姿勢の影響もないので、常に正確な検出を行
うことができる。
うことができる。
更に、連通路中に絞り弁などを要しないので、部品点数
を少なくすることができる。
を少なくすることができる。
第１図は、この発明の一実施例を示す圧力検出器の縦断
面図、第２図（ａ）（ｂ）は、圧力信号とこの圧力信号
に対応した温度検出素子の出力信号を示す図、第３図
は、従来の圧力検出器の縦断面図である。 1:圧力検出器、2:ボディ、 3a、3b:圧力室、5:連通路、 6:作動流体、9:発熱素子、 10a、10b:温度検出素子。
面図、第２図（ａ）（ｂ）は、圧力信号とこの圧力信号
に対応した温度検出素子の出力信号を示す図、第３図
は、従来の圧力検出器の縦断面図である。 1:圧力検出器、2:ボディ、 3a、3b:圧力室、5:連通路、 6:作動流体、9:発熱素子、 10a、10b:温度検出素子。
Claims (1)
- 【請求項１】ボディの両側部に圧力室が形成され、両圧
力室に亘って連通路が穿設されると共に、この連通路を
介して両圧力室に作動液体が充填される一方、前記連通
路の近傍に発熱手段が設けられ、この発熱手段と各圧力
室との間における連通路の近傍にそれぞれ温度検出手段
が設けられて成り、前記作動液体の移動による温度変化
を温度検出手段が検出して圧力変化を検出することを特
徴とする圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28634285A JPH0678959B2 (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | 圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28634285A JPH0678959B2 (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | 圧力検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62167427A JPS62167427A (ja) | 1987-07-23 |
| JPH0678959B2 true JPH0678959B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=17703141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28634285A Expired - Fee Related JPH0678959B2 (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | 圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0678959B2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-19 JP JP28634285A patent/JPH0678959B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62167427A (ja) | 1987-07-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |