JPH0670829U - 薬液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薬液タンクの出入れ作業を向上できる薬液供
給装置を供給する。 【構成】 タンク収納部４の開口部10，11を閉塞可能な
開閉扉17を分割開閉扉18，19のように上下に分割する。
分割開閉扉18，19を中間ヒンジ22により回動自在に連結
する。分割開閉扉18は上ヒンジ21により機枠１の水平部
13に連結する。 【効果】 薬液タンク２の出入れ時には開閉扉17を上方
に配設することができる。薬液タンク２の出入れ時に
は、垂直開口部10が全面的に開口できる。垂直開口部10
の前方が開閉扉17によって邪魔されることはない。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体レジスト塗布装置などの半導体製造装置に薬液を供給するた めなどに使用される薬液供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種のものは機枠の下部前面側に観音扉式、左右折畳み式、或いは引 き戸式の開閉扉を設けると共に、前記開閉扉の後方には薬液タンクを収納するタ ンク収納部を設け、そして前記機枠内に設けられたポンプ装置の吸込み口をパイ プを介して前記薬液タンクに接続して、前記薬液タンクの薬液を前記ポンプ装置 の吐出口から半導体製造装置に供給するものであった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来技術においては、薬液タンクをタンク収納部に収納する場合や、空に なった薬液タンクをタンク収納部から取出す場合に、開閉扉を開かなければなら ない。しかしながら前記開閉扉が観音扉式、左右折畳み式である場合には、開閉 扉が前方に飛び出すために、薬液タンクの出入れ作業時には開閉扉が邪魔になり 作業性が劣る問題がある。また前記開閉扉が引き戸式である場合には、開口面積 が小さいために、薬液タンクの出入れ作業の場合にはやはり作業性が劣るという 問題がある。

【０００４】 本考案は、前記問題を解決して薬液タンクの出入れ作業を向上できる薬液供給 装置を供給することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、機枠の下部に配設された開口部に開閉扉を設けると共に、前記開閉 扉の後方に薬液タンクを収納するタンク収納部を設けた薬液供給装置において、 前記開閉扉を上下に複数分割すると共にこれら分割開閉扉を中間ヒンジにより各 々連結し、かつ上部の分割開閉扉は上ヒンジにより前記機枠に連結した薬液供給 装置である。

【０００６】

【作用】

前記構成によって、薬液タンクの出入れ時には分割開閉扉を開口部の上方に配 置することによって、前記開口部自体を大きくできると共に、開口部の前方を広 くして作業性を向上することができる。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の第１実施例を図１乃至図３を参照して説明する。合成樹脂製の 機枠１は略箱形であって、一側及び他側下部には複数の薬液タンク２，３を収納 する第１及び第２のタンク収納部４，５が設けられている。また前記機枠１の上 部にはポンプ装置６を収納したポンプ室７が設けられていると共に、前記ポンプ 室７の他側には前面に操作パネル８を設けた制御装置９が設けられている。前記 第１及び第２のタンク収納部４，５の前面下部には各々垂直開口部10，10Ａが形 成され、この垂直開口部10，10Ａに連設して前面上部には上方に向かって後方に 斜設する斜面開口部11，11Ａが形成されている。そして前記垂直開口部10，10Ａ 、前記斜面開口部11，11Ａを通して前記薬液タンク２，３を出入れできるように なっている。また前記ポンプ室７の前面には垂直開口部12が形成されていると共 に、前記垂直開口部12及び前記制御装置９は前記斜面開口部11の上端より水平部 13を介してやや後退して設けられている。

【０００８】 さらに前記第１及び第２のタンク収納部４，５の底部にはロ−ラ４Ａが後方へ 向けて下がるように配設されいる。また前記ポンプ装置６の複数の吸込み口14に はパイプ14Ａが各々接続され、このパイプ14は前記薬液タンク２，３内に挿入さ れて接続されている。そして、薬液は前記ポンプ装置６の吐出口15から薬液排液 路16を通って、半導体製造装置（図示せず）に供給できるようになっている。

【０００９】 前記第１のタンク収納部４の前面に配設される開閉扉17は、前記斜面開口部11 に配設され、該斜面開口部11を閉塞可能な上部の分割開閉扉18と、前記垂直開口 部10に配設され、該垂直開口部10を閉塞可能な下部の分割開閉扉19からなる。尚 、前記分割開閉扉18，19は透明な合成樹脂或いはガラスによって形成されており 、また前記分割開閉扉19には左右一対の取手20が形成されている。そして前記分 割開閉扉18はその上端を左右一対の上ヒンジ21により前記水平部13の先端に回動 自在に連結され、また前記分割開閉扉18の下縁と前記分割開閉扉19の上縁は、左 右一対の中間ヒンジ22によって回動自在に連結されている。尚、前記上ヒンジ21 、中間ヒンジ22は薬液にさらされても変形しないように、耐薬性の合成樹脂によ り成形されたり或いは合成樹脂により被覆されている。さらに前記垂直開口部10 Ａ、斜面開口部11Ａにも上ヒンジ23と中間ヒンジ24を有する分割開閉扉25と取手 26を有する分割開閉扉27が設けられている。また前記垂直開口部12には透明な合 成樹脂或いはガラス製の引き戸28が設けられている。

【００１０】 次に前記構成についてその作用を説明する。薬液タンク２を第１のタンク収納 部４に出入れする場合には、まず取手20に手を掛けて分割開閉扉19を引上げると 、図２に示すように分割開閉扉18と分割開閉扉19が中間ヒンジ22を介して折曲が りながら上ヒンジ21を回転中心として上方へ回動する。さらに引上げると図１に 示すように分割開閉扉18が引き戸28に寄掛かって、垂直開口部10、斜面開口部11 が開口状態となる。この状態で開閉扉17により邪魔されることなく、薬液タンク ２を出入れすることができる。一方、閉じる場合には前記取手20に手を掛けて分 割開閉扉18，19を下方に戻すことによって閉じることができる。同様に薬液タン ク３を第２のタンク収納部５に出入れする場合には、取手26に手を掛けて持上げ ると、分割開閉扉25，26が折畳み状態となって、垂直開口部10Ａ、斜面開口部11 Ａを開口することができる。

【００１１】 以上のように、前記実施例においては第１のタンク収納部４の垂直開口部10と 斜面開口部11を閉塞可能な開閉扉17を分割開閉扉18，19のように上下に分割し、 これら分割開閉扉18，19を中間ヒンジ22により回動自在に連結すると共に、分割 開閉扉18は上ヒンジ21により前記機枠１の水平部13に連結したことによって、薬 液タンク２の出入れ時には開閉扉17を上方に配設することができる。したがって 、薬液タンク２の出入れ時には、前記垂直開口部10、斜面開口部11が全面的に開 口し、さらに前記垂直開口部10、斜面開口部11の前方が前記開閉扉17によって邪 魔されることはなく、作業性を向上することができる。

【００１２】 さらに前記分割開閉扉18の上縁は上ヒンジ21を介して水平部13の先端側に連結 されるために、前記分割開閉扉18，19を折畳んで上方に配設した際に、該分割開 閉扉18，19が引き戸28側に寄掛かることができ、そのままの状態で薬液タンク２ の出入れを行うことができる。

【００１３】 図４は本考案の第２実施例を示しており、前記第１実施例と同一部分には同一 符号を付し、その詳細な説明を省略する。第２実施例ではタンク収納部31のほぼ 垂直な垂直開口部32とポンプ室７の垂直開口部12がほぼ同一面の場合を示してい る。そして機枠１の天板33の前縁には、上方に配設された折畳み状態の分割開閉 扉18，19を係止できるように鉤形のストッパ−34が回動自在に設けられている。 したがって、折畳み状態で上方に回動した分割開閉扉18，19をストッパ−34に より係止して倒れないように保持し、そして薬液タンク２を出入れするものであ る。このように、ストッパ−34により分割開閉扉18，19を固定することによって 、前記垂直開口部32の前方が前記分割開閉扉18，19によって邪魔されることはな く、作業性を向上することができる。

【００１４】 尚、本考案は前記実施例に限定されるものではなく、例えば第２実施例におけ るストッパ−は鉤形ではなく、磁気形のものを利用するなど種々の変形が可能で ある。

【００１５】

【考案の効果】

本考案は、機枠の下部に配設された開口部に開閉扉を設けると共に、前記開閉 扉の後方に薬液タンクを収納するタンク収納部を設けた薬液供給装置において、 前記開閉扉を上下に複数分割すると共にこれら分割開閉扉を中間ヒンジにより各 々連結し、かつ上部の分割開閉扉は上ヒンジにより前記機枠に連結したことによ って、薬液タンクの出入れの際には前記開閉扉を折畳んだ状態で機枠の上部に配 設でき、前記開口部自体を大きくできると共に開口部の前方を広くして作業性を 向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１実施例を示す一部切欠き斜視図で
ある。

【図２】本考案の第１実施例を示す断面図である。

【図３】本考案の第１実施例を示す正面図である。

【図４】本考案の第２実施例を示す一部切欠き斜視図で
ある。

【符号の説明】

１ 機枠 ２ 薬液タンク ４ タンク収納部 ６ ポンプ装置 １０ 垂直開口部 １１ 斜面開口部 １４ 吸込み口 １４Ａ パイプ １５ 吐出口 １６ 薬液排液路 １７ 開閉扉 １８ １９ 分割開閉扉 ２１ 上ヒンジ ２２ 中間ヒンジ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 機枠の下部に配設された開口部に開閉扉
   を設けると共に、前記開閉扉の後方に薬液タンクを収納
   するタンク収納部を設け薬液供給装置において、前記開
   閉扉を上下に複数分割すると共にこれら分割開閉扉を中
   間ヒンジにより各々連結し、かつ上部の分割開閉扉は上
   ヒンジにより前記機枠に連結したことを特徴とする薬液
   供給装置。