JPH065572A - ワークの表面処理方式及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】ワークの厚さなどが異なっても同一のキャリヤ
ホルダーでワークの表面処理ができるようにすることを
目的とする。 【構成】一対のフレーム２及び３にワーク押圧装置４０
であるＦ字型アーム４１を内蔵し、上アーム４２及び下
アーム４４にコイルバネ６０及び５６で調整できるプッ
シングロッド４３及び４６を取り付け、フレーム２及び
３の内側側面に固定したローラ８ａ、８ｂ及び９ａ、９
ｂでワーク（ＣＣＤ２３）を収納したキャリヤ２０を装
着したキャリヤホルダー１Ａを案内、装着し、前記ワー
ク押圧装置４０を下げてワークをプッシングロッド４３
及び４６で押さえ、例えば、洗浄槽Ａなどからなる洗浄
処理装置３０に垂直状態で吊るして洗浄、ベーパーのよ
うな表面処理を施すようにしている。 【効果】ワークの厚さに関係なく共通のキャリヤホルダ
ーで作業ができることが一大特徴で、それに派生して品
質が向上やコストダウンなどが得られた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、固体撮像素
子、液晶表示装置、リニアーセンサー、光学レンズ、プ
ラスチック成形品などのような比較的偏平な素子、部品
など（以下、総称して単に「ワーク」と記す）のアセン
ブリ工程で用いられるワークの洗浄処理や光学レンズ、
プラスチック成形品などのような部品のメッキ処理など
のようなワークの表面処理方式及びその装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】図６乃至図８を用いて、従来技術のワー
クの表面処理方式及びその装置を説明する。その具体例
として、ワークとしては固体撮像素子の一例であるＣＣ
Ｄを、表面処理装置としては洗浄処理装置を挙げて以下
説明する。なお、前記ＣＣＤはケースに収められている
が、光入射面にはガラスが嵌め込まれていない状態のも
のとする。図６は従来技術のキャリヤホルダーを示す斜
視図であり、図７は図６のＡーＡ線上における断面図で
あり、そして図８は従来技術の洗浄処理装置を概念的に
表した略線図である。

【０００３】先ず、図６及び図７を用いて従来技術のキ
ャリヤホルダーを説明する。符号１は全体として従来技
術のキャリヤホルダーを示す。このキャリヤホルダー１
はその両側端にそれぞれ断面コ字状をしたフレーム２及
び３が配置されていて、これらのフレーム２及び３の両
側面部２ａ、２ｂ及び３ａ、３ｂをそれぞれ貫通する連
結杆４及び５のような連結装置で両者が連結されてい
る。なお、フレーム３はフレーム２の構成及び構造と同
一である。

【０００４】また、前記両フレーム２及び３の内部上方
の両側面部２ｃ、２ｄ及び３ｃ、３ｄには平板なローラ
支持板６ａ及び６ｂが差し渡されて固定されており、ま
た前記両フレーム２及び３の下端面部２ｅ、２ｆ及び３
ｅ、３ｆには、前記と同様の平板なローラ支持板７ａ及
び７ｂが差し渡されて固定されている。

【０００５】これらのローラ支持板６ａ、６ｂ及び７
ａ、７ｂには等間隔で複数のローラ８ａ、８ｂ及び９
ａ、９ｂがボルトで固定されている。図７には最外側に
ある上下各一対のローラ８ａ、８ｂ及び９ａ、９ｂのみ
が示されている。これらのローラ８ａ、８ｂ及び９ａ、
９ｂの周辺には環状溝１０ａ、１０ｂ及び１１ａ、１１
ｂが形成されている。

【０００６】また、前記両フレーム２及び３の内部上方
の内面中央部２ｇ及び３ｇにテフロンで被覆されたロッ
ド１２が差し渡されており、また前記両フレーム２及び
３の側面部２ｂ及び３ｂの内面に固定されたＬ型状金具
１３の先端部下方に同様のロッド１４が、前記ロッド１
２と上下位置が一致するようにして差し渡されている。
また、このロッド１２の下面と各ローラ８ａ及び８ｂの
各環状溝１０ａ及び１０ｂを結ぶ面との距離は、ロッド
１４の下面と各ローラ９ａ及び９ｂの各環状溝１１ａ及
び１１ｂを結ぶ面との距離と同一であるように構成され
ている。

【０００７】図６には、このキャリヤホルダー１に一部
が挿入、保持された状態のキャリヤ２０が示されてい
る。この長尺のキャリヤ２０は複数の、例えば、７個の
ワークを収納できる複数の収納部２１が形成されてお
り、またその長尺のキャリヤ２０の両側面長手方向に直
線状の鍔２２ａ及び２２ｂが形成されている。そして図
６及び図７にはワークの一つであるＣＣＤ２３が収納さ
れたキャリヤ２０が２本、前記ローラ８ａ、８ｂ及び９
ａ、９ｂの環状溝１０ａ、１０ｂ及び１１ａ、１１ｂに
案内されながら挿入、装着されている。この場合、前記
各ロッド１２、１４と各ＣＣＤ２３との間には極めて微
小な隙間が開いているだけである。

【０００８】このように複数のＣＣＤ２３が収納された
キャリヤ２０を装着したキャリヤホルダー１は、それら
のＣＣＤ２３の表面を洗浄するために、次に説明する洗
浄処理装置３０に搬入される。

【０００９】その洗浄処理装置３０を図８に示した。こ
の洗浄処理装置３０は、例えば、洗浄槽Ａ、洗浄槽Ｂ、
洗浄槽Ｃ及びベーパー槽Ｄから構成されていて、各槽の
前面部には、それぞれ固定の、一対のアームＡａ、Ｂ
ａ、Ｃａ及びＤａが取り付けられており、また前記各洗
浄槽Ａ、Ｂ、Ｃ及びベーパー槽Ｄの上には矢印の方向に
上下に可動する一対のハンガーＡｂ、Ｂｂ、Ｃｂ及びＤ
ｂキャリヤが取り付けられている。更にまた、前記洗浄
槽Ａには前記アームＡａとの間に反転用アームＡｃが、
また前記ベーパー槽Ｄにも前記アームＤａとの間に反転
用アームＤｃが設置されている。そして更にまた、前記
各洗浄槽Ａ、Ｂ、Ｃには、図示していないが、超音波発
信装置が設置されており、前記ベーパー槽Ｄには、これ
も図示していないが、加熱装置が設置されている。

【００１０】前記洗浄槽Ａ、Ｂ及びＣには、洗浄剤とし
て、例えば、イソプロピルアルコール（以下、単に「Ｉ
ＰＡ」と記す）が満たされており、超音波振動を与える
ことにより、前者の二つの洗浄槽Ａ及びＢでＣＣＤ２３
の表面に付着しているダストを除去するものであり、洗
浄槽Ｃでは洗浄槽Ｂで殆どダストが除去されたＣＣＤ２
３の表面を仕上げ洗浄するものである。前記ベーパー槽
Ｄでは洗浄槽Ｃで洗浄されたＣＣＤ２３の表面に付着し
ているＩＰＡを除去する機能を有するものである。また
各一対のアームＡａ、Ｂａ、Ｃａ及びＤａはキャリヤホ
ルダー１を受ける役割をする。更にまた、前記反転用ア
ームＡｃは水平状態にアームＡａで保持されているキャ
リヤホルダー１を垂直状態に反転させてハンガーＡｂに
保持させる機能を持ち、前記反転用アームＤｃはハンガ
ーＤｂで垂直状態に保持されているキャリヤホルダー１
をアームＤａ上に水平状態に保持させる機能を果たす。

【００１１】次に、この洗浄処理装置３０と前記キャリ
ヤホルダー１とを用いて前記ＣＣＤ２３を洗浄する方法
を説明する。洗浄槽Ａ、Ｂ、Ｃ及びベーパー槽Ｄ内には
キャリヤホルダー１がそれぞれハンガーＡｂ、Ｂｂ、Ｃ
ｂ及びＤｂにより垂直状態に吊り下げられている。これ
らの吊り下げは各ハンガーＡｂ、Ｂｂ、Ｃｂ及びＤｂの
先端部に形成したフックをキャリヤホルダー１の両フレ
ーム２及び３から外方の突き出ている連結杆４又は５に
掛けて行っている。

【００１２】最終段階のベーパー槽Ｄの、複数のＣＣＤ
２３を収納したキャリヤ２０を装着したキャリヤホルダ
ー１は、それらのＣＣＤ２３のベーパー乾燥が終了する
と、前記反転アームＤｃでアームＤａ上に水平状態で移
される。その後、洗浄された複数のＣＣＤ２３を収納し
たキャリヤ２０はキャリヤホルダー１から引き抜かれ、
次工程へと移送される。

【００１３】ハンガーＡｂ、Ｂｂ及びＣｂに吊り下げら
れている各キャリヤホルダー１は、図示していない別の
搬送機構で同時に各洗浄槽Ａ、Ｂ及びＣから矢印Ｙの方
向に引き揚げられて右矢印Ｘの方向に送られ、それぞれ
洗浄槽Ｂ及びＣ並びにベーパー槽Ｄの上でハンガーＢ
ｂ、Ｃｂ及びＤｂに吊り下げられ、降下し、洗浄及びベ
ーパー乾燥が行われる。

【００１４】キャリヤホルダー１が無くなった洗浄槽Ａ
には、その洗浄槽Ａの前面でアームＡａ上に水平状態で
待機している次のキャリヤ２０が装着されたキャリヤホ
ルダー１が反転アームＡｃによってハンガーＡｂの先端
部のフックに掛けられる。

【００１５】アームＢａ、Ｃａ及びＤａ上で水平状態に
保持されている各キャリヤホルダー１は、図示していな
い別の搬送機構で同時に各アームＢａ、Ｃａ及びＤａか
ら持ち上げられ、左矢印Ｚの方向に移送され、再びアー
ムＡａ、Ｂａ及びＣａ上に載置される。

【００１６】洗浄槽Ａに前面のアームＡａに載置された
キャリヤホルダー１に、複数のＣＣＤ２３を収納したキ
ャリヤ２０を装着する。

【００１７】前記段落〔００１１〕乃至〔００１７〕に
記載した動作が繰り返され、循環しながらＣＣＤ２３が
洗浄される。キャリヤホルダー１は、前記の例では、７
個、洗浄処理装置３０にセットされていることになる。

【００１８】前記のように、図６及び図７に示したキャ
リヤホルダー１の各ロッド１２、１４は固定されてお
り、そしてそれらとそれぞれ対応するキャリヤ２０の収
納部２１に収納されたＣＣＤ２３の表面との隙間は極め
て僅かであるために、前記反転アームＡｃ、Ｄｃでキャ
リヤホルダー１が反転させられても、また、前記各ハン
ガーＡｂ、Ｂｂ、Ｃｂ及びＤｂでキャリヤホルダー１が
垂直状態に保持されても、前記ロッド１２及び１４が在
るために、キャリヤ２０に収納されたＣＣＤ２３は脱落
することがない。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記隙間が微
小である故に、１／２インチのＣＣＤ、１／３インチの
ＣＣＤのように厚みが異なると、前記キャリヤホルダー
１をそのまま使用することができず、前記ロッド１２、
１４の高さ調整をやり直さねばならない。しかも図８に
示した従来の洗浄処理装置３０では７個のキャリヤホル
ダー１を使用するため、各種調整を終了させるまでには
１時間以上も時間が掛かってしまい、このような洗浄処
理装置３０は複数台あると、その調整に要する時間が膨
大になって能率的ではない。

【００２０】また、前記調整のやり直しを行う毎に、洗
浄処理装置内に作業員が半身をのりださなけらばならな
いので、危険を伴う。

【００２１】この非能率性を無くすためには、各型式の
ＣＣＤに応じたキャリヤホルダーを用意することにより
解決することはできるが、新型のＣＣＤが開発される毎
にキャリヤホルダーを新たに用意しなければならなくな
る。そうすると生産コストが嵩むことにもなり、またキ
ャリヤホルダーの保管場所も必要になる。

【００２２】そして何よりも品質上問題な点は、前記の
ように、ＣＣＤの表面とロッド１２及び１４との間に隙
間が在るため、超音波振動により、洗浄中に両者が接触
を繰り返し、その頻繁な両者の接触が発塵源になってい
る。この発明は前記諸問題を解決することを課題とする
ものである。

【００２３】

【課題を解決するための手段】そのため、この発明で
は、キャリヤホルダーを、ＣＣＤのようなワークを収納
できる収納部を有するキャリヤを装着して、洗浄処理装
置でワークを洗浄するキャリヤホルダーにおいて、一対
のフレームと、これらのフレームを連結する連結装置
と、前記キャリヤを前記一対のフレーム間に案内する案
内装置と、前記案内装置を通じて、前記キャリヤホルダ
ーに前記キャリヤを着脱する時、前記キャリヤが着脱で
きる状態に、また前記キャリヤが装着されている時、前
記キャリヤに収納されているワークがそのキャリヤから
脱落することを防止する状態に、前記一対のフレームに
可動自在に取り付けられたワーク押圧装置とから構成
し、このキャリヤホルダーを用いてワークを洗浄する洗
浄処理装置に、前記キャリヤホルダーの前記ワーク押圧
装置を可動せしめる制御装置を備えつけた。

【００２４】前記のような洗浄処理装置を用いることに
より、ワーク洗浄処理装置の入口側において、この発明
のキャリヤホルダーのワーク押圧装置を解除した状態
で、ワークを収納したキャリヤを装着し、その後、この
ようなキャリヤホルダーを前記キャリヤホルダー入口側
からワーク洗浄処理装置の方に移動させた時に、前記ワ
ーク押圧装置が作動して前記ワークを押圧し、このワー
ク押圧状態で前記キャリヤに収納されたワークを洗浄処
理し、そのワークの洗浄処理終了後、前記ワーク洗浄処
理装置の出口側において、前記ワーク押圧装置を解除
し、この解除状態で前記キャリヤホルダーから前記キャ
リヤを取り出すワークの洗浄処理方式を採ることができ
る。この発明はこのようにワークの表面処理方式及びそ
の装置で前記課題を解決した。

【００２５】

【作用】従って、キャリヤホルダーにＣＣＤなどのワー
クの形状や厚さに関係なく汎用性を持たすことができ、
また従来技術のような発塵源が無いので、品質が向上
し、しかも低コストで生産できる。

【００２６】

【実施例】以下、この発明の実施例を図１乃至図５を用
いて説明する。図１はこの発明のキャリヤホルダーを示
す斜視図であり、図２は図１のＡーＡ線上における断面
図であり、同図Ａは全体を示した断面を、同図Ｂはワー
ク押圧装置の一部構成部分の拡大図であり、図３は図１
に示したキャリヤホルダーの一部斜視図であり、そして
図４は図２に示した断面図において、２本のキャリヤを
キャリヤホルダーに装着した状態を示した断面図であ
り、そして図５はこの発明はワーク表面処理装置を概念
的に表した略線図である。なお、図６乃至図８に示した
従来技術と同一の構成部分には同一の符号を付し、それ
らの詳細な説明を省略する。

【００２７】先ず、図１乃至図３を用いて、この発明の
ＣＣＤのようなワークを収納するキャリヤホルダー１Ａ
を説明する。この発明のキャリヤホルダー１Ａが図６に
示した従来技術のキャリヤホルダー１と異なる点は、従
来のキャリヤホルダー１におけるワーク押圧装置である
ロッド１２及び１４に相当するプッシングロッド４３及
び４６を両フレーム２及び３に可動自在に取り付けた点
である。

【００２８】これらのワーク押圧装置４０はフレーム２
及び３に組み込まれている。説明を簡潔にするために、
以下の説明ではフレーム２に組み込まれているワーク押
圧装置４０についてのみ説明する。そのワーク押圧装置
４０を図２に示した。このワーク押圧装置４０は、主と
してＦ字型アーム４１と、その上アーム４２の先端部の
下面に取り付けられたプッシングロッド４３と、その下
アーム４４とサポートアーム４５の先端部の下面に取り
付けられたプッシングロッド４６と、フレーム２の内部
に形成した案内空間４７の側面ガイド４７ａ、４７ｂ、
４７ｃなどの表面を滑動する案内ローラ４８ａ、４８
ｂ、４８ｃ及び４８ｄなどとから構成されている。

【００２９】また、フレーム２及び３の側面部２ａ及び
３ａの内側面中間部にはＺ字型のサポートアーム４９が
ボルト５０に固定されている。このサポートアーム４９
はＦ字型アーム４１が下降した場合に、その下アーム４
４がサポートアーム４９で下降の下限位置を規制する役
割を備えている。またそのサポートアーム４９の表面に
はテフロンシートのようなスペーサ５１を介在させてあ
り、下アーム４４が下降してサポートアーム４９に当接
する時の衝撃を和らげ、かつ発塵を防止するようにして
いる。

【００３０】そして、プッシングロッド４６は、図２Ｂ
に示したように、下アーム４４の先端部に開けた貫通孔
５２とサポートアーム４９に開けた貫通孔５３に、ボル
ト５４を通し、その先端部に形成したネジでプッシング
ロッド４６を結合し、ナット５５によってネジの緩み止
めを行って、プッシングロッド４６を支持するように構
成している。符号５６はコイルバネで、サポートアーム
４９の下面とナット５５の上面との間でボルト５４に通
されて、このコイルバネ５６で常時プッシングロッド４
６が下方に押し下げられている。

【００３１】一方のプッシングロッド４３は上アーム４
２の先端部に開けられた貫通孔５７に通されたボルト５
８の先端部に形成したネジでプッシングロッド４３を結
合しナット５９によってネジの緩み止めを行って、プッ
シングロッド４３を支持するように構成している。符号
６０はコイルバネで、上アーム４２の先端部下面とナッ
ト５９の上面との間でボルト５８に通されて、このコイ
ルバネ６０で常時プッシングロッド４３を下方に押し下
げている。

【００３２】なお、ローラ８ｂ及び９ｂの右側方にはそ
れぞれ係止ローラ６１、６２が設けられていて、このキ
ャリヤホルダー１Ａにキャリヤ２０が装着された場合
に、キャリヤの鍔２２ａ及び２２ｂに所定の間隔幅で形
成されている孔２４（図３）と係合し（図４）、キャリ
ヤホルダー１Ａを所定の位置に係止する働きをするもの
である。

【００３３】次に、図５を中心に図３及び図４を用い
て、この発明の一つである洗浄処理装置３０Ａを説明す
る。図５に示したこの発明の洗浄処理装置３０Ａの構成
は、図８に示した従来の洗浄処理装置３０の構成と殆ど
同一であるが、異なる点は、洗浄槽Ａの一対のアームＡ
ａの各々にワーク押圧装置４０を可動せしめる制御装置
である一対のＬ字状突片３１、３２を形成し、またベー
パー槽Ｄの一対のアームＤａの各々にやはりワーク押圧
装置４０を可動せしめる制御装置である一対のＬ字状突
片３３、３４を形成したことである。

【００３４】図３に拡大して一個のＬ字状突片３１（３
３）を示した。これらのＬ字状突片３１、３２は、図３
では、一対のアームＡａの、前記キャリヤホルダー１Ａ
の連結杆４が嵌まり込めるようにＶ字型に折り曲げ、形
成したフック部３５の下面に固定されている。

【００３５】次に、この発明のキャリヤホルダー１Ａ及
び洗浄処理装置３０Ａの動作を図１乃至図５、特に図４
を用いて説明する。図１及び図３に示したように、複数
の収納部２１ａにＣＣＤ２３を収納したキャリヤ２０
は、図４に示したように、キャリヤホルダー１Ａの一対
のローラ８ａ、８ｂ及び９ａ、９ｂの環状溝１０ａ、１
０ｂ及び１１ａ、１１ｂに案内されて、係止ローラ６
１、６２と孔２４との係合により所定の位置において、
上下２段構造でキャリヤホルダー１Ａに装着され、保持
される。

【００３６】このキャリヤ２０のキャリヤホルダー１Ａ
への装着は、図８を用いて説明したように、図５の洗浄
槽Ａの一対のアームＡａにキャリヤホルダー１Ａが載置
された時、それら一対のアームＡａに設けたＬ字状突片
３１、３２にフレーム２及び３に設けたワーク押圧装置
４０が載り、そのＦ字型アーム４１全体がＬ字状突片３
１、３２に押されて上方に平行移動し、従って、各プッ
シングロッド４３、４６もコイルバネ５６、６０の力に
抗して引き揚げられる。

【００３７】従って、ローラ８ａと８ｂ及び９ａと９ｂ
をそれぞれ結ぶ面から前記各プッシングロッド４３及び
４６は充分に上方に後退しているので、ＣＣＤ２３を収
納したキャリヤ２０を図４に示したように、それぞれ各
ローラ８ａ、８ｂ及び９ａ、９ｂに装着することにな
る。

【００３８】そして、キャリヤ２０がキャリヤホルダー
１Ａに装着されると、これを前記ハンガーＡｂに係止さ
せるために、図５に示した反転アームＡｃでキャリヤホ
ルダー１Ａを持ち上げると、ワーク押圧装置４０はコイ
ルバネ５６及び６０の反発力で降下し、従って、各プッ
シングロッド４３及び４６もコイルバネ６０及び５６で
ＣＣＤ２３の洗浄すべき主表面以外の、例えば、ガラス
を嵌めるケースの表面を軽く押圧するようになるので、
図５に示したように、ハンガーＡｂで垂直状態にキャリ
ヤホルダー１を吊るしても、ＣＣＤ２３はキャリヤ２０
から落下することは無論ないばかりか、従来技術で見受
けられた隙間が無いので、ダストを発生することもなく
なる。

【００３９】また、洗浄、ベーパーが終了し、キャリヤ
ホルダー１Ａがベーパー槽ＤからハンガーＤｂで引き揚
げられ、そして反転アームＤｃで一対のアームＤａに水
平状態で載置されると、それらのアームＤａに設けた前
記Ｌ字状突片３３、３４によりキャリヤホルダー１Ａの
ワーク押圧装置４０が押圧されて、前記のように、再び
Ｆ字型アーム４１が上方に平行移動し、従って、各プッ
シングロッド４３、４６もコイルバネ５６、６０の力に
抗して引き揚げられ、各プッシングロッド４３、４６は
ＣＣＤ２３の表面から離れる。このような開状態の時
に、前記キャリヤ２０はキャリヤホルダー１Ａから引き
出すことができ、従って、洗浄、乾燥されたＣＣＤ２３
を得ることができる。

【００４０】前記のＣＣＤ２３の厚さが、例えば、２．
８ｍｍの１／３インチＣＣＤであれば、従来技術のキャ
リヤホルダー１では、ロッド１２が固定であったため
に、他のＣＣＤ２３の厚さが、例えば、３．２ｍｍの１
／２インチＣＣＤを収納したキャリヤ２０はキャリヤホ
ルダー１に装着するこができないが、この発明のキャリ
ヤホルダー１Ａでは、前記Ｌ字状突片３１、３２により
プッシングロッド４３及び６０を充分に開くことによ
り、ワークをキャリヤ２０に収納し、それらの表面処理
を行うことができる。

【００４１】以上の説明では、ＣＣＤ２３のようなワー
クを押圧する手段として、複数のワークを同時に押圧す
るプッシングロッド４３、４６を用いたが、この押圧手
段はロッド状のものでなくてもよく、単なるロッドにそ
れぞれのワークを押圧するパッドのようなものでもよ
い。だだし、ワークを押圧する部分はそのワークの表面
処理をしなければならない主表面を避けた部分を押圧す
るような構造のものが望ましい。

【００４２】また、前記の説明では、ワークとして保護
ガラスを外したＣＣＤを挙げ、ワークの表面処理装置と
して洗浄処理装置を挙げて説明したが、ワークとしては
冒頭に挙げたような部品等をも対象にでき、また洗浄処
理装置のみならず、この発明は、例えば、メッキ処理装
置にも適用することができる。この場合には、例えば、
洗浄槽Ａのような槽に一対の電極を配置し、電解液を入
れ、反転アームＡｃによりワークを垂直状態に吊るして
通電することにより電気メッキを施すことができる。

【００４３】

【発明の効果】以上、説明したように、この発明によれ
ば、 １．ワークの厚みが変わっても、同一のキャリヤホルダ
ーで対応することができ、新たな専用のキャリヤホルダ
ーを作製する必要がなく、コストが下げられ、またキャ
リヤホルダーの保管場所も必要以上に必要としない ２．従来技術ではワークの表面とロッドとの間に隙間が
存在したので、両者が間断なく接触してダストを発生し
たが、この発明ではワークとプッシングロッドとの間に
隙間が無いので、ダストの発生がない ３．キャリヤホルダーを調整したり、交換する必要がな
くなるので、安全性及び作業能率が向上する ４．ワークの表面処理装置内に半身を乗り入れて作業を
行う必要がなくなるので、安全性が向上する ５．これまでは、複数の種類の型式のキャリヤホルダー
を用意しなければならず、そのために使用の誤りが生
じ、間違った場合には大量の不良品を発生させることが
あったが、この発明では、キャリヤホルダーを一種類だ
け用意すればよいので、型式を誤ることが全く無く、前
記のような不良品を発生させることがない ６．ワークの表面処理の歩留りが向上する など、数々の優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のキャリヤホルダーを示す斜視図であ
る。

【図２】図１のＡーＡ線上における断面図であり、同図
Ａは全体を示した断面を、同図Ｂはワーク押圧装置の一
部構成部分の拡大図である。

【図３】図１に示したキャリヤホルダーの一部斜視図で
ある。

【図４】図２に示した断面図において、２本のキャリヤ
をキャリヤホルダーに装着した状態を示した断面図であ
る。

【図５】この発明はワーク表面処理装置を概念的に表し
た略線図である。

【図６】従来技術のキャリヤホルダーを示す斜視図であ
る。

【図７】図３のＡーＡ線上における断面図である。

【図８】従来技術のワーク表面処理装置を概念的に表し
た略線図である。

【符号の説明】

１Ａ キャリヤホルダー ２ フレーム ３ フレーム ４ 連結杆 ５ 連結杆 ８ａ ローラ ８ｂ ローラ ９ａ ローラ ９ｂ ローラ ２０ キャリヤ ２３ ワーク（ＣＣＤ） ３１ 突片 ３２ 突片 ３３ 突片 ３４ 突片 ４０ ワーク押圧装置 ４１ Ｆ字型アーム ４２ 上アーム ４３ プッシングロッド ４４ 下アーム ４６ プッシングロッド ４９ サポートアーム Ａ 洗浄槽 Ｂ 洗浄槽 Ｃ 洗浄槽 Ｄ ベーパー槽 Ａａ アーム Ｂａ アーム Ｃａ アーム Ｄａ アーム Ａｂ ハンガー Ｂｂ ハンガー Ｃｂ ハンガー Ｄｂ ハンガー Ａｃ 反転アーム Ｄｃ 反転アーム

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワーク表面処理装置の入口側において、キ
   ャリヤホルダーのワーク押圧装置を解除した状態で、ワ
   ークを収納したキャリヤを装着し、その後、このような
   キャリヤホルダーを前記キャリヤホルダー入口側からワ
   ーク表面処理装置の方に移動させた時に、前記ワーク押
   圧装置が作動して前記ワークを押圧し、このワーク押圧
   状態で前記キャリヤに収納されたワークを表面処理し、
   そのワークの表面処理終了後、前記ワーク表面処理装置
   の出口側において、前記ワーク押圧装置を解除し、この
   解除状態で前記キャリヤホルダーから前記キャリヤを取
   り出すことを特徴とするワークの表面処理方式。
2. 【請求項２】ワークを収納できる収納部を有するキャリ
   ヤを装着して、ワーク表面処理装置でワークを表面処理
   するキャリヤホルダーにおいて、一対のフレームと、こ
   れらのフレームを連結する連結装置と、前記キャリヤを
   前記一対のフレーム間に案内する案内装置と、前記案内
   装置を通じて、前記キャリヤホルダーに前記キャリヤを
   着脱する時、前記キャリヤが着脱できる状態に、また前
   記キャリヤが装着されている時、前記キャリヤに収納さ
   れているワークがそのキャリヤから脱落することを防止
   する状態に、前記一対のフレームに可動自在に取り付け
   られたワーク押圧装置とから構成されていることを特徴
   とするキャリヤホルダー。
3. 【請求項３】前記ワーク押圧装置が前記キャリヤに収納
   されているワークがそのキャリヤから脱落することを防
   止する状態にある時、前記ワーク押圧装置は表面処理さ
   れるワークのその主表面に接しないように構成されてい
   ることを特徴とする請求項２に記載のキャリヤホルダ
   ー。
4. 【請求項４】前記ワーク押圧装置はプッシングロッドか
   ら構成されていることを特徴とする請求項３に記載のキ
   ャリヤホルダー。
5. 【請求項５】前記キャリヤホルダーを用いてワークを表
   面処理するワーク表面処理装置において、前記キャリヤ
   ホルダーの前記ワーク押圧装置を可動せしめる制御装置
   を具備していることを特徴とするワーク表面処理装置。
6. 【請求項６】前記ワーク表面処理装置は表面処理槽とキ
   ャリヤホルダーを載置する一対のアームと前記キャリヤ
   ホルダーを吊るすハンガーと前記一対のアームから前記
   ハンガーに前記キャリヤホルダーを反転させる、或いは
   その逆に反転させる反転アームとから構成されていて、
   前記一対のアームに前記キャリヤホルダーの前記ワーク
   押圧装置を可動せしめる制御装置を設けたことを特徴と
   する請求項５に記載のワーク表面処理装置。