JPH0665983B2 - 有機高分子湿度センサ - Google Patents
有機高分子湿度センサInfo
- Publication number
- JPH0665983B2 JPH0665983B2 JP20163584A JP20163584A JPH0665983B2 JP H0665983 B2 JPH0665983 B2 JP H0665983B2 JP 20163584 A JP20163584 A JP 20163584A JP 20163584 A JP20163584 A JP 20163584A JP H0665983 B2 JPH0665983 B2 JP H0665983B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity sensor
- organic polymer
- protective film
- polymer humidity
- comb
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
- G01N27/126—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising organic polymers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はルームエアコンその他の家電品に使う有機高分
子湿度センサに関するものである。
子湿度センサに関するものである。
〔発明の背景〕 従来の湿度センサは特開昭50−20781号に記載のように
湿度センサは、ガラス基板上に塩素原子を有する有機重
合体とポリアミド樹脂を反応させた感湿樹脂を塗布し、
その上に保護膜を被覆することにより、ほこりや亜硫酸
ガスなどを含む汚染雰囲気による影響が著るしく軽減さ
れるとしている。しかしセンサの長期安定性やクラック
発生云々については何等ふれていない。
湿度センサは、ガラス基板上に塩素原子を有する有機重
合体とポリアミド樹脂を反応させた感湿樹脂を塗布し、
その上に保護膜を被覆することにより、ほこりや亜硫酸
ガスなどを含む汚染雰囲気による影響が著るしく軽減さ
れるとしている。しかしセンサの長期安定性やクラック
発生云々については何等ふれていない。
本発明の目的は湿度センサの感湿部に発生するクラック
を防止するために、通常の保護膜塗布作業によれば基板
上部端面では膜厚が薄くなりがちであるものを、作業条
件を適正に定めることにより、より膜厚を厚くしてその
緩衝作用によりクラックの発生を防止するものである。
を防止するために、通常の保護膜塗布作業によれば基板
上部端面では膜厚が薄くなりがちであるものを、作業条
件を適正に定めることにより、より膜厚を厚くしてその
緩衝作用によりクラックの発生を防止するものである。
すなわち、従来はシリコン樹脂保護膜が基板に均一な厚
さになるよう樹脂液浸漬後、流動性が残っているうちに
基板を逆さにする等して全体に広げるようにしていた。
しかしこれでは端面部が薄くなるので、これを改めるた
めまず上部端面を下にして、この状態で半乾燥しその後
向きを変えて本格的に加熱硬化させるようにして端面も
十分樹脂が被うようにした。
さになるよう樹脂液浸漬後、流動性が残っているうちに
基板を逆さにする等して全体に広げるようにしていた。
しかしこれでは端面部が薄くなるので、これを改めるた
めまず上部端面を下にして、この状態で半乾燥しその後
向きを変えて本格的に加熱硬化させるようにして端面も
十分樹脂が被うようにした。
以下本発明の実施例を第１図〜第４図に基いて説明す
る。１は湿度センサ本体であるが、セラミック基板２に
金と鉛ガラスから成る電極を焼成した上に感湿膜５を塗
布しさらにシリコン樹脂の保護膜６を形成して完成す
る。保護膜のシリコン樹脂は付加型二液タイプを使用
し、等量ずつ混合した後、直ちに浸漬塗布するようにす
る。
る。１は湿度センサ本体であるが、セラミック基板２に
金と鉛ガラスから成る電極を焼成した上に感湿膜５を塗
布しさらにシリコン樹脂の保護膜６を形成して完成す
る。保護膜のシリコン樹脂は付加型二液タイプを使用
し、等量ずつ混合した後、直ちに浸漬塗布するようにす
る。
通常の作業においてはシリコン樹脂を浸漬塗布したセン
サ本体１は乾燥用治具７のゴムマグネット８の部分にリ
ードを吸引固定し、逆さの状態で室温で約15分間放置す
る。次にこれを起こして110℃で２時間乾燥する。今回
の端部の膜厚を厚くするための改良法では、逆さでの室
温放置を１時間に延長し、ある程度硬化が進んだ後、反
転して110℃で２時間の本乾燥に入るようにする。
サ本体１は乾燥用治具７のゴムマグネット８の部分にリ
ードを吸引固定し、逆さの状態で室温で約15分間放置す
る。次にこれを起こして110℃で２時間乾燥する。今回
の端部の膜厚を厚くするための改良法では、逆さでの室
温放置を１時間に延長し、ある程度硬化が進んだ後、反
転して110℃で２時間の本乾燥に入るようにする。
本発明によれば逆さ状態での自然放置の時間を延ばした
ことにより、従来のものの保護膜が端部で薄くなる傾向
にあったものが、十分厚く塗布することが可能となっ
た。この結果、先端部の吸湿速度が遅くなり、感湿膜の
伸びが小さくなって従来センサの先端部に多く発生した
クラックは、本発明によって大幅に減少し、センサの信
頼性向上に寄与する効果が大である。
ことにより、従来のものの保護膜が端部で薄くなる傾向
にあったものが、十分厚く塗布することが可能となっ
た。この結果、先端部の吸湿速度が遅くなり、感湿膜の
伸びが小さくなって従来センサの先端部に多く発生した
クラックは、本発明によって大幅に減少し、センサの信
頼性向上に寄与する効果が大である。
第１図は湿度センサの正面図、第２図は第１図の側断面
図、第３図は本発明によって作製した湿度センサの側面
図である。第４図は保護膜乾燥用治具の外観図である。 １……湿度センサ本体、２……セラミック基板、３……
くし形電極、４……リード線、５……感湿膜、６……保
護膜、７……乾燥用治具、８……ゴムマグネット。
図、第３図は本発明によって作製した湿度センサの側面
図である。第４図は保護膜乾燥用治具の外観図である。 １……湿度センサ本体、２……セラミック基板、３……
くし形電極、４……リード線、５……感湿膜、６……保
護膜、７……乾燥用治具、８……ゴムマグネット。
Claims (2)
- 【請求項１】セラミック基板に形成したくし形電極の上
面に有機高分子から成る感湿膜とその上にシリコン樹脂
の保護膜とで被った湿度センサにおいて、基板上部端面
とその近傍の保護膜を厚くしたことを特徴とする有機高
分子湿度センサ。 - 【請求項２】前記保護膜をシリコン樹脂に浸漬し、基板
上端部を下にして常温放置により半乾燥し、反転して加
熱乾燥することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の有機高分子湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20163584A JPH0665983B2 (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 有機高分子湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20163584A JPH0665983B2 (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 有機高分子湿度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6180038A JPS6180038A (ja) | 1986-04-23 |
| JPH0665983B2 true JPH0665983B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=16444344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20163584A Expired - Lifetime JPH0665983B2 (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 有機高分子湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0665983B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2535983B2 (ja) * | 1987-12-04 | 1996-09-18 | エヌオーケー株式会社 | 窒素酸化物検出素子 |
| EP1180693B1 (en) | 1999-12-22 | 2010-02-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Sensor device and method of manufacture thereof |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20163584A patent/JPH0665983B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6180038A (ja) | 1986-04-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |