JP2583796Y2 - ジャイロ装置 - Google Patents
ジャイロ装置Info
- Publication number
- JP2583796Y2 JP2583796Y2 JP1993024019U JP2401993U JP2583796Y2 JP 2583796 Y2 JP2583796 Y2 JP 2583796Y2 JP 1993024019 U JP1993024019 U JP 1993024019U JP 2401993 U JP2401993 U JP 2401993U JP 2583796 Y2 JP2583796 Y2 JP 2583796Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- electrode
- gyro device
- insulating substrate
- concave portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Gyroscopes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、ジャイロ装置に関し、
特に、振動子と電極間の静電容量の変化により入力角速
度を検出するための新規な改良に関する。
特に、振動子と電極間の静電容量の変化により入力角速
度を検出するための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種のジャイロ
装置としては、ここでは図示を省略しているが、例え
ば、実開平１−６１６１１号公報に開示された機械式の
構成を挙げることができる。
装置としては、ここでは図示を省略しているが、例え
ば、実開平１−６１６１１号公報に開示された機械式の
構成を挙げることができる。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】従来のジャイロ装置
は、以上のように構成されていたため、次のような課題
が存在していた。すなわち、従来のジャイロ装置の場
合、モータにより回転する回転体に対して角速度が印加
された場合の回転体の変位をトルカーコイルにより電気
的に検出する構成であるため、構成が極めて複雑とな
り、コストダウンを達成し安価な製品として量産するこ
とは不可能であった。
は、以上のように構成されていたため、次のような課題
が存在していた。すなわち、従来のジャイロ装置の場
合、モータにより回転する回転体に対して角速度が印加
された場合の回転体の変位をトルカーコイルにより電気
的に検出する構成であるため、構成が極めて複雑とな
り、コストダウンを達成し安価な製品として量産するこ
とは不可能であった。
【０００４】本考案は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、振動子と電極間の静電容量
の変化により入力角速度を検出するようにしたジャイロ
装置を提供することを目的とする。
めになされたもので、特に、振動子と電極間の静電容量
の変化により入力角速度を検出するようにしたジャイロ
装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案によるジャイロ装
置は、絶縁基板の凹部上にこの凹部をまたがる状態で設
けられた棒状の振動子と、前記振動子の両端間に接続さ
れた交流電圧源と、前記凹部に設けられ前記振動子と対
向する電極と、前記絶縁基板の裏面に設けられ絶縁電極
と対向する永久磁石とを備えた構成である。
置は、絶縁基板の凹部上にこの凹部をまたがる状態で設
けられた棒状の振動子と、前記振動子の両端間に接続さ
れた交流電圧源と、前記凹部に設けられ前記振動子と対
向する電極と、前記絶縁基板の裏面に設けられ絶縁電極
と対向する永久磁石とを備えた構成である。
【０００６】
【作用】本考案によるジャイロ装置においては、振動子
の両端間に交流電圧を印加することにより発生した電流
と磁界の相互作用により振動子は横方向（ｘ軸方向）に
振動する。ここで、ｚ軸回りの入力角速度の印加によ
り、コリオリの力が発生し、振動子はｙ軸方向の振動が
誘発される。このｙ軸方向の振動量を振動子と電極間の
静電容量の変化として入力角速度を検出する。
の両端間に交流電圧を印加することにより発生した電流
と磁界の相互作用により振動子は横方向（ｘ軸方向）に
振動する。ここで、ｚ軸回りの入力角速度の印加によ
り、コリオリの力が発生し、振動子はｙ軸方向の振動が
誘発される。このｙ軸方向の振動量を振動子と電極間の
静電容量の変化として入力角速度を検出する。
【０００７】
【実施例】以下、図面と共に本考案によるジャイロ装置
の好適な実施例について詳細に説明する。図１及び図２
において符号１で示されるものはガラス等からなる絶縁
基板であり、この絶縁基板１の表面１ａに形成された凹
部１ｂには長手形状の電極２が前記振動子３に対向して
蒸着等により形成されている。
の好適な実施例について詳細に説明する。図１及び図２
において符号１で示されるものはガラス等からなる絶縁
基板であり、この絶縁基板１の表面１ａに形成された凹
部１ｂには長手形状の電極２が前記振動子３に対向して
蒸着等により形成されている。
【０００８】前記絶縁基板１上には、前記凹部１ｂをま
たがる状態で棒状のシリコンからなる振動子３が固定し
て設けられており、この振動子３の両端３ａ，３ｂ間に
は交流電圧源４が接続されている。なお、この振動子３
は、シリコンウェハーを周知のシリコンマイクロマシニ
ング技術により加工したものである。
たがる状態で棒状のシリコンからなる振動子３が固定し
て設けられており、この振動子３の両端３ａ，３ｂ間に
は交流電圧源４が接続されている。なお、この振動子３
は、シリコンウェハーを周知のシリコンマイクロマシニ
ング技術により加工したものである。
【０００９】前記絶縁基板１の裏面１ｃには、前記振動
子３及び電極２に対向して永久磁石５が設けられてお
り、振動子３に対して磁界が作用するように構成されて
いる。
子３及び電極２に対向して永久磁石５が設けられてお
り、振動子３に対して磁界が作用するように構成されて
いる。
【００１０】前述の構成において、振動子３に対して交
流電圧を印加することにより、電流と磁界の相互作用に
より振動子３は横方向（ｘ軸方向）に振動する。この状
態で、ｚ軸回りの入力角速度の印加が発生した場合、コ
リオリの力が発生し、振動子３はｙ軸方向の振動が誘発
する。従って、この振動子３と電極２間の静電容量が変
化することにより、入力角速度を検出することができ
る。
流電圧を印加することにより、電流と磁界の相互作用に
より振動子３は横方向（ｘ軸方向）に振動する。この状
態で、ｚ軸回りの入力角速度の印加が発生した場合、コ
リオリの力が発生し、振動子３はｙ軸方向の振動が誘発
する。従って、この振動子３と電極２間の静電容量が変
化することにより、入力角速度を検出することができ
る。
【００１１】
【考案の効果】本考案によるジャイロ装置は、以上のよ
うに構成されているため、振動子を電流と磁界の相互作
用で振動させ、振動子と電極間の静電容量にて入力角速
度を検出することができ、小型で安価なジャイロを得る
ことができる。
うに構成されているため、振動子を電流と磁界の相互作
用で振動させ、振動子と電極間の静電容量にて入力角速
度を検出することができ、小型で安価なジャイロを得る
ことができる。
【図１】本考案によるジャイロ装置を示す構成図であ
る。
る。
【図２】図１のＡ−Ａ′線による断面図である。
１ 絶縁基板 １ｂ 凹部 ２ 電極 ３ 振動子 ３ａ，３ｂ 両端 ５ 永久磁石
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁基板(1)の凹部(1b)上にこの凹部(1
b)をまたがる状態で設けられた棒状の振動子(3)と、前
記振動子(3)の両端(3a,3b)間に接続された交流電圧源
(4)と、前記凹部(1b)に設けられ前記振動子(3)と対向す
る電極(2)と、前記絶縁基板(1)の裏面(1c)に設けられ前
記電極(2)と対向する永久磁石(5)とを備え、前記振動子
(3)と電極(2)間の静電容量の変化により角速度入力を検
出する構成としたことを特徴とするジャイロ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993024019U JP2583796Y2 (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | ジャイロ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993024019U JP2583796Y2 (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | ジャイロ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682514U JPH0682514U (ja) | 1994-11-25 |
| JP2583796Y2 true JP2583796Y2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=12126833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993024019U Expired - Lifetime JP2583796Y2 (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | ジャイロ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2583796Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-05-10 JP JP1993024019U patent/JP2583796Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682514U (ja) | 1994-11-25 |
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