JPH0668012B2 - 封止用組成物及び前記組成物を用いた電子装置 - Google Patents

封止用組成物及び前記組成物を用いた電子装置

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JPH0668012B2
JPH0668012B2 JP63190769A JP19076988A JPH0668012B2 JP H0668012 B2 JPH0668012 B2 JP H0668012B2 JP 63190769 A JP63190769 A JP 63190769A JP 19076988 A JP19076988 A JP 19076988A JP H0668012 B2 JPH0668012 B2 JP H0668012B2
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Description

【発明の詳細な説明】 イ.産業上の利用分野 本発明は電子装置を封止(エンカプシュレーション)す
るのに適した組成物及びその用法に関する。本発明の封
止用組成物は反応射出成形に適している。また、本発明
の封止用組成物はエポキシ系高分子を基にしている。
ロ.背景技術 集積回路モジュールあるいは微細電子装置は一般にプラ
スチック組成物中に封止されあるいはシールされてい
る。微細電子装置はエポキシ系高分子組成物を用いたト
ランスファ成形により封止されることが多い。しかしな
がら微細電子装置の封止に用いられる従来のエポキシ組
成物は極めて粘性が大きいため、リードが小さくなり、
リード相互の間隔も狭くなり、リードの数が多くなると
問題が生じてくる。
トランスファ成形は自動化された圧力成形であり、高分
子組成物の予備成形体がチャンバーから加熱された金型
キャビティ内に導入される。小さなへこみ部分内を封止
材で満たすために、1.750kg/cm2(25、000ps
i)の高圧が一般に用いられる。このような高圧は、高
粘性組成物をトランスファ成形するときに必要になる
が、深刻な問題をまねく。特に、高分子組成物の金型キ
ャビティ内への導入中に、こわれ易い内部リードやワイ
ヤ・ボンドがねじられたり、破損されたりするおそれが
あることが問題である。また、リード相互の間隔の狭い
VLSIの場合、高粘性の高分子組成物でリードをぬら
して高粘性の高分子組成物をリードに接着させることは
極めて困難である。このような事態は、湿気や汚染物の
集積回路モジュールへの侵入を招いて、さびや故障を起
こさせる。
トランスファ成形に伴う上述の問題は反応射出成形(R
IM)によってほとんど解決される。反応射出成形は閉
じた金型中に液状成分を比較的低圧下で1ステップにて
注入するものであり、迅速な高分子化反応が生じて封止
が行なわれる。
反応射出成形で小さな反応室内に2以上の反応物質の流
れが導入され、反応室内では激しい混合が行なわれる。
混合物は次に高分子化されながら金型キャビティへと移
される。裂けたり曲がったりするおそれがないまでにゲ
ル化が進んだ後に、一部を金型から排出する。
反応射出成形過程の全サイクル時間は典型的には約2分
である。反応射出成形過程における材料の粘度は典型的
には約50センチポアズ(CP)から約10、000C
Pであり、好ましくは約1、500CPであり、射出温
度は室温から約200℃である。反応射出成形過程の金
型温度は成形圧力が約3.5kg/cm2(約50psi)から
約10.5kg/cm2(約150psi)のときに一般に約10
0℃から約200℃の範囲である。
反応射出成形に適する組成物としては種々の点を満たす
必要がある。例えば、組成物は比較的低粘度でなければ
ならないと同時に、極めて短い時間に反応できるもので
なければならない。また、組成物は比較的毒性の低いも
のでなければならない。反応射出成形用組成物が電子装
置用封止材として用いられるときには更に問題点があ
る。特に、そのような組成物は、塩素イオンの如き錆の
原因と成り易い汚染物を含まないものでなければならな
い。そのような組成物を得ることは、コストを考えた場
合には、一層難しいこととなる。
ハ.発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は反応射出成形で用いることに適し、特に
電子装置の封止に用いることに適した組成物を提供する
ことである。本発明の組成物は、粘度が比較的低く、極
めて迅速な反応を示す。更に、本発明の組成物は、塩素
イオンの如きハロゲン化物による汚染を回避する。加え
て、本発明の組成物はコスト的にも納得できるものであ
る。
ニ.問題点を解決するための手段 本発明の組成物は、環状脂肪族エポキシドと、カルボン
酸無水物と、イミダゾールのアルキレンオキシド付加物
と、を含んでいる。カルボン酸無水物は環状脂肪族エポ
キシドを硬化させるに足る量だけ存在する。イミダゾー
ルのアルキレンオキシド付加物は環状脂肪族エポキシド
の硬化を促進するに足る量だけ存在する。本発明はまた
環状脂肪族エポキシド、カルボン酸無水物、及びイミダ
ゾールのアルキレンオキシド付加物から得られる改良さ
れた組成物により封止された電子装置にも関係する。本
発明は、更に、反応射出成形により電子装置を封止する
過程にも関する。この過程は、電子装置を成形型内に配
置し、環状脂肪族エポキシドとカルボン酸無水物とイミ
ダゾールのアルキレンオキシド付加物から成る封止用組
成物を用いることを含む。封止用組成物は金型内に導入
されて硬化され、封止された電子装置が得られる。
ホ.実施例 本発明で用いる高分子物質は環状脂肪族エポキシドであ
る。環状脂肪族エポキシドは知られており、環状オレフ
ォンの酸化により得られる。環状脂肪族エポキシ材は、
特に、より知られたグリシジルエーテル型のエポキシド
と比較した場合には、一般に反応が比較的遅い。適当な
環状脂肪族エポキシドの例は米国特許第3、027、3
57号、同2、890、194号、同2、890、19
7号、及び同4、294、746号に記載されている。
本発明で用いる環状脂肪族エポキシドとして適している
のは、例えば、以下のようなものがある。
即ち、ユニオン・カーバイド社(Union Caorbide)の商
品名ERL−4221の物質でもあるところの3、4−
エポキシシクロヘキシルメチル−3、4−エポキシシク
ロヘキサン・カルボキシレイト、 ビス(3、4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメ
チル)アジペイト、 ビス(3、4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペ
イト、 ビス(2、3−エポキシシクロペンチル)エーテル、 ユニオン・カーバイド社の商品名ERL−4206の物
質でもあるビニル・クロロヘキサン・ジエポキシド、 2−(3、4−エポキシシクロヘキシル)−5、5−ス
ピロ(2、3−エポキシシクロヘキサン)−m−ジオキ
サン、 ユニオン・カーバイド社の商品名ERL−4234の物
質でもある2−(3、4−エポキシシクロヘキシル−
5、5−スピロ−3、4−エポキシ)シクロヘキサン−
m−ジオキサン、 ユニオン・カーバイド社の商品名ERL−4299の物
質でもあるビス(3、4−エポキシシクロヘキシル)ア
ジペイト等である。
ユニオン・カーバイド社が1970年に発行した「シク
ロアリファティック・エポキシド・システムズ(Cycloa
liphatic Epoxide Systems)」という刊行物から更に他
の例を見つけることができる。
複数種の環状脂肪族エポキシドの混合物が用いられても
よい。本発明にとって好ましい環状脂肪族エポキシド
は、3、4−エポキシシクロヘキシルメチル−3、4−
エポキシシクロヘキサンカルボキシレイト(系統的命名
法による名称:7−オキサバイシクロ[4.1.0]ヘ
プタン−3−カルボキシル酸7−オキサバイシクロ
[4.1.0]ヘプタ−3−イルメチルエステル)であ
る。
本発明の組成物は硬化剤としてカルボン酸無水物を含
む。硬化剤は液状であることが好ましい。固体状の硬化
剤を用いる場合には、硬化剤は添加時に溶けていなけれ
ばならない。カルボン酸無水物の例は、メチルテトラハ
イドロフタル酸無水物、ヘキサハイドロフタル酸無水
物、マレイン酸無水物、トリメリック無水物、パイロメ
リティックジアンハイドライド、テトラハイドロフタル
酸無水物、フタル酸無水物、ノルボルネネジカルボン酸
無水物、ナディクメチル無水物、及びメチルシクロヘキ
サン−1、2−ジカルボン酸無水物等である。マグロー
ヒル(McGraw Hill)刊(1967年)、H.Lee及びK.Ne
ville著の「ハンドブック・オブ・エポキシ・レジン(H
andbook of Epoxy Resin)1中に更に他の無水物を見つ
けることができる。
無水物は当量比基準で環状脂肪族エポキシドの約20%
から約120%、更には、約75%から約100%用い
られることが好ましい。
環状脂肪族エポキシド及び硬化剤の他に反応性変更剤を
用いることができる。反応性変更剤の目的は、柔軟性や
熱的ショックに対する抵抗性のような機械的性質を望ま
しいものにすることである。用い得る変更剤の例は、脂
肪酸、ポリアゼライン酸ポリ無水物及びドデセニルコハ
ク酸無水物のような脂肪酸無水物、長鎖アルコール、ポ
リエチレングリコール及びポリプロピレングリコールの
ようなポリエチルジオール、及び、水酸基とカルボキシ
ル基とエポキシ及び/またはカルボン酸無水物官能基を
有する物質等である。
反応射出成形過程で用いるに適した十分に速い反応時間
を有する組成物にするために、反応促進剤即ち硬化促進
剤としてアルキレンオキシドの付加されたイミダゾール
類を用いる。用いるアルキレンオキシドはエチレンオキ
シド、プロピレンオキシド、あるいはブチレンオキシド
であり得、この中ではプロピレンオキシドが好ましい。
用いるイミダゾール類はイミダゾールそのものであるこ
とが好ましい。しかし、C−C12のアルキル基で置
換されたイミダゾールの如き、置換イミダゾールが用い
られてもよい。イミダゾール類として置換イミダゾール
が用いられるときには、イミダゾール環の炭素原子のと
ころが置換されるのが普通であり、4及び/または5の
位置の炭素原子のところであることが更に普通である。
複数種のイミダゾール類の混合物を複数種のアルキレン
オキシドとともに用いることもできる。硬化促進剤はイ
ミダゾール類に対して約0.5から約1.0単位のアルキレン
オキシドを用いることにより得られる。イミダゾール類
のブロピレンオキシド付加物としてディキシィケミカル
社(Dixie Chemical Company)の商品名AP−5の物質
を利用できる。水酸基の数(ハイドロキシル・ナンバ
ー:ASTM VOLUME08.02、P608のD
2849.30.1.3(1984)に準拠して決定す
る。)は約406.5mgKOH/g試料あるいは138.0g/当
量である。AP−5は実験式がC10O(分子量
126)でありイミダゾール当り約1のプロピレンオキ
シドを含む。
イミダゾールのアルキレンオキシド付加物は、環状脂肪
族エポキシド、無水物硬化剤、及びイミダゾール類のア
ルキレンオキシド付加物の全量に対して約0.1wt%から
約10wt%、好ましくは約1WT%から約5WT%である。
イミダゾール類のアルキレンオキシド付加物は環状脂肪
族エポキシドの硬化を促進し、また反応物中に侵入する
ので移行がなく、封止された製品に錆を生じさせない。
本発明の組成物には2酸化シリコン(SiO)、アル
ミニウム酸化物(Al)、タンタル五酸化物(T
)、炭化シリコン(SiC)、炭化ボロン(B
C)、炭化タングステン(WC)、シリコンナイトラ
イド(Si)、及びリチウム・アルミニウム・ケ
イ酸塩化化合物のような充填材が含まれていてもよい。
適当な充填材の種類の選択、充填材の混合比、及び充填
荷重は、充填材が反応結果物の熱膨張係数(CTE)を
低くする能力に基づいて当業者であれば多くの実験を重
ねなくとも決定できる。充填材を含まない環状脂肪族エ
ポキシのCTEは95PPM/℃である。充填材の濃度が
増加するにつれて混合物のCTEは線形的に減少する。
Alが最もCTEを減少させ(45%)、Ta
が最もCTEを減少させない(20%)。尚、かっ
こ内の数値は充填材が95wt%含まれている場合のもの
である。これりの例において、いずれの充填材も界面接
着促進材とともに用いられていない。
充填材が用いられる場合には、その含有料は約10wt%
から約98wt%であり、好ましくは約90wt%から約9
5wt%である。
本発明の組成物は25℃で約50センチポアズから約
5、000センチポアズの粘度を示し、25℃で普通は
約100センチポアズから約1、000センチポアズ、
25℃で典型的には約700センチポアズの粘度を示
す。
組成物は一般に、金型に導入される直前に迅速に償拌調
整され、無水物と促進剤との混合物とともにエポキシが
用いられるときの圧力条件は約35kg/cm2(約500ps
i)から約210kg/cm2(約3、000psi)であり、典
型的には約70kg/cm2(約1、000psi)である。充
填材が用いられる場合には、圧力は通常約105kg/cm2
(約1、500psi)から約140kg/cm2(約2、00
0psi)である。充填材及び/または柔軟剤が用いられ
るときは、それらはエポキシあるいは無水物と促進剤と
の混合物とともに用いられ得る。
組成物は次に封止を行うために金型内に導入される。金
型内の圧力は約1.8kg/cm2(約25psi)から約3.5kg/cm
2(約50psi)であり、封止される電子装置はトランス
ファ成型のときのように高圧にさらされないので、優れ
ている。金型温度は通常約100℃から約200℃であ
り、より一般的には客130℃から約160℃である。
金型内にとどまる時間は約30秒から約10分であり、
より好ましくは、約1分から約5分であり、高い温度程
時間は短くなる。封止された電子装置は指触乾燥状態で
金型から取り除かれる。この後、約1時間から約3時
間、好ましくは約2時間、約150℃から約200℃、
典型的には約185℃の熱処理の如き、後硬化処理を施
してもよい。
本発明の組成物が組成物が適用される典型的な微小電子
装置の例は、インターナショナル・ソサエティ・フォア
・ハイブリッド・マイクロエレクトロニクス(Internat
ional Society For Hybrid Microelectionics )刊(1
984年)、G.Caswell著の「サーフィス・マウント
・テクノロジー(Surface Mount Technology)」の第1
章中にも見つけることができる。
以下に、更に詳しい実施例を示す。
実施例1: 組成物は約6.0重量部の3、4−エポキシシクロヘキシ
ルメチル−3、4−エポキシシクロヘキサンカルボキシ
レイト(ユニオン・カーバイド社のERL−4221)
と約4.0重量部のユニオン・カーバイド社のERL−4
350(環状脂肪族可能性エポキシ)、約8、0重量部
のメチルシクロヘキサン−1、2−ジカルボン酸無水物
(約89%エポキシド当量の環状脂肪族エポキシド)、
及び約0.4重量部のイミダゾールのプロピレンオキシド
付加物(ディキシィケミカル社のAP−5)を含んでい
る。
組成物を約150℃の温度にさらしたところゲル化時間
は2分であった。このゲル化時間は金型から取出し可能
な指触乾燥した組成物を得る総時間である。
実施例2: 組成物は、約5.2重量部の3、4−エポキシシクロヘキ
シルメチル−3、4−シクロヘキシルカルボキシレイ
ト、約10.7重量部のポリプロピレングリコール(ユニオ
ン・カーバイド社のNIAX LHT−34)、約5.4
重量部のメチルシクロヘキサン−1.2−ジカルボン酸無
水物及び約0.25重量部のイミダゾールのプロピレンオキ
シド付加物(AP5)を含んでいる。
組成物は100℃の温度にさらされ、約21分のゲル化
時間を示した。
実施例3: 組成物は、約7.0重量部のERL−4221、約3.0重量
部のERL−4350、約8.7重量部のメチルシクロヘ
キサン−1、2−ジカルボン酸無水物、及び約0.19重量
部のAP−5を含んでいる。
組成物は100℃の温度にさらされ、約23分のゲル化
時間を示した。
実施例4: 約0.37重量部のAP−5が用いられた外は実施例3と同
じ組成物である。100℃のゲル化時間は約15分であ
る。
実施例5: 約0.56重量部のAP−5が用いられた外は実施例3同じ
組成物である。100℃でのゲル化時間は約8分であ
る。
比較例A: ERL−4221(約10重量部)、NIAX LHT
−34(約20重量部)、及びメチルシクロヘキサン−
1、2−ジカルボン酸無水物(約10重量部)を種々の
量のピリジンと混合して100℃の温度にさらした。夫
々のゲル化時間を以下に示す。
比較例B: ERL−4221(約10.0重量部)、NIAX LHT
−34(約15.5重量部)、及びメチルシクロヘキサン−
1、2−ジカルボン酸無水物(約10.4重量部)を種々の
促進剤と混合して100℃の温度にさらした。夫々のゲ
ル化時間を以下に示す。
比較例C: ERL−4221(約7.0重量部)、ERL−4350
(約3.0重量部)、及びメチルシクロヘキサン−1、2
−ジカルボン酸無水物(約8.7重量部)を種々の促進剤
と混合して100℃の温度にさらした。夫々のゲル化時
間を以下に示す。
前記実施例2−5及び比較例A−Cでは便宜上100℃
の温度を採用したが、実際の反応射出成形過程では約1
50℃が採用されることが通常である。各実施例の組成
物は100℃のゲル化時間は約25分以下であり、14
0℃から160℃では通常2分より短いゲル化時間を示
す。実施例1−5と比較例A−Cとを対比すると分かる
ように、イミダゾールのアルキレンオキシドを用いる
と、ピリジンを除く種々の促進剤を用いた場合よりも反
応時間が大幅に短縮される。また、ピリジンは形成した
高分子物質中に厄介な問題を生じさせ得る遊離アミンを
残すので好ましくない。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/31 (56)参考文献 特開 昭58−42615(JP,A) 特開 昭59−8720(JP,A) 特開 昭59−27945(JP,A) 特開 昭63−223028(JP,A) 米国特許4544432(US,A) 米国特許4383060(US,A)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】環状脂肪族エポキシドと、カルボン酸無水
    物と、イミダゾール類のアルキレンオキシド付加物とを
    含む、反応射出成形封止用組成物。
  2. 【請求項2】環状脂肪族エポキシドと、カルボン酸無水
    物と、イミダゾール類のアルキレンオキシド付加物とを
    含む、反応射出成形封止用組成物によって封止された電
    子装置。
JP63190769A 1987-09-15 1988-08-01 封止用組成物及び前記組成物を用いた電子装置 Expired - Lifetime JPH0668012B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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US9669087A 1987-09-15 1987-09-15
US96690 1987-09-15

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Publication Number Publication Date
JPS6475517A JPS6475517A (en) 1989-03-22
JPH0668012B2 true JPH0668012B2 (ja) 1994-08-31

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JP63190769A Expired - Lifetime JPH0668012B2 (ja) 1987-09-15 1988-08-01 封止用組成物及び前記組成物を用いた電子装置

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