JPH0676816U - ジャイロ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案はジャイロ装置に関し、特に、振子の
支持構造を改良して振子の振動量を大きくし、出力信号
のレベルを向上させることを特徴とする。 【構成】 本考案によるジャイロ装置は、振子(1)の一
端に形成された保持部(2)と、この保持部(2)を固定する
固定部(3)と、この振子(1)に隣接して固定された一対の
検出用電極(5,6)とを備え、この保持部(2)のねじれを介
して振子(1)が従来よりも大きくＸ，Ｙ方向に振動し、
従来よりも大きい出力信号を得ることができる構成であ
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ジャイロ装置に関し、特に、振子の支持構造を改良して振子の振動 量を大きくし、出力信号のレベルを向上させるための新規な改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、用いられていたこの種のジャイロ装置としては、ここでは図示を省略し ているが、例えば、実開平１−６１６１１号公報に開示された機械式の構成を挙 げることができる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来のジャイロ装置は、以上のように構成されていたため、次のような課題が 存在していた。 すなわち、従来のジャイロ装置の場合、モータにより回転する回転体に対して 角速度が印加された場合の回転体の変位をトリカーコイルにより電気的に検出す る構成であるため、構成が極めて複雑となり、コストダウンを達成し安価な製品 として量産することは不可能であった。

【０００４】 本考案は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、振子の 支持構造を改良して振子の振動量を大きくし、出力信号のレベルを向上させるよ うにしたジャイロ装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案によるジャイロ装置は、直線状の振子と、前記振子の一端に形成され前 記振子の長手方向と直交する保持部と、前記保持部の両端部に形成された固定部 と、前記振子の長手方向に沿う両面に形成された長手側面と、前記各長手側面に 隣接して基板に固定配設された検出用電極とを備え、前記保持部がねじれること により前記振子が振動するようにした構成である。

【０００６】

【作用】

本考案によるジャイロ装置においては、振子の保持部を固定部を介して固定す ることにより、この保持部のねじれを介して振子の振動を大きくすることができ 、この振子の従来よりも大きい振動により各検出用電極との相互作用による静電 容量の変化が大きくなり、従来よりも大きい出力信号を得ることができる。従っ て、前述の構成において、外部からの加振によって振子が第１方向（Ｙ）に振動 中に、入力角速度が入力方向（Ａ）に印加された場合、振子が第２方向（Ｘ）に 振動を生じ、この時の各検出用電極から検出される静電容量の差を検出すること によって入力角速度の大きさを検出することができる。

【０００７】

【実施例】

以下、図面と共に本考案によるジャイロ装置の好適な実施例について詳細に説 明する。 図１及び図２において、符号１で示されるものは、例えば、シリコンウェハか ら異方性エッチングにより得られた直線状の振子であり、この振子１の一端には 、この振子１の長手方向と直交する方向に一体形成され二軸方向にねじれる材料 からなる保持部２が設けられていると共に、この振子１と保持部２とにより全体 形状がＴ型に形成されている。

【０００８】 前記保持部２の両端部２ａ，２ｂには前記振子１と平行な方向に所定の長さを 有する一対の固定部３が設けられており、この各固定部３は基板４に接着等によ って固定されている。なお、この振子１は保持部２のねじれによって第１方向（ Ｙ）及び第２方向（Ｘ）に振動するように構成されている。

【０００９】 前記基板４上には、第１長手形状の、第２検出用電極５，６が前記振子１の長 手方向に沿う両面に形成された長手側面１ａ，１ｂに隣接してかつ平行な状態で 固定配設されており、この各電極５，６と振子１間には、第１静電容量Ｃ₁と第 ２静電容量Ｃ₂が形成するようにコンデンサが構成されている。

【００１０】 次に動作について述べる。まず、外部からの圧電振動子等（図示せず）により 振子１に加振を加えることにより振子１は第１方向（Ｙ）に沿って往復振動を開 始する。この状態で、外部から矢印Ａの入力方向に入力角速度ωが入力すると、 振子１はこの入力角速度ωにより第２方向（Ｘ）の振動を開始する。

【００１１】 この状態で、第１静電容量Ｃ₁と第２静電容量Ｃ₂の均衡が崩れ、各容量Ｃ₁， Ｃ₂間の容量差を図示しない検出回路で検出することにより、入力角速度ωの大 きさを検出することができる。なお、前述の場合、保持部２のねじれを介して振 子１が大きく振動するため、従来よりも大きいレベルの出力信号を得ることがで きる。

【００１２】

【考案の効果】

本考案によるジャイロ装置は、振子が保持部のねじれを介して従来よりも大き く振動するため、出力信号のレベルが従来よりも大きくなり、高感度のジャイロ 装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案によるジャイロ装置の要部を示す斜視図
である。

【図２】図１の動作を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 振子 １ａ，１ｂ 長手側面 ２ 保持部 ２ａ，２ｂ 両端部 ３ 固定部 ４ 基板 ５，６ 検出用電極

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 直線状の振子(1)と、前記振子(1)の一端
   に形成され前記振子(1)の長手方向と直交する保持部(2)
   と、前記保持部(2)の両端部(2a,2b)に形成された固定部
   (3)と、前記振子(1)の長手方向に沿う両面に形成された
   長手側面(1a,1b)と、前記各長手側面(1a,1b)に隣接して
   基板(4)に固定配設された検出用電極(5,6)とを備え、前
   記保持部(2)がねじれることにより前記振子(1)が振動す
   るように構成したことを特徴とするジャイロ装置。