JPH0678954U

JPH0678954U - フォトマスク用のガラス基板

Info

Publication number: JPH0678954U
Application number: JP2183293U
Authority: JP
Inventors: 俊光渡辺
Original assignee: Toppan Inc
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1993-04-26
Filing date: 1993-04-26
Publication date: 1994-11-04

Abstract

(57)【要約】【目的】フォトマスク用のガラス基板に関し、特に光照
射型表面異物検査装置で検査する為のフォトマスク用の
ガラス基板。【構成】上面及び下面と垂直な側面とを有する直方体の
フォトマスク用のガラス基板において、上面及び下面と
垂直な側面との交差する角部を円弧状に丸めた形状にし
たことを特徴とするとするフォトマスク用のガラス基
板。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

フォトマスク用のガラス基板に関し、特に光照射型表面異物検査装置で検査する為のフォトマスク用のガラス基板に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、フォトマスク用のガラス基板は、ガラス基板を垂直に切断し、図３のように、斜めに削って角１を有する断面八角形に面取りして使用されていた。このガラス基板の表面には、ガラス屑等の細かい異物が付着されていることが多く、特にフォトマスク用のガラス基板においては、異物の存在が製品不良の原因となり、事前に表面の異物検査しておく必要がある。

【０００３】光照射型表面異物検査装置（以後検査装置と称する）は、図４のように、水平に置かれた検査体２の上方に、レーザー光の光源３と受光部４を一定の場所に位置させ、例えば、受光部４は、光源３からのスポット状のレーザー光５を右斜め上方から検査体２の表面に入射して、一部反射したレーザー光５の通り道６になく、通り道６の下検査体２の置かれた水平面７上方に位置させてある。従って、表面に異物がなければ、受光部４にレーザー光５を受光せず、表面に異物があれば、レーザー光５が異物に当たって散乱して受光部４にレーザー光５を受光してその散乱光強度を測定することで検出記録する。

【０００４】図４では、最初に検査体２を左側（受光部４側）において、検査体２の右端を検査し、その後右側（光源３側）に水平に動かし、最後に検査体２の左端を検査することにより、検査体２の左右の全表面を検査し異物の有無を調べるものである。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、前記検査装置による検査方法であると、図３のように、断面八角形に面取りしたガラス基板２の水平面１６の表面に照射されたレーザー光５がガラス基板２内に入り、大部分は抜け出るが、一部はガラス基板２の底面７で内部反射（５Ａ）して、或いは内部反射を繰り返したものが（５Ｂ）、ガラス基板２の角１に到達ものがあり、その角１でレーザー光５が散乱し、受光部４で受光するので、ガラス基板２の表面に異物がなくても、異物があるとの記録が現れる。

【０００６】このレーザー光５は繰り返しの内部反射で、大部分は抜け出て段々弱まり、受光部４がレーザー光５を受光するのはせいぜい５回以下の繰り返しの内部反射したレーザー光５と考えられる。この５回以下の繰り返しが現れるのは、ガラス基板２を左から右に水平に動かしてレーザー光５を当てて検査して行く時に、ガラス基板２の表面の左端部近辺から左端の部分である。即ち、この部分において、異物がなくても受光することがあるので、異物の有無が判断できないから、この部分が使えないという問題点があった。

【０００７】検査装置で、レーザー光の内部反射の影響をなくし、ガラス基板の表面の異物だけを検査できるようにしたい、即ちガラス基板の使える範囲をできるだけ、広くしたいという要望があった。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案は、水平で平行な上面及び下面と垂直な側面とを有する直方体のフォトマスク用のガラス基板において、上面及び下面と垂直な側面との交差する角部を円弧状に丸めた形状にしたことを特徴とするフォトマスク用のガラス基板である。

【０００９】

【作用】

図１は、前記検査装置において、ガラス基板を左から右に操作して、この時のガラス基板内で反射したレーザー光のガラス基板の左切断面付近の動きを説明する断面図である。

【００１０】本考案は、角部を丸めた切断面にしたことにより、例えば図１のように、右側斜め上方の光源から、ある角度（ｘ度）でガラス基板２に入射したレーザー光５は内部反射して、或いは内部反射を繰り返して、下部の丸め部１２に当たったレーザー光５は左斜め下方に抜けでて、垂直部１１に当たったレーザー光５は全反射するのでガラス基板２の垂直部１１の左側には行かず、上部の丸め部１０に当たったレーザー光５は左斜め上、Ａの地帯に抜け出る。従って、斜線部がレーザー光５が行かない地帯１３を作ることができる。

【００１１】このレーザー光５が行かない地帯に受光部を設置すれば、内部反射の影響はなくなり、表面の異物のみ検査できることになる。

【００１２】

【実施例】

フォトマスク用のガラス基板２として、正方形上面（一辺１２７ｍｍ）及び正方形下面と垂直な側面（側面の長さ２．３ｍｍ）を有する直方体の石英ガラス板を用意した。図２は、この石英ガラス板の正方形上面内に、正方形の一辺に平行な任意な線より下面に垂直に切断した断面図で、且つ断面図の左側のみ図示したものである。

【００１３】図２のように、上の角部１４より垂直な側面１１に向かって０．５ｍｍ，上の角部１４より上面の右に向かって０．５ｍｍの位置に中心点（ｏ）を置く曲率半径０．５ｍｍの円周の１／４の円弧を描くように上の角部１４に研磨して丸めて、上の丸め部１２を形成した。同様にして、下の角部１６を研磨して丸めて、同形状の下の丸め部１０を形成した。又垂直部１１を研磨した。

【００１４】この石英ガラス板の表面（予め異物がないことを確認してある）を、前記検査器で、右側から２０度の角度で直径０．５ｍｍのスポット状のレーザー光５を当てて、石英ガラス板を左から右へ操作して、検査したところ、石英ガラス板の水平面１８には受光を示す記録は現れなかった。即ち異物がなくても受光を示すことがないから水平面全面が使えることになる。

【００１５】更に、この石英ガラス板の丸め部を、図３のように、４５度に研磨して、前記異物検査器で、表面を検査したところ、端（垂直面）から幅１２〜１３ｍｍの間に、受光を示す記録は現れた。即ちこの部分は異物の有無が判断できない部分であり、使えない部分であった。

【００１６】

【考案の効果】

以上のように、光照射型表面異物検査装置において、ガラス基板の角を円弧状に丸めた形状にすることにより、ガラス基板の水平面全面が使えるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本考案のガラス基板の角部を丸めた左
切断面付近の断面図で、レーザー光のガラス基板の左切
断面付近の動きを説明する断面図である。

【図２】図２は、実施例における正方形上面及び正方形
下面と垂直な側面を有する直方体のガラス基板の正方形
上面内に、正方形の一辺に平行な任意な線より下面に垂
直に切断した断面図で、且つ断面図の左側のみ図示した
ものである。

【図３】図３は、従来の角を斜めに削って面取りしたガ
ラス基板の断面図である。

【図４】図４は、検査装置の原理を示す断面図である。

【符号の説明】

１…角２…検査体（ガラス基板）３…光源４…受光部５…レーザー光５Ａ…内部反射レーザー光５Ｂ…内部反射を繰り返したレーザー光６…通り道７…検査体の置かれた水平面８…ガラス基板の底面１０…上部の丸め部１１…垂直部１２…下部の丸め部１３…レーザー光が行かない地帯１４…上の角部１５…下の角部１６…水平面Ａ…レーザー光の上部の丸め部より抜け出た地帯ｏ…中心点

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】上面及び下面と垂直な側面とを有する直方
体のフォトマスク用のガラス基板において、上面及び下
面と垂直な側面との交差する角部を円弧状に丸めた形状
にしたことを特徴とするフォトマスク用のガラス基板。