JPH0671475A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
- Publication number
- JPH0671475A JPH0671475A JP4252034A JP25203492A JPH0671475A JP H0671475 A JPH0671475 A JP H0671475A JP 4252034 A JP4252034 A JP 4252034A JP 25203492 A JP25203492 A JP 25203492A JP H0671475 A JPH0671475 A JP H0671475A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- work
- workpiece
- nozzle
- air nozzles
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】加工テーブル３の上面に複数のエアノズル４を
全体的に配設するとともに、該エアノズルを適宜のブロ
ックエリアにグループ分けし、かつ被加工物に関する位
置情報に基づいて前記ブロックエリア単位でエアノズル
の吐出制御を行うことを特徴とする。 【効果】被加工物は薄膜状のエア層の介在により低摩擦
の移動が可能になる。また、従来のように加工テーブル
の表面上に突出した支持部分は存在しないので、その乗
り越え動作に基づく振動の発生が排除できるとともに、
その裏面に対する走行跡も解消できる。さらに、ブロッ
クエリア単位で必要なエアノズルのみ吐出するように制
御されるため、圧縮エアの無駄が削減される。
全体的に配設するとともに、該エアノズルを適宜のブロ
ックエリアにグループ分けし、かつ被加工物に関する位
置情報に基づいて前記ブロックエリア単位でエアノズル
の吐出制御を行うことを特徴とする。 【効果】被加工物は薄膜状のエア層の介在により低摩擦
の移動が可能になる。また、従来のように加工テーブル
の表面上に突出した支持部分は存在しないので、その乗
り越え動作に基づく振動の発生が排除できるとともに、
その裏面に対する走行跡も解消できる。さらに、ブロッ
クエリア単位で必要なエアノズルのみ吐出するように制
御されるため、圧縮エアの無駄が削減される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工装置に関
し、より詳しくはその加工テーブルにおける被加工物の
支持に関するものである。
し、より詳しくはその加工テーブルにおける被加工物の
支持に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ加工装置において、レーザ
ノズルに対する被加工物の位置を制御する場合には、レ
ーザノズル自体を移動したり、被加工物を保持した加工
テーブルを移動したり、被加工物自体を加工テーブルに
対して移動することにより行われている。本発明は、こ
のうち被加工物自体を加工テーブルに対して移動させる
場合の支持構造に関するものである。ところで、被加工
物を加工テーブルに対して移動する場合、従来から加工
テーブルの表面上にその一部を突出したフリーベアリン
グやローラによって被加工物を支持するとともに、その
被加工物をクランプ手段を介して移動させる手法が用い
られている（特開平４−４９８９号公報）。
ノズルに対する被加工物の位置を制御する場合には、レ
ーザノズル自体を移動したり、被加工物を保持した加工
テーブルを移動したり、被加工物自体を加工テーブルに
対して移動することにより行われている。本発明は、こ
のうち被加工物自体を加工テーブルに対して移動させる
場合の支持構造に関するものである。ところで、被加工
物を加工テーブルに対して移動する場合、従来から加工
テーブルの表面上にその一部を突出したフリーベアリン
グやローラによって被加工物を支持するとともに、その
被加工物をクランプ手段を介して移動させる手法が用い
られている（特開平４−４９８９号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来技術による場合には、被加工物の移動過程においてそ
の端辺部が前記フリーベアリングやローラを乗り越える
際に、その乗り越え動作に基づいて振動が生じ易く、延
いてはこの振動により切断面の面粗さ等の加工精度が低
下したり、他部へ衝撃を及ぼして種々のトラブルを発生
する原因となるといった問題があった。また、さらに被
加工物の裏面にはフリーベアリングやローラによる走行
跡が残ることがあるという問題も伴った。本発明は、こ
のような従来技術の問題点を解決し、前述の振動や走行
跡に関して改善するとともに、その運転コスト上の無駄
を削減したレーザ加工装置を提供することを目的とする
ものである。
来技術による場合には、被加工物の移動過程においてそ
の端辺部が前記フリーベアリングやローラを乗り越える
際に、その乗り越え動作に基づいて振動が生じ易く、延
いてはこの振動により切断面の面粗さ等の加工精度が低
下したり、他部へ衝撃を及ぼして種々のトラブルを発生
する原因となるといった問題があった。また、さらに被
加工物の裏面にはフリーベアリングやローラによる走行
跡が残ることがあるという問題も伴った。本発明は、こ
のような従来技術の問題点を解決し、前述の振動や走行
跡に関して改善するとともに、その運転コスト上の無駄
を削減したレーザ加工装置を提供することを目的とする
ものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、前記加工テーブルに複数のエアノズルを全
体的に配設するとともに、該エアノズルを適宜のブロッ
クエリアにグループ分けし、前記被加工物に関する位置
情報に基づいてそのブロックエリア単位でエアノズルの
吐出制御を行うことを特徴とする。
決するため、前記加工テーブルに複数のエアノズルを全
体的に配設するとともに、該エアノズルを適宜のブロッ
クエリアにグループ分けし、前記被加工物に関する位置
情報に基づいてそのブロックエリア単位でエアノズルの
吐出制御を行うことを特徴とする。
【０００５】
【作用】前記技術手段の採用により、被加工物は、前記
エアノズルから吐出されるエアによってその下面に形成
される薄膜状のエア層の介在により低摩擦の移動が可能
になる。また、従来のように加工テーブルの表面上に突
出した支持部分は存在しないので、前述の乗り越え動作
に基づく振動の発生が排除できるとともに、その裏面に
対する走行跡も解消できる。さらに、加工テーブルに配
設されたエアノズルは適宜のブロックエリアにグループ
分けされ、そのブロックエリア単位で必要なエアノズル
のみから吐出するように制御されるため、圧縮エアの無
駄を削減できる。
エアノズルから吐出されるエアによってその下面に形成
される薄膜状のエア層の介在により低摩擦の移動が可能
になる。また、従来のように加工テーブルの表面上に突
出した支持部分は存在しないので、前述の乗り越え動作
に基づく振動の発生が排除できるとともに、その裏面に
対する走行跡も解消できる。さらに、加工テーブルに配
設されたエアノズルは適宜のブロックエリアにグループ
分けされ、そのブロックエリア単位で必要なエアノズル
のみから吐出するように制御されるため、圧縮エアの無
駄を削減できる。
【０００６】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例に関して
説明する。図１は本発明の一実施例を示した概略斜視図
である。図中、１はレーザノズルで、フレーム２に沿っ
て前後方向、すなわちＹ方向に移動し得るように支持さ
れ、図示しない制御装置によりその加工条件に応じて位
置制御が行われるように構成されている。３は固定式の
加工テーブルで、上面には全体的に複数のエアノズル４
の吐出部が所定間隔で規則的に配設されており、適宜の
クランプ手段５により保持された図示しない被加工物が
左右方向、すなわちＸ方向に移動し得るように支持され
る。なお、このエアノズル４の吐出部の上端面は、図２
に示すように、加工テーブル３の上面と略一致するよう
に設置され、そのノズルボディは後述のように被加工物
検出用の近接センサの要素としても兼用される。さら
に、このエアノズル４は、図３に示すように、適宜のブ
ロックエリアにグループ分けされ、それぞれ電磁弁６を
介して圧縮エア源７に接続されている。この場合、その
具体的なグループ分けにおいては、被加工物の形状や加
工条件等に応じて分割の方向や分割数を適当に選定し
て、適宜のブロックエリアに画定すればよい。
説明する。図１は本発明の一実施例を示した概略斜視図
である。図中、１はレーザノズルで、フレーム２に沿っ
て前後方向、すなわちＹ方向に移動し得るように支持さ
れ、図示しない制御装置によりその加工条件に応じて位
置制御が行われるように構成されている。３は固定式の
加工テーブルで、上面には全体的に複数のエアノズル４
の吐出部が所定間隔で規則的に配設されており、適宜の
クランプ手段５により保持された図示しない被加工物が
左右方向、すなわちＸ方向に移動し得るように支持され
る。なお、このエアノズル４の吐出部の上端面は、図２
に示すように、加工テーブル３の上面と略一致するよう
に設置され、そのノズルボディは後述のように被加工物
検出用の近接センサの要素としても兼用される。さら
に、このエアノズル４は、図３に示すように、適宜のブ
ロックエリアにグループ分けされ、それぞれ電磁弁６を
介して圧縮エア源７に接続されている。この場合、その
具体的なグループ分けにおいては、被加工物の形状や加
工条件等に応じて分割の方向や分割数を適当に選定し
て、適宜のブロックエリアに画定すればよい。
【０００７】しかして、加工の実行においては、ＮＣ制
御等によりレーザノズル１をＹ方向に駆動制御すると同
時に被加工物をクランプ手段５を介してＸ方向に駆動制
御することにより、レーザノズル１と被加工物との位置
関係を制御しながら、逐次、所定の加工が遂行されるこ
とになる。その場合、被加工物は前記加工テーブル３上
を摺動することにより位置を移動することになるが、本
発明においては、前述のように、各エアノズル４からの
エアの供給によって摩擦の軽減を図っている。すなわ
ち、各エアノズル４から吐出されるエアによって被加工
物の下面に薄膜状のエア層を局部的あるいは全面的に形
成し、この加工テーブル３と被加工物間に形成される薄
膜状のエア層の介在によって摩擦抵抗の軽減を図ってい
る。なお、この場合、前記加工テーブル３の上面に前記
エア用の排気溝等を適宜形成することができる。また、
各エアノズル４からのエアの吐出制御は、被加工物に関
する位置情報に基づき、被加工物の位置するブロックエ
リアに属するエアノズル４のみエアを吐出するように、
各ブロックエリアに接続された各電磁弁６を制御するこ
とにより行われる。その被加工物に関する位置情報は、
制御用のコンピュータにより被加工物の形状や現在の加
工位置から演算させたり、前記エアノズル４自体を被加
工物との組合せからなる非接触の近接センサとして構成
することにより得ることができる。さらに、前記制御用
のコンピュータに被加工物の材質や板厚、面積等の関係
情報を入力しておき、これに基づいて最適値を演算して
エアノズル４からの吐出エアに関する圧力ないし流量制
御を行うように構成すれば良好な被加工物の移動状態が
自動的に得られる。
御等によりレーザノズル１をＹ方向に駆動制御すると同
時に被加工物をクランプ手段５を介してＸ方向に駆動制
御することにより、レーザノズル１と被加工物との位置
関係を制御しながら、逐次、所定の加工が遂行されるこ
とになる。その場合、被加工物は前記加工テーブル３上
を摺動することにより位置を移動することになるが、本
発明においては、前述のように、各エアノズル４からの
エアの供給によって摩擦の軽減を図っている。すなわ
ち、各エアノズル４から吐出されるエアによって被加工
物の下面に薄膜状のエア層を局部的あるいは全面的に形
成し、この加工テーブル３と被加工物間に形成される薄
膜状のエア層の介在によって摩擦抵抗の軽減を図ってい
る。なお、この場合、前記加工テーブル３の上面に前記
エア用の排気溝等を適宜形成することができる。また、
各エアノズル４からのエアの吐出制御は、被加工物に関
する位置情報に基づき、被加工物の位置するブロックエ
リアに属するエアノズル４のみエアを吐出するように、
各ブロックエリアに接続された各電磁弁６を制御するこ
とにより行われる。その被加工物に関する位置情報は、
制御用のコンピュータにより被加工物の形状や現在の加
工位置から演算させたり、前記エアノズル４自体を被加
工物との組合せからなる非接触の近接センサとして構成
することにより得ることができる。さらに、前記制御用
のコンピュータに被加工物の材質や板厚、面積等の関係
情報を入力しておき、これに基づいて最適値を演算して
エアノズル４からの吐出エアに関する圧力ないし流量制
御を行うように構成すれば良好な被加工物の移動状態が
自動的に得られる。
【０００８】
【発明の効果】本発明は、以上の構成に基づいて次の効
果を得ることができる。 （１）被加工物は、その下面に形成される薄膜状のエア
層の介在により低摩擦の移動が可能になる。 （２）加工テーブルの表面上に突出した支持部分は存在
しないので、従来のような乗り越え動作に基づく振動の
発生は排除できるので、その振動に基づいて発生した切
断面の面粗さ等の加工精度の低下や、他部への衝撃によ
るトラブルは解消できる。 （３）被加工物の裏面に走行跡が残ることはない。 （４）加工テーブルに配設されたエアノズルは適宜のブ
ロックエリアにグループ分けされ、そのブロックエリア
単位で必要なエアノズルのみ吐出するように制御される
ので、圧縮エアの無駄が防げ、運転コストの削減が図れ
る。
果を得ることができる。 （１）被加工物は、その下面に形成される薄膜状のエア
層の介在により低摩擦の移動が可能になる。 （２）加工テーブルの表面上に突出した支持部分は存在
しないので、従来のような乗り越え動作に基づく振動の
発生は排除できるので、その振動に基づいて発生した切
断面の面粗さ等の加工精度の低下や、他部への衝撃によ
るトラブルは解消できる。 （３）被加工物の裏面に走行跡が残ることはない。 （４）加工テーブルに配設されたエアノズルは適宜のブ
ロックエリアにグループ分けされ、そのブロックエリア
単位で必要なエアノズルのみ吐出するように制御される
ので、圧縮エアの無駄が防げ、運転コストの削減が図れ
る。
【図１】 本発明の実施例に係る装置全体の概略斜視図
である。
である。
【図２】 同実施例におけるエアノズル部を示した拡大
縦断面図である。
縦断面図である。
【図３】 同実施例におけるエア供給に関する概略説明
図である。
図である。
１‥‥レーザノズル ２‥‥フレーム ３‥‥
加工テーブル ４‥‥エアノズル ５‥‥クランプ手段 ６‥‥
電磁弁 ７‥‥圧縮エア源
加工テーブル ４‥‥エアノズル ５‥‥クランプ手段 ６‥‥
電磁弁 ７‥‥圧縮エア源
Claims (1)
- 【請求項１】 被加工物を加工テーブル上に移動自在に
支持するとともに、該被加工物をクランプ手段により保
持して左右方向に移動させることによりレーザノズルに
対する位置関係を制御しながら加工を行うレーザ加工装
置において、前記加工テーブルに複数のエアノズルを全
体的に配設するとともに、該エアノズルを適宜のブロッ
クエリアにグループ分けし、かつ前記被加工物に関する
位置情報に基づいて該ブロックエリア単位でエアノズル
の吐出制御を行うことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4252034A JPH0671475A (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4252034A JPH0671475A (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0671475A true JPH0671475A (ja) | 1994-03-15 |
Family
ID=17231661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4252034A Pending JPH0671475A (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0671475A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10277772A (ja) * | 1997-04-02 | 1998-10-20 | Sharp Corp | 基板ビーム加工装置 |
| EP1880790A1 (de) * | 2006-07-17 | 2008-01-23 | Manz Automation AG | Anlage zur Strukturierung von Solarmodulen |
| WO2008084642A1 (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-17 | Panasonic Corporation | レーザ加工装置及びそれを用いたレーザ加工方法 |
| WO2009001497A1 (ja) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | Panasonic Corporation | レーザ加工装置 |
| WO2009155717A2 (de) * | 2008-06-25 | 2009-12-30 | Schneeberger Holding Ag | Vorrichtung zur strukturierung eines solarmoduls |
-
1992
- 1992-08-27 JP JP4252034A patent/JPH0671475A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10277772A (ja) * | 1997-04-02 | 1998-10-20 | Sharp Corp | 基板ビーム加工装置 |
| EP1880790A1 (de) * | 2006-07-17 | 2008-01-23 | Manz Automation AG | Anlage zur Strukturierung von Solarmodulen |
| WO2008084642A1 (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-17 | Panasonic Corporation | レーザ加工装置及びそれを用いたレーザ加工方法 |
| KR100989255B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2010-10-20 | 파나소닉 주식회사 | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 |
| JP4737290B2 (ja) * | 2006-12-22 | 2011-07-27 | パナソニック株式会社 | レーザ加工装置及びそれを用いたレーザ加工方法 |
| US9421638B2 (en) | 2006-12-22 | 2016-08-23 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser processing apparatus and laser processing method using the same technical field |
| WO2009001497A1 (ja) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | Panasonic Corporation | レーザ加工装置 |
| JPWO2009001497A1 (ja) * | 2007-06-28 | 2010-08-26 | パナソニック株式会社 | レーザ加工装置 |
| WO2009155717A2 (de) * | 2008-06-25 | 2009-12-30 | Schneeberger Holding Ag | Vorrichtung zur strukturierung eines solarmoduls |
| EP2139049A1 (de) * | 2008-06-25 | 2009-12-30 | Schneeberger Holding AG | Vorrichtung zur Strukturierung eines Solarmoduls |
| WO2009155717A3 (de) * | 2008-06-25 | 2010-04-22 | Atec Holding Ag | Vorrichtung zur strukturierung eines solarmoduls |
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