JPH0675162A - ビーム走査装置 - Google Patents

ビーム走査装置

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JPH0675162A
JPH0675162A JP5121995A JP12199593A JPH0675162A JP H0675162 A JPH0675162 A JP H0675162A JP 5121995 A JP5121995 A JP 5121995A JP 12199593 A JP12199593 A JP 12199593A JP H0675162 A JPH0675162 A JP H0675162A
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隆史 鈴木
Yujiro Nomura
雄二郎 野村
Nozomi Inoue
望 井上
Tama Takada
球 高田
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 単一の回転光学系を用いて光ビームの走査を
可能にすること。 【構成】 半導体レーザ１から射出した光ビームを回転
レンズ鏡３に設けた入射面Ｓ1を介して反射面Ｓ2に導
き、ここで偏向させ射出面Ｓ3から射出させて結像面上
にスポットを走査させるようにしたもの。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザビームプリンタ等
に用いられるビーム走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザビームプリンタ等に用いられるビ
ーム走査装置は、半導体レーザ等の光源から射出し、コ
リメータレンズによって平行ビームとされた光ビームを
回転多面鏡で偏向走査し、結像レンズによって被走査面
上にビームスポットとして照射するように構成されてい
る。このように従来のビーム走査装置では、高価な結像
レンズや回転多面鏡を必要とする以外に、結像レンズの
直径が約１００ｍｍと大きく、また、回転多面鏡の大き
さも内接円半径が２０ｍｍ程度であるなど、装置が大型
にならざるを得ないといった問題を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
小型化と低価格化を同時に実現することのできる新たな
ビーム走査装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明はかか
る課題を達成するためのビーム走査装置として、ビーム
発生装置からのビームに対して連続的に角変位し得るよ
う回転駆動手段に駆動されて回転する光学素子に、反射
面と、少なくとも一方が収差補正を行ない得るよう形状
を定められた入射面と射出面とを設けるようにしたもの
である。
【０００５】
【作用】このように構成したことにより、単一の光学素
子それ自体を回転させつつその入射面から入射したビー
ムを反射面により偏向させて射出面より射出させ、この
間に収差補正をして結像面上にビームをスポットとして
走査させるように作用する。
【０００６】
【実施例】図１乃至図４は本発明のビーム走査装置の代
表的な実施例を示したものである。半導体レーザ１より
射出した光ビームはコリメータレンズ２によって平行な
光ビームとされ、さらにこの光ビームは光学素子として
の回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1に入射した後、反射面Ｓ2
で反射されて、射出面Ｓ3から射出する。
【０００７】この実施例における入射面Ｓ1と射出面Ｓ3
は、それぞれ凹面と凸面をなすように形成され、かつ走
査中心を走査する光ビームがそれらの面を垂直に通過す
るように設定され、また反射面Ｓ2は、走査中心を走査
する光ビームが４５゜の角度で反射面Ｓ2に入射するよ
うに設定されている。
【０００８】この回転レンズ鏡３はその回転軸Ｏが、反
射面Ｓ2に内包され、走査中心を走査する光ビームの反
射点を通るように構成され、またこの実施例における回
転レンズ鏡３の入射面Ｓ1の光軸および射出面Ｓ3の光軸
は、走査中心を走査する光ビームの光路に一致するよう
に構成されている。したがって、光ビームは回転レンズ
鏡３の回転に伴って偏向され、偏向された光ビームは被
走査面５上にスポットを形成する。なお、この実施例で
は、特に結像レンズ等を必要としないが、回転レンズ鏡
３と被走査面５との間に、結像レンズを補助的に設けて
もよく、そうすれば光学特性はさらに良好となり、また
結像レンズの枚数は多いほど光学特性が良くなる。
【０００９】図３は、回転レンズ鏡３の回転に伴って光
ビームが偏向される様子を示したもので、回転レンズ鏡
３は、反射面Ｓ2内の回転中心Ｏを中心に回転し、I、I
I、IIIのように変位する。入射光ビームＬは回転レンズ
鏡３の回転に伴い、入射面Ｓ1のそれぞれ異なる位置に
異なる入射角で入射するため、異なる屈折力を受けて偏
向される。この光ビームはさらに反射面Ｓ2で反射さ
れ、さらにその偏向角を大きくし、射出面Ｓ3を透過す
る際に回転レンズ鏡３の位置により異なる屈折力を受け
て、射出ビームＭ1、Ｍ2、Ｍ3のように偏向される。ま
た、入射面Ｓ1、射出面Ｓ3は曲面であるため、光ビーム
はこれらの面で発散作用、集束作用を受ける。
【００１０】この実施例のように、回転レンズ鏡３の入
射面Ｓ1が凹面、射出面Ｓ3が凸面として構成したことに
より、回転レンズ鏡３での収差補正効果はきわめて大き
なものとなる。その結果、回転レンズ鏡３と被走査面５
との間に特に結像レンズを設ける必要はなく、また結像
レンズを設けた場合でも、その結像レンズを小径に、か
つ低屈折率化させることができて、装置を極めて小型
に、かつ低価格なものとすることができる。
【００１１】ところで、通常レーザ光ビームプリンタ等
に用いられる光学系の場合、レーザ光ビームの径が小さ
いことから、光学系に現れる諸収差のうち、主に像面湾
曲、非点収差、歪曲特性の３つを考慮すればよく、特に
歪曲収差に関しては、回転多面鏡の等角速度運動を被走
査面上での結像スポットの等速運動に変換するため、い
わゆるｆθ特性と呼ばれる負の歪曲特性が与えられる。
【００１２】図４はこの実施例の光学系の主走査断面を
回転レンズ鏡３の反射面Ｓ2で展開して示したもので、
この図からもわかるように、この実施例の光学系は、従
来の光ビーム走査装置の光学系とは異なり、入射瞳Ｐよ
り手前に光学面（回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1）が存在
し、回転レンズ鏡３が光ビームＢの入射角度に応じて、
その角度の１／２だけ回転しているのと等価となってい
る。諸収差の除去においては、回転レンズ鏡３の入射面
Ｓ1が入射瞳Ｐより手前にあるため、入射面Ｓ1を凹面と
して負のパワーを持たせることにより、入射面Ｓ1が負
の歪曲収差の発生とペッツバール和を小さくすることの
両方の役割を同時に持たせることができる。また、この
回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1と射出面Ｓ3は画角につれて
画角の１／２だけ同じ方向に回転するため、結果的に半
分の画角しか入射せず、有効径が小さくなり、回転レン
ズ鏡３を極めて小さくすることができる。
【００１３】さらに、補助的に結像レンズを用いた場合
には、従来の光ビーム走査装置に対して結像レンズを小
径化することができるが、これを図５を用いて説明する
と、図５（ａ）に示した従来の光ビーム走査装置では、
負の歪曲収差を発生させるために正のパワーを持つ結像
レンズ４を入射瞳Ｐから大きく離す必要があって、必然
的に結像レンズ４の口径が大きくなり、また十分な負の
歪曲収差を発生させるために高屈折率になりがちであっ
た。
【００１４】これに対し、図５（ｂ）に示した本発明の
ものでは、回転レンズ鏡３と結像レンズ４とで負の歪曲
収差の発生量を負担し合うため、結像レンズ４での負の
歪曲収差の発生量は少なくてよく、その結果、結像レン
ズを入射瞳に近づけることができて、小径化が可能とな
り、また、結像レンズ４の負の歪曲収差の発生量を小さ
くできるということは、結像レンズ４の低屈折率化にも
つながる。さらに回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1で負の歪
曲を与えているために、結像レンズ４手前の光ビームが
さほど広角に振られないことも結像レンズ４の小径化に
効果がある。
【００１５】なお、これに使用する結像レンズとして
は、１枚の球面レンズで十分であり、また、結像レンズ
系全体の屈折力を正にすれば、等速走査性を得るための
負の歪曲収差を発生することになって、光ビーム走査装
置としての光学特性が良好となる。
【００１６】一方、回転レンズ鏡３の回転軸を反射面Ｓ
2に内包したことにより、回転レンズ鏡３をモータなど
の回転体に組み付ける際に、回転中心、反射面といった
基準位置が明確なため組み立てが容易となり、組み立て
精度も良好となる。また、回転レンズ鏡３の回転中心
が、走査中心を走査する光ビームの反射面上での反射点
と一致していると、光学系の面構成が走査中心に関し実
質的に対称になり、収差などの光学特性も対称となる。
従って、球面レンズで代表される軸対称な光学系だけで
収差特性などを補正することができる。
【００１７】また、この実施例では、１つの回転レンズ
鏡３を用いて、モータが１回転する毎に１回走査するよ
うに構成しているが、用いる回転レンズ鏡３は一つに限
る必要はなく、背中合わせに２個用いればモータの１回
転毎に２回の走査が可能となって、その走査速度をさら
に高めることができる。この場合、それぞれの回転レン
ズ鏡３の対称性がわずかでもずれると、走査する走査線
の位置がずれて走査むらを生じてしまうが、この実施例
では、回転中心が反射面Ｓ2上にあるため、それぞれの
反射面Ｓ2同士を密着させることによりこの問題を解消
することができる。
【００１８】図６は、入射面Ｓ1と射出面Ｓ3の成す角度
αを異ならせた３種類の回転レンズ鏡３１、３２、３３
を示したものである。角度αは被走査面５に至る光軸Ｍ
と光源からの射出光ビームの成す角度βに応じて設定さ
れるが、収差補正の観点から、入射面Ｓ1と射出面Ｓ2と
もに、走査中心を走査する光ビームがそれらの面を垂直
に通過するよう設定するのが望ましい。その場合、角度
αが広い方が必要な反射面Ｓ2の面積が小さくて済み、
また、回転レンズ鏡３１、３２、３３は高速で回転され
るので、風切り音の低減や風損の低減を図る上から頂点
を円弧状にするのが望ましい。さらに、複数個の回転レ
ンズ鏡３‥‥を回転対称に配置するには、図７に示した
ように、角度αは大きい方がより多数の回転レンズ鏡３
を配置することが可能となる。
【００１９】回転レンズ鏡３の材質については、入射面
Ｓ1と射出面Ｓ3が非球面形状でない場合は光学ガラス、
光学プラスチックのいずれでも良く、非球面形状の場合
は光学プラスチックが良い。反射面Ｓ2には、蒸着など
の製法によりアルミニウム薄膜などを形成させれば良い
が、角度βを大きくとって反射面Ｓ2への入射角を臨界
角以上にして全反射させることも可能であり、そうすれ
ば反射膜を設ける必要はない。
【００２０】次に、本発明の具体的な幾つかの実施例に
ついて、これらの構成を光学諸元、諸収差を含めて説明
する。いずれの実施例においても、一走査の走査開始か
ら走査終了までの回転レンズ鏡３の回転角を２ωとし、
各光学諸元の記号は、第ｉ面Ｓiの曲率半径をｒi、第ｉ
面から次の面までの軸上間隔をｄiとする。さらに、当
該面が非球面の場合には、次式で表される非球面係数を
Ｋi、Ａi、Ｂiとし、またトーリック面の場合には、回
転レンズ鏡３の回転軸に平行な方向、垂直な方向の曲率
半径をそれぞれｒxi、ｒyiとする。
【００２１】
【数２】 ただし、ｚiは光軸からの高さｈにおける非球面上の
点、非球面頂点の接平面からの距離であり、ｎ1、ｎ2は
いずれも回転レンズ鏡の屈折率である。光源、コリメー
タレンズ、結像レンズ、球面ミラーに関する光学諸元を
も示す実施例では、光源、コリメータレンズ入射面、射
出面、結像レンズ入射面、射出面、凹面ミラー反射面を
それぞれＳ0、Ｓa、Ｓb、Ｓc、Ｓd、Ｓeで表し、コリメ
ータレンズ、結像レンズの屈折率をｎa、ｎcで表す。な
お、特に断らない限り回転レンズ鏡の反射面は平面であ
る。
【００２２】収差図については、像面湾曲は破線が主走
査方向（被走査面をスポットが走査する方向）、実線が
副走査方向（主走査方向と直交する方向）の収差を表し
ている。走査直線性は、ｆθレンズの通例では理想像高
ｙ＝ｆθからの像高のずれを％で表すが、本発明では回
転レンズ鏡３の入射面Ｓ1と射出面Ｓ3とが回転するため
理想像高がｆθとならない。従って、等価な表示方法と
して、光軸近傍の光線について、回転レンズ鏡３の回転
角２ωに対する像高の変化率をζとして、理想像高Ｙ＝
ζθからのずれを％で表示している。諸収差が走査中心
に関して非対称な光学系については走査全幅に渡って収
差図を示した。なお設計波長は７８０ｎｍとしている。
【００２３】（実施例１）図８はこの実施例についての
主走査断面を示した図で、回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1
は凹面、射出面Ｓ3は凸面である。この回転レンズ鏡３
にはコリメータレンズ２により平行化された光ビームが
入射する。この実施例の代表的な設計例の光学諸元を以
下に示す。 ２ω＝２９．４゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −８．０１０ ｄ1＝ ２０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ ２０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝−１８．１９１ ｄ3＝２８０．０００ なお、第１面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋ1＝−０．５２０９５ Ａ1＝−３．３４６２４×１０-5 Ｂ1＝０ 図９はこの設計例の収差図である。像面湾曲が±３ｍｍ
以下、走査直線性が２％以下と良好に補正されている。
【００２４】（実施例２）図１０は本発明の第２の実施
例の主走査断面を示した図である。この実施例における
回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1は凹面、射出面Ｓ3は凸面
で、結像レンズ４を持つように構成したものであり、こ
の回転レンズ鏡３にはコリメータレンズ２により平行化
された光ビームが入射する。この実施例の代表的な設計
例の光学諸元を以下に示す。
【００２５】 ２ω＝４０．６゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２６．４５０ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −４４．５０８ ｄ3＝ １６．７４６ Ｓc ｒc＝−６７３．３４０ ｄc＝ ８．５６７ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −５２．６４６ ｄd＝１８５．７５２ 図１１はこの設計例の収差図で、結像レンズ４が設けら
れているため、実施例１に対してさらに収差補正は良好
である。
【００２６】（実施例３）図１２は本発明の第３の実施
例の主走査断面を示した図である。この回転レンズ鏡３
の入射面Ｓ1は凸面、射出面Ｓ3は凹面で、結像レンズ４
を持つように構成したものであり、回転レンズ鏡３には
コリメータレンズ２により平行化された光ビームが入射
する。コリメータレンズ２の焦点距離が同じ場合、コリ
メータレンズ２から射出された平行光ビームの径が大き
いほど半導体レーザ１から放射される光パワーの利用効
率は高い。この実施例のように、回転レンズ鏡３の入射
面Ｓ1が凸面、射出面Ｓ3が凹面であれば、回転レンズ鏡
３への入射光ビームは入射面Ｓ1で絞り込まれ、射出光
ビーム径に対し入射光ビーム径が大きく、光パワー効率
が高い光ビーム走査装置を実現することができる。この
実施例の代表的な設計例の光学諸元を以下に示す。
【００２７】 ２ω＝３６．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ ４１．３０８ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ ２６．８５６ ｄ3＝ ２１．２９９ Ｓc ｒc＝−１１６０．３２６ ｄc＝ １３．２２１ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −５２．３７５ ｄd＝１７５．４８１ 図１３はこの設計例の収差図である。
【００２８】（実施例４）図１４は本発明の第４の実施
例の主走査断面を示した図である。この回転レンズ鏡３
の入射面Ｓ1、射出面Ｓ3は共に凹面で、結像レンズ４を
持つように構成したものであり、回転レンズ鏡３にはコ
リメータレンズ２により平行化された光ビームが入射す
る。この実施例の代表的な設計例の光学諸元を以下に示
す。
【００２９】 ２ω＝４２．５゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −１５０．０００ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ １５０．０００ ｄ3＝ １８．９０３ Ｓc ｒc＝−１２０８．８１６ ｄc＝ １３．０２５ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４３．８２５ ｄd＝１７７．４３６ なお、第ｄ面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋd＝−０．３５７０１ Ａd＝０ Ｂd＝０ 図１５はこの設計例の収差図である。
【００３０】（実施例５）図１６は本発明の第５の実施
例の主走査断面を示した図である。この回転レンズ鏡３
の入射面Ｓ1は凹面、射出面Ｓ3は平面で、結像レンズ４
を持つように構成したものであり、回転レンズ鏡３には
コリメータレンズ２により平行化された光ビームが入射
する。この実施例のように、回転レンズ鏡３の入射面Ｓ
1、射出面Ｓ3の少なくとも一方を平面にすれば、回転レ
ンズ鏡３の製造が容易になりコストも低減する。さらに
１つの部品に光学曲面が２面存在すると、それらの面の
光軸の相対的な位置精度が問題となり、２本の光軸を一
致させることが厳しく要求されるが、回転レンズ鏡３の
入射面Ｓ1、射出面Ｓ3の少なくとも一方を平面とすれ
ば、そのような問題はなくなる。この実施例の代表的な
設計例の光学諸元を以下に示す。
【００３１】 ２ω＝４２．１゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −７９．８１６ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ ∞ ｄ3＝ １８．８４９ Ｓc ｒc＝−１３６０．４３４ ｄc＝ １２．４３０ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４６．２９１ ｄd＝１７８．６８０ なお、第ｄ面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋd＝−０．３６１４６ Ａd＝０ Ｂd＝０ 図１７はこの設計例の収差図である。
【００３２】（実施例６）図１８は本発明の第６の実施
例の主走査断面を示した図である。この回転レンズ鏡３
の入射面Ｓ1は平面、射出面Ｓ3は凹面で、結像レンズ４
を持つように構成したものであり、回転レンズ鏡３には
コリメータレンズ２により平行化された光ビームが入射
する。この実施例の代表的な設計例の光学諸元を以下に
示す。
【００３３】 ２ω＝４０．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ ∞ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −８２．９４７ ｄ3＝ ２２．１１３ Ｓc ｒc＝−１９９５．１５９ ｄc＝ ８．３４７ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４７．２０２ ｄd＝１７９．５４０ なお、第ｄ面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋd＝−０．３８０５２ Ａd＝０ Ｂd＝０ 図１９はこの設計例の収差図である。
【００３４】（実施例７）図２０は本発明の第７の実施
例の主走査断面を示した図である。この回転レンズ鏡３
の反射面Ｓ2は球面で、結像レンズ４を持つように構成
したものであり、回転レンズ鏡３にはコリメータレンズ
２により平行化された光ビームが入射する。この実施例
のように、回転レンズ鏡３の反射面Ｓ2を球面にすれ
ば、光学設計上の自由度は大きくなり、収差特性が良好
になる。特に、反射面Ｓ2に入射する光ビームは反射面
Ｓ2の法線に対して傾きを持っているため非点収差が生
じるが、それにより主走査方向の像面湾曲量の変動幅の
中央値と副走査方向のそれとをほぼ一致させることも可
能であり、像面湾曲の変動幅を小さく抑えることがで
き、結像特性が良好となる。また、光源である半導体レ
ーザ１で発生する非点隔差を、反射面Ｓ2で生じる非点
収差で補正することも可能である。この実施例の代表的
な設計例の光学諸元を以下に示す。
【００３５】 ２ω＝４１．２゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２８．４４９ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝−５０２７６．７０３ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −４８．９００ ｄ3＝ １２．５５５ Ｓc ｒc＝ −５０９．３０８ ｄc＝ １６．０９２ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −５１．２６２ ｄd＝１８１．３５３ 図２１はこの設計例の収差図で、先述したように、主走
査方向の像面湾曲量の変動幅の中央値と副走査方向のそ
れとがほぼ一致している。
【００３６】（実施例８）本発明の第８の実施例は、回
転レンズ鏡３の入射面Ｓ1が非球面形状で、結像レンズ
を持つように構成したものであり、回転レンズ鏡３には
コリメータレンズにより平行化された光ビームが入射す
る。この実施例のように、回転レンズ鏡３の入射面
Ｓ1、射出面Ｓ3の少なくとも一方を非球面形状にすると
収差補正は良好となり、光学特性が極めて良好な光ビー
ム走査装置が実現される。非球面化と低コスト化を両立
させるにはプラスチックレンズを用いるのが良く、特に
回転レンズ鏡３のプラスチック化は回転負荷を減らす効
果もあり望ましい。この実施例の代表的な設計例の光学
諸元を以下に示す。
【００３７】 ２ω＝４２．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２４．４８３ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５２３６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５２３６１ Ｓ3 ｒ3＝ −４１．４６１ ｄ3＝ １６．５４８ Ｓc ｒc＝−３９８．６５１ ｄc＝ １０．８１８ ｎc＝１．５２３６１ Ｓd ｒd＝ −５０．３３２ ｄd＝１８３．４４９ なお、回転レンズ鏡入射面の非球面係数は次の通りであ
る。 Ｋ1＝−０．９２３７３ Ａ1＝０ Ｂ1＝０ 図２２はこの設計例の収差図である。
【００３８】（実施例９）図２３は本発明の第９の実施
例を示したもので、同図（ａ）はその主走査断面を、同
図（ｂ）は副走査断面を示した図である。ただし、副走
査断面図は反射面Ｓ2に関して展開してある。この回転
レンズ鏡３の入射面Ｓ1、射出面Ｓ3はトーリック面で、
結像レンズ４を持つように構成したものであり、回転レ
ンズ鏡３にはコリメータレンズ２により平行化された光
ビームが入射する。この実施例のように、回転レンズ鏡
３の入射面Ｓ1、射出面Ｓ3の少なくとも一方をトーリッ
ク面とし、走査光学系をアナモフィックにすれば、主走
査方向と副走査方向とで独立に収差補正をすることがで
きるため、収差特性は極めて良好となる。また、アナモ
フィックな光学系であれば、光源である半導体レーザ１
の非点隔差を補正するように光学設計を行うことは容易
であり、また、軸対称な光学面のみで構成された走査光
学系のうち、ある一つの光学面のみを互いに直交する二
つの方向でわずかに曲率の異なるトーリック面とし、半
導体レーザ１の非点隔差を補正することも有効である。
この実施例の代表的な設計例の光学諸元を以下に示す。
【００３９】 ２ω＝４１．１゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒx1＝ −８０．７４３ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５２３６１ ｒy1＝ −２６．０３０ Ｓ2 ｒ2 ＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５２３６１ Ｓ3 ｒx3＝ ３５２．３２４ ｄ3＝ １０．０００ ｒy3＝ −６１．８３９ Ｓc ｒc ＝−２５６．５３３ ｄc＝ ８．０４４ ｎc＝１．５２３６１ Ｓd ｒd ＝ −３８．０４８ ｄd＝１９２．６５８ 図２４はこの設計例の収差図である。
【００４０】（実施例１０）本発明の第１０の実施例
は、回転レンズ鏡３の屈折率が変動しても、走査光学系
の焦点距離が変わらず、かつ像面位置が変動しないよう
に、回転レンズ鏡３の光学諸元を設定するようにしたも
ので、結像レンズを持ち、回転レンズ鏡３にはコリメー
タレンズにより平行化された光ビームが入射する。
【００４１】ここで、回転レンズ鏡３の屈折率が変動し
ても系全体の焦点距離に影響を及ぼさない条件を導びく
と、回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1、射出面Ｓ3の曲率半径
をそれぞれＲ1、Ｒ2、入射面Ｓ1と射出面Ｓ3との軸上間
隔をＤ、回転レンズ鏡３の屈折率をＮとした場合、回転
レンズ鏡３のパワーφは、
【００４２】
【数３】 であり、屈折率Ｎが変動しても、パワーφが変化しない
ためには、
【００４３】
【数４】 より、屈折率変動の影響を受けない条件は、
【００４４】
【数５】 となる。この式を満足すれば、温度変動等により回転レ
ンズ鏡３の屈折率が変動しても、系全体の焦点距離は変
わらず、焦点面が変動しない。従って、環境変動に対し
非常に安定して常に良好な光学特性を有する光ビーム走
査装置が実現される。特に、回転レンズ鏡３は通常の光
学レンズとは異なり特殊な形状をしているため、光学プ
ラスチックで成形により製造することは望ましいが、光
学プラスチックは温度変化による屈折率変動が大きいた
め、上式の条件をほぼ満足させるように設定することは
効果的である。
【００４５】この実施例の代表的な設計例の光学諸元を
以下に示す。 ２ω＝３９．４゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２１．７８０ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −３３．０２２ ｄ3＝ １６．９１０ Ｓc ｒc＝４２４２．６３７ ｄc＝ ７．７１９ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −６７．６６３ ｄd＝１８６．６３３ この設計例の場合、前式左辺は１．００００である。図
２５はこの設計例の収差図である。
【００４６】（実施例１１）図２６は本発明の第１１の
実施例の主走査断面を示した図である。この実施例で
は、回転レンズ鏡３の回転中心Ｏを反射面Ｓ2より内側
に設けたもので、結像レンズ４を持ち、回転レンズ鏡３
にはコリメータレンズ２により平行化された光ビームが
入射する。
【００４７】図２７（ａ）、（ｂ）は第１の実施例とこ
の実施例について、偏向走査される光ビームの回転レン
ズ鏡３内部での移動を示した比較図で、この図からも明
らかなように、第１の実施例においては、回転レンズ鏡
３は反射面Ｓ2内の点Ｏを中心に回転するので、光ビー
ム通過領域Ａは広く、入射面Ｓ1での有効径が大きく、
これにより走査領域に対応する回転レンズ鏡３の回転角
の大きさが制限される。これに対し、この実施例のよう
に回転中心Ｏを回転レンズ鏡３の内部、特に入射面Ｓ1
と反射面Ｓ2との中間付近の光軸上に設定すると、入射
面Ｓ1での有効径を小さくすることができ、射出面Ｓ3で
の有効径もさほど大きくはならない。有効径が小さけれ
ば、回転レンズ鏡３の回転角を大きくすることが可能と
なり、光路長が短く小型な光ビーム走査装置が実現さ
れ、また、有効径が小さいと、高い面精度を得ることが
容易となるという利点も生じる。
【００４８】この実施例の代表的な設計例の光学諸元を
以下に示す。 ２ω＝４１．４゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２１．２６７ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −３２．７８６ ｄ3＝ １９．０９１ Ｓc ｒc＝−２３１９．８３３ ｄc＝ ９．２９１ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −６２．５５０ ｄd＝１８２．７７８ なお、この設計例における回転レンズ鏡３の回転中心Ｏ
は、入射面Ｓ1から光軸に沿って被走査面へ向かって５
ｍｍの点に位置する。図２８はこの設計例の収差図であ
る。
【００４９】（実施例１２）図２９は本発明の第１２の
実施例の主走査断面を示した図である。この実施例は、
回転レンズ鏡３の回転中心Ｏを回転レンズ鏡３の外側に
位置させたもので、結像レンズ４を持ち、回転レンズ鏡
３にはコリメータレンズ２により平行化された光ビーム
が入射する。
【００５０】回転レンズ鏡３の回転中心Ｏが反射面Ｓ2
上あるいは回転レンズ鏡３の内部にある場合には、モー
タの回転軸を避けて回転レンズ鏡３を回転軸のさらに上
部に設置しなければならず、その部分の高さが高くなっ
てしまう。ところが、この実施例のように、回転レンズ
鏡３の回転中心Ｏが回転レンズ鏡３の外側で、走査中の
光ビームが通過しない位置にあれば、図３０に示したよ
うに、モータの回転軸６とは干渉しないのでその分高さ
を低くすることができる。走査光学系においては偏向器
の部分の高さが最も大きいため、この部分の高さを低く
することは装置の小型化に有利であり、また、図３１に
示したように、回転軸６を取り囲むようにして３つ以上
の回転レンズ鏡３‥‥を配置することも可能となって走
査速度の高速化に有利である。さらに、図７で説明した
ように、入射面Ｓ1の光軸と射出面Ｓ3の光軸とのなす角
を小さく、すなわち角αを大きくして複数個の回転レン
ズ鏡３を配置する場合にも有利である。この実施例の代
表的な設計例の光学諸元を以下に示す。
【００５１】 ２ω＝４０．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −３２．３７７ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −６２．６３８ ｄ3＝ １４．３７３ Ｓc ｒc＝−４１０．９１５ ｄc＝ ８．２８７ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４６．６４２ ｄd＝１８８．３７４ なお、この設計例における回転レンズ鏡３の回転中心Ｏ
は、反射面Ｓ2に関し入射面Ｓ1や射出面Ｓ3とは反対側
で、反射面Ｓ2の光軸中心から法線方向に４．２４３ｍ
ｍ離れた位置にある。図３２はこの設計例の収差図であ
る。
【００５２】（実施例１３）図３３は本発明の第１３の
実施例の主走査断面を示した図であり、特に走査中心を
走査する光ビームをも示したものである。この実施例
は、半導体レーザ１から射出されコリメータレンズ２を
通過した光ビームが平行光ではなく、やや発散した光ビ
ームを回転レンズ鏡３へ入射させるようにしたもので、
結像レンズ４を持つ。この実施例のように、回転レンズ
鏡３への入射光ビームは厳密に平行光ビームに限らなく
てもよい。また、そうすることにより設計上の自由度は
大きくなる。
【００５３】この実施例の代表的な設計例の光学諸元を
以下に示す。 ２ω＝５４．１゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ0 ｄ0＝ ５．９５５ Ｓa ｒa＝ ∞ ｄa＝ ２．０００ ｎa＝１．５１１１８ Ｓb ｒb＝ −４．０８９ ｄb＝ ３０．０００ Ｓ1 ｒ1＝ −１９．６６７ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −２４．１５７ ｄ3＝ １５．５５２ Ｓc ｒc＝−２３３．６１１ ｄc＝ １２．８３４ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４２．６２２ ｄd＝１４１．６１４ 図３４はこの設計例の収差図である。
【００５４】（実施例１４）図３５は本発明の第１４の
実施例の主走査断面を示した図で、特に走査中心を走査
する光ビームをも示したものである。上述した第１から
第１３の実施例においては、半導体レーザ１からの発散
光を平行もしくはそれに近い状態の光ビームに変換する
コリメータレンズ２を用いていた。これに対してこの実
施例は、コリメータレンズ２を使用することなく、半導
体レーザ１からの光ビームを回転レンズ鏡３に直接入射
させるようにしたもので、結像レンズ４を持つ。この実
施例によれば、図３６に示したように、光学部品の点数
を少なくして部品コストを安くすることができるばかり
でなく、組み立て、調整も容易になり、装置の小型化も
可能となる。この実施例の代表的な設計例の光学諸元を
以下に示す。
【００５５】 ２ω＝４０．２゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ0 ｄ0＝ ６．０００ Ｓ1 ｒ1＝ １６．４９３ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −１０．０９９ ｄ3＝ ２７．７４５ Ｓc ｒc＝１５７７９．２２０ ｄc＝ ８．６０６ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −７６．６９２ ｄd＝１５６．６１７ なお、第１面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋ1＝−１．１０８２０ Ａ1＝−１．６１５９６×１０-4 Ｂ1＝０ 図３７はこの設計例の収差図である。
【００５６】（実施例１５）図３８は本発明の第１５の
実施例を示したもので、同図（ａ）はその主走査断面
図、同図（ｂ）は反射面Ｓ2に関して展開した副走査断
面図である。この実施例は、等速走査性を考慮せず、像
面湾曲収差および非点収差のみを補正するようにしたも
ので、回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1、射出面Ｓ3はいずれ
もトーリック面をなし、回転レンズ鏡３にはコリメータ
レンズ２により平行化された光ビームが入射するように
構成されている。
【００５７】この実施例のように、等速走査性を考慮せ
ず、像面湾曲、非点収差のみを補正することも可能であ
り、そうすれば像面湾曲、非点収差の補正は極めて良好
となる。等速走査性は光源に与える変調信号のクロック
を適切に可変制御する等の方法を用いれば良い。この実
施例の代表的な設計例の光学諸元を以下に示す。
【００５８】 ２ω＝２２．９゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒx1＝ １９．７３２ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ ｒy1＝ ２９．９４３ Ｓ2 ｒ2 ＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒx3＝ １４．７３３ ｄ3＝２１１．２０７ ｒy3＝ ２９．５６７ 図３９はこの設計例の収差図である。ただし、等速走査
性を考慮していないので、走査直線性の収差図は省略し
てある。
【００５９】（実施例１６）図４０は本発明の第１６の
実施例の副走査断面を示した図で、図４１はこの実施例
の光ビーム走査装置の斜視図を示したものである。この
実施例は、回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1の光軸と射出面
Ｓ3の光軸との成す角を、主走査断面で０、すなわち図
６に示した角βが０で、副走査断面においてある角度を
持つように構成したものである。この実施例では、光ビ
ームは主走査断面において被走査面の走査中心から回転
レンズ鏡３の回転中心に向かう方向に入射し、副走査方
向にある角度を持って反射されつつ偏向される。回転レ
ンズ鏡３の反射面Ｓ2は球面である。回転レンズ鏡３に
はコリメータレンズ２により平行化された光ビームが入
射する。
【００６０】この実施例のように、回転レンズ鏡３の入
射面Ｓ1の光軸と射出面Ｓ3の光軸とを副走査断面である
角度を持たせたり、主走査断面で角度を０にするように
してもよい。
【００６１】ところで、第７の実施例において述べたよ
うに、反射面Ｓ2を球面にすれば、光学設計上の自由度
は大きくなり、光源である半導体レーザ１の非点隔差を
補正することも可能になるが、光学特性は走査中心に関
して非対称になってしまうため、球面レンズで代表され
る軸対称な光学系だけで収差特性などを完全に補正する
ことはできない。しかしながら、この実施例のように、
回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1の光軸と射出面Ｓ3の光軸と
が成す角度を主走査断面において０とし、光ビームを主
走査断面において被走査面の走査中心から回転レンズ鏡
３の回転中心に向かう方向に入射させるようにすれば、
反射面Ｓ2を球面にしても光学特性は走査中心に関して
対称となるため、軸対称な光学系だけで収差特性などを
補正することが可能である。
【００６２】また、第１の実施例に見られるように、回
転レンズ鏡３の入射面Ｓ1の光軸と射出面Ｓ3の光軸との
なす面が、偏向された光ビームにより形成される偏向面
と一致する場合、入射面Ｓ1の開口径の大きさは射出面
Ｓ3との位置関係により制限され、また図２７（ａ）で
説明したように、入射面Ｓ1の開口径の大きさにより、
走査領域に対応する回転レンズ鏡３の回転角の大きさが
制限される。しかしながら、この実施例では図４１に示
したように、入射面Ｓ1と射出面Ｓ3とが上下に逃げるた
め、開口径の大きさの制限を受けることがない。
【００６３】さらに、このものは、半導体レーザ１から
回転レンズ鏡３までの光学系を、回転レンズ鏡３により
偏向された光ビームが通過する領域に近接させることが
できるため、装置全体をコンパクトに構成することもで
きる。この実施例の代表的な設計例の光学諸元を以下に
示す。
【００６４】 ２ω＝３４．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −５．８５３ ｄ1＝ １５．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝１７６１６２．８１１ ｄ2＝ １５．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −１３．９６４ ｄ3＝２３５．０００ なお、第１面、第３面は非球面であり、非球面係数は次
の通りである。 Ｋ1＝−０．５０３９１ Ａ1＝ ５．９７７８１×１０-5 Ｂ1＝−１．５４２３３×１０-6 Ｋ3＝−０．５５６７６ Ａ3＝−１．０８３６３×１０-6 Ｂ3＝０ なお、副走査断面において、回転レンズ鏡３の入射面Ｓ
1の光軸と射出面Ｓ3の光軸とは３０゜の角度を成してい
る。図４２はこの設計例の収差図である。
【００６５】（実施例１７）図４３は本発明の第１７の
実施例の主走査断面を示した図で、図４４はこの実施例
の光ビーム走査装置の斜視図を示したものである。この
実施例は、回転レンズ鏡３からの射出光ビームを折り返
しミラー７の反射面Ｓeで反射させて、被走査面上に結
像するように構成されている。折り返しミラー７は凹面
鏡であり、走査中心の光ビームが１８０゜折り返される
ように設けられ、回転レンズ鏡３にはコリメータレンズ
２により平行化された光ビームが入射する。
【００６６】この実施例のように、レンズ以外にも球面
ミラーを用いて収差補正を行ってもよい。特に、レーザ
プリンタに用いられる光ビーム走査装置の場合には、光
ビームの向きを変えるために折り返しミラーがよく用い
られるが、折り返しミラーを球面にしてパワーを持たせ
れば、部品点数を増やすことなく諸収差を小さくするこ
とができる。この実施例の場合には、光軸上の光ビーム
が１８０゜折り返されるので、被走査面に光ビームを導
くためにはハーフミラー８を用いるなどすればよく、ま
た、折り返しミラーを副走査方向に傾けて、反射光ビー
ムを被走査面に導いてもよい。この実施例の代表的な設
計例の光学諸元を以下に示す。
【００６７】 ２ω＝４５．４゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −４６．１８５ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −３６．６４２ ｄ3＝１１０．０００ Ｓe ｒe＝−３５８．０５６ ｄe＝ ７３．０８８ 図４５はこの設計例の収差図である。
【００６８】上述した各実施例は回転レンズ鏡が等速回
転する場合についてのみ記したが、例えば回転軸を中心
に正弦振動を行うような場合についても容易に実現が可
能である。さらに、上記各実施例は特定波長について設
計したものであるが、わずかな変更で可視光域を含む各
波長域、例えば赤外線、紫外線、Ｘ線等の波長域の光ビ
ームに対しても同等の効果を得ることが可能である。
【００６９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
単一の光学素子に反射面および所定の収差補正を行うご
とく形状を定められた入射面と射出面とを設けたので、
光学素子それ自体により光ビームを偏向走査させること
が可能となって、高価な光学部品の点数を大幅に削減す
ることができるほか、結像レンズを補助的に使用する場
合でも、従来の光ビーム走査装置に対してレンズの口径
を小さくしたり、屈折率の低い安価な硝材を用いること
を可能となして、レーザプリンタ、デジタル複写機、フ
ァクシミリ、レーザ走査ディスプレイ等の画像形成装置
やスキャナ等の画像入力装置あるいは光学マーク読み取
り用レーザ走査装置、表面検査用レーザ走査装置に適用
されるこの種の光ビーム走査装置の小型化や低価格化を
実現させることができる。
【００７０】しかも、これらの光学系の組み立て調整に
当たっては、部品点数の少ない分作業性及び作業量を少
なくしてその大巾な効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の代表的な光ビーム走査装置について示
した概要構成図である。
【図２】同上装置の斜視図である。
【図３】回転レンズ鏡の回転に伴って光ビームが偏向さ
れる様子を示した図である。
【図４】回転レンズ鏡の反射面で展開した図である。
【図５】（ａ）（ｂ）は結像レンズの大きさに関する従
来の光ビーム走査装置と本発明の光ビーム走査装置との
比較図である。
【図６】回転レンズ鏡の各種形態を示した断面図であ
る。
【図７】回転レンズ鏡を多数個配置した場合の図であ
る。
【図８】実施例１の光学系について示した図である。
【図９】同上光学系の収差図である。
【図１０】実施例２の光学系を示した図である。
【図１１】同上光学系の収差図である。
【図１２】実施例３の光学系を示した図である。
【図１３】同上光学系の収差図である。
【図１４】実施例４の光学系を示した図である。
【図１５】同上光学系の収差図である。
【図１６】実施例５の光学系を示した図である。
【図１７】同上光学系の収差図である。
【図１８】実施例６の光学系を示した図である。
【図１９】同上光学系の収差図である。
【図２０】実施例７の光学系を示した図である。
【図２１】同上光学系の収差図である。
【図２２】実施例８の光学系についての収差図である。
【図２３】（ａ）（ｂ）は実施例９の光学系についてそ
の主走査断面と副走査断面を示した図である。
【図２４】同上光学系の収差図である。
【図２５】実施例１０の光学系についての収差図であ
る。
【図２６】実施例１１の光学系について示した図であ
る。
【図２７】（ａ）（ｂ）は回転レンズ鏡内でのビームの
移動について示した実施例１と実施例１１との比較図で
ある。
【図２８】同上光学系の収差図である。
【図２９】実施例１２の光学系について示した図であ
る。
【図３０】同上回転レンズ鏡の配置関係を示した斜視図
である。
【図３１】同上回転レンズ鏡の配置関係を示した図であ
る。
【図３２】同上光学系の収差図である。
【図３３】実施例１３の光学系について示した図。
【図３４】同上光学系の収差図である。
【図３５】実施例１４の光学系について示した図であ
る。
【図３６】同上光ビーム走査装置の斜視図である。
【図３７】同上光学系の収差図である。
【図３８】（ａ）（ｂ）は実施例１５の光学系について
の主走査断面と副走査断面を示した図である。
【図３９】同上光学系の収差図である。
【図４０】実施例１６の光学系について示した図であ
る。
【図４１】同上光ビーム走査装置の斜視図である。
【図４２】同上光学系の収差図である。
【図４３】実施例１７の光学系について示した図であ
る。
【図４４】同上光ビーム走査装置の斜視図である。
【図４５】同上光学系の収差図である。
【符号の説明】
１ 半導体レーザ ２ コリメータレンズ ３ 回転レンズ鏡 ５ 被走査面 Ｓ1 入射面 Ｓ2 反射面 Ｓ3 射出面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】図６（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ、入射
面Ｓ1と射出面Ｓ3の成す角度αを異ならせた３種類の回
転レンズ鏡３１、３２、３３を示したものである。角度
αは被走査面５に至る光軸Ｍと光源からの射出光ビーム
の成す角度βに応じて設定されるが、収差補正の観点か
ら、入射面Ｓ1と射出面Ｓ2ともに、走査中心を走査する
光ビームがそれらの面を垂直に通過するよう設定するの
が望ましい。その場合、角度αが広い方が必要な反射面
Ｓ2の面積が小さくて済み、また、回転レンズ鏡３１、
３２、３３は高速で回転されるので、風切り音の低減や
風損の低減を図る上から頂点を円弧状にするのが望まし
い。さらに、複数個の回転レンズ鏡３‥‥を回転対称に
配置するには、図７に示したように、角度αは大きい方
がより多数の回転レンズ鏡３を配置することが可能とな
る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】（実施例１）図８はこの実施例についての
主走査断面を示した図で、回転レンズ鏡３の入射面Ｓ1
は凹面、射出面Ｓ3は凸面である。この回転レンズ鏡３
にはコリメータレンズ２により平行化された光ビームが
入射する。この実施例の代表的な設計例の光学諸元を以
下に示す。 ２ω＝２９．４゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −８．０１０ ｄ1＝ ２０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ ２０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝−１８．１９１ ｄ3＝２８０．０００ なお、第１面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋ1＝−０．５２０９５ Ａ1＝−３．３４６２４×１０-5 Ｂ1＝０ 図９（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。像面湾曲が±３ｍｍ以下、走査直線性が２％以下と
良好に補正されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】 ２ω＝４０．６゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２６．４５０ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −４４．５０８ ｄ3＝ １６．７４６ Ｓc ｒc＝−６７３．３４０ ｄc＝ ８．５６７ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −５２．６４６ ｄd＝１８５．７５２ 図１１（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図で、
結像レンズ４が設けられているため、実施例１に対して
さらに収差補正は良好である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２７】 ２ω＝３６．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ ４１．３０８ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ ２６．８５６ ｄ3＝ ２１．２９９ Ｓc ｒc＝−１１６０．３２６ ｄc＝ １３．２２１ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −５２．３７５ ｄd＝１７５．４８１ 図１３（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２９】 ２ω＝４２．５゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −１５０．０００ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ １５０．０００ ｄ3＝ １８．９０３ Ｓc ｒc＝−１２０８．８１６ ｄc＝ １３．０２５ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４３．８２５ ｄd＝１７７．４３６ なお、第ｄ面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋd＝−０．３５７０１ Ａd＝０ Ｂd＝０ 図１５（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】 ２ω＝４２．１゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −７９．８１６ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ ∞ ｄ3＝ １８．８４９ Ｓc ｒc＝−１３６０．４３４ ｄc＝ １２．４３０ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４６．２９１ ｄd＝１７８．６８０ なお、第ｄ面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋd＝−０．３６１４６ Ａd＝０ Ｂd＝０ 図１７（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３３】 ２ω＝４０．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ ∞ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −８２．９４７ ｄ3＝ ２２．１１３ Ｓc ｒc＝−１９９５．１５９ ｄc＝ ８．３４７ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４７．２０２ ｄd＝１７９．５４０ なお、第ｄ面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋd＝−０．３８０５２ Ａd＝０ Ｂd＝０ 図１９（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３５】 ２ω＝４１．２゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２８．４４９ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝−５０２７６．７０３ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −４８．９００ ｄ3＝ １２．５５５ Ｓc ｒc＝ −５０９．３０８ ｄc＝ １６．０９２ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −５１．２６２ ｄd＝１８１．３５３ 図２１（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図で、
先述したように、主走査方向の像面湾曲量の変動幅の中
央値と副走査方向のそれとがほぼ一致している。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３７】 ２ω＝４２．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２４．４８３ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５２３６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５２３６１ Ｓ3 ｒ3＝ −４１．４６１ ｄ3＝ １６．５４８ Ｓc ｒc＝−３９８．６５１ ｄc＝ １０．８１８ ｎc＝１．５２３６１ Ｓd ｒd＝ −５０．３３２ ｄd＝１８３．４４９ なお、回転レンズ鏡入射面の非球面係数は次の通りであ
る。 Ｋ1＝−０．９２３７３ Ａ1＝０ Ｂ1＝０ 図２２（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３９】 ２ω＝４１．１゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒx1＝ −８０．７４３ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５２３６１ ｒy1＝ −２６．０３０ Ｓ2 ｒ2 ＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５２３６１ Ｓ3 ｒx3＝ ３５２．３２４ ｄ3＝ １０．０００ ｒy3＝ −６１．８３９ Ｓc ｒc ＝−２５６．５３３ ｄc＝ ８．０４４ ｎc＝１．５２３６１ Ｓd ｒd ＝ −３８．０４８ ｄd＝１９２．６５８ 図２４（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４５】この実施例の代表的な設計例の光学諸元を
以下に示す。 ２ω＝３９．４゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２１．７８０ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −３３．０２２ ｄ3＝ １６．９１０ Ｓc ｒc＝４２４２．６３７ ｄc＝ ７．７１９ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −６７．６６３ ｄd＝１８６．６３３ この設計例の場合、前式左辺は１．００００である。図
２５（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４８】この実施例の代表的な設計例の光学諸元を
以下に示す。 ２ω＝４１．４゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −２１．２６７ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −３２．７８６ ｄ3＝ １９．０９１ Ｓc ｒc＝−２３１９．８３３ ｄc＝ ９．２９１ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −６２．５５０ ｄd＝１８２．７７８ なお、この設計例における回転レンズ鏡３の回転中心Ｏ
は、入射面Ｓ1から光軸に沿って被走査面へ向かって５
ｍｍの点に位置する。図２８（ａ）（ｂ）はそれぞれこ
の設計例の収差図である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５１】 ２ω＝４０．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −３２．３７７ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −６２．６３８ ｄ3＝ １４．３７３ Ｓc ｒc＝−４１０．９１５ ｄc＝ ８．２８７ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４６．６４２ ｄd＝１８８．３７４ なお、この設計例における回転レンズ鏡３の回転中心Ｏ
は、反射面Ｓ2に関し入射面Ｓ1や射出面Ｓ3とは反対側
で、反射面Ｓ2の光軸中心から法線方向に４．２４３ｍ
ｍ離れた位置にある。図３２（ａ）（ｂ）はそれぞれこ
の設計例の収差図である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５３】この実施例の代表的な設計例の光学諸元を
以下に示す。 ２ω＝５４．１゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ0 ｄ0＝ ５．９５５ Ｓa ｒa＝ ∞ ｄa＝ ２．０００ ｎa＝１．５１１１８ Ｓb ｒb＝ −４．０８９ ｄb＝ ３０．０００ Ｓ1 ｒ1＝ −１９．６６７ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −２４．１５７ ｄ3＝ １５．５５２ Ｓc ｒc＝−２３３．６１１ ｄc＝ １２．８３４ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −４２．６２２ ｄd＝１４１．６１４ 図３４（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５５】 ２ω＝４０．２゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ0 ｄ0＝ ６．０００ Ｓ1 ｒ1＝ １６．４９３ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −１０．０９９ ｄ3＝ ２７．７４５ Ｓc ｒc＝１５７７９．２２０ ｄc＝ ８．６０６ ｎc＝１．５１１１８ Ｓd ｒd＝ −７６．６９２ ｄd＝１５６．６１７ なお、第１面は非球面であり、非球面係数は次の通りで
ある。 Ｋ1＝−１．１０８２０ Ａ1＝−１．６１５９６×１０-4 Ｂ1＝０ 図３７（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００６４】 ２ω＝３４．０゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −５．８５３ ｄ1＝ １５．０００ ｎ1＝１．４８２６１ Ｓ2 ｒ2＝１７６１６２．８１１ ｄ2＝ １５．０００ ｎ2＝１．４８２６１ Ｓ3 ｒ3＝ −１３．９６４ ｄ3＝２３５．０００ なお、第１面、第３面は非球面であり、非球面係数は次
の通りである。 Ｋ1＝−０．５０３９１ Ａ1＝ ５．９７７８１×１０-5 Ｂ1＝−１．５４２３３×１０-6 Ｋ3＝−０．５５６７６ Ａ3＝−１．０８３６３×１０-6 Ｂ3＝０ なお、副走査断面において、回転レンズ鏡３の入射面Ｓ
1の光軸と射出面Ｓ3の光軸とは３０゜の角度を成してい
る。図４２（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図
である。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００６７】 ２ω＝４５．４゜ 面 曲率半径 面間隔 屈折率 Ｓ1 ｒ1＝ −４６．１８５ ｄ1＝ １０．０００ ｎ1＝１．５１１１８ Ｓ2 ｒ2＝ ∞ ｄ2＝ １０．０００ ｎ2＝１．５１１１８ Ｓ3 ｒ3＝ −３６．６４２ ｄ3＝１１０．０００ Ｓe ｒe＝−３５８．０５６ ｄe＝ ７３．０８８ 図４５（ａ）（ｂ）はそれぞれこの設計例の収差図であ
る。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ回転レンズ鏡の
各種形態を示した断面図である。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図９】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図で
ある。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１１】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１３】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１５】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１７】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１９】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２１】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２２】（ａ）（ｂ）はそれぞれ実施例８の光学系に
ついての収差図である。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２４】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２５】（ａ）（ｂ）はそれぞれ実施例１０の光学系
についての収差図である。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２８】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図３２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３２】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図３４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３４】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図３７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３７】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図４２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４２】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図４５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４５】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上光学系の収差図
である。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図９】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１１】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１３】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１５】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１７】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１９】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２１】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２２】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２４】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２５】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２８】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３１】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３２】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３４】
【手続補正５１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３７】
【手続補正５２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４２】
【手続補正５３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４５】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高田 球 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ −エプソン株式会社内

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ビーム発生装置からのビームに対して連
    続的に角変位し得るよう回転駆動手段に駆動されて回転
    する光学素子に、反射面と、少なくとも一方が収差補正
    を行ない得るよう形状を定められた入射面と射出面とを
    設けたビーム走査装置。
  2. 【請求項２】 前記入射面を凹面、前記射出面を凸面と
    なしたことを特徴とする請求項１記載のビーム走査装
    置。
  3. 【請求項３】 前記入射面を凸面、前記射出面を凹面と
    なしたことを特徴とする請求項１記載のビーム走査装
    置。
  4. 【請求項４】 前記入射面、前記射出面のうち少なくと
    も一方を平面となしたことを特徴とする請求項１記載の
    ビーム走査装置。
  5. 【請求項５】 前記入射面、前記射出面のうち少なくと
    も一方を非球面となしたことを特徴とする請求項１記載
    のビーム走査装置。
  6. 【請求項６】 前記入射面、前記射出面のうち少なくと
    も一方をトーリック面となしたことを特徴とする請求項
    １記載のビーム走査装置。
  7. 【請求項７】 前記光学素子の屈折率をＮ、前記入射面
    の曲率半径をＲ1、前記射出面の曲率半径をＲ3、前記入
    射面と前記射出面との軸上面間隔をＤとしたとき、前記
    入射面の曲率半径と前記射出面の曲率半径との間に、概
    ね 【数１】 なる関係を満たすようにしたことを特徴とする請求項１
    記載のビーム走査装置。
  8. 【請求項８】 前記光学素子の回転軸を前記反射面に内
    包させたことを特徴とする請求項１記載のビーム走査装
    置。
  9. 【請求項９】 前記光学素子の回転軸を前記光学素子の
    内部に位置させたことを特徴とする請求項１記載のビー
    ム走査装置。
  10. 【請求項１０】 前記光学素子の回転軸を前記反射面に
    対して前記入射面および前記射出面の反対側に位置させ
    たことを特徴とする請求項１記載のビーム走査装置。
  11. 【請求項１１】 前記入射面の光軸と前記射出面の光軸
    とを副走査断面において異ならしめたことを特徴とする
    請求項１記載のビーム走査装置。
  12. 【請求項１２】 前記光学素子は像面湾曲収差および非
    点収差のみを修正するようにしたことを特徴とする請求
    項１記載のビーム走査装置。
  13. 【請求項１３】 前記光学素子により偏向されたビーム
    を結像面上に結像するための結像光学系を備えたことを
    特徴とする請求項１記載のビーム走査装置。
  14. 【請求項１４】 前記結像光学系が屈折力を有する反射
    鏡であることを特徴とする請求項１または１３記載のビ
    ーム走査装置。
  15. 【請求項１５】 前記結像光学系が単レンズであること
    を特徴とする請求項１または１３記載のビーム走査装
    置。
  16. 【請求項１６】 前記単レンズが正の屈折力を有するこ
    とを特徴とする請求項１、１３または１５記載のビーム
    走査装置。
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