JPH0667740A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH0667740A
JPH0667740A JP4223022A JP22302292A JPH0667740A JP H0667740 A JPH0667740 A JP H0667740A JP 4223022 A JP4223022 A JP 4223022A JP 22302292 A JP22302292 A JP 22302292A JP H0667740 A JPH0667740 A JP H0667740A
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内 義 昭 竹
Hiroaki Tanaka
中 宏 明 田
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柳 勝 小
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 異なる外部電源電圧に対して同一の装置で低
消費電力化、動作マージンの確保を達成する。 【構成】 外部電源電圧Vccを供給され基準電位Vref
を発生する基準電位発生回路11と、外部電源電圧Vcc
を降圧して内部電源電圧Vint を出力するPチャネルト
ランジスタP13と、基準電位Vref に基づいてPチャ
ネルトランジスタP13の動作を制御する差動増幅部1
0と、外部電源電圧Vccが所定値よりも低い場合に前記
差動増幅部10を非動作状態にする制御回路12と、外
部電源電圧Vccが所定値よりも低い場合相互に短絡され
る外部電源電圧Vccを供給される端子13と内部電源電
圧Vccを出力する端子14とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置に係わり、特
に内部電源降圧回路を有する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路において、素子の微細化
が進むにつれて外部電源電圧Vccとして5Vを印加する
と、ゲート酸化膜が破壊されたり、ホットキャリア等が
発生するなど信頼性の低下を招くことになる。そこで、
微細化された素子、特に半導体記憶装置におけるトラン
ジスタの信頼性を確保するために、電圧ストレスを緩和
するべくチップ内部で外部電源電圧を降下させる内部電
源降圧回路を備えることが必要になっている。また、チ
ップ内部の電源電圧を降下することで、消費電力を低減
させることもできる。これにより、携帯用パーソナルコ
ンピュータ等の電子機器のバッテリーバックアップ時間
を延ばすことができる。
【0003】従来の内部電源降圧回路の構成を図21に
示す。この回路は、基準電位発生回路121と、内部電
源を駆動するPチャネルトランジスタP103と、この
PチャネルトランジスタP103のスイッチングを制御
するためのPチャネルトランジスタP101及びP10
2,NチャネルトランジスタN101〜N103から成
るカレントミラー型差動増幅部122と、抵抗R101
及びR102とを備えている。
【0004】基準電位発生回路121は、外部電源電圧
Vccを供給されて、基準電位Vrefを発生する。また、
PチャネルトランジスタP103から出力された内部電
源電圧Vint と接地電圧Vssとの差が抵抗R101及び
R102で分割されて、電位VA が発生する。
【0005】この基準電位Vref と電位VA とが、差動
増幅部122のNチャネルトランジスタN101及びN
102のゲートにそれぞれ入力される。外部電源電圧V
ccが低い場合を考えると、電位VA は差動基準電位Vre
f よりも低い。このときは、差動増幅部122の出力電
圧VB はロウレベルになり、PチャネルトランジスタP
103はオンする。ここで、PチャネルトランジスタP
103の抵抗値が抵抗R101,R102に対して十分
に小さくなるように寸法を設定しておくことで、ほぼ外
部電源電圧Vccに等しい内部電源電圧Vint が得られ
る。
【0006】逆に、外部電源電圧Vccが高い場合には、
電位VA は基準電位Vref よりも高くなる。このときは
差動増幅部122の出力電圧VB はハイレベルになり、
PチャネルトランジスタP103がオフする。これによ
り、内部電源電圧Vint のレベルは、抵抗R101,R
102を介して放電するため低下していく。ここで、電
位VA が基準電位Vref よりも低くなると、Pチャネル
トランジスタP103が再びオンするため、内部電源電
圧Vint が一定のレベルに保たれる。この結果、電位V
A が基準電位Vref と等しくなる点で、内部電源電圧V
int が一定に保たれることになる。
【0007】上述したように、外部電源電圧Vccが低い
場合には基準電圧Vref >電位VAとなり、ほぼ外部電
源電圧Vccに等しい内部電源電圧Vint が得られる。
【0008】外部電源電圧Vccが高い場合には、基準電
圧Vref =電位VA となる点で内部電源電圧Vint は一
定に保たれる。
【0009】次に、基準電位発生回路121の具体的な
回路構成を図22に示す。また、この回路における内部
電源電圧Vint と基準電圧Vref との外部電源電圧Vcc
に対する特性を図23に示す。
【0010】この基準電圧発生回路121は、回路13
1と回路132とで構成されている。回路131は、外
部電源電圧Vccが0〜Vcur の範囲にあるときの基準電
位Vref の特性を決定するものである。ここで、電圧V
cur は基準電圧Vref が後述する回路132における電
圧VE と等しくなるときの外部電源電圧Vccに相当する
ものである。また回路132は、電源電圧Vccが電圧V
CUR よりも大きい場合における基準電位Vref の特性を
決定するものである。
【0011】回路131において、外部電源電圧Vccと
接地電圧Vssとの間に直列に抵抗R103,R104と
PチャネルトランジスタP104とが接続されており、
抵抗R103とR104とを接続するノードから電圧V
c が発生する。ここで、抵抗R103の抵抗値は抵抗R
104の抵抗値よりも十分に大きく設定されている。こ
のため、電圧Vc は外部電源電圧Vccにほとんど依存せ
ず一定のレベルになる。
【0012】この電圧Vc が、Pチャネルトランジスタ
P105及びP106、NチャネルトランジスタN10
4〜N106で構成された差動増幅部141に入力され
る。また、外部電源電圧Vccと接地電圧Vssとの間に、
PチャネルトランジスタP107と、抵抗R105及び
R106とが直列に接続されており、抵抗R105とR
106との間のノードより電圧VD が出力される。この
電圧VD とVc とが差動増幅部141に入力される。こ
の回路131において、上述した図21における回路と
同様に、外部電源電圧Vccが高い場合には、Pチャネル
トランジスタP107と抵抗R105とを接続するノー
ドから出力される基準電圧Vref は、一定の値に保たれ
る。但し、図21における回路ではPチャネルトランジ
スタP103の抵抗値を抵抗R101,R102よりも
十分に小さく設定しているが、回路131では逆にPチ
ャネルトランジスタP107の抵抗値を大きく設定して
いる。これは、PチャネルトランジスタP107及び抵
抗R105と、抵抗R106とによる抵抗分割で、電圧
VD が設定できるようにするためである。
【0013】回路132は、抵抗R107及びR108
と差動増幅部142、駆動用トランジスタであるPチャ
ネルトランジスタP108を備えている。差動増幅部1
42には、抵抗R107及びR108で外部電源電圧V
ccが分割された電位VE と基準電位Vref とが入力され
比較される。
【0014】外部電源電圧Vccが0〜Vcur の範囲にあ
るときは、基準電位Vref の方が電位VE よりも高くな
る。この場合には、差動増幅部142の出力電圧VG は
ハイレベルになり、PチャネルトランジスタP108が
オフする。これにより、基準電位Vref のレベルは回路
131によってのみ決定される。
【0015】外部電源電圧Vccが電圧Vcur よりも高く
なると、基準電圧Vref の方が電位VE よりも低くな
る。差動増幅部142の出力電圧VG はロウレベルにな
り、PチャネルトランジスタP108がオンする。Pチ
ャネルトランジスタP108がオンすると、回路131
の電圧VD が上昇する。これにより、回路131の差動
増幅部141の出力電圧VF はハイレベルになり、Pチ
ャネルトランジスタP107がオフする。この結果、基
準電圧Vref のレベルは、回路132によって決定され
ることになる。外部電源電圧Vccがさらに上昇すると、
基準電圧Vref も上昇する。
【0016】また図23において、外部電源電圧Vccが
電圧Vcur よりも高い範囲で、内部電源電圧Vint が上
昇している。これは、外部電源電圧Vccが5Vである製
品では電圧使用範囲は4.5V〜5.5Vであるが、こ
れよりも高い電圧でバーンイン試験を行うためである。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】従来は、上述したよう
な回路で電圧を降下させて内部電源電圧を発生させてい
た。ところで、近年携帯型の電子機器等で低消費電力化
が進んでおり、CPUと同様にDRAM等においても低
電源電圧化の要求が高まってきた。
【0018】そこで、同一の回路で外部電源電圧Vccが
例えば5Vの製品と3.3Vの製品とに使用できること
が望まれるに至っている。この場合、外部電源電圧Vcc
が5Vのときは約4Vに降圧させるため内部電源降圧回
路が必要であるが、3.3Vのときには不要である。と
ころが、従来は外部電源電圧Vccが3.3Vの場合にも
内部電源降圧回路を動作させていたため、消費電流を低
減させることができないという問題があった。
【0019】また、図21において、内部電源電圧Vin
t はPチャネルトランジスタP103より発生されるた
め、このトランジスタの寸法の設定は重要である。外部
電源電圧Vccが3.3Vのときは、Pチャネルトランジ
スタP103の寸法はなるべく大きくする必要がある。
これは、このトランジスタの寸法が小さいと電圧が降下
してしまい、3.3Vよりも低い内部電源電圧Vint し
か得られないからである。
【0020】逆に、外部電源電圧Vccが高い場合には、
トランジスタの寸法が小さくても動作マージンの低下へ
の影響は少ない。むしろ、この場合にはPチャネルトラ
ンジスタP103の寸法は小さく設定し、スイッチング
ノイズが低くなるようにする必要がある。
【0021】このように、外部電源電圧Vccが低い場合
と高い場合とで駆動用のトランジスタの最適な寸法が異
なるが、従来は対応することができなかった。
【0022】さらに、内部電源降圧回路を有する他の装
置の例として、出力バッファ回路を備えるものがある。
出力バッファ回路における出力トランジスタは、外部電
源電圧Vccが低いときはコンダクタスが低くなり、電流
駆動能力が低下する。この出力トランジスタの駆動能力
の低下は、アクセス速度の低下を招く。このような現象
を防止するためには、出力トランジスタの寸法を大きく
する必要がある。しかし、外部電源電圧Vccが高い場合
には、トランジスタのスイッチングノイズが増大し、入
力信号のハイレベルとロウレベルに対するマージンが低
下するという弊害が生じる。
【0023】また、内部電源降圧回路を有する装置に
は、センスアンプ回路を備えたものもある。ここで、セ
ンスアンプ回路は、Pチャネルトランジスタから成るP
チャネルセンスアンプと、Nチャネルトランジスタから
成るNチャネルセンスアンプとで構成される場合が多
い。メモリセルに格納されたデータを読み出す際には、
Pチャネルセンスアンプを動作させるため、共通ソース
ノードを外部電源電圧Vccを用いて充電し、この電位が
内部電源電圧Vint に到達すると充電を停止することが
行われる。
【0024】この共通ソースノードの充電を行う場合、
充電に用いる定電流回路の基準電圧VRSAPは、外部電源
電圧Vccが高いときはスイッチングノイズが大きくなら
ないように低めに設定する必要がある。ところが、外部
電源電圧Vccが低いときに、外部電源電圧Vccが高いと
きと同一レベルの基準電圧VRSAPを用いると充電に長い
時間がかかる。この結果、規定時間内にビット線のリス
トアが十分にできなくなるという問題があった。
【0025】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、同一の回路構成で外部電源電圧が異なる場合にも使
用が可能で、低消費電力化、動作マージンの低下の防止
を達成することができる半導体装置を提供することを目
的とする。
【0026】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置は、
外部電源電圧を供給されて降圧し、内部電源電圧を出力
する内部電源降圧回路と、前記外部電源電圧が所定値よ
りも低い場合、前記内部電源降圧回路を非動作状態にす
る第1の制御回路と、前記外部電源電圧が所定値よりも
低い場合、前記外部電源電圧を前記内部電源電圧として
出力させる第2の制御回路とを備えたことを特徴として
いる。
【0027】ここで前記第2の制御回路は、前記外部電
源電圧が供給される入力端子と前記内部電源電圧が出力
される出力端子とを有し、前記外部電源電圧が前記所定
値よりも低い場合、前記入力端子と前記出力端子との間
がヒューズ又はボンディングワイヤにより接続され、前
記外部電源電圧が前記所定値以上の場合、前記入力端子
と前記出力端子との間が遮断されるものであってもよ
い。
【0028】あるいは、前記第2の制御回路は、前記外
部電源電圧を供給される入力端子と前記内部電源電圧が
出力される出力端子との間にヒューズ又はボンディング
ワイヤにより導通が制御されるスイッチング素子を有
し、前記外部電源電圧が前記所定値よりも低い場合、前
記スイッチング素子が導通して前記入力端子と前記出力
端子との間が接続され、前記外部電源電圧が前記所定値
以上の場合、前記スイッチング素子が非導通状態となっ
て前記入力端子と前記出力端子との間が遮断されるもの
であってもよい。
【0029】本発明の他の半導体装置は、第1の外部電
源電圧を供給される第1の端子と第2の外部電源電圧を
供給される第2の端子とを有し、前記第1の外部電源電
圧と前記第2の外部電源電圧との電位差を降圧して内部
電源電圧を出力する内部電源降圧回路と、前記第1の外
部電源電圧と前記第2の外部電源電圧との電位差が所定
値よりも低い場合、前記第1の端子の電位と前記第2の
端子の電位とをヒューズ又はボンディングワイヤを用い
てほぼ一致させて、前記内部電源降圧回路を非動作状態
にする第1の制御回路と、前記第1の外部電源電圧と前
記第2の外部電源電圧との電位差が所定値よりも低い場
合、前記外部電源電圧を前記内部電源電圧として出力さ
せる第2の制御回路とを備えている。
【0030】さらに本発明の他の半導体装置は、第1の
外部電源電圧を供給される第1の端子と第2の外部電源
電圧を供給される第2の端子とを有し、前記第1の外部
電源電圧と前記第2の外部電源電圧との電位差を降圧し
て内部電源電圧を出力する内部電源降圧回路と、前記第
1の端子への前記第1の外部電源電圧の供給と、前記第
2の端子への前記第2の外部電源電圧の供給のうち、少
なくともいずれか一方をヒューズ又はボンディングワイ
ヤを用いて制御する第1の制御回路であって、前記第1
の外部電源電圧と前記第2の外部電源電圧との電位差が
所定値よりも低い場合、前記第1の端子への前記第1の
外部電源電圧の供給と前記第2の端子への前記第2の外
部電源電圧の供給のうち、少なくともいずれか一方を行
わないことで、前記内部電源降圧回路を非動作状態にす
る前記第1の制御回路と、前記外部電源電圧が所定値よ
りも低い場合、前記外部電源電圧を前記内部電源電圧と
して出力させる第2の制御回路とを備えている。
【0031】本発明の他の半導体装置は、内部電源駆動
用トランジスタを有し、外部電源電圧を供給されて降圧
し、前記内部電源駆動用トランジスタから内部電源電圧
を出力する内部電源降圧回路と、前記外部電源電圧が所
定値よりも低い場合には、前記外部電源電圧が前記所定
値以上のときより相対的に前記内部電源駆動用トランジ
スタのコンダクタンスを大きくする制御回路とを備えて
いる。
【0032】または、本発明の半導体装置は、第1の内
部電源駆動用トランジスタを有し、外部電源電圧を供給
されて降圧し、前記第1の内部電源駆動用トランジスタ
から内部電源電圧を出力する第1の内部電源降圧回路
と、第2の内部電源駆動用トランジスタを有し、前記外
部電源電圧を供給されて降圧し、前記第2の内部電源駆
動用トランジスタから前記内部電源電圧を出力する第2
の内部電源降圧回路と、前記外部電源電圧と所定値とを
比較し、前記外部電源電圧が前記所定値よりも低い場合
には前記第1の内部電源駆動用トランジスタと前記第2
の内部電源駆動用トランジスタとを共にオンさせ、前記
外部電源電圧が前記所定値よりも高い場合には前記第1
の内部電源駆動用トランジスタのみをオンさせる制御回
路とを備えている。
【0033】あるいは、本発明の半導体装置は、外部電
源電圧を供給されて降圧し、内部電源電圧を出力する内
部電源降圧回路と、外部電源電圧または内部電源電圧を
供給されて動作する出力用トランジスタを有し、入力さ
れた信号を前記出力用トランジスタを用いて外部に出力
する出力バッファ回路と、前記外部電源電圧が所定値よ
りも低い場合、前記外部電源電圧が所定値以上のときよ
りも前記出力用トランジスタのコンダクタンスを大きく
する制御回路とを備えている。
【0034】さらに本発明の半導体装置は、信号を入力
され、この信号を検知した結果を外部へ出力するセンス
アンプ回路と、基準電位を入力され、この基準電位に基
づいて前記センスアンプ回路の活性化を制御する回路
と、外部電源電圧を供給されて降圧し、前記基準電位を
出力する基準電位発生回路と、前記外部電源電圧が所定
値よりも低い場合、前記外部電源電圧が前記所定値以上
であるときよりも前記基準電位のレベルを高くする基準
電位制御回路とを備えている。
【0035】また、本発明の半導体装置は、外部電源電
圧を入力され、この外部電源電圧が所定値以上の場合に
第1の制御信号を出力し、前記外部電源電圧が前記所定
値よりも低い場合に第2の制御信号を出力する制御回路
と、前記制御回路から前記第1の制御信号が出力された
とき第1の電位を出力し、前記制御回路から前記第2の
制御信号が出力されたとき第2の電位を出力する電位発
生回路とを備えている。
【0036】本発明の他の半導体装置は、外部電源電圧
を入力され、この外部電源電圧が所定値以上の場合に第
1の制御信号を出力し、前記外部電源電圧が前記所定値
よりも低い場合に第2の制御信号を出力する制御回路
と、第1の電位を出力する第1の電位発生回路と、第2
の電位を出力する第2の電位発生回路と、前記第1の電
位及び前記第2の電位を与えられ、前記制御回路から前
記第1の制御信号が出力されたとき前記第1の電位を出
力し、前記制御回路から前記第2の制御信号が出力され
たとき前記第2の電位を出力するスイッチング回路とを
備えている。
【0037】さらに本発明の他の半導体装置は、外部電
源電圧を入力され、この外部電源電圧が所定値以上の場
合に第1の制御信号を出力し、前記外部電源電圧が前記
所定値よりも低い場合に第2の制御信号を出力する制御
回路と、前記制御回路から前記第1の制御信号が出力さ
れたとき第1の電位を出力し、前記第2の制御信号が出
力されたとき非動作状態になる第1の電位発生回路と、
前記制御回路から前記第2の制御信号が出力されたとき
第2の電位を出力し、前記第1の制御信号が出力された
とき非動作状態になる第2の電位発生回路と、前記制御
回路から前記第1の制御信号が出力されたとき前記第1
の電位発生回路から前記第1の電位を与えられて出力
し、前記制御回路から前記第2の制御信号が出力された
とき前記第2の電位発生回路から前記第2の電位を与え
られて出力するスイッチング回路とを備えている。
【0038】ここで、前記第1の電位及び第2の電位
は、第1の基準電位及び第2の基準電位、第1の基板電
位及び第2の基板電位、または第1の昇圧電位及び第2
の昇圧電位のうちのいずれか1組であってもよい。
【0039】前記制御回路は、前記外部電源電圧を入力
されると前記所定値と比較し、前記外部電源電圧が前記
所定値よりも高い場合に前記第1の制御信号を出力し、
前記外部電源電圧が前記所定値よりも低い場合に第2の
制御信号を出力するものであってもよい。
【0040】あるいは、前記制御回路は二つのボンディ
ングパッドを有し、このボンディングパッドの間がワイ
ヤボンディングにより接続された場合と接続されない場
合とで、前記第1の制御信号と前記第2の制御信号のい
ずれか一方を選択して出力するものであってもよい。
【0041】さらに前記制御回路として、二つの端子を
有し、この端子の間がヒューズにより接続された場合と
接続されない場合とで、前記第1の制御信号と前記第2
の制御信号のいずれか一方を選択して出力してもよい。
【0042】また、前記制御回路は不揮発性の記憶素子
を有し、この記憶素子に記憶されている内容に応じて、
前記第1の制御信号と前記第2の制御信号のいずれか一
方を選択して出力するものであってもよい。
【0043】
【作用】外部電源電圧が所定値よりも低い場合には、第
1の制御回路によって内部電源降圧回路が非動作状態に
なるため消費電流が低減され、さらに第2の制御回路に
よって外部電源電圧が内部電源電圧として出力されるた
め、降圧されることが防止される。
【0044】ここで、第2の制御回路は外部電源電圧が
供給される入力端子と内部電源電圧が出力される出力端
子とを有し、外部電源電圧が所定値よりも低い場合、入
力端子と出力端子との間がヒューズにより、またはボン
ディングワイヤにより接続されることで、外部電源電圧
がそのまま内部電源電圧として出力される。
【0045】第2の制御回路が、外部電源電圧を供給さ
れる入力端子と内部電源電圧が出力される出力端子との
間にヒューズ又はボンディングワイヤにより導通が制御
されるスイッチング素子を有する場合は、外部電源電圧
が所定値よりも低い場合にスイッチング素子が導通して
入力端子と出力端子との間が接続されるため、外部電源
電圧が内部電源電圧として出力される。外部電源電圧が
所定値以上の場合には、スイッチング素子が非導通状態
となって入力端子と前記出力端子との間が遮断される。
【0046】本発明の半導体装置が、第1の外部電源電
圧と第2の外部電源電圧との電位差を降圧して内部電源
電圧を出力する内部電源降圧回路を有する場合は、この
電位差が所定値よりも低い場合、第1の端子の電位と第
2の端子の電位とがヒューズ又はボンディングワイヤに
よってほぼ一致し、内部電源降圧回路が非動作状態にな
り、さらに外部電源電圧が内部電源電圧として出力され
る。
【0047】あるいは、第1の外部電源電圧と第2の外
部電源電圧との電位差が所定値よりも低い場合、内部電
源降圧回路における第1の端子への第1の外部電源電圧
の供給と第2の端子への第2の外部電源電圧の供給のう
ち、少なくともいずれか一方が行われず、内部電源降圧
回路が非動作状態になり、さらに外部電源電圧が内部電
源電圧として出力される。
【0048】内部電源駆動用トランジスタを有し、外部
電源電圧を供給されて降圧し、内部電源駆動用トランジ
スタから内部電源電圧を出力する内部電源降圧回路を備
えている場合には、外部電源電圧が所定値よりも低いと
き、制御回路によって外部電源電圧が所定値以上のとき
より相対的に内部電源駆動用トランジスタのコンダクタ
ンスが大きくなり、内部電源電圧が降下するのが防止さ
れる。
【0049】第1及び第2の内部電源降圧回路を備える
場合には、制御回路により、外部電源電圧が所定値より
も低い場合には第1の内部電源駆動用トランジスタと前
記第2の内部電源駆動用トランジスタとが共にオンされ
て、内部電源駆動用トランジスタ全体の寸法が大きくな
り、内部電源電圧が降下するのが防止される。逆に、外
部電源電圧が所定値よりも高い場合には第1の内部電源
駆動用トランジスタのみオンすることで、内部電源駆動
用トランジスタの寸法が小さくなり、スイッチング時に
発生するノイズのレベルが低減される。
【0050】出力バッファを備える場合には、外部電源
電圧が所定値よりも低い場合、外部電源電圧が所定値以
上のときよりも出力トランジスタのコンダクタンスを大
きくすることで、出力トランジスタからの出力のレベル
の低下を防止することができる。
【0051】センスアンプ回路を備える場合は、センス
アンプ回路の活性化を制御する回路に与える基準電位
を、外部電源電圧が所定値よりも低い場合には、外部電
源電圧が所定値以上であるときよりもそのレベルを高く
することで、センスアンプ回路を活性化する速度を高速
化することができる。
【0052】制御回路と電位発生回路とを備える場合
は、外部電源電圧が所定値よりも高いか低いかに応じ
て、第1の電位と第2の電位のうちの望ましい方が出力
される。
【0053】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
【0054】本発明の第1の実施例による半導体装置の
構成を図1に示す。この装置は、図21に示された装置
と同様に、外部電源電圧Vccを供給されて基準電位Vre
f を発生する基準電位発生回路11と、内部電源駆動用
のPチャネルトランジスタP13、抵抗R11及びR1
2、PチャネルトランジスタP13の動作を制御する差
動増幅部10を備えている。さらに本実施例では、差動
増幅部10の動作状態を制御する制御回路12、外部電
源電圧Vccを供給されるボンディングパッド13、内部
電源電圧Vint を出力するボンディングパッド14、及
び接地されたボンディングパッド15を備えている点に
特徴がある。
【0055】制御回路12は、ボンディングパッド12
aと、このボンディングパッド12aと接地電圧Vss端
子との間に接続されゲートに外部電源電圧Vccが供給さ
れるNチャネルトランジスタN13と、ボンディングパ
ッド12aにゲートが共通接続されたPチャネルトラン
ジスタP14及びNチャネルトランジスタN14から成
るインバータと、このインバータの出力端子にゲートが
共通接続されたPチャネルトランジスタP15及びNチ
ャネルトランジスタN15から成るインバータであっ
て、その出力端子が差動増幅部10のNチャネルトラン
ジスタN12のソースに接続されたインバータとを備え
ている。ここで、NチャネルトランジスタN13の寸法
は他のトランジスタと比較して小さく設定されており、
NチャネルトランジスタN15は大きく設定されてい
る。
【0056】先ず、外部電源電圧Vccが例えば5Vとい
うように所定値以上である場合は、以下のように動作す
る。この場合には、制御回路12は図1と同様な状態に
あり、ボンディングパッド12aは他のボンディングパ
ッドと接続されていない。
【0057】NチャネルトランジスタN13は、ゲート
に外部電源電圧Vccが入力されてオンし、ボンディング
パッド12aとNチャネルトランジスタN13のドレイ
ンとを接続するノードは、接地レベルに保たれる。Pチ
ャネルトランジスタP14及びNチャネルトランジスタ
N14のゲートにはこのロウレベルの電位が入力され、
反転されてハイレベルの電位がPチャネルトランジスタ
P15及びNチャネルトランジスタN15のゲートに入
力される。このPチャネルトランジスタP15とNチャ
ネルトランジスタN15から成るインバータにより反転
され、このインバータから出力される電位VSSG は接地
電位Vssと等しいレベルになる。
【0058】この結果、差動増幅部10のNチャネルト
ランジスタN12のソースは接地された状態になり、図
21に示された回路と同様に動作する。即ち、基準電位
発生回路11より発生された基準電位Vref と、電位差
Vcc−VssがPチャネルトランジスタP13及び抵抗R
11と、抵抗R12とで分割された電位VA とが差動増
幅部10に入力され、相対的な電位差に応じてPチャネ
ルトランジスタP13のオンオフが制御され、降圧され
た一定の内部電源電圧Vint が出力される。
【0059】次に、外部電源電圧Vccが例えば3.3V
というように所定値より低い場合は、以下のようであ
る。制御回路12のボンディングパッド12aと、外部
電源電圧Vccが供給されるボンディングパッド13と、
内部電源電圧Vint を出力するボンディングパッド14
とがボンディングワイヤにより接続され短絡された状態
になる。これにより、ボンディングパッド12a,13
及び14の電位は全て外部電源電圧Vccと同一レベルに
なる。
【0060】制御回路12において、ボンディングパッ
ド12aのレベルが外部電源電位Vccと等しいことか
ら、PチャネルトランジスタP15及びNチャネルトラ
ンジスタN15から成るインバータの出力電位VSSG は
外部電源電圧Vccのレベルになる。これにより、差動増
幅部10のNチャネルトランジスタN12のソースには
外部電源電圧Vccが供給され、この差動増幅部10は非
動作状態になって消費電流は流れなくなる。また、基準
電位発生回路11及び抵抗R11,R12に流れる消費
電流もなくなる。ここで、NチャネルトランジスタN1
3はオン状態にあるが、上述したようにこのトランジス
タは寸法が小さく設定されており、消費電流は無視でき
る程度に小さい。
【0061】このように、第1の実施例によれば外部電
源電圧Vccが高い場合には、制御回路12により差動増
幅部10を動作させず、この部分の消費電流がカットさ
れる。図6に、外部電源電圧Vccとスタンドバイ時の消
費電流ICCとの関係を示す。従来は、外部電源電圧Vcc
が3.3Vというように低い場合でも、差動増幅部10
とPチャネルトランジスタP13は動作させていた。こ
のため、線L1に示されるようにスタンバイ時の消費電
流が大きかった。これに対し、本実施例では外部電源電
圧Vccが低い場合には差動増幅部10及びPチャネルト
ランジスタP13を動作させないため、線L2で示され
たようにスタンドバイ電流Iccが大幅に低減される。よ
って、携帯型の電子機器におけるバッテリバックアップ
時間を従来よりも長くすることができる。
【0062】また、従来は外部電源電圧Vccが低い場
合、PチャネルトランジスタP13の抵抗によって、外
部電源電圧Vccよりも低い電圧が内部電源電圧Vint と
して出力されていた。本実施例では、ボンディングパッ
ド14には外部電源電圧Vccが供給されるため、この電
圧Vccが降下せずにそのまま内部電源電圧Vint として
出力される。よって、アクセス時間の遅延や動作マージ
ンの低下といった弊害を防止することができる。
【0063】また、内部電源駆動用のPチャネルトラン
ジスタP13は、外部電源電圧Vccが高い場合にのみ動
作させるため、この場合に最適な大きさに設定すること
で、スイッチングノイズの発生を抑制することができ
る。
【0064】次に、第1の実施例における制御回路12
の変形例を図2に示す。
【0065】外部電源電圧Vcc端子と接地電圧Vss端子
との間に、ヒューズF1とNチャネルトランジスタN1
6とが直列に接続されている。このNチャネルトランジ
スタN16のゲートには、外部電源電圧Vccが供給され
る。ヒューズF1とNチャネルトランジスタN16のド
レインとを接続するノードに、Pチャネルトランジスタ
P16とNチャネルトランジスタN17から成るインバ
ータの入力端子が接続され、その出力端子から電位VSS
G が出力される。
【0066】外部電源電圧Vccが高い場合には、図2に
示された状態で用いられる。ヒューズF1とNチャネル
トランジスタN16のドレインとを接続するノードの電
位VEXTFU は、ハイレベルである。この電位VEXTFU
が、PチャネルトランジスタP16とNチャネルトラン
ジスタN17とから成るインバータで反転され、ロウレ
ベルの電位VSSG が出力される。これにより、差動増幅
部10は動作して降圧された内部電源電圧Vint が出力
される。
【0067】外部電源電圧Vccが低い場合は、ヒューズ
F1が溶断される。電位VEXTFU はロウレベルになり、
電位VSSG はハイレベルになる。このため、差動増幅部
10は非動作状態になる。
【0068】図3に、外部電源電圧Vccが低い場合に、
ヒューズを溶断することで外部電源電圧Vccを内部電源
電圧Vint として出力する回路の例を示す。外部電源電
圧Vcc端子と接地電圧Vss端子との間にヒューズF2と
NチャネルトランジスタN18とが直列に接続され、こ
の両者を接続するノードにPチャネルトランジスタP1
7及びNチャネルトランジスタN19から成るインバー
タと、PチャネルトランジスタP18及びNチャネルト
ランジスタN20から成るインバータとが2段接続され
ている。PチャネルトランジスタP18とNチャネルト
ランジスタN20から成るインバータの出力端子はPチ
ャネルトランジスタP19のゲートに接続され、そのド
レインは外部電源電圧Vcc端子に接続されソースは内部
電源電圧Vint を出力する端子に接続されている。
【0069】この回路では、外部電源電圧Vccが高い場
合はヒューズF2は溶断されず図3に示された状態で動
作する。電位VEXTFU はハイレベルになり、2段のイン
バータを経た後、PチャネルトランジスタP19のゲー
トにはハイレベルの出力が与えられオフする。これによ
り、外部電源電圧Vcc端子と内部電源電圧Vint を出力
する端子とは遮断された状態になる。
【0070】外部電源電圧Vccが低い場合は、ヒューズ
F2は溶断される。電位VEXTFU はロウレベルになり、
PチャネルトランジスタP19のゲートにはロウレベル
の出力が与えられてオンする。この結果、外部電源電圧
Vcc端子と内部電源電圧Vint を出力する端子とが接続
される。PチャネルトランジスタP19の寸法をできる
だけ大きくすることで、外部電源電圧Vccとほぼ同レベ
ルの内部電源電圧Vint を出力することができる。
【0071】また、NチャネルトランジスタN18はオ
ン状態にあるが、その寸法を小さく設定することで消費
電流を無視できる程度に抑えることができる。
【0072】図2に示された回路と図3に示された回路
とを組み合わせた場合には、外部電源電圧Vccが低いと
き、ヒューズF1及びF2を溶断することで、差動増幅
部10及びPチャネルトランジスタP13の消費電流を
カットできると同時に、外部電源電圧Vccをほとんど降
下させずに内部電源電圧Vint として出力することがで
きる。
【0073】図4に、図1における制御回路12の変形
例を示す。図1の制御回路12は、電位VSSG のレベル
を変えることで、差動増幅部10の動作を制御する。こ
れに対し、図4に示された制御回路は、電位VSSG を出
力する端子と接地電圧Vss端子との間に接続されたトラ
ンジスタの導通を制御することで、差動増幅部10の動
作を制御する点が相違する。
【0074】ボンディングパッド16と接地電圧端子V
ssとの間にNチャネルトランジスタN21が接続され、
またボンディングパッド16にはPチャネルトランジス
タP20とNチャネルトランジスタN22とから成るイ
ンバータの入力端子が接続されている。このインバータ
の出力端子は、ドレインが電位VSSG を出力する端子に
接続されソースが接地されたNチャネルトランジスタN
23のゲートに接続されている。
【0075】外部電源電圧Vccが高い場合は、ボンディ
ングパッド16は他のボンディングパッドと接続されて
いない。電圧VEXTBG のレベルはNチャネルトランジス
タN21がオンしていることでロウレベルになり、イン
バータにより反転されハイレベルの出力がNチャネルト
ランジスタN23のゲートに入力される。これにより、
NチャネルトランジスタN23がオンし、電圧VSSG は
接地電圧Vssと同レベルになり、差動増幅部10が動作
する。
【0076】外部電源電圧Vccが低い場合は、ボンディ
ングパッド16が図1におけるボンディングパッド13
及び14とボンディングワイヤにより短絡され、外部電
源電圧Vccが供給される。電圧VEXTBG がハイレベルに
なり、インバータで反転されてロウレベルの出力がNチ
ャネルトランジスタN23のゲートに供給されオフす
る。この結果、図1の差動増幅部10のNチャネルトラ
ンジスタN12のソースは接地されなくなり、非動作状
態となる。
【0077】図5に、図1における制御回路12のさら
に他の変形例を示す。外部電源電圧Vcc端子とボンディ
ングパッド17との間にPチャネルトランジスタP21
が接続されている。ボンディングパッド17は、Pチャ
ネルトランジスタP22とNチャネルトランジスタN2
4から成るインバータの入力端子に接続されており、そ
の出力端子からは電位VSSG が出力される。
【0078】外部電源電圧Vccが高い場合は、図4の回
路と同様にボンディングパッド17は他のパッドと接続
されていない。電圧VEXTBG は、ゲートが接地されオン
状態にあるPチャネルトランジスタP21によりハイレ
ベルにあり、この電圧VEXTBG がインバータで反転され
ロウレベルの出力が電位VSSG として出力される。これ
により、図1の差動増幅部10が動作する。
【0079】外部電源電圧Vccが低い場合は、ボンディ
ングパッド17は接地されたボンディングパッド15と
短絡される。これにより、電位VEXTBG はロウレベルに
なり、インバータで反転されてハイレベルの電圧VSSG
が出力される。これにより、差動増幅部10は非動作状
態になる。
【0080】次に、本発明の第2の実施例による半導体
装置について説明する。この第2の実施例は、外部電源
電圧Vccの高低に応じて、内部電源駆動用トランジスタ
の導通抵抗を変える点に特徴がある。
【0081】この第2の実施例による半導体装置の構成
を図7に示す。この半導体装置は、基準電位発生回路4
0と、類似した構成を有する回路20及び回路30とを
備えている。
【0082】基準電位発生回路40は、基準電位Vref
の出力を行う。
【0083】回路20は、外部電源電圧Vccが例えば
3.3Vというように所定値より低い場合にのみ動作す
るもので、検知回路21、レベルシフタ22、差動増幅
部23、駆動用のトランジスタ部24、抵抗分割用のP
チャネルトランジスタP41,抵抗R21及びR22を
備えている。回路30は、外部電源電圧Vccのレベルに
かかわらず常時動作し、検知回路31、レベルシフタ3
2、差動増幅部33、駆動用のPチャネルトランジスタ
P47、抵抗分割用のPチャネルトランジスタP48、
抵抗R23及びR24を備えている。
【0084】回路20において、検知回路21は外部電
源電圧Vccのレベルを検知し、検知信号VCCMIN を出力
する。レベルシフタ22は、検知信号VCCMIN を与えら
れて所望のレベルに変換するもので、Pチャネルトラン
ジスタP31及びP32、NチャネルトランジスタN3
1及びN32、PチャネルトランジスタP33及びイン
バータIN11を有しており、電圧V21〜V23を出
力する。
【0085】トランジスタ部24は、外部電源電圧Vcc
端子と内部電源電圧Vint 端子との間に並列に接続され
た複数のPチャネルトランジスタP101〜P10n
(nは、2以上の整数)を有している。Pチャネルトラ
ンジスタP101〜P10nは、ゲートに共通に電圧V
21を入力されて、ドレインより内部電源電圧Vint を
出力する。
【0086】PチャネルトランジスタP41と抵抗R2
1及びR22は、内部電源電圧Vint 端子と、電圧V2
3が出力されるインバータIN11の出力端子との間に
直列に接続されている。ここで、Pチャネルトランジス
タP41はゲートに入力される電圧V23のレベルに応
じてオン・オフを制御される。そして、抵抗R21と抵
抗R22とを接続するノードより、内部電源電圧Vint
−電圧V23を抵抗分割した電圧V24が出力される。
【0087】差動増幅部23は、Pチャネルトランジス
タP34及びP35と、NチャネルトランジスタN33
〜N36を有したカレントミラー型の差動増幅回路であ
る。この差動増幅部23は、電圧V22を与えられて動
作状態を制御され、基準電圧Vref と電圧V24との比
較を行い電圧V21を出力することで、駆動用のトラン
ジスタ部24の動作制御を行う。
【0088】回路30は、上述したように回路20と等
価な回路構成を有している。しかし、回路30は外部電
源電圧Vccのレベルにかかわらず常時動作する。このた
め、必ずしも外部電源電圧Vccのレベルを検知する検知
回路31やレベルシフタ32を備えている必要はなく、
差動増幅部33が常に動作し、基準電圧Vref と電圧V
31との比較結果に応じてPチャネルトランジスタP4
7のスイッチングを制御するものであればよい。
【0089】このような構成を備えた本実施例の動作
は、以下のようである。先ず、外部電源電圧Vccのレベ
ルが、例えば3.3Vというように低い場合は、回路2
0と回路30は共に動作する。回路20において、検知
回路21で外部電源電圧Vccが所定値よりも低いことが
検知され、このことを示す制御信号VCCMIN が出力され
る。レベルシフタ22はこの制御信号VCCMIN を与えら
れて、電圧V21〜V23を出力する。論理レベルとし
ては、電圧V21及びV23はロウレベルで、電圧V2
2はハイレベルである。
【0090】トランジスタ部24にロウレベルの電圧V
21が入力され、PチャネルトランジスタP101〜P
10nがオンし、導通抵抗に応じて降圧した内部電源電
圧Vint を出力する。この電圧Vint と電圧V23との
電位差が、PチャネルトランジスタP41と、抵抗R2
1及びR22とで抵抗分割され、電圧V24が出力され
る。
【0091】差動増幅部23は、ハイレベルの電圧V2
2を入力されて動作状態にある。基準電圧Vref と電圧
V24とが入力されて比較され、電圧V24の方が高い
場合はハイレベルの電圧V21が出力されてPチャネル
トランジスタP101〜P10nがオフする。これによ
り、内部電源電圧Vint のレベルが降下する。電圧V2
4の方が基準電圧Vref よりも低い場合は、ロウレベル
の電圧V21が出力されてPチャネルトランジスタP1
01〜P10nがオンし、内部電源電圧Vintが上昇す
る。
【0092】同様に、回路30において検知回路31、
レベルシフタ32及び差動増幅部33が動作する。検知
回路31は外部電源電圧Vccのレベルを検知して制御信
号Vccmax を出力する。ここでは、差動増幅部33を常
時動作させるように、この制御信号VCCMAX は常にハイ
レベルにある。外部電源電圧Vccと、制御信号VCCMAx
がインバータIN12で反転されてロウレベルの信号と
の電位差が、PチャネルトランジスタP47と、Pチャ
ネルトランジスタP48及び抵抗R23,R24で抵抗
分割され、電位V31として出力される。この電位31
と、基準電位Vref とが差動増幅部33に入力されて比
較され、この結果に応じてPチャネルトランジスタP4
7の導通が制御される。
【0093】外部電源電圧Vccが低い場合には、回路2
0のPチャネルトランジスタP101〜P10nと回路
30のPチャネルトランジスタP47が共にオンし、並
列に接続された状態となる。よって、内部電源電圧Vin
t を発生する駆動用トランジスタの寸法が大きくなる。
このため、外部電源電圧Vccからほとんど降圧させずに
内部電源電圧Vint を発生させることができる。特に、
トランジスタ部24においてPチャネルトランジスタP
101〜P10nの数を多くするなどによって、駆動用
トランジスタの寸法を大きくすることで、外部電源電圧
Vcc端子と内部電源電圧Vint 端子とをほぼ短絡した場
合と同様な状態にすることができる。
【0094】外部電源電圧Vccが例えば5Vというよう
に高い場合は、以下のようである。回路20において、
検知回路21が外部電源電圧Vccが所定値以上であるこ
とを検知する。このときの制御信号VCCMIN はロウレベ
ルであり、差動増幅部23にはロウレベルの電位V22
が与えられ、非動作状態となる。Pチャネルトランジス
タP41には、ハイレベルの電位V23が入力されてオ
フする。差動増幅部23からの出力電位V21はハイレ
ベルであり、PチャネルトランジスタP101〜P10
nは全てオフする。
【0095】一方の回路30では、外部電源電圧Vccが
高い場合にも動作しており、PチャネルトランジスタP
47から内部電源電圧Vint が出力される。このよう
に、外部電源電圧Vccが高いときはPチャネルトランジ
スタP47のみがオンする。このため、内部電源電圧V
int を出力する駆動用トランジスタの導通抵抗を大きく
設定することができ、スイッチング時のノイズを抑制し
て動作マージンを向上することができる。
【0096】以上のように、第2の実施例では外部電源
電圧Vccのレベルに応じて内部電源電圧Vint を出力す
るトランジスタの導通抵抗を変えている。外部電源電圧
Vccが低いときは導通抵抗を小さくして外部電源電圧に
ほぼ等しい内部電源電圧Vint を出力し、外部電源電圧
Vccが高いときは導通抵抗を大きくしてスイッチング時
のノイズを低減し動作マージンを高く確保することがで
きる。
【0097】図8に、この第2の実施例における検知回
路21の具体的な回路の例を示す。外部電源電圧Vcc端
子と接地電圧Vss端子との間に、Pチャネルトランジス
タP51とNチャネルトランジスタN51とで構成され
たインバータと、NチャネルトランジスタN52が直列
に接続されている。このインバータの入力端子には、外
部電源電圧Vccに影響されない基準電位Vref が入力さ
れ、NチャネルトランジスタN52のゲートにはハイレ
ベルの信号V25が入力される。このインバータの出力
端子にはインバータIN13の入力端子が接続され、イ
ンバータIN31の出力端子にはNAND回路NA11
及びNAND回路12で構成されたR−Sラッチ回路の
セット端子が接続されている。このラッチ回路のリセッ
ト端子には、動作時にはロウレベルの信号V26が入力
される。ラッチ回路の補出力端子にはインバータIN1
4を介して制御信号VCCMIN が出力される端子が接続さ
れている。
【0098】この検知回路によれば、トランジスタP5
1、N51及びN52の抵抗の比率に応じて制御信号V
CCMIN のレベルが切り換わる。
【0099】次に、第2の実施例における検知回路21
の他の回路の例を示す。この回路は、CMOS型カレン
トミラー回路を用いたものである。外部電源電圧Vcc端
子と接地電圧Vss端子との間に、Pチャネルトランジス
タP52と抵抗R25〜R27、Nチャネルトランジス
タN53が直列に接続されている。電圧Vcc−Vssを、
PチャネルトランジスタP52及び抵抗R25と、抵抗
R26及びR27とNチャネルトランジスタN53で抵
抗分割した電位V27が、抵抗R25とR26とを接続
するノードから発生する。
【0100】PチャネルトランジスタP54及びP55
とNチャネルトランジスタN54〜N56で差動増幅部
が構成されており、その動作は内部電源電圧Vint 端子
とPチャネルトランジスタP54及びP55のソースと
の間に接続されたPチャネルトランジスタP53の動作
状態により制御される。このPチャネルトランジスタP
53のオンオフは、インバータIN15を介してゲート
に供給される電圧V25により制御される。
【0101】電位V27と基準電位Vref とがこの差動
増幅部に入力され、比較結果が電位V28として出力さ
れる。この電位V28は、インバータ列IN16及びI
N17を介して制御信号VCCMIN として出力される。ま
た、電位V28と接地電圧Vss端子との間には、ゲート
がインバータIN15の出力端子に接続されたNチャネ
ルトランジスタN57が接続されている。また、抵抗R
26と抵抗R27とを接続するノードと接地電圧Vss端
子との間に、抵抗R28とNチャネルトランジスタN5
6が直列に接続されている。このNチャネルトランジス
タN56の導通は、制御信号VCCMIN により制御され
る。このような構成を有した検知回路によっても、外部
電源電圧Vccを抵抗分割して得られた電圧V27と基準
電位Vrefとを対比することで、外部電源電圧Vccの高
低を検知することが可能である。
【0102】また、この図9に示された検知回路は、外
部電源電圧Vccが高レベルから低レベルに切り換わる時
と、低レベルから高レベルに切り換わる時とで電位が異
なっており、いわゆるヒステリシス特性を有している。
これにより、製造プロセスの条件が変動し、外部電源電
圧Vccの高低を区別する基準レベルが多少ずれたとして
も、確実な動作が保証される。
【0103】次に、本発明の第3の実施例について説明
する。図10に、本実施例による半導体装置の構成を示
す。この装置は、ビット線対の電圧V41及びV42の
相対的な電位の高低をセンス回路50で検知し、その結
果を出力トランジスタから出力するが、その出力トラン
ジスタの寸法を外部電源電圧Vccのレベルに応じて変え
る点に特徴がある。
【0104】出力トランジスタは、Pチャネルトランジ
スタP61及びP62と、NチャネルトランジスタN6
3及びN64で構成されている。Pチャネルトランジス
タP61とNチャネルトランジスタN63は、外部電源
電圧Vcc端子と接地電圧Vss端子との間に直列に接続さ
れている。PチャネルトランジスタP62とNチャネル
トランジスタN64は、その間にNチャネルトランジス
タN61及びN62を介して外部電源電圧Vcc端子と接
地電圧Vss端子との間に直列に接続されている。Pチャ
ネルトランジスタP61及びP62のゲートは、センス
回路50の一方の出力端子にインバータIN21を介し
て接続され、NチャネルトランジスタN63及びN64
のゲートは、センス回路50の他方の出力端子にインバ
ータIN22を介して接続されている。また、Nチャネ
ルトランジスタN61及びN62のゲートには、検知回
路51の出力端子が接続されており、制御信号VCCMIN
によりその導通を制御される。この半導体装置の出力端
子は、PチャネルトランジスタP61とNチャネルトラ
ンジスタN63、NチャネルトランジスタN61とN6
2とを接続するノードに共通に接続されている。
【0105】検知回路51により、外部電源電圧Vccの
高低が検知され、低電圧の場合には制御信号VCCMIN は
ハイレベルになる。これにより、Pチャネルトランジス
タP62とNチャネルトランジスタN62が共にオンす
る。よって、出力トランジスタとして、Pチャネルトラ
ンジスタP61及びP62、NチャネルトランジスタN
63及びN64が全て導通状態になり、結果として導通
抵抗が低くなる。このため、外部電源電圧Vccが低い場
合には、最終段の出力トランジスタの寸法が大きくな
り、出力レベルの低下が防止される。
【0106】逆に、外部電源電圧Vccが高い場合には、
制御信号VCCMIN はロウレベルになる。Nチャネルトラ
ンジスタN61及びN62がオフし、Pチャネルトラン
ジスタP62とNチャネルトランジスタN64は共にオ
フする。出力トランジスタは、Pチャネルトランジスタ
P61とNチャネルトランジスタN63のみによって構
成され、導通抵抗は高くなる。これにより、外部電源電
圧Vccが高電圧の場合にもスイッチングノイズを抑制す
ることができる。
【0107】本発明の第4の実施例による半導体装置に
ついて述べる。この装置は、半導体記憶装置におけるセ
ンスアンプの共通ソースノードを駆動する定電流性の降
圧回路を備え、その構成は図11に示されるようであ
る。
【0108】センスアンプ回路64は、Pチャネルトラ
ンジスタで構成されたPチャネルセンスアンプ71,7
2と、Nチャネルトランジスタで構成されたNチャネル
センスアンプ73,74とを有している。それぞれPチ
ャネルセンスアンプ71,72は、Pチャネルトランジ
スタの共通ソースノードSAPが充電されることで活性
化され、Nチャネルセンスアンプ73,74は、Nチャ
ネルトランジスタの共通ソースノードバーSANが放電
されることで活性化される。
【0109】この共通ソースノードSAP,バーSAN
の充放電は、制御回路63によって行われる。このう
ち、Pチャネルセンスアンプ71,72の共通ソースノ
ードSAPの充電は、PチャネルトランジスタP75〜
P77と、NチャネルトランジスタN76及びN77で
構成された回路63aにより行われる。
【0110】この回路63aは、Nチャネルトランジス
タN77のゲートに入力される基準電位VRSAPと共通ソ
ースノードSAPとの比較に基づいて動作する。基準電
位VRSAPは、基準電位発生回路61により発生される。
内部電源電圧Vint 端子と接地電圧Vss端子との間に、
抵抗R31及びR32、ダイオードD1、Nチャネルト
ランジスタN71が直列に接続されており、抵抗R31
と、抵抗R32、ダイオードD1、Nチャネルトランジ
スタN71とにより抵抗分割されて基準電位VRSAPが生
成される。
【0111】この基準電位VRSAPのレベルは、基準電位
制御回路62の動作に応じて切り替わる。基準電位制御
回路62では、内部電源電圧Vint 端子と電圧VRSAP端
子との間にPチャネルトランジスタP71とP72とが
直列に接続されている。PチャネルトランジスタP72
のオンオフ動作は、図7における検知回路21から出力
された制御信号VCCMIN がインバータIN31で反転さ
れたものにより制御される。
【0112】外部電源電圧Vccが低いときは、検知信号
VCCMIN はハイレベルである。この信号VCCMIN がイン
バータIN31で反転され、ロウレベルの電位がPチャ
ネルトランジスタP72のゲートに与えられ、オンす
る。これにより、PチャネルトランジスタP71及びP
72を介して、内部電源電圧Vint 端子と基準電位VRS
AP端子とが短絡される。これにより、基準電位VRSAPの
レベルが内部電源電圧Vint とほぼ等しい例えば3.3
Vというレベルになる。このような基準電位VRSAPが回
路63aのNチャネルトランジスタN77のゲートに入
力され、共通ソースノードSAPを充電する速度が速く
なる。
【0113】逆に、外部電源電圧Vccが高いときは、P
チャネルトランジスタP72はオフする。基準電位VRS
AP端子と内部電源電圧Vint 端子とは短絡されず、基準
電位VRSAPのレベルは回路61により決定される。この
ときの電圧VRSAPは、例えば1.4Vというように低く
設定される。この基準電位VRSAPが回路63aのNチャ
ネルトランジスタN77のゲートに入力され、スイッチ
ング時に発生するノイズレベルが低減される。
【0114】このように、外部電源電圧Vccが低い場合
には、基準電位VRSAPを例えば3.3Vというように高
くし、共通ソースノードSAPの充電速度を高速化する
ことで、ビット線のリストアの遅延を防止することがで
きる。また、外部電源電圧Vccが高い場合には、逆に基
準電位VRSAPを例えば1.4Vというように低くし、信
号SAPの充電速度を遅くすることでこの信号線SAP
の充電時の電源ノイズを抑制し、誤動作を防止すること
ができる。
【0115】次に、本発明の第5〜第7の実施例による
半導体装置について説明する。これらの実施例は、いず
れも基準電位Vref を発生する際に、そのレベルを外部
電源電圧Vccの高低に応じて切り替えるものである。こ
の基準電位Vref は、I/O入力レベル比較の為の参照
電圧や、DRAMにおけるビット線の1/2Vccプリチ
ャージ電圧の発生回路に用いられる。
【0116】図12は、本発明の第5の実施例による装
置であり、制御回路81と基準電位発生回路82とを有
している。制御回路81からは、外部電源電圧Vccの高
低に応じた制御信号が出力される。この制御信号が基準
電位発生回路82に与えられ、外部電源電圧Vccが高い
場合には基準電位Vref1が出力され、低い場合には基準
電圧Vref2が出力される。
【0117】図13に示された第6の実施例は、基準電
位Vref1を発生する基準電位発生回路84と、基準電位
Vref2を発生する基準電位発生回路85とをそれぞれ備
えている。そして、基準電位発生回路84及び85から
の出力はスイッチング回路86に与えられ、制御回路8
3からの制御信号に応じていずれか一方が選択されて出
力される。
【0118】図14には、本発明の第7の実施例が示さ
れている。第6の実施例と同様に、基準電位Vref1 ,
Vref2をそれぞれ発生する基準電位発生回路88及び8
9を備えているが、それぞれ制御回路87からの制御信
号を与えられて動作状態が制御される点が相違する。外
部電源電圧Vccが高いときは、制御信号により基準電位
発生回路88のみが動作して基準電位Vref1が発生さ
れ、基準電位発生回路89は非動作状態になる。発生さ
れた基準電位Vref1がスイッチング回路90に入力さ
れ、出力される。外部電源電圧Vccが低い場合は、これ
とは逆に基準電位発生回路88が非動作状態になり、基
準電位発生回路89が動作して基準電位Vref2が発生さ
れる。この基準電位Vref2がスイッチング回路90に入
力され、外部へ出力される。この第7の実施例によれ
ば、いずれか一方の基準電位発生回路のみが動作するた
め、第6の実施例と比較して消費電流を低減させること
ができる。
【0119】この様に、基準電位Vref を外部電源電圧
Vccに応じて変化させることにより、低電圧で用いる時
は低い基準電位を、高い電圧で用いる時は相応の基準電
位を発生することができる。
【0120】図15〜図17に、それぞれ本発明の第8
〜第10の実施例による半導体装置の構成を示す。これ
らの実施例は、基板電位VSSB1又はVSSB2のいずれか一
方を、外部電源電圧Vccの高低に応じて出力するもの
で、ブロック構成としては上述した第5〜第7の実施例
によるものと同様である。
【0121】図15に示された第8の実施例では、制御
回路91からの制御信号に応じて、基板電位発生回路9
2から基板電位VSSB1,VSSB2のいずれか一方が出力さ
れる。
【0122】さらに具体的には、VSSB2をVSSB1より浅
く(接地電位に近く)設定しておいて、Vccが低電圧の
時にVSSB2を出力するように制御回路91を構成する。
【0123】図16における第9の実施例では、基板電
位発生回路94及び95からそれぞれ発生された基板電
位VSSB1,VSSB2のいずれか一方が、制御回路93の制
御に応じてスイッチング回路96により選択され出力さ
れる。
【0124】図17における第10の実施例では、制御
回路97の制御により、基準電位発生回路98と99の
いずれか一方のみが動作して基準電位VSSB1又はVSSB2
が発生され、スイッチング回路100より出力される。
【0125】この様な構成によって、電源電圧に応じて
基板電位を変化させられる。例えば、低電圧で用いる時
は、基板電位を浅く(接地電位に近く)設定すると、M
OSトランジスタのバックゲートバイアス効果が抑えら
れ、しきい値を下げることができる。この結果、低電圧
で用いた時はMOSトランジスタを相応のしきい値で使
用でき誤動作もなくなる。
【0126】さらに、図18〜図20に、本発明の第1
1〜第13の実施例の構成をそれぞれ示す。これらの実
施例は、外部電源電圧Vccの高低に応じて昇圧比を変え
て電圧を出力するものである。それぞれの実施例のブロ
ック構成は、第5〜第7、第8〜第10による実施例と
それぞれ同様である。ここで昇圧された電圧電力は例え
ばDRAMのワード線昇圧回路の昇圧電源として用い
る。
【0127】図18に示された第11の実施例は、制御
回路101からの制御信号に応じて、昇圧回路102か
ら昇圧電圧Vb1又はVb2のいずれか一方が出力される。
【0128】図19に示された第12の実施例では、昇
圧回路104及び105からそれぞれ昇圧電圧Vb1,V
b2が発生され、制御回路103により制御されるスイッ
チング回路106からいずれか一方が出力される。
【0129】図20における第13の実施例では、昇圧
回路108及び109のいずれか一方が制御回路107
の制御により動作状態になり、昇圧電圧Vb1,Vb2のい
ずれか一方がスイッチング回路110より出力される。
【0130】このように、外部電源電圧Vccに応じて昇
圧電圧比を変えることができる。外部電源電圧Vccが低
電圧のときは、昇圧電圧比を高くすることで、例えばD
RAMのワード線に印加する電圧が高くなり、選択され
たセルのトランジスタを確実にオンさせることができ
る。これにより、誤動作が防止され、アクセス時間も短
縮される。
【0131】ここで、第5〜第13の実施例における制
御回路は、いずれも外部電源電圧Vccの高低に応じた制
御信号を発生する。制御回路の内部に例えばヒューズを
備え、外部電源電圧Vccの高低に応じてヒューズが溶断
されあるいは溶断されないことで、制御信号を生成する
ことができる。これらの具体的な回路構成は、図2、図
3に示したものと同等である。また、ボンディングパッ
ドを備え、外部電源電圧Vccの高低に応じてボンディン
グパッド間がボンディングワイヤで短絡されるか否かに
より、制御信号を生成してもよい。これらの具体的な回
路構成は、図4、図5に示したものと同等である。ある
いは、例えばフローティングゲートを有するMOS型ト
ランジスタ等の不揮発性のメモリセルを内蔵し、外部電
源電圧Vccの高低に関する情報を予め書き込んでおいて
もよい。さらに、外部電源電圧Vccの高低を検知する回
路を内蔵し、自動的にそのレベルに応じた制御信号を生
成するものであってもよい。また、第5〜第13の実施
例における制御回路は、上述したように、例えば第1の
実施例として図1に示された制御回路12や、図2、図
4、図5に示された回路の構成を応用することができ
る。あるいは、第2の実施例として図7〜9に示された
回路と同様な構成を用いてもよい。
【0132】本発明の第1〜第13の実施例によれば、
いずれの実施例においても一つの半導体装置で異なる外
部電源電圧Vccに対して用いることができる。このた
め、高電圧用の装置と低電圧用の装置とをそれぞれ専用
に製造する必要がない。このことは、製造コストを低減
させるだけでなく、製造後において市場の要求に応じた
装置の供給が可能である。
【0133】また、一般に高電圧で用いるより低電圧で
用いる場合の方が動作マージンが小さく、検査により不
良となりやすい。低電圧で不良と判定された装置も、高
電圧で用いることが可能な場合は多く、それぞれ専用の
装置として製造する場合よりも製造歩留まりを向上させ
ることができる。
【0134】上述した実施例はいずれも一例であり、本
発明を限定するものではない。例えば、本発明の半導体
装置の一例として、図1〜図5に示された第1の実施例
における回路構成に限らず、外部電源電圧が所定値より
も低い場合には、内部電源降圧回路を非動作状態にし、
かつ外部電源電圧を内部電源電圧として出力するもので
あればよい。
【0135】また上述した実施例では、外部電源電圧が
例えば5Vと3.3Vというように、2種類の電圧に対
応する場合を想定しているが、3種類以上の電圧で用い
る場合にも本発明を適用することができる。この場合に
は、例えば外部電源電圧のレベルが最も低い場合に、内
部電源駆動用トランジスタや出力トランジスタ等の寸法
が最も大きくなるように設定すればよい。
【0136】
【発明の効果】以上説明したように本発明の半導体装置
は、外部電源電圧が低い場合には内部電源降圧回路を非
動作状態にして外部電源電圧を内部電源電圧として出力
することで、消費電流の低減、動作マージンの確保を達
成することができる。
【0137】あるいは、内部電源駆動用トランジスタの
コンダクタンスを、外部電源電圧が低い場合には大きく
して降圧を防止し、外部電源電圧が高い場合には小さく
してスイッチング時に発生するノイズを低減し動作マー
ジンを確保することができる。
【0138】出力バッファ回路を有する半導体装置で
は、出力トランジスタのコンダクタンスを外部電源電圧
が低い場合には大きくして降圧を防止し、外部電源電圧
が高い場合には小さくしてスイッチングノイズを低減し
て誤動作を防止することができる。
【0139】センスアンプ回路を活性化する回路の動作
を基準電位で制御する場合、この基準電位を外部電源電
圧が低い場合には高くして活性化に必要な時間を短縮
し、外部電源電圧が高い場合には低くすることでスイッ
チングノイズの低減を図ることができる。
【0140】また、異なる外部電源電圧に対しても同一
の半導体装置で対応することができ、製造後において市
場の要求に応じて振り分けることが可能である。また、
製造された装置が低い外部電源電圧では不良であって
も、高い外部電源電圧では用いることができる場合が多
く、低い外部電源電圧専用の装置を製造するよりも製造
歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例による半導体装置の構成
を示す回路図。
【図2】同半導体装置における制御回路の他の回路構成
を示す回路図。
【図3】同半導体装置における制御回路の他の回路構成
を示す回路図。
【図4】同半導体装置における制御回路の他の回路構成
を示す回路図。
【図5】同半導体装置における制御回路の他の回路構成
を示す回路図。
【図6】外部電源電圧に対するスタンバイ電流の変化を
示す説明図。
【図7】本発明の第2の実施例による半導体装置の構成
を示す回路図。
【図8】同半導体装置における検知回路の他の回路構成
を示した回路図。
【図9】同半導体装置における検知回路の他の回路構成
を示した回路図。
【図10】本発明の第3の実施例による半導体装置の構
成を示す回路図。
【図11】本発明の第4の実施例による半導体装置の構
成を示す回路図。
【図12】本発明の第5の実施例による半導体装置の構
成を示す回路図。
【図13】本発明の第6の実施例による半導体装置の構
成を示す回路図。
【図14】本発明の第7の実施例による半導体装置の構
成を示す回路図。
【図15】本発明の第8の実施例による半導体装置の構
成を示す回路図。
【図16】本発明の第9の実施例による半導体装置の構
成を示す回路図。
【図17】本発明の第10の実施例による半導体装置の
構成を示す回路図。
【図18】本発明の第11の実施例による半導体装置の
構成を示す回路図。
【図19】本発明の第12の実施例による半導体装置の
構成を示す回路図。
【図20】本発明の第13の実施例による半導体装置の
構成を示す回路図。
【図21】従来の半導体装置の構成を示す回路図。
【図22】同半導体装置における基準電位発生回路の構
成を示す回路図。
【図23】同半導体装置における外部電源電圧に対する
基準電位と内部電源電圧の変化を示す説明図。
【符号の説明】
10 差動増幅部 11,40,61,82,84,85,88,89 基
準電位発生回路 12,63,81,83,87,91,93,97,1
01,103,107制御回路 13〜17 ボンディングパッド 21,51 検知回路 22,32 レベルシフタ 23,33 差動増幅部 24 トランジスタ部 50 センス回路 62 基準電位制御回路 64 センスアンプ回路 86,90,96,100,106,110 スイッチ
ング回路 92,94,95,98,99 基板電位発生回路 102,104,105,108,109 昇圧回路 F1,F2 フューズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H03K 19/00 A 8941−5J

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】外部電源電圧を供給されて降圧し、内部電
    源電圧を出力する内部電源降圧回路と、 前記外部電源電圧が所定値よりも低い場合、前記内部電
    源降圧回路を非動作状態にする第1の制御回路と、 前記外部電源電圧が所定値よりも低い場合、前記外部電
    源電圧を前記内部電源電圧として出力させる第2の制御
    回路とを備えたことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】前記第2の制御回路は、前記外部電源電圧
    が供給される入力端子と前記内部電源電圧が出力される
    出力端子とを有し、前記外部電源電圧が前記所定値より
    も低い場合、前記入力端子と前記出力端子との間がヒュ
    ーズ又はボンディングワイヤにより接続され、前記外部
    電源電圧が前記所定値以上の場合、前記入力端子と前記
    出力端子との間が遮断されることを特徴とする請求項1
    記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】前記第2の制御回路は、前記外部電源電圧
    を供給される入力端子と前記内部電源電圧が出力される
    出力端子との間にヒューズ又はボンディングワイヤによ
    り導通が制御されるスイッチング素子を有し、前記外部
    電源電圧が前記所定値よりも低い場合、前記スイッチン
    グ素子が導通して前記入力端子と前記出力端子との間が
    接続され、前記外部電源電圧が前記所定値以上の場合、
    前記スイッチング素子が非導通状態となって前記入力端
    子と前記出力端子との間が遮断されることを特徴とする
    請求項1記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】第1の外部電源電圧を供給される第1の端
    子と第2の外部電源電圧を供給される第2の端子とを有
    し、前記第1の外部電源電圧と前記第2の外部電源電圧
    との電位差を降圧して内部電源電圧を出力する内部電源
    降圧回路と、 前記第1の外部電源電圧と前記第2の外部電源電圧との
    電位差が所定値よりも低い場合、前記第1の端子の電位
    と前記第2の端子の電位とをヒューズ又はボンディング
    ワイヤを用いてほぼ一致させて、前記内部電源降圧回路
    を非動作状態にする第1の制御回路と、 前記第1の外部電源電圧と前記第2の外部電源電圧との
    電位差が所定値よりも低い場合、前記外部電源電圧を前
    記内部電源電圧として出力させる第2の制御回路とを備
    えたことを特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】第1の外部電源電圧を供給される第1の端
    子と第2の外部電源電圧を供給される第2の端子とを有
    し、前記第1の外部電源電圧と前記第2の外部電源電圧
    との電位差を降圧して内部電源電圧を出力する内部電源
    降圧回路と、 前記第1の端子への前記第1の外部電源電圧の供給と、
    前記第2の端子への前記第2の外部電源電圧の供給のう
    ち、少なくともいずれか一方をヒューズ又はボンディン
    グワイヤを用いて制御する第1の制御回路であって、前
    記第1の外部電源電圧と前記第2の外部電源電圧との電
    位差が所定値よりも低い場合、前記第1の端子への前記
    第1の外部電源電圧の供給と前記第2の端子への前記第
    2の外部電源電圧の供給のうち、少なくともいずれか一
    方を行わないことで、前記内部電源降圧回路を非動作状
    態にする前記第1の制御回路と、 前記外部電源電圧が所定値よりも低い場合、前記外部電
    源電圧を前記内部電源電圧として出力させる第2の制御
    回路とを備えたことを特徴とする半導体装置。
  6. 【請求項6】内部電源駆動用トランジスタを有し、外部
    電源電圧を供給されて降圧し、前記内部電源駆動用トラ
    ンジスタから内部電源電圧を出力する内部電源降圧回路
    と、 前記外部電源電圧が所定値よりも低い場合には、前記外
    部電源電圧が前記所定値以上のときより相対的に前記内
    部電源駆動用トランジスタのコンダクタンスを大きくす
    る制御回路とを備えることを特徴とする半導体装置。
  7. 【請求項7】第1の内部電源駆動用トランジスタを有
    し、外部電源電圧を供給されて降圧し、前記第1の内部
    電源駆動用トランジスタから内部電源電圧を出力する第
    1の内部電源降圧回路と、 第2の内部電源駆動用トランジスタを有し、前記外部電
    源電圧を供給されて降圧し、前記第2の内部電源駆動用
    トランジスタから前記内部電源電圧を出力する第2の内
    部電源降圧回路と、 前記外部電源電圧と所定値とを比較し、前記外部電源電
    圧が前記所定値よりも低い場合には前記第1の内部電源
    駆動用トランジスタと前記第2の内部電源駆動用トラン
    ジスタとを共にオンさせ、前記外部電源電圧が前記所定
    値よりも高い場合には前記第1の内部電源駆動用トラン
    ジスタのみをオンさせる制御回路とを備えることを特徴
    とする半導体装置。
  8. 【請求項8】外部電源電圧を供給されて降圧し、内部電
    源電圧を出力する内部電源降圧回路と、 前記外部電源電圧または前記内部電源電圧を供給されて
    動作する出力用トランジスタを有し、入力された信号を
    前記出力用トランジスタを用いて外部に出力する出力バ
    ッファ回路と、 前記外部電源電圧が所定値よりも低い場合、前記外部電
    源電圧が所定値以上のときよりも前記出力用トランジス
    タのコンダクタンスを大きくする制御回路とを備えるこ
    とを特徴とする半導体装置。
  9. 【請求項9】信号を入力され、この信号を検知した結果
    を外部へ出力するセンスアンプ回路と、 基準電位を入力され、この基準電位に基づいて前記セン
    スアンプ回路の活性化を制御する回路と、 外部電源電圧を供給されて降圧し、前記基準電位を出力
    する基準電位発生回路と、 前記外部電源電圧が所定値よりも低い場合、前記外部電
    源電圧が前記所定値以上であるときよりも前記基準電位
    のレベルを高くする基準電位制御回路とを備えることを
    特徴とする半導体装置。
  10. 【請求項10】外部電源電圧を入力され、この外部電源
    電圧が所定値以上の場合に第1の制御信号を出力し、前
    記外部電源電圧が前記所定値よりも低い場合に第2の制
    御信号を出力する制御回路と、 前記制御回路から前記第1の制御信号が出力されたとき
    第1の電位を出力し、前記制御回路から前記第2の制御
    信号が出力されたとき第2の電位を出力する電位発生回
    路とを備えることを特徴とする半導体装置。
  11. 【請求項11】外部電源電圧を入力され、この外部電源
    電圧が所定値以上の場合に第1の制御信号を出力し、前
    記外部電源電圧が前記所定値よりも低い場合に第2の制
    御信号を出力する制御回路と、 第1の電位を出力する第1の電位発生回路と、 第2の電位を出力する第2の電位発生回路と、 前記第1の電位及び前記第2の電位を与えられ、前記制
    御回路から前記第1の制御信号が出力されたとき前記第
    1の電位を出力し、前記制御回路から前記第2の制御信
    号が出力されたとき前記第2の電位を出力するスイッチ
    ング回路とを備えることを特徴とする半導体装置。
  12. 【請求項12】外部電源電圧を入力され、この外部電源
    電圧が所定値以上の場合に第1の制御信号を出力し、前
    記外部電源電圧が前記所定値よりも低い場合に第2の制
    御信号を出力する制御回路と、 前記制御回路から前記第1の制御信号が出力されたとき
    第1の電位を出力し、前記第2の制御信号が出力された
    とき非動作状態になる第1の電位発生回路と、 前記制御回路から前記第2の制御信号が出力されたとき
    第2の電位を出力し、前記第1の制御信号が出力された
    とき非動作状態になる第2の電位発生回路と、 前記制御回路から前記第1の制御信号が出力されたとき
    前記第1の電位発生回路から前記第1の電位を与えられ
    て出力し、前記制御回路から前記第2の制御信号が出力
    されたとき前記第2の電位発生回路から前記第2の電位
    を与えられて出力するスイッチング回路とを備えること
    を特徴とする半導体装置。
  13. 【請求項13】前記第1の電位及び第2の電位は、第1
    の基準電位及び第2の基準電位、第1の基板電位及び第
    2の基板電位、または第1の昇圧電位及び第2の昇圧電
    位のうちのいずれか1組であることを特徴とする請求項
    10ないし12のいずれかに記載の半導体装置。
  14. 【請求項14】前記制御回路は、前記外部電源電圧を入
    力されると前記所定値と比較し、前記外部電源電圧が前
    記所定値よりも高い場合に前記第1の制御信号を出力
    し、前記外部電源電圧が前記所定値よりも低い場合に第
    2の制御信号を出力することを特徴とする請求項10な
    いし13のいずれかに記載の半導体装置。
  15. 【請求項15】前記制御回路は二つのボンディングパッ
    ドを有し、このボンディングパッドの間がワイヤボンデ
    ィングにより接続された場合と接続されない場合とで、
    前記第1の制御信号と前記第2の制御信号のいずれか一
    方を選択して出力することを特徴とする請求項10ない
    し13のいずれかに記載の半導体装置。
  16. 【請求項16】前記制御回路は二つの端子を有し、この
    端子の間がヒューズにより接続された場合と接続されな
    い場合とで、前記第1の制御信号と前記第2の制御信号
    のいずれか一方を選択して出力することを特徴とする請
    求項10ないし13のいずれかに記載の半導体装置。
  17. 【請求項17】前記制御回路は不揮発性の記憶素子を有
    し、この記憶素子に記憶されている内容に応じて、前記
    第1の制御信号と前記第2の制御信号のいずれか一方を
    選択して出力することを特徴とする請求項10ないし1
    3のいずれかに記載の半導体装置。
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