JPH0660804B2 - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

Info

Publication number
JPH0660804B2
JPH0660804B2 JP60074998A JP7499885A JPH0660804B2 JP H0660804 B2 JPH0660804 B2 JP H0660804B2 JP 60074998 A JP60074998 A JP 60074998A JP 7499885 A JP7499885 A JP 7499885A JP H0660804 B2 JPH0660804 B2 JP H0660804B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light receiving
dew condensation
receiving means
detecting device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60074998A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61233308A (ja
Inventor
伊藤  俊樹
毅 深田
邦彦 原
和臣 太田
誠一 成田
Original Assignee
日本電装株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電装株式会社 filed Critical 日本電装株式会社
Priority to JP60074998A priority Critical patent/JPH0660804B2/ja
Publication of JPS61233308A publication Critical patent/JPS61233308A/ja
Publication of JPH0660804B2 publication Critical patent/JPH0660804B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は位置検出装置に関し、特に車両用位置検出装置
の改良に関するものである。
〔問題点〕
従来の受光素子、例えば光ポテンシオタイプの位置検出
装置を自動車に適用した場合、被検出体の位置が変化し
ていないにもかかわらず、位置検出装置からの出力信号
(電圧)が変化する場合がある。この原因について種々
の検討を行なつた結果、これは位置検出装置の光ポテン
シオ表面に付着する水滴が原因であることが判明した。
〔目的、構成、効果〕
本発明は上記の問題点を解決することを目的とする。こ
の目的を達成するために、本発明は、被検出体に連動さ
れスリットを有する遮光板と、前記遮光板を照射する光
源と、前記遮光板に対して前記光源と反対側に配置され
前記遮光板のスリットを通過する光を検出する受光手段
とを含む位置検出装置において、前記受光手段上に一体
に設けられ該受光手段の表面に水滴が付着するのを防止
する手段を設ける構成としている。
本発明は光ポテンシオの表面に水滴が付着するのを防止
する水滴付着防止手段を設けることにより、自動車のよ
うに露点以下になりうる環境下で使用する場合でも、位
置検出器の精度を十分に保持することができる効果があ
る。
そして、本願発明の如く、一体に形成することによっ
て、確実に受光手段への水滴の付着防止を行うことがで
きる。
また、本願発明においては、受光手段と一体にすること
によって、水滴付着防止手段を受光手段に近接して設け
ることができる。そのため、十分低い消費電力で確実に
結露を防止することができる。
さらに、駆動当初より受光手段が結露していた場合に
は、本願発明の如く一体に結露防止手段が設けられた場
合には、確実に早期に結露を防止することができ、すば
やく正確な位置検出を行うことができる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面により説明する。第1図は
本発明の第1実施例を示し、本発明に係る位置検出装置
が車両用エンジンのスロツトル弁の開度検出に適用され
る例を示す。この位置検出装置は、スロツトル弁の近傍
にてエンジンの一部に固定したケーシング10内にスリ
ツト円板20、光源30及び受光素子、例えば光ポテン
シオ40を組付けて構成されている。スリツト円板20
は、ケーシング10の段付内孔11の大径部内に位置し
て、その回転軸21にてケーシング10の前壁12の中
央に軸受13を介し回転自在に軸支される。スリツト円
板20の外周縁部には円形状のスリツト22が穿設され
ている。スリツト円板20の回転軸21はその外端にて
スロツトル弁のスロツトル軸に連結されている。
光源30は凹面鏡31を有し、この凹面鏡31は、その
開口部にてスリツト円板20に対向するようにケーシン
グ10の段付内孔11の小径部内に嵌装されている。凹
面鏡31の中央部には、発光素子32がその発光面32
aを凹面鏡31内に露呈させるようにして嵌着されてい
る。この発光素子32は、グロメツト14を通し外方へ
延出するリード線32bにて外部回路から駆動信号を受
けて凹面鏡31内に発光する。
光ポテンシオ40は、その円環状の絶縁基板41(ガラ
ス、セラミツクスに絶縁膜を蒸着したもの)にて、ケー
シング10の段付内孔11の大径部内において前壁12
に回転軸21と同心的に固着されている。絶縁基板41
の表面には、第2図(a)、(b)に示すごとく、高内
部抵抗値を有する光導電材料(例えば、CdS、CdS
e、a−Si:Hのごときアモルフアスシリコン系統等
のシリコンをベースとする非晶質半導体)の光導電膜4
2が円環膜状に蒸着して形成されている。この光導電膜
42は、受光したときその受光部分にて光電変換作用を
生じ、かかる受光部分の内部抵抗値を非受光部分の内部
抵抗値の1/1000程度に減少させる。光導電膜42
の肉厚は、例えば、5000×10-8(cm)である。
光導電膜42の上にはカーボン、ニクロム等の材料の抵
抗体43およびAl等の材料の電極44が光導電膜42
と同心的にプレーナ型に形成される。抵抗体43および
電極44を覆うように水滴付着防止構造45が形成され
る。
第2図(a)は第1図における本発明装置の光ポテンシ
オ40の上面図であり、第2図(b)は第2図(a)の
A−A′における横断面図である。第2図(b)におい
て、水滴付着防止手段45はSiO、Al、S
等の材料の絶縁体455により教示されたIn
、SnO等の透明薄膜ヒータ456を含む。透
明薄膜ヒータ456の上には結露予知センサが設けら
れ、この結露予知センサは感湿膜457と対向電極45
8により構成される。感湿膜457は300℃以下で成
膜可能なものなら良く、例えば吸湿性樹脂と炭素粉との
混合物から成る。対向電極458は第2図(a)に示さ
れるように端子を有する第1の電極と端子を有する
第2の電極が対向関係が配置されている。
第2図(a)において、端子およびは薄膜ヒータ4
56に接続される端子であり、端子およびはポテン
シオ抵抗体43に接続される端子を示す。端子はAl
等の電極44に接続される端子である。
第3図は本発明の装置の駆動回路を示す。光ポテンシオ
40の端子、およびは電源に接続される。端子
は抵抗RとトランジスタTrのベース又はゲートに接続
され、このトランジスタのコレクタ又ドレインに端子
が接続される。端子は接地され、端子との抵抗変
化が端子を経て電圧計Vで計測される。
感湿膜457と対向電極458から成る結露予知センサ
の電極端子との間の抵抗は、露点近くになると急激
に小さくなる。外付けの抵抗Rをこの時の抵抗値と同程
度の大きさにしておくと、ポテンシオ40の表面の湿度
が露点近くに達した場合、トランジスタTrのゲート又
はベースに電圧が印加され、トランジスタTrがON
し、薄膜ヒータ456が動作するため、ポテンシオ40
の表面の温度が上昇し、結露を防止する。
第4図は本発明の第2実施例を示す。第2実施例が第1
実施例と構造的に異なる点は絶縁基板41の上に薄膜ヒ
ータ459が設けられている点である。薄膜ヒータ45
9の上に絶縁体445を経て光導電膜42が形成され、
この光導電膜42に抵抗体43および電極44がさらに
形成される。結露予知センサは抵抗体43および電極4
4上に絶縁体445を経て設けられる。なお、第2実施
例においては薄膜ヒータ459は透明でなくてもよく、
カーボン、ニクロム、In、SnO等で構成さ
れる。第2実施例におる本発明装置の動作は第1実施例
のものと同一である。
第5図は本発明装置の第3実施例を示す。本実施例にお
いては、水滴付着防止手段が界面活性膜451により構
成される。界面活性膜451としてはセラチン、ポリソ
ープなどがあり、この界面活性膜451を絶縁基板4
1、光導電膜42、抵抗体43、電極44からなる光ポ
テンシオ40上に絶縁体455を経て形成する。この界
面活性膜451により結露した水分は界面活性膜の表面
で平滑化され水滴になることが防止される。
第6図は本発明の第4実施例を示す。本実施例において
は水滴付着防止手段が溌水性薄膜452、例えば弗素樹
脂等により構成される。第3実施例とはこの溌水性薄膜
452が直接光導電膜42の抵抗体43および電極44
上に設けられる点である。作用的には界面活性膜と同様
に溌水性薄膜により光ポテンシオ40の表面に水滴が付
着するのが防止される。
第7図は第5図および第6図に示された実施例における
光ポテンシオ40の電気回路である。第5図および第6
図の実施例では薄膜ヒータを使用していないので薄膜ヒ
ータの駆動回路が不要となる。
以上4つの実施例はいずれも電極と抵抗体が光導電膜の
同一表面上に形成されたプレーナタイプの受光素子、例
えば光ポテンシオに関して説明したが、電極と抵抗体が
光導電膜をはさんで形成されたサンドイツチタイプの光
ポテンシオに関しても同様に効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置の第1実施例の全体構造を示す断面
図である。 第2図(a)および(b)は第1図における光ポテンシ
オの平面図およびA−A′における断面図である。 第3図は本発明装置の駆動回路図である。 第4図(a)および(b)は本発明の第2実施例を示す
平面図およびB−B′における断面図である。 第5図は本発明の第3実施例の断面図である。 第6図は本発明の第4実施例を示す断面図である。 第7図は第5図および第6図における実施例に対する駆
動電気回路図である。 〔符号の説明〕 20……遮光板、30……光源 40……受光手段、45……水滴付着防止手段 451……界面活性膜、452……溌水性薄膜 456……薄膜ヒータ、457……感湿膜 458……対向電極
フロントページの続き (72)発明者 太田 和臣 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 成田 誠一 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内 (56)参考文献 実開 昭55−38239(JP,U)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被検出体に連動されスリットを有する遮光
    板と、前記遮光板を照射する光源と、前記遮光板に対し
    て前記光源と反対側に配置され前記遮光板のスリットを
    通過する光を検出する受光手段とを含む位置検出装置に
    おいて、前記受光手段上に一体に設けられ該受光手段の
    表面に水滴が付着するのを防止する手段を設けて成るこ
    とを特徴とする位置検出装置。
  2. 【請求項2】特許請求の範囲第1項記載の検出装置であ
    って、前記水滴付着防止手段は薄膜ヒータと結露予知セ
    ンサとを含み、前記結露予知センサが結露点付近を検出
    すると、前記結露予知センサは結露防止信号を発生し、
    この結露予知信号に応答して前記薄膜ヒータが通電され
    発熱することにより前記受光手段の表面の温度が上昇し
    結露が防止されて成る位置検出装置。
  3. 【請求項3】特許請求の範囲第1項記載の検出装置であ
    って、前記水滴付着防止手段は界面活性膜を含んでなる
    ことを特徴とする位置検出装置。
  4. 【請求項4】特許請求の範囲第1項記載の検出装置であ
    って、前記水滴付着防止手段は溌水性薄膜を含んでなる
    ことを特徴とする位置検出装置。
JP60074998A 1985-04-09 1985-04-09 位置検出装置 Expired - Lifetime JPH0660804B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60074998A JPH0660804B2 (ja) 1985-04-09 1985-04-09 位置検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60074998A JPH0660804B2 (ja) 1985-04-09 1985-04-09 位置検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61233308A JPS61233308A (ja) 1986-10-17
JPH0660804B2 true JPH0660804B2 (ja) 1994-08-10

Family

ID=13563446

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60074998A Expired - Lifetime JPH0660804B2 (ja) 1985-04-09 1985-04-09 位置検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0660804B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2719593B2 (ja) * 1988-05-06 1998-02-25 チノン株式会社 光電スイッチ
DE58900833D1 (de) * 1988-06-29 1992-03-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung.
JP6370826B2 (ja) 2016-04-01 2018-08-08 ファナック株式会社 液体の浸入を光で検出するエンコーダ
JP7121341B2 (ja) * 2018-10-04 2022-08-18 株式会社ニコン エンコーダ及び駆動装置、並びに加熱方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5538239U (ja) * 1978-09-02 1980-03-12

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61233308A (ja) 1986-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4350660A (en) Ammonia gas sensors
EP0230104A2 (en) Semiconductor gas sensor having thermally-isolated site
JPH0915198A (ja) 薄膜トランジスタ生/化学センサ
US5200633A (en) Sensor material for measuring the partial pressure of gases or vapors; and gas sensors
EP3217167B1 (en) Humidity sensors with transistor structures and piezoelectric layer
JPH0660804B2 (ja) 位置検出装置
JPH0374947B2 (ja)
JP3923154B2 (ja) ガスセンサ
JPH08184575A (ja) 湿度センサ
JPS6229952Y2 (ja)
JPH07280767A (ja) 湿度センサおよび湿度測定方法
JPH0342343Y2 (ja)
JP2546340B2 (ja) 感湿素子およびその動作回路
JPS6130203Y2 (ja)
JPH0454446Y2 (ja)
JPS6139968Y2 (ja)
JPH0220681Y2 (ja)
JP2855718B2 (ja) ポテンショメトリックセンサ
JPH0743369A (ja) 液面センサを備えた分析装置
JPH0467601B2 (ja)
JPS60247148A (ja) 湿度センサ
JPH0795002B2 (ja) センサ素子
JP3182570B2 (ja) スロットルバルブ開度センサ
JP2687254B2 (ja) ガス感応素子
JPH02682Y2 (ja)