JPH0667000A - Ｘ線顕微鏡 - Google Patents
Ｘ線顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0667000A JPH0667000A JP21930692A JP21930692A JPH0667000A JP H0667000 A JPH0667000 A JP H0667000A JP 21930692 A JP21930692 A JP 21930692A JP 21930692 A JP21930692 A JP 21930692A JP H0667000 A JPH0667000 A JP H0667000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- ray
- microscope
- detector
- image
- Prior art date
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- Withdrawn
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K7/00—Gamma- or X-ray microscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来の二次元検出器を用い、空間分解能数１
０ｎｍを有し、かつ、リアルタイムで観察できるＸ線顕
微鏡を提供する。 【構成】 Ｘ線顕微鏡の対物レンズ７と検出器９の間
に、シュワルツシルド型光学系８を新たに設けることに
より、対物レンズ７によって結像された像を検出器９の
１画素のサイズまで拡大する。対物レンズの優れた解像
度を損なうことなく、明るい良好な顕微像がリアルタイ
ムで得られる。実施例の構成は、これらのほかに、光源
１，集光レンズ２，レーザーターゲット３，フィルター
４，コンデンサーレンズ５，蛍光変換面９ａを含む。６
はサンプルである。
０ｎｍを有し、かつ、リアルタイムで観察できるＸ線顕
微鏡を提供する。 【構成】 Ｘ線顕微鏡の対物レンズ７と検出器９の間
に、シュワルツシルド型光学系８を新たに設けることに
より、対物レンズ７によって結像された像を検出器９の
１画素のサイズまで拡大する。対物レンズの優れた解像
度を損なうことなく、明るい良好な顕微像がリアルタイ
ムで得られる。実施例の構成は、これらのほかに、光源
１，集光レンズ２，レーザーターゲット３，フィルター
４，コンデンサーレンズ５，蛍光変換面９ａを含む。６
はサンプルである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線顕微鏡に関するも
のである。
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、Ｘ線光源やＸ線光学素子の研究開
発が進み、その応用システムの一つとして、Ｘ線顕微鏡
が提案されている。図３に示すように、Ｘ線顕微鏡には
いろいろなタイプがある。すなわち、ウォルター型など
の斜入射光学系〔図３（ａ）〕、回折を利用したフレネ
ルゾーンプレート〔図３（ｂ）〕、２枚の球面鏡に多層
膜をコーティングした直入射型のシュワルツシルド型光
学系〔図３（ｃ）〕などの結像素子を利用したＸ線顕微
鏡システムが提案されている。
発が進み、その応用システムの一つとして、Ｘ線顕微鏡
が提案されている。図３に示すように、Ｘ線顕微鏡には
いろいろなタイプがある。すなわち、ウォルター型など
の斜入射光学系〔図３（ａ）〕、回折を利用したフレネ
ルゾーンプレート〔図３（ｂ）〕、２枚の球面鏡に多層
膜をコーティングした直入射型のシュワルツシルド型光
学系〔図３（ｃ）〕などの結像素子を利用したＸ線顕微
鏡システムが提案されている。
【０００３】このうち、シュワルツシルド光学系は、視
野が広く、結像性能が非常に優れている。特に、軟Ｘ線
は電子線に比較して生体試料に与えるダメージが少な
く、最近は、生体を生きたまま高解像度、無染色で観察
できる生物顕微鏡への応用が注目されている。また、Ｘ
線顕微鏡の回折限界は、Ｘ線の波長に比例して小さくな
るので、可視光を用いた一般の光学顕微鏡と比較する
と、空間分解能が１桁以上高くなる。例えば、数百Å程
度の波長を用いたＸ線顕微鏡では、５０ｎｍ前後の分解
能が期待できる。このようにＸ線顕微鏡は、次世代の優
れた顕微鏡としての可能性が大きい。
野が広く、結像性能が非常に優れている。特に、軟Ｘ線
は電子線に比較して生体試料に与えるダメージが少な
く、最近は、生体を生きたまま高解像度、無染色で観察
できる生物顕微鏡への応用が注目されている。また、Ｘ
線顕微鏡の回折限界は、Ｘ線の波長に比例して小さくな
るので、可視光を用いた一般の光学顕微鏡と比較する
と、空間分解能が１桁以上高くなる。例えば、数百Å程
度の波長を用いたＸ線顕微鏡では、５０ｎｍ前後の分解
能が期待できる。このようにＸ線顕微鏡は、次世代の優
れた顕微鏡としての可能性が大きい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のようにＸ線顕微
鏡は、原理的にすぐれた結像性能を持っているが、具体
的に顕微鏡システムを設計する場合、次のような問題点
がある。まず、現在の技術では、作製できる検出器の空
間分解能が不十分である。くわえて、ウォルター型光学
系やシュワルツシルド型光学系の場合には、高倍率の光
学系の作製が困難である。すなわち、ＩＯ（像点─物点
距離）が短くてコンパクトな顕微鏡システムを設計して
も、光学系の口径が非常に小さくなり、加工が不可能に
なる。例えば、ウォルター型光学系の場合、ＩＯが１ｍ
で倍率が１００倍の光学系を設計すると、口径が数ｍｍ
になる。これでは、精度の良いウォルター型光学系の作
製は、現実的に無理である。現在のところ、ＩＯが１ｍ
で倍率が１００倍のシュワルツシルド型光学系の作製に
ついて、報告が存在するのみである（J.A.Trail,“A Co
mpact Scanning Soft X-Ray Microscope”, Stanford U
ni-versity,Thesis for Doctorate (1989) ）。したが
って、現状のところＸ線結像光学系の倍率は、せいぜい
１００倍が限界である。
鏡は、原理的にすぐれた結像性能を持っているが、具体
的に顕微鏡システムを設計する場合、次のような問題点
がある。まず、現在の技術では、作製できる検出器の空
間分解能が不十分である。くわえて、ウォルター型光学
系やシュワルツシルド型光学系の場合には、高倍率の光
学系の作製が困難である。すなわち、ＩＯ（像点─物点
距離）が短くてコンパクトな顕微鏡システムを設計して
も、光学系の口径が非常に小さくなり、加工が不可能に
なる。例えば、ウォルター型光学系の場合、ＩＯが１ｍ
で倍率が１００倍の光学系を設計すると、口径が数ｍｍ
になる。これでは、精度の良いウォルター型光学系の作
製は、現実的に無理である。現在のところ、ＩＯが１ｍ
で倍率が１００倍のシュワルツシルド型光学系の作製に
ついて、報告が存在するのみである（J.A.Trail,“A Co
mpact Scanning Soft X-Ray Microscope”, Stanford U
ni-versity,Thesis for Doctorate (1989) ）。したが
って、現状のところＸ線結像光学系の倍率は、せいぜい
１００倍が限界である。
【０００５】一方、倍率１００倍のＸ線結像光学系を用
い、物空間において５０ｎｍ前後の間隔を有するパター
ンを結像すると仮定すれば、像面においてその像は、５
μｍの間隔を有するパターンとなる。しかし、例えば実
績がある二次元検出器としてＭＣＰ（マイクロチャンネ
ルプレート）を選択しても、その空間分解能は１５μｍ
程度なのが現状である。しかも、更に蛍光変換面（フォ
スファー）によりその像を可視化すれば、分解能が一段
と劣化する。また、ＣＣＤを始めとする二次元固体検出
器では、実装技術の制約により、空間分解能を５μｍま
で高めるのは、今のところ困難である。したがって、Ｘ
線結像光学系の空間分解能が５０ｎｍであっても、現在
の二次元検出器では、物空間において５０ｎｍ以下の微
小なパターンを検出できない。Ｘ線フィルムやＰＭＭＡ
等の感光記録媒体については、５μｍ程度の空間分解能
が期待できるが、複雑な現像工程が必要であり、リアル
タイムで像を観察できない。
い、物空間において５０ｎｍ前後の間隔を有するパター
ンを結像すると仮定すれば、像面においてその像は、５
μｍの間隔を有するパターンとなる。しかし、例えば実
績がある二次元検出器としてＭＣＰ（マイクロチャンネ
ルプレート）を選択しても、その空間分解能は１５μｍ
程度なのが現状である。しかも、更に蛍光変換面（フォ
スファー）によりその像を可視化すれば、分解能が一段
と劣化する。また、ＣＣＤを始めとする二次元固体検出
器では、実装技術の制約により、空間分解能を５μｍま
で高めるのは、今のところ困難である。したがって、Ｘ
線結像光学系の空間分解能が５０ｎｍであっても、現在
の二次元検出器では、物空間において５０ｎｍ以下の微
小なパターンを検出できない。Ｘ線フィルムやＰＭＭＡ
等の感光記録媒体については、５μｍ程度の空間分解能
が期待できるが、複雑な現像工程が必要であり、リアル
タイムで像を観察できない。
【０００６】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであり、従来の二次元検出器を用いて、空間分解能数
十ｎｍを有し、しかもリアルタイムで観察できるＸ線顕
微鏡システムを提供することを目的としている。
のであり、従来の二次元検出器を用いて、空間分解能数
十ｎｍを有し、しかもリアルタイムで観察できるＸ線顕
微鏡システムを提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のＸ線顕微鏡は、
Ｘ線顕微鏡の対物レンズと検出器の間にシュワルツシル
ド型光学系を設けたことを特徴としている。
Ｘ線顕微鏡の対物レンズと検出器の間にシュワルツシル
ド型光学系を設けたことを特徴としている。
【０００８】近年、軟Ｘ線領域でも高い反射率を有する
高精度のＸ線多層膜鏡や高輝度のレーザープラズマ光源
の出現により、軟Ｘ線光学素子を数多く用いて構成した
Ｘ線光学系においても、このＸ線光学系を透過したＸ線
の総光量は、十分な数値に達するようになった。したが
って、Ｘ線顕微鏡の対物レンズと検出器の間にシュワル
ツシルド型光学系を始めとするＸ線結像光学素子を新た
に設け、対物レンズによって結像された像を、検出器の
１画素のサイズまで拡大することにより、従来技術の問
題点が解決できる。特に、シュワルツシルド型光学系は
ＩＯが短い条件でも、他の軟Ｘ線光学素子と比較すと光
学系の作製が容易であることから、ＩＯが２００ｍｍ程
度でも倍率が１０倍程度の光学系を組むことが可能であ
る。その結果、顕微鏡システム全体をコンパクトにする
ことができる。また、シュワルツシルド型光学系は、結
像性能も優れているので最適な拡大光学系である。
高精度のＸ線多層膜鏡や高輝度のレーザープラズマ光源
の出現により、軟Ｘ線光学素子を数多く用いて構成した
Ｘ線光学系においても、このＸ線光学系を透過したＸ線
の総光量は、十分な数値に達するようになった。したが
って、Ｘ線顕微鏡の対物レンズと検出器の間にシュワル
ツシルド型光学系を始めとするＸ線結像光学素子を新た
に設け、対物レンズによって結像された像を、検出器の
１画素のサイズまで拡大することにより、従来技術の問
題点が解決できる。特に、シュワルツシルド型光学系は
ＩＯが短い条件でも、他の軟Ｘ線光学素子と比較すと光
学系の作製が容易であることから、ＩＯが２００ｍｍ程
度でも倍率が１０倍程度の光学系を組むことが可能であ
る。その結果、顕微鏡システム全体をコンパクトにする
ことができる。また、シュワルツシルド型光学系は、結
像性能も優れているので最適な拡大光学系である。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明によるＸ線顕微鏡の一実施例
の構成を示す図でる。本実施例は、レーザープラズマ光
源を用いたシュワルツシルド型軟Ｘ線顕微鏡に、本発明
を適用した場合を示したものである。図中、１はレーザ
ープラズマ光源、２は集光レンズ、３はレーザーターゲ
ット、４は紫外光カット用のボロンフィルター、５は照
明用のコンデンサーレンズ、６はサンプル、７は対物レ
ンズであるシュワルツシルド型光学系で、倍率は１００
倍である。８は対物レンズ７と検出器９の間に設けたも
う一つのシュワルツシルド型光学系で、二次拡大に用い
倍率は３倍である。レーザープラズマ光源１は、レーザ
ー物質がＹＡＧ：Ｎｄである。二次拡大用シュワルツシ
ルド型光学系８は、対物レンズ７の像を検出器９の１画
素まで拡大する。検出器９には、蛍光変換面（フォスフ
ァー）９ａを備えたＭＣＰを用いる。また、ＭＣＰのチ
ャンネル径は、市販品のなかで最も細い１５μｍのもの
を選択する。
の構成を示す図でる。本実施例は、レーザープラズマ光
源を用いたシュワルツシルド型軟Ｘ線顕微鏡に、本発明
を適用した場合を示したものである。図中、１はレーザ
ープラズマ光源、２は集光レンズ、３はレーザーターゲ
ット、４は紫外光カット用のボロンフィルター、５は照
明用のコンデンサーレンズ、６はサンプル、７は対物レ
ンズであるシュワルツシルド型光学系で、倍率は１００
倍である。８は対物レンズ７と検出器９の間に設けたも
う一つのシュワルツシルド型光学系で、二次拡大に用い
倍率は３倍である。レーザープラズマ光源１は、レーザ
ー物質がＹＡＧ：Ｎｄである。二次拡大用シュワルツシ
ルド型光学系８は、対物レンズ７の像を検出器９の１画
素まで拡大する。検出器９には、蛍光変換面（フォスフ
ァー）９ａを備えたＭＣＰを用いる。また、ＭＣＰのチ
ャンネル径は、市販品のなかで最も細い１５μｍのもの
を選択する。
【００１０】本実施例において、結像するＸ線の波長を
１４５Åと仮定すれば、シュワルツシルド型光学系の鏡
面にコーティングする多層膜は、Ｍｏ／Ｓｉが優れてい
る。図２で示すように、前記したTrail は６２層を積層
し、直入射で６０％前後の高反射率を得ている。したが
って、Ｍｏ／Ｓｉ多層膜鏡（６２層）を用いシュワルツ
シルド型光学系を作製すると、光学系の総合透過率は３
６％にも達する。更にTrail は、レーザープラズマ光源
（ＹＡＧ：Ｎｄレーザー、波長１．０６μｍ，１７ｍＪ
／ｐｕｌｓｅ，ターゲットＣｕ）の波長１４５Åにおけ
る輝度は、１．２×１０7photons／μｍ2 ／ｒａｄ2 ／
ｐｕｌｓｅ／５％bandwidth に達することを報告してい
る。レーザーエネルギーを５００ｍＪ／ｐｕｌｓｅとす
れば、３．５×１０8photons／μｍ2 ／ｒａｄ2 ／ｐｕ
ｌｓｅ／５％bandwidth まで、輝度を向上させることが
できる。
１４５Åと仮定すれば、シュワルツシルド型光学系の鏡
面にコーティングする多層膜は、Ｍｏ／Ｓｉが優れてい
る。図２で示すように、前記したTrail は６２層を積層
し、直入射で６０％前後の高反射率を得ている。したが
って、Ｍｏ／Ｓｉ多層膜鏡（６２層）を用いシュワルツ
シルド型光学系を作製すると、光学系の総合透過率は３
６％にも達する。更にTrail は、レーザープラズマ光源
（ＹＡＧ：Ｎｄレーザー、波長１．０６μｍ，１７ｍＪ
／ｐｕｌｓｅ，ターゲットＣｕ）の波長１４５Åにおけ
る輝度は、１．２×１０7photons／μｍ2 ／ｒａｄ2 ／
ｐｕｌｓｅ／５％bandwidth に達することを報告してい
る。レーザーエネルギーを５００ｍＪ／ｐｕｌｓｅとす
れば、３．５×１０8photons／μｍ2 ／ｒａｄ2 ／ｐｕ
ｌｓｅ／５％bandwidth まで、輝度を向上させることが
できる。
【００１１】図１の顕微鏡システムにおいて、レーザー
プラズマ光源１の輝度Ｋと、検出器９で用いるＭＣＰの
１チャンネルに到達する光子数Ｎは、他の因数を含む下
記の式（１）で関係づけられる。
プラズマ光源１の輝度Ｋと、検出器９で用いるＭＣＰの
１チャンネルに到達する光子数Ｎは、他の因数を含む下
記の式（１）で関係づけられる。
【００１２】 Ｎ＝ＴB ×ＴC ×ＴSMP ×ＴS1×ＴS2×Ｋ×Ｓ÷Ｍ1 2÷Ｍ2 2 （１）
【００１３】ここでＮはＭＣＰ１チャンネルに到達する
光子数、ＴB はボロンフィルターの透過率、ＴC はコン
デンサーレンズの透過率、ＴSMP はサンプルの透過率、
ＴS1は対物用シュワルツシルド型光学系の透過率、ＴS2
は二次拡大用シュワルツシルド型光学系の透過率、Ｋは
光源の輝度、ＳはＭＣＰ１チャンネルの面積、Ｍ1 は対
物用シュワルツシルド型光学系の倍率、Ｍ2 は二次拡大
用シュワルツシルド型光学系の倍率である。
光子数、ＴB はボロンフィルターの透過率、ＴC はコン
デンサーレンズの透過率、ＴSMP はサンプルの透過率、
ＴS1は対物用シュワルツシルド型光学系の透過率、ＴS2
は二次拡大用シュワルツシルド型光学系の透過率、Ｋは
光源の輝度、ＳはＭＣＰ１チャンネルの面積、Ｍ1 は対
物用シュワルツシルド型光学系の倍率、Ｍ2 は二次拡大
用シュワルツシルド型光学系の倍率である。
【００１４】光源の輝度Ｋとして前記のレーザープラズ
マ光源１の輝度の値を用い、その他の光学系及び光学素
子の透過率などは表１に示す値を用い、かつ、シュワル
ツシルド型光学系の総合透過率を０．３６と仮定して、
式（１）により計算すると、ＭＣＰ１チャンネルに到達
する光子数Ｎは、約３×１０3photons／channel とな
る。
マ光源１の輝度の値を用い、その他の光学系及び光学素
子の透過率などは表１に示す値を用い、かつ、シュワル
ツシルド型光学系の総合透過率を０．３６と仮定して、
式（１）により計算すると、ＭＣＰ１チャンネルに到達
する光子数Ｎは、約３×１０3photons／channel とな
る。
【００１５】
【表１】
【００１６】上述したように、結像するＸ線の波長が１
４５Åにおいて、ＭＣＰの量子効率は少なくとも０．１
はあるので、サンプルの透過率がわずか１０％程度であ
っても、明るい良好な顕微像が得られる。このように、
本実施例のＸ線顕微鏡は、明るさの点で心配がない。一
方、本実施例の顕微鏡システムの総合倍率は３００倍に
なるので、５０ｎｍのサイズの物体を、ＭＣＰ１チャン
ネルのサイズである１５μｍまで拡大でき、対物レンズ
の優れた解像度を損なうことなく、明るい良好な顕微像
がリアルタイムで得られる。なお、本実施例では検出器
にＭＣＰを用いているが、ＣＣＤ等の固体撮像素子であ
っても差し支えない。むしろ、量子効率の良さと取扱の
簡便さから、ＭＣＰより固体撮像素子の方が望ましい。
更に、二つのシュワルツシルド型光学系の設計を変更す
ることにより、総合倍率を高めることができ、より高解
像度の顕微鏡システムが期待できる。
４５Åにおいて、ＭＣＰの量子効率は少なくとも０．１
はあるので、サンプルの透過率がわずか１０％程度であ
っても、明るい良好な顕微像が得られる。このように、
本実施例のＸ線顕微鏡は、明るさの点で心配がない。一
方、本実施例の顕微鏡システムの総合倍率は３００倍に
なるので、５０ｎｍのサイズの物体を、ＭＣＰ１チャン
ネルのサイズである１５μｍまで拡大でき、対物レンズ
の優れた解像度を損なうことなく、明るい良好な顕微像
がリアルタイムで得られる。なお、本実施例では検出器
にＭＣＰを用いているが、ＣＣＤ等の固体撮像素子であ
っても差し支えない。むしろ、量子効率の良さと取扱の
簡便さから、ＭＣＰより固体撮像素子の方が望ましい。
更に、二つのシュワルツシルド型光学系の設計を変更す
ることにより、総合倍率を高めることができ、より高解
像度の顕微鏡システムが期待できる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のＸ線顕微鏡
は、現在得られる検出器を用い、対物レンズの優れた解
像度を損なうことなく空間分解能が数十ｎｍであり、明
るい良好な顕微像をリアルタイムで観察できる。
は、現在得られる検出器を用い、対物レンズの優れた解
像度を損なうことなく空間分解能が数十ｎｍであり、明
るい良好な顕微像をリアルタイムで観察できる。
【図１】本発明によるＸ線顕微鏡の一実施例の構成を示
す図である。
す図である。
【図２】多層膜鏡における直入射Ｘ線波長と反射率の関
係を示す図である。
係を示す図である。
【図３】（ａ）は結像素子であるウォルター型等の斜入
射光学系の基本構成を示す図である。 （ｂ）は結像素子であるフレネルゾーンプレートの基本
構成を示す図である。 （ｃ）は結像素子であるシュワルツシルド型光学系の基
本構成を示す図である。
射光学系の基本構成を示す図である。 （ｂ）は結像素子であるフレネルゾーンプレートの基本
構成を示す図である。 （ｃ）は結像素子であるシュワルツシルド型光学系の基
本構成を示す図である。
１ レーザープラズマ光源 ２ 集光レンズ ３ レーザーターゲット ４ ボロンフィルター ５ コンデンサーレンズ ６ サンプル ７ 対物用シュワルツシルド型光学系 ８ 二次拡大用シュワルツシルド型光学系 ９ 検出器 ９ａ 蛍光変換面（フォスファー）
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線顕微鏡の対物レンズと検出器の間に
シュワルツシルド型光学系を設けたことを特徴とするＸ
線顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21930692A JPH0667000A (ja) | 1992-08-18 | 1992-08-18 | Ｘ線顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21930692A JPH0667000A (ja) | 1992-08-18 | 1992-08-18 | Ｘ線顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0667000A true JPH0667000A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=16733429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21930692A Withdrawn JPH0667000A (ja) | 1992-08-18 | 1992-08-18 | Ｘ線顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0667000A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010079257A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-04-08 | Tohoku Univ | 反射型投影光学装置 |
| WO2014070598A1 (en) * | 2012-10-31 | 2014-05-08 | Corning Incorporated | Optical device, imaging system which incorporates the optical device and method implemented by the imaging system for imaging a specimen |
-
1992
- 1992-08-18 JP JP21930692A patent/JPH0667000A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010079257A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-04-08 | Tohoku Univ | 反射型投影光学装置 |
| WO2014070598A1 (en) * | 2012-10-31 | 2014-05-08 | Corning Incorporated | Optical device, imaging system which incorporates the optical device and method implemented by the imaging system for imaging a specimen |
| JP2016502678A (ja) * | 2012-10-31 | 2016-01-28 | コーニング インコーポレイテッド | 光学装置、光学装置を組み込んだ結像系、および結像系によって実施される試料を結像する方法 |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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