JPH0654594B2 - 磁気デイスク検査方法 - Google Patents
磁気デイスク検査方法Info
- Publication number
- JPH0654594B2 JPH0654594B2 JP62037354A JP3735487A JPH0654594B2 JP H0654594 B2 JPH0654594 B2 JP H0654594B2 JP 62037354 A JP62037354 A JP 62037354A JP 3735487 A JP3735487 A JP 3735487A JP H0654594 B2 JPH0654594 B2 JP H0654594B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- magnetic disk
- transparent adhesive
- ultraviolet light
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は磁気ディスク本体とセンタハブとが接着剤によ
り接着されてなる磁気ディスクの検査方法に関し、詳し
くは、前記接着剤の塗布状態の良否を判断する検査方法
に関するものである。
り接着されてなる磁気ディスクの検査方法に関し、詳し
くは、前記接着剤の塗布状態の良否を判断する検査方法
に関するものである。
(従来の技術) 従来より、例えば3.5インチマイクロフロッピィディス
クにおけるハードケース内に収納された磁気ディスクの
様に、表面に磁性体層を有し、高速回転されながら磁気
ヘッドにより上記磁性体層において磁気記録読取がなさ
れるフレキシブルな円盤状の磁気ディスク本体と該本体
の中央部に設けられたセンタハブとから成る磁気ディス
クが普及している。
クにおけるハードケース内に収納された磁気ディスクの
様に、表面に磁性体層を有し、高速回転されながら磁気
ヘッドにより上記磁性体層において磁気記録読取がなさ
れるフレキシブルな円盤状の磁気ディスク本体と該本体
の中央部に設けられたセンタハブとから成る磁気ディス
クが普及している。
このような磁気ディスクの一例を第6図に示す。図示の
磁気ディスク1は、いわゆるハット状の金属製センタハ
ブ2と磁気ディスク本体3とからなり、磁気ディスク本
体3の中央円孔3aにセンタハブのハット部2aが嵌合さ
れ、フランジ部2bと磁気ディスク本体の内周縁部3bとが
透明接着剤により接着されて成るものである。このセン
タハブ2は磁気ディスク1を磁気記録読取装置(以下、
ドライバという)に装着した際に該ディスク1を所定の
位置に位置決めし、チャッキングし、かつ回転駆動する
ためのものであり、ハット部の頂面は磁気チャック面2c
で、ドライバに磁気ディスク1が装着された際、ドライ
バの吸着マグネットに磁気チャックされる。
磁気ディスク1は、いわゆるハット状の金属製センタハ
ブ2と磁気ディスク本体3とからなり、磁気ディスク本
体3の中央円孔3aにセンタハブのハット部2aが嵌合さ
れ、フランジ部2bと磁気ディスク本体の内周縁部3bとが
透明接着剤により接着されて成るものである。このセン
タハブ2は磁気ディスク1を磁気記録読取装置(以下、
ドライバという)に装着した際に該ディスク1を所定の
位置に位置決めし、チャッキングし、かつ回転駆動する
ためのものであり、ハット部の頂面は磁気チャック面2c
で、ドライバに磁気ディスク1が装着された際、ドライ
バの吸着マグネットに磁気チャックされる。
磁気ディスク本体3とセンタハブ2の接着は、第6図に
示すようにセンタハブ2のフランジ部2bのハット部突出
側の面にリング状に均一に透明接着剤4を塗布して行な
われる。しかるに、もし第7A図に示すように透明接着
剤塗布部分に気泡4aが混入したり、第7B図に示すよう
に透明接着剤塗布部分にとぎれ4bが生じたりすると、磁
気ディスク本体3の貼付状態が不均一となって該磁気デ
ィスク本体3の平面性が損なわれ、ドライバ装着後回転
駆動するとうねり(波)が発生し、ヘッドの当りが不均
一となり記録時に記録信号の乱れや誤記録等が生じやす
く、再生時にも、再生が不正確となる等の不都合が生ず
る。
示すようにセンタハブ2のフランジ部2bのハット部突出
側の面にリング状に均一に透明接着剤4を塗布して行な
われる。しかるに、もし第7A図に示すように透明接着
剤塗布部分に気泡4aが混入したり、第7B図に示すよう
に透明接着剤塗布部分にとぎれ4bが生じたりすると、磁
気ディスク本体3の貼付状態が不均一となって該磁気デ
ィスク本体3の平面性が損なわれ、ドライバ装着後回転
駆動するとうねり(波)が発生し、ヘッドの当りが不均
一となり記録時に記録信号の乱れや誤記録等が生じやす
く、再生時にも、再生が不正確となる等の不都合が生ず
る。
このためセンタハブ2への透明接着剤4の塗布状態を検
査し、良好な塗布状態を常に確保する必要がある。
査し、良好な塗布状態を常に確保する必要がある。
このような検査技術としては、第8A図に示すように、
光源5から赤色(又は赤外、レーザ)光6を接着剤4の
塗布部分に照射し、その反射光7を位置センサ8で受光
し、その受光位置の差異により未塗布部分を感知する方
法が知られている。
光源5から赤色(又は赤外、レーザ)光6を接着剤4の
塗布部分に照射し、その反射光7を位置センサ8で受光
し、その受光位置の差異により未塗布部分を感知する方
法が知られている。
この方法においては、光源から出射された光6がフラン
ジ部2bに塗布された透明接着剤4に照射されると、第8
B図に実線で示すように透明接着剤4の表面で反射され
反射光7となり位置センサ8の一定位置に受光される
が、前述した気泡4aや透明接着剤のとぎれ4bの部分に照
射されると、第8B図に破線で示すようにフランジ部2b
からの反射光7′となり、反射光7と異なる位置で受光
される。このため位置センサ8の反射光受光位置に差異
が生ずる。上記光6の照射をフランジ部2bの全周に行
い、位置センサ8で受光位置を感知することにより透明
接着剤4の未塗布部分を検出するというものである。
ジ部2bに塗布された透明接着剤4に照射されると、第8
B図に実線で示すように透明接着剤4の表面で反射され
反射光7となり位置センサ8の一定位置に受光される
が、前述した気泡4aや透明接着剤のとぎれ4bの部分に照
射されると、第8B図に破線で示すようにフランジ部2b
からの反射光7′となり、反射光7と異なる位置で受光
される。このため位置センサ8の反射光受光位置に差異
が生ずる。上記光6の照射をフランジ部2bの全周に行
い、位置センサ8で受光位置を感知することにより透明
接着剤4の未塗布部分を検出するというものである。
(発明が解決しようとする問題点) しかし、このような従来の検査方法においては、接着剤
4が透明であるので光6が接着剤表面で反射せず透過さ
れてしまうことが多く、このため本来ならば第8B図に
示す反射光7のように透明接着剤4の表面で反射するは
ずの光が透明接着剤4内を通過して、フランジ部2bの表
面にあたって反射し反射光7′となることが多い。この
ためS/Nが非常に悪く誤検出が多くなり、透明接着剤
4の未塗布部分の正確な検査が困難であった。
4が透明であるので光6が接着剤表面で反射せず透過さ
れてしまうことが多く、このため本来ならば第8B図に
示す反射光7のように透明接着剤4の表面で反射するは
ずの光が透明接着剤4内を通過して、フランジ部2bの表
面にあたって反射し反射光7′となることが多い。この
ためS/Nが非常に悪く誤検出が多くなり、透明接着剤
4の未塗布部分の正確な検査が困難であった。
本発明の目的は、上記問題点に鑑み、検査におけるS/
Nを良化し、透明接着剤の未塗布部分を安定的に検出し
得る磁気ディスク検査方法を提供することにある。
Nを良化し、透明接着剤の未塗布部分を安定的に検出し
得る磁気ディスク検査方法を提供することにある。
(問題点を解決するための手段) 本発明は前述したような問題点を解決するために、磁気
ディスク本体とセンタハブとを接着するために塗布され
た透明接着剤の塗布状態を検査する磁気ディスク検査方
法において、前記塗布された透明接着剤に紫外光を含む
光線を照射し、その反射光に含まれる前記紫外光を受光
し受光された紫外光の強度に基づいて前記接着剤の塗布
状態を検査することを特徴とする。
ディスク本体とセンタハブとを接着するために塗布され
た透明接着剤の塗布状態を検査する磁気ディスク検査方
法において、前記塗布された透明接着剤に紫外光を含む
光線を照射し、その反射光に含まれる前記紫外光を受光
し受光された紫外光の強度に基づいて前記接着剤の塗布
状態を検査することを特徴とする。
(作用) 磁気ディスクにおいて一般的に多く使用されている透明
接着剤、例えばポリウレタン系、酢酸ビニール系、ポリ
エステル系、シアノアクリレート系等の接着剤は紫外光
を吸収する性質を有する。また、センタハブは紫外光も
全反射する。
接着剤、例えばポリウレタン系、酢酸ビニール系、ポリ
エステル系、シアノアクリレート系等の接着剤は紫外光
を吸収する性質を有する。また、センタハブは紫外光も
全反射する。
(発明の効果) 本発明は、紫外光を含む光線を磁気ディスク本体とセン
タハブとを接着する透明接着剤の塗布された部分に照射
し、この反射光を受光し、その反射光の強度に基づいて
透明接着剤の塗布状態を検査するものである。前記透明
接着剤は紫外光を吸収する性質を有するため該接着剤か
らの反射光の強度は極めて強く、気泡やとぎれ等により
接着剤が塗布されていない部分においてはセンタハブに
あたった紫外光が全反射されるため、反射光の強度が高
くなる。このように透明接着剤の塗布、未塗布によって
反射光の強度が明確に異なるので、検査におけるS/N
が良化し、透明接着剤未塗布部分を安定的に検出するこ
とが可能となる。
タハブとを接着する透明接着剤の塗布された部分に照射
し、この反射光を受光し、その反射光の強度に基づいて
透明接着剤の塗布状態を検査するものである。前記透明
接着剤は紫外光を吸収する性質を有するため該接着剤か
らの反射光の強度は極めて強く、気泡やとぎれ等により
接着剤が塗布されていない部分においてはセンタハブに
あたった紫外光が全反射されるため、反射光の強度が高
くなる。このように透明接着剤の塗布、未塗布によって
反射光の強度が明確に異なるので、検査におけるS/N
が良化し、透明接着剤未塗布部分を安定的に検出するこ
とが可能となる。
(実施例) 以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
従来の技術の項で第6図以下により説明したように、磁
気ディスク1における磁気ディスク本体3とセンタハブ
2との接着はセンタハブ2ののフランジ部2bに塗布され
た透明接着剤4を介して行なわれる。本発明においては
この透明接着剤4がフランジ部2bの全周に亘って均一に
塗布されたか否かの検査を紫外光を用いて行うものであ
る。
気ディスク1における磁気ディスク本体3とセンタハブ
2との接着はセンタハブ2ののフランジ部2bに塗布され
た透明接着剤4を介して行なわれる。本発明においては
この透明接着剤4がフランジ部2bの全周に亘って均一に
塗布されたか否かの検査を紫外光を用いて行うものであ
る。
第1図は、本発明に係る磁気ディスクの検査方法の一実
施例を実施するために使用する装置を示す概略図であ
る。
施例を実施するために使用する装置を示す概略図であ
る。
回転テーブル10の上に磁気チャック面2cを上にして設置
されたセンタハブ2のフランジ部2bの上面に塗布された
透明接着剤4に対して、紫外光光源11に接続された光フ
ァイバ12の先端から紫外光6を照射する。前記回転テー
ブル10を一定方向に360度回転させることにより、フラ
ンジ部2b上の透明接着剤4の全長にわたって紫外光6が
照射され、塗布、未塗布の検出が行なわれる。すなわち
透明接着剤4に照射された紫外光6はその殆んどが透明
接着剤4に吸収されるので紫外光を感知する受光器13に
よって検出される反射光量は極めて少ないが、気泡4a等
による透明接着剤未塗布部分に照射された紫外光6はフ
ランジ部2bにあたって反射され、強度の高い反射光とな
って受光器13に受光される。したがって、上記受光器13
が受光した反射光の光量を監視し、該光量が一定のレベ
ルで設定されたTHレベル(閾値)より大きくなった部
分を透明接着剤未塗布部分として検出することができ
る。横軸にフランジ部2bの円周上の位置、縦軸に紫外光
受光器の出力レベルをとったグラフを第2図に示す。こ
のグラフに示すように所定のTHレベルより反射光の強
度が高くなったときにはその高くなった部分が透明接着
剤の塗布されていない部分ということである。
されたセンタハブ2のフランジ部2bの上面に塗布された
透明接着剤4に対して、紫外光光源11に接続された光フ
ァイバ12の先端から紫外光6を照射する。前記回転テー
ブル10を一定方向に360度回転させることにより、フラ
ンジ部2b上の透明接着剤4の全長にわたって紫外光6が
照射され、塗布、未塗布の検出が行なわれる。すなわち
透明接着剤4に照射された紫外光6はその殆んどが透明
接着剤4に吸収されるので紫外光を感知する受光器13に
よって検出される反射光量は極めて少ないが、気泡4a等
による透明接着剤未塗布部分に照射された紫外光6はフ
ランジ部2bにあたって反射され、強度の高い反射光とな
って受光器13に受光される。したがって、上記受光器13
が受光した反射光の光量を監視し、該光量が一定のレベ
ルで設定されたTHレベル(閾値)より大きくなった部
分を透明接着剤未塗布部分として検出することができ
る。横軸にフランジ部2bの円周上の位置、縦軸に紫外光
受光器の出力レベルをとったグラフを第2図に示す。こ
のグラフに示すように所定のTHレベルより反射光の強
度が高くなったときにはその高くなった部分が透明接着
剤の塗布されていない部分ということである。
第3図に本発明の他の実施例を示す。この実施例におい
ては、紫外光6を光源20から出射させ、磁気チャック面
2cを上にして設置されたセンタハブ2に照射する。前述
したようにフランジ部に塗布されている透明接着剤4は
紫外光6を吸収するため透明接着剤4の塗布されていな
い部分のみ光が反射され、その反射光が紫外光透過フィ
ルタ21と紫外光に感度を有するCCD受光素子内蔵カメ
ラ22とから成る受光器23によって受光される。このカメ
ラ22のCCD受光素子により光電変換された画像信号を
画像処理部24に入力せしめて閾値処理を施し、さらにこ
の処理結果に所定の演算処理を施して接着剤塗布状態の
良否を判断するものである。接着剤塗布状態が良好のと
きはOK信号出力端子25からOK信号が出力され、上記
状態が不良のときはNG信号出力端子26からNG信号が
出力される。なお、画像処理部24から、閾値処理の結果
に対応する信号がモニタ27に送出され、視覚的にも接着
剤塗布状態が識別し得るようになっている。また、上記
画像処理部24は、第4図に示すように、画像入力信号に
ついて該入力信号の強度を基準値と遂次比較して2値化
処理を行なう閾値処理部28と、この閾値処理部28により
接着剤塗布部分であると判別された領域の面積、連結性
解析等を高速で演算し、この演算結果に基づいて塗布状
態の良否を判断し、その判断に応じてOK信号あるいは
NG信号を出力する画像演算部29と、この画像演算部29
をコントロールするCPU30からなっている。
ては、紫外光6を光源20から出射させ、磁気チャック面
2cを上にして設置されたセンタハブ2に照射する。前述
したようにフランジ部に塗布されている透明接着剤4は
紫外光6を吸収するため透明接着剤4の塗布されていな
い部分のみ光が反射され、その反射光が紫外光透過フィ
ルタ21と紫外光に感度を有するCCD受光素子内蔵カメ
ラ22とから成る受光器23によって受光される。このカメ
ラ22のCCD受光素子により光電変換された画像信号を
画像処理部24に入力せしめて閾値処理を施し、さらにこ
の処理結果に所定の演算処理を施して接着剤塗布状態の
良否を判断するものである。接着剤塗布状態が良好のと
きはOK信号出力端子25からOK信号が出力され、上記
状態が不良のときはNG信号出力端子26からNG信号が
出力される。なお、画像処理部24から、閾値処理の結果
に対応する信号がモニタ27に送出され、視覚的にも接着
剤塗布状態が識別し得るようになっている。また、上記
画像処理部24は、第4図に示すように、画像入力信号に
ついて該入力信号の強度を基準値と遂次比較して2値化
処理を行なう閾値処理部28と、この閾値処理部28により
接着剤塗布部分であると判別された領域の面積、連結性
解析等を高速で演算し、この演算結果に基づいて塗布状
態の良否を判断し、その判断に応じてOK信号あるいは
NG信号を出力する画像演算部29と、この画像演算部29
をコントロールするCPU30からなっている。
本発明に用いられる透明接着剤としては一般にポリウレ
タン系接着剤、または酢酸ビニール系接着剤、ポリエス
テル系接着剤、シアノアクリレート系接着剤等があげら
れる。これらの接着剤は、第5図に示す様に波長が約40
0nmから約750nmの可視光に対する透過率は極めて高
く、波長が約400nmより小さい紫外光に対する透過率
は極めて小さく該紫外光を十分に吸収するものである。
従って、上記透明接着剤の塗布未塗布の検出を反射紫外
光の強度に基づいて正確に行うことができる。
タン系接着剤、または酢酸ビニール系接着剤、ポリエス
テル系接着剤、シアノアクリレート系接着剤等があげら
れる。これらの接着剤は、第5図に示す様に波長が約40
0nmから約750nmの可視光に対する透過率は極めて高
く、波長が約400nmより小さい紫外光に対する透過率
は極めて小さく該紫外光を十分に吸収するものである。
従って、上記透明接着剤の塗布未塗布の検出を反射紫外
光の強度に基づいて正確に行うことができる。
なお、紫外光光源としてキセノンのストロボスコープ等
を使用すれば一般に短寿命とされている紫外光光源の長
寿命化を図ることができる。
を使用すれば一般に短寿命とされている紫外光光源の長
寿命化を図ることができる。
上記本発明においては、紫外光光源として例えば上記紫
外光を主として出射する光源(光源)、上記紫外光と
それ以外の光とを出射する光源(光源)および光源
であって前面に紫外光透過フィルタを備えたもの(光源
)を使用することができ、また受光器として例えば紫
外光に主として感度を有する受光器(受光器)、紫外
光とそれ以外の光にまで感度を有する受光器(受光器
)および受光器であって前面に紫外光透過フィルタ
を備えたもの(受光器)を使用することができる。た
だし、それらは次の様な組合せで使用する必要がある。
外光を主として出射する光源(光源)、上記紫外光と
それ以外の光とを出射する光源(光源)および光源
であって前面に紫外光透過フィルタを備えたもの(光源
)を使用することができ、また受光器として例えば紫
外光に主として感度を有する受光器(受光器)、紫外
光とそれ以外の光にまで感度を有する受光器(受光器
)および受光器であって前面に紫外光透過フィルタ
を備えたもの(受光器)を使用することができる。た
だし、それらは次の様な組合せで使用する必要がある。
光源と受光器、もしくは 光源と受光器もしくは 光源と受光器、もしくは
第1図は本発明に係る磁気ディスクの検査方法を実施す
るために用いる装置の一実施例を示す概略図、 第2図は、第1図に示す検査方法の実施例において感知
された反射光の光量の一例を示すグラフ、 第3図は、本発明に係る磁気ディスクの検査方法を実施
するために用いる装置の他の実施例を示す概略図、 第4図は、第3図に示す装置の一部を詳細に示すブロッ
ク図、 第5図は本発明において使用する透明接着剤の光透過率
を示すグラフ、 第6図は一般的な磁気ディスクの構成を示す斜視図、 第7A図および第7B図は、センタハブの接着剤塗布状
態の良否を示す図、 第8A図および第8B図は従来の磁気ディスクの検査方
法を示す略図である。 1…磁気ディスク 2…センタハブ 3…磁気ディスク本体 4…透明接着剤 6…紫外光 7…反射光
るために用いる装置の一実施例を示す概略図、 第2図は、第1図に示す検査方法の実施例において感知
された反射光の光量の一例を示すグラフ、 第3図は、本発明に係る磁気ディスクの検査方法を実施
するために用いる装置の他の実施例を示す概略図、 第4図は、第3図に示す装置の一部を詳細に示すブロッ
ク図、 第5図は本発明において使用する透明接着剤の光透過率
を示すグラフ、 第6図は一般的な磁気ディスクの構成を示す斜視図、 第7A図および第7B図は、センタハブの接着剤塗布状
態の良否を示す図、 第8A図および第8B図は従来の磁気ディスクの検査方
法を示す略図である。 1…磁気ディスク 2…センタハブ 3…磁気ディスク本体 4…透明接着剤 6…紫外光 7…反射光
Claims (1)
- 【請求項1】磁気ディスク本体とセンタハブとを接着す
るためにセンタハブに塗布された透明接着剤の塗布状態
を検査する磁気ディスク検査方法において、 前記塗布された透明接着剤に紫外光を含む光線を照射
し、その反射光に含まれる前記紫外光を受光し、受光さ
れた紫外光の強度に基づいて、前記接着剤の塗布状態を
検査することを特徴とする磁気ディスク検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62037354A JPH0654594B2 (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 磁気デイスク検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62037354A JPH0654594B2 (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 磁気デイスク検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63205867A JPS63205867A (ja) | 1988-08-25 |
JPH0654594B2 true JPH0654594B2 (ja) | 1994-07-20 |
Family
ID=12495213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62037354A Expired - Fee Related JPH0654594B2 (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 磁気デイスク検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0654594B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0814544B2 (ja) * | 1989-08-18 | 1996-02-14 | 富士写真フイルム株式会社 | フロッピーディスクの検査方法 |
JPH04241281A (ja) * | 1991-01-10 | 1992-08-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気ディスクカートリッジの検査方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2650678B2 (ja) * | 1986-09-10 | 1997-09-03 | 日立マクセル株式会社 | 記録ディスク体およびその製造方法 |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP62037354A patent/JPH0654594B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63205867A (ja) | 1988-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008227393A (ja) | ウェーハの両面研磨装置 | |
JP2001050903A (ja) | ガラス基板検査装置 | |
JPS6036013B2 (ja) | 金属表面の欠陥検査方法 | |
JPH0814544B2 (ja) | フロッピーディスクの検査方法 | |
JPH0654594B2 (ja) | 磁気デイスク検査方法 | |
JP3141974B2 (ja) | ガラスディスクの外周欠陥検出装置および外周欠陥検出方法 | |
JPH0833354B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2002055061A (ja) | 欠陥検出光学系および表面欠陥検査装置 | |
JPS61182238A (ja) | レジスト等有機化合物残渣検査装置 | |
US5184197A (en) | Method for inspecting magnetic disk cartridge | |
JPS63171489A (ja) | フロツピ−デイスク用ケ−スの検査方法 | |
JP3280742B2 (ja) | ガラス基板用欠陥検査装置 | |
JP3511745B2 (ja) | ディスク状の情報記録媒体の基板割れ検出方法と基板割れ検出装置 | |
JPH0675040B2 (ja) | 透明板材の欠陥検出装置 | |
JPH0495861A (ja) | 透明体円形ワークの欠陥検出装置 | |
JPH0518901A (ja) | ウエーハ表面検査装置 | |
JPH05182256A (ja) | ディスク欠陥検査装置 | |
JPH11287640A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2001228094A (ja) | ディスク表面検査装置 | |
JP3084333B2 (ja) | 磁気ディスクのテクスチャー傷判定装置 | |
JPS6120708Y2 (ja) | ||
JPH1164231A (ja) | ガラス管の泡筋検出方法および装置 | |
JP2008122365A (ja) | ガラスディスクの周面欠陥検出光学系および周面欠陥検出装置 | |
JPH1123486A (ja) | 欠陥検査装置及びその方法 | |
JPH0521421B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |