JPH0661964U - エッチング装置における開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エッチング室の開閉窓が安全で、大きく取る
ことができ、しかも液漏れのない物を得ること。 【構成】 被エッチング材１４をエッチングする装置１
２において、ハウジング４０の側部に、レール板４３を
設け、引き違い窓板４５、４６とレール板４３との接触
移動部に設けたガイド溝３９とレール４７の隙間を、エ
ッチング用ノズル２０からの水圧よりも隙間に溜った液
体の表面張力が大きくなるように、狭く、かつ、係合深
さを深くする。エッチング洗浄作業中に、ノズル２０か
ら液体が所定の水圧で噴射しても、係合の隙間部分に溜
っている液体の表面張力がエッチング室２６内部の水圧
に勝り、したがって、パッキンなどがなくとも外部へ漏
れることがない。エッチング装置１２での作業終了後
に、第１窓板４５と第２窓板４６を開いて、内部の清掃
や、部品交換などを行う。。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ＩＣ素子用基板の現像後に、必要部分に開孔または蝕刻するための エッチング装置における開閉装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ＩＣ素子用リード端子は、１枚の基板上に多数のリード端子を写真印刷などの 方法で一度にマスキング材を印刷し、マスキング材の印刷されていない部分を図 １１のような装置を用いてエッチングにより除去して形成される。

【０００３】 この図１１の装置を詳しく説明すると、被エッチング材１４がローラコンベア などの搬送装置１５に載せられてエッチング装置１２に運ばれる。このエッチン グ装置１２の内部を一定時間で移動中に、エッチング用上部ノズル２０とエッチ ング用下部ノズル２１により上下から液体を噴射してエッチングを行う。エッチ ング用の液体は、フィルタ内蔵の収納タンク２２を経て、ポンプ２３で循環する 。 エッチングされた被エッチング材１４は、洗浄装置１３に運ばれて洗浄用上部 ノズル２４と洗浄用下部ノズル２５からの真水などの洗浄液で洗浄して取り出さ れる。

【０００４】 つぎに、前記エッチング装置１２は、図１０に示すものが知られている（実公 昭５７−４３８９２）。これは、装置本体の上部を略半円状になし、その円弧に 沿った円弧状の断面を有する大型の開閉窓２７を設けたもので、エッチング室２ ６の両側に設けられた円周状のガイドレール３２に、開閉窓２７の両端部をスラ イド可能に差し込む。ガイドレール３２は、エッチング室２６の上部ばかりでな く下部にも設けられており、開放状態では、開閉窓２７はガイドレール３２に沿 ってスライドされてエッチング室２６の下部に位置し、開閉窓２７が装置外に出 ることはない。閉鎖状態では、開閉窓２７と一体の係止用突部２８を本体の溝３ ０に係合させてずり落ちるのを防止している。係止用突部２８は、開閉操作に便 利であるとともに、開放の際、側壁に係止する。なお、２９は把手用突部、３１ はハウジングである。

【０００５】「 考案が解決しようとする課題」 このような装置は、以下のような問題点があった。 （１）図１０のように、開閉窓２７を円弧状にして円周状のガイドレール３２に 沿ってスライドにより開閉する方法は、窓を大きくとることができ、エッチング 室２６の内部の清掃や部品交換に便利であるが、エッチング用下部ノズル２１の 下部の一時貯溜タンク３３までの距離を大きく取らなければならず、装置が全体 的に大型化する。 （２）エッチング用上部ノズル２０とエッチング用下部ノズル２１から水圧のあ る液体を噴射するので、開閉窓２７と本体の隙間から液体が漏れることがある。 特に、この液体が塩化第２鉄などのように環境に悪影響を与えるものであること が多いので、より完全に漏れを防ぐことが望まれる。 （３）本体と開閉窓２７との接触部分にゴムパッキンなどを介在すると、内部の 液体により腐食したり、液体が汚れたりするので、パッキンなしでも漏れを防ぐ 必要がある。 本考案は、エッチング室の開閉窓が安全で、大きく取ることができ、しかも液 漏れのない物を得ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は、被エッチング材１４をエッチング用ノズル２０からの噴射液体でエ ッチングするようにしたエッチング装置１２において、エッチング室２６を構成 するハウジング４０の側部に、レール板４３を設け、このレール板４３に、左右 にスライドで開閉する可能な限り広い引き違い窓板４５、４６を設け、この引き 違い窓板４５、４６とレール板４３との接触移動部に、それぞれガイド溝３９と レール４７を形成し、これらのガイド溝３９とレール４７の隙間を、エッチング 用ノズル２０からの水圧よりも隙間に溜った液体の表面張力が大きくなるように 、狭く、かつ、係合深さを深くしたことを特徴とするエッチング装置における開 閉装置である。

【０００７】

【作用】

エッチング装置１２のエッチング室２６にてエッチング洗浄作業中に、エッチ ング用上部ノズル２０とエッチング用下部ノズル２１から液体が所定の水圧で噴 射しているときには、引き違いの第１窓板４５と第２窓板４６は完全に閉じられ る。このとき、第１窓板４５と第２窓板４６のガイド溝３９とレール４７、ガイ ド溝５４とレール５２、ガイド溝４９とレール４８、ガイド溝５５とレール５３ 、折返し係合部５０と折返し係合部５１は、係合の隙間部分が狭く、かつ、深い ので、この隙間に溜っている液体の表面張力がエッチング室２６内部の水圧に勝 り、したがって、パッキンなどがなくとも外部へ漏れることがない。 エッチング装置１２での作業終了後に、第１窓板４５と第２窓板４６を開いて 、内部の清掃や、部品交換などを行う。

【０００８】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図面に基づき説明する。 図１および図２において、４０は、エッチング装置１２を構成するハウジング で、このハウジング４０は、天板部４１と底板部４２と両側板部と本考案による 引き違いの第１窓板４５、第２窓板４６とからなる。この引き違いの第１窓板４ ５と第２窓板４６は、エッチング室２６の内部を清掃したり、ノズル２０、２１ 、コンベア１５などの部品を交換したりするために、できるだけ大きくすること が望ましく、そのため、この第１窓板４５は、垂直部分の窓部５７、天板部４１ に一部食い込むような天部５８および上端係合部５９によって、断面が略逆Ｌ字 状に形成されている。同様に、第２窓板４６についても窓部６０、天部６１、上 端係合部６２によって断面が略逆Ｌ字状に形成されている。 これらの第１窓板４５と第２窓板４６をスライドするための下部レール板４３ は、ハウジング４０の底板部４２の近くまで可能な限り下げて設けられ、また、 上部レール板４４は、天板部４１の一部に食い込むように設けられている。

【０００９】 これらのスライドにより移動する部分の構造を図３および図４によりさらに詳 しく説明すると、第１窓板４５と第２窓板４６は、エッチング室２６の内部が見 えるように、透明で、かつ、耐薬品性を有するプラスチックなどからなり、垂直 部分の窓部５７、６０の下面部分には、できるだけ深いガイド溝３９、４９がそ れぞれ形成され、同様に、上端係合部５９、６２の下端部分にも、できるだけ深 いガイド溝５４、５５がそれぞれ形成されている。また、第１窓板４５と第２窓 板４６を閉じたときに互いに係合するように、断面コ字形の折返し係合部５０、 ５１ができるだけ深く係合するように一体に設けられている。

【００１０】 前記下部レール板４３と上部レール板４４には、前記ガイド溝３９、４９、５ ４、５５と係合しつつスライドして移動するためのレール４７、４８、５２、５ ３がそれぞれ一体に設けられている。さらに、下部レール板４３の外側に面して 液漏れ防止部５６が立ち上がっている。 前記ガイド溝３９とレール４７、ガイド溝４９とレール４８、ガイド溝５４と レール５２、ガイド溝５５とレール５３、折返し係合部５０と５１の各係合部分 は、例えば、両側の隙間の合計が０．５ｍｍ以下で、かつ、高さ（係合深さ）が ２５ｍｍ以上とする。これらの数値は、各係合部分にパッキンなどを介在しなく とも、エッチング室２６内部の液体の噴射による水圧と、係合した隙間部分に溜 った液体の表面張力とがバランスするように、すなわち、内部の水圧によっても 液体が漏れ出ないように設定される。

【００１１】 なお、第１窓板４５と第２窓板４６のガイド溝３９、５４、４９、５５は、端 面に溝を切り込んで形成したが、これに限られるものではなく、図５に示すよう に、縁部に断面Ｌ字形の溝形成板６３、６４などを接合して形成することもでき る。

【００１２】 前記図１の実施例では、引き違いの第１窓板４５と第２窓板４６は、できるだ け広くするために、垂直部分の窓部５７、６０の他に、天板部４１の一部に食い 込むような天部５８、６１を設けて断面略逆Ｌ字形としたが、これに限られるも のではなく、図７に示すように、平面状としてもよく、この場合において、下部 レール板４３と上部レール板４４は、第１窓板４５と第２窓板４６の高さができ るだけ高く（広く）なるように、それぞれ底板部４２と天板部４１に可能な限り 近付けて取付ける。また、図８に示すように、ハウジング４０の天板部４１部分 もすべて窓板となるような、すなわち、底板部４２以外の３方を跨ぐような断面 略逆Ｕ字形としてもよい。これらの場合においても、液体が漏れ出ることがない ように、図３および図４に示すような構成とすることは勿論である。

【００１３】 つぎに、ノズルは、エッチング用上部ノズル２０が、または、エッチング用上 部ノズル２０とエッチング用下部ノズル２１の両方が、単に液体を連続的に噴射 するだけでなく、首振りながら被エッチング材１４に噴射して精度よく被エッチ ング材１４の蝕刻を行うような首振り機構の構成となっている。その構造を図６ および図９により説明する。 まず、エッチング用上部ノズル２０の首振り機構について説明すると、エッチ ング室２６の内部の天板部４１の下方に位置して、天板部４１の移動方向に延び た管体８７が一定間隔で複数本設けられている。これらの管体８７は、両端の軸 受にて回動自在に取付けられ、その中心の揺動中心８９を支点として揺動できる ようになっている。この管体８７には、それぞれ下向きに前記エッチング用上部 ノズル２０が一定間隔で設けられている。また、この管体８７の一端部には、そ れぞれ支持板８８が固定的に取付けられ、これらの支持板８８の他端は、回転軸 ８６によって１本の連動棒８５に回動自在に取付けられている。

【００１４】 この連動棒８５の端部に臨ませて、揺動板８２が支点軸８３により揺動自在に 設けられ、この揺動板８２の一端に回転軸８４にて前記連動棒８５が回動自在に 取付けられ、また、この回転軸８４の他端に位置して回転軸８１により上下動ア ーム７０が回動自在に連結されている。 この上下動アーム７０の下端部は、支持軸６９によって回転板６８に回動自在 に連結され、この回転板６８は、減速機６７を介してモータ６５に伝達されてい る。

【００１５】 つぎに、前記底板部４２のやや上方に位置して同様に天板部４１の移動方向に 延びた管体７７が一定間隔で複数本設けられている。この管体７７には、上向き にエッチング用下部ノズル２１が複数個設けられている。 このエッチング用下部ノズル２１にも同様に首振り機構を取付けた場合につい て説明すると、前記管体７７は、その中心の揺動中心７９を支点として回動自在 に軸受にて取付けられている。また、この管体７７の一端部には、それぞれ支持 板７８が固定的に取付けられ、これらの支持板７８の他端は、回転軸７６によっ て１本の連動軸７５に回動自在に取付けられている。

【００１６】 この連動軸７５の端部に臨ませて、揺動板７２が支持軸７３により揺動自在に 設けられ、この揺動板７２の一端に回転軸７４にて前記連動棒７５が回動自在に 取付けられ、また、この回転軸７４の他端に位置して回転軸７１により上下動ア ーム７０の途中が回動自在に連結されている。

【００１７】 以上のような構成によるエッチング作業を説明する。 図１１に示すように、被エッチング材１４をローラコンベアなどの搬送装置１ ５に載せてエッチング装置１２に送りこまれる。このエッチング装置１２では、 被エッチング材１４が搬送装置１５の上を移動中に、エッチング用上部ノズル２ ０とエッチング用下部ノズル２１から液体が噴射されて、マスキングのない部分 が開孔または蝕刻される。

【００１８】 ここで、エッチング用上部ノズル２０は、被エッチング材１４の移動方向に直 交する方向に揺動して首振りながら液体を噴射する。すなわち、モータ６５の回 転が減速機６７で減速され、回転板６８が回転し、これにより上下動アーム７０ が上下動する。すると、揺動板８２が支点軸８３を支点として揺動し、これに連 結された連動棒８５が水平方向に往復動をする。この連動棒８５の往復動により 各支持板８８が揺動中心８９を支点として揺動し、したがって、すべての管体８ ７とそれに設けられたエッチング用上部ノズル２０が首振りをする。このエッチ ング用上部ノズル２０の揺動角度は、適宜設定できるが、例えば垂直線に対し左 右に３０度ずつとする。図１のようにエッチング用下部ノズル２１にも首振り機 構が設けられている場合には、エッチング用下部ノズル２１も一体に首を振る。

【００１９】 このようにエッチング用上部ノズル２０および／またはエッチング用下部ノズ ル２１が揺動して液体を首振りながら噴射することにより、被エッチング材１４ の両面エッチングを行う。被エッチング材１４の片面だけをエッチングする場合 などには、エッチング用下部ノズルはなくともよい。 エッチング用上部ノズル２０とエッチング用下部ノズル２１から噴射された液 体は、収納タンク２２のフィルタを介して、ポンプ２３によりエッチング用上部 ノズル２０とエッチング用下部ノズル２１へ循環する。 エッチング装置１２でエッチングされた被エッチング材１４は、搬送装置１５ によりさらに洗浄装置１３へ送られ、洗浄用上部ノズル２４と洗浄用下部ノズル ２５から真水などを噴射してさらに洗浄されてつぎの工程へ送られる。

【００２０】 エッチング装置１２のエッチング室２６にてエッチング洗浄作業中に、エッチ ング用上部ノズル２０とエッチング用下部ノズル２１から液体が所定の水圧で噴 射しているときには、第１窓板４５と第２窓板４６は完全に閉じられる。このと き、第１窓板４５と第２窓板４６のガイド溝３９とレール４７、ガイド溝５４と レール５２、ガイド溝４９とレール４８、ガイド溝５５とレール５３、折返し係 合部５０と折返し係合部５１は、係合の隙間部分が狭く、かつ、深いので、この 隙間に溜っている液体の表面張力がエッチング室２６内部の水圧に勝り、したが って、パッキンなどがなくとも外部へ漏れることがない。 エッチング装置１２での作業終了後に、第１窓板４５と第２窓板４６を開いて 、内部の清掃や、部品交換などを行う。

【００２１】 前記実施例では、エッチング用上部ノズル２０とエッチング用下部ノズル２１ を図２のように揺動しながら首振り作用をする構成としたが、これに限られるも のではなく、図３に示すように、連動棒８５に一体に支持板８８を固定して、管 体８７とエッチング用上部ノズル２０とを水平方向に振動して液体を首振りなが ら噴射せしめるようにしてもよい。 また、図示しないが、エッチング用上部ノズル２０とエッチング用下部ノズル ２１の先端のスプリンクラーを、噴射する液体の水圧で回転して液体を首振りな がら噴射せしめるようにしてもよい。

【００２２】 前記実施例では、被エッチング材１４をローラコンベアからなる搬送装置１５ により搬送するようにしたが、もし、被エッチング材１４が極めて薄く、エッチ ング用上部ノズル２０とエッチング用下部ノズル２１からの液体圧力で折曲する 恐れがある場合には、ローラコンベア１５に代えて、バックアップ用としてベル トコンベアとしてもよい。この場合、エッチング用上部ノズル２０により上から 噴射するときには、ベルトコンベアの上に被エッチング材１４を載せ、かつ、適 当間隔で浮き上がり防止のローラを配置する。また、エッチング用下部ノズル２ １により下から噴射するときには、ベルトコンベアを下向きにし、その下に、適 当間隔で被エッチング材１４の落下防止のローラを配置する。

【００２３】

【考案の効果】

（１）従来の上下開閉式に比較して、左右開閉式のため手を挾んだり、窓が自重 で落下開放したりすることがなく、安全である。 （２）第１窓板４５、第２窓板４６と下部レール板４３、上部レール板４４との 隙間が少なくなり、この隙間に、パッキンを介在しなくとも、エッチング用上部 ノズル２０から噴射された液体の表面張力で液漏れを防ぎガスや液体の漏れがほ とんどない。 （３）第１窓板４５と第２窓板４６を広くできるので、エッチング室２６内部の 清掃がやりやすい。 （４）従来の上下開閉式では、下側に窓収納スペースを必要としたが、本考案で はそれが必要ないので全体の高さを低くでき、装置自体がコンパクトになる。 （５）搬送装置（ローラコンベア）１５を外さなくともエッチング用上部ノズル ２０やエッチング用下部ノズル２１の清掃や交換が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案によるエッチング装置の一実施例を示す
縦断側面図である。

【図２】図１の正面図である。

【図３】図１における窓板の拡大断面図である。

【図４】図３の断面図である。

【図５】窓板の他の例を示す拡大断面図である。

【図６】ノズルの首振り機構の説明図である。

【図７】窓板の他の例を示す断面図である。

【図８】窓板のさらに他の例を示す断面図である。

【図９】ノズルの首振り機構の部分拡大図である。

【図１０】従来のエッチング装置の縦断側面図である。

【図１１】一般的なエッチング装置の説明図である。

【符号の説明】

１２…エッチング装置、１３…洗浄装置、１４…被エッ
チング材、１５…搬送装置、１６…容器、２０…エッチ
ング用上部ノズル、２１…エッチング用下部ノズル、２
２…収納タンク、２３…ポンプ、２４…洗浄用上部ノズ
ル、２５…洗浄用下部ノズル、２６…エッチング室、２
７…開閉窓、２８…係止用突部、３０…溝、３２…ガイ
ドレール、３３…一時貯溜タンク、３９…ガイド溝、４
０…ハウジング、４１…天板部、４２…底板部、４３…
下部レール板、４４…上部レール板、４５…第１窓板、
４６…第２窓板、４７…レール、４８…レール、４９…
ガイド溝、５０…折返し係合部、５１…折返し係合部、
５２…レール、５３…レール、５４…ガイド溝、５５…
ガイド溝、５６…液漏れ防止部、５７…窓部、５８…天
部、５９…上端係合部、６０…窓部、６１…天部、６２
…上端係合部、６３…溝形成板、６４…溝形成板、６５
…モータ、６７…減速機、６８…回転板、６９…支持
軸、７０…上下動アーム、７１…回転軸、７２…揺動
板、７３…支持軸、７４…回転軸、７５…連動軸、７６
…回転軸、７７…管体、７８…支持板、７９…揺動中
心、８１…回転軸、８２…揺動板、８３…支点軸、８４
…回転軸、８５…連動棒、８６…回転軸、８７…管体、
８８…支持板、８９…揺動中心。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被エッチング材１４をエッチング用ノズ
   ル２０からの噴射液体でエッチングするようにしたエッ
   チング装置１２において、エッチング室２６を構成する
   ハウジング４０の側部に、レール板４３を設け、このレ
   ール板４３に、左右にスライドで開閉する可能な限り広
   い引き違い窓板４５、４６を設け、この引き違い窓板４
   ５、４６とレール板４３との接触移動部に、それぞれガ
   イド溝３９とレール４７を形成し、これらのガイド溝３
   ９とレール４７の隙間を、エッチング用ノズル２０から
   の水圧よりも隙間に溜った液体の表面張力が大きくなる
   ように、狭く、かつ、係合深さを深くしたことを特徴と
   するエッチング装置における開閉装置。
2. 【請求項２】 引き違い窓板４５、４６は、ハウジング
   ４０の天板部４１に一部食い込むように、断面略逆Ｌ字
   形とした請求項１記載のエッチング装置における開閉装
   置。
3. 【請求項３】 引き違い窓板４５、４６は、ハウジング
   ４０の底板部４２から天板部４１までに至る平板型とし
   た請求項１記載のエッチング装置における開閉装置。
4. 【請求項４】 引き違い窓板４５、４６は、正面部と背
   面部と天板部４１の３面を上から被せるような断面略逆
   Ｕ字形とした請求項１記載のエッチング装置における開
   閉装置。