JPH065417Y2 - Ｃｖｄトレー - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は、ウエハ等の表面にＣＶＤ法により薄膜を形
成するＣＶＤ装置内に、ウエハ等を装入するためのＣＶ
Ｄトレーに関する。

「従来の技術」 周知のように、半導体製造プロセスにおける薄膜形成技
術において、化学蒸着法（ＣＶＤ法）が最も多く用いら
れている。

このＣＶＤ法は、薄膜を構成する原子を成分として持つ
気体、液体あるいは固体を材料とし、これらの材料を熱
エネルギ等により分解、反応させてウエハ等の表面に薄
膜を形成するものである。

そして、上記ＣＶＤ法を実施するには、近年、連続式の
ＣＶＤ装置がよく使用されているが、このＣＶＤ装置内
にウエハを支持して装入するＣＶＤトレーとして、従
来、第２図ないし第７図に示すものが知られている。

これらの図において符号１はトレー本体を示す。このト
レー本体１は表面にクロム酸化被覆がなされた長方形薄
板状をなすものであり、その左右両側部には支持部材２
により支持される複数の支持突起３…がトレー本体１と
一体的に形成されている。各支持突起３の板厚はトレー
本体１と同厚であり、その中央部にはこの部分を、第３
図ないし第５図に示すように、トレー本体１の上面側に
張り出してなるコルゲーション４がトレー本体１の側部
まで延びて形成されている。このコルゲーション４は支
持突起３の曲げ強度を高めるためのものである。

また、トレー本体１の長手方向中央部、およびこの中央
部から左右に等間隔離間した位置には、トレー本体１
を、第３図および第６図に示すように、その下面側に張
り出してなるコルゲーション５…がトレー本体１の幅方
向（長手方向と直交する方向）に延びて形成されてい
る。これらコルゲーション５…はトレー本体１の幅方向
における曲げ強度を高めるものである。

さらに、上記コルゲーション５…の間に位置する面はウ
エハ６，６を載置する載置面７，７とされている。各載
置面７にはこの面から突出する（第７図参照）ディンプ
ル８…が同心円上に沿って互いに等間隔で離間して形成
されており、これらディンプル８…の内側にウエハ６が
載置されるようになっている。

また、上記トレー本体１の長手方向に沿う両縁部には、
第３図および第４図に示すように、トレー本体１の下面
から突出しかつトレー本体１の長手方向に沿って延びる
補強板１０，１０がトレー本体１の内側に若干傾斜して
形成されている。この補強板１０，１０はトレー本体１
の長手方向における曲げ強度を高めて、載置面７，７の
平坦度を維持するためのものである。

そして、上記構成からなるＣＶＤトレーはトレー本体１
の載置面７，７にウエハ６，６が載置された後、ＣＶＤ
装置に装入され、この装置内に設置されたヒータ上をト
レー本体１の幅方向に移動する。

したがって、このＣＶＤトレーは装置内において、ヒー
タにより下方から加熱されるので、補強板１０，１０の
下端側の方が上端側より温度が高くなり、下端側の方の
延びが大きくなる。よって、この補強板１０，１０が反
りこれに伴いトレー本体１も反ることになる。

このため、上記ＣＶＤトレーは、装置内において、載置
面７，７の平坦度を規定内に維持するために、装置内に
おける補強板１０，１０の上端側と下端側の延びの差を
考慮して、予め上面側に若干反る（中高になる）ように
形成され、装置内において、ヒータにより加熱されるこ
とにより下面側に反り返って平坦になるようになってい
る。

「考案が解決しようとする課題」 ところが、上記ＣＶＤトレーはＣＶＤ装置に繰り返し挿
脱されるので、補強板１０，１０が繰り返して反り返る
ことになる。したがって、このＣＶＤトレーにあって
は、挿脱回数の増加に伴って、補強板１０，１０に上記
反り返りによる歪が蓄積されて、この結果補強板１０，
１０が所望の通り反り返らなくなって、トレー本体１の
載置面７，７の平坦度が規定から外れてしまい、使用寿
命を短くしていた。

「考案の目的」 この考案は上記事情に鑑みてなされたものであり、補強
板の反りを防止して、使用寿命を長くすることができる
ＣＶＤトレーを提供することを目的としている。

「課題を解決するための手段」 この考案のＣＶＤトレーは、トレー本体の長手方向に沿
う縁部に、トレー本体の下面から突出しかつトレー本体
の長手方向に沿って延びる補強板の下端面に、この下端
面を切り欠いてなる切欠部を形成したものである。

「作用」 この考案のＣＶＤトレーにあっては、補強板の下端面に
形成された切欠部が、補強板の下端側の延びの一部を吸
収する。したがって、ＣＶＤトレーが下方から加熱され
て補強板の下端側の方が上端側より温度が高くなって
も、補強板の上端側と下端側との延びは略同一になるの
で、この補強板が反ることがほとんどない。よって、補
強板の反り返りによる歪に起因してトレー本体の載置面
の平坦度が規定から外れてしまうことがないので使用寿
命を長くすることができる 「実施例」 第１図はこの考案のＣＶＤトレーの一実施例を示すもの
であり、これらの図において第２図ないし第７図に示す
構成要素と同一要素については同一符号を付してその説
明を省略する。

第１図に示すＣＶＤトレーが第２図ないし第７図に示す
ＣＶＤトレーと異なる点は補強板１０，１０に切欠部を
形成した点である。

すなわち、第１図に示すように、補強板１０の中央部に
は、補強板１０の下端面からトレー本体１の下面まで方
形状に切り欠いてなる切欠部２０が形成されている。ま
た、この切欠部２０から左右に等間隔離間した位置に
は、補強板１０の下端面から幅方向中央部付近まで方形
状に切り欠いてなる切欠部２１，２１が形成されてい
る。さらに、これら切欠部２１，２１から外側に等間隔
離間した位置には、補強板１０の下端面から幅方向中央
部付近まで方形状に切り欠いてなる切欠部２２，２２が
形成されている。

また、これら切欠部２０，２１間の距離Ｌ_１と、切欠部
２１，２１間の距離Ｌ_２と、切欠部２２と補強板１０の
左（右）端部間の距離Ｌ_３とは Ｌ_１＜Ｌ_２＜Ｌ_３となるように設定されている。

しかして、上記構成のＣＶＤトレーにあっては、補強板
１０，１０の下端面に切欠部２０，２１，２２を形成し
たので、ＣＶＤ装置内において、ヒータにより下方から
加熱されることにより補強板１０，１０の下端側の方が
上端側より温度が高くなって、単位長さ当たりの延びが
下端側の方が上端側より長くなっても、下端側の延びの
一部が切欠部２０，２１，２２に吸収されるので、補強
板１０の上端側と下端側との延びは略同一になる。よっ
て、この補強板１０，１０がＣＶＤ装置内において下方
から加熱されても反ることがほとんどない。

したがって、従来のように、補強板１０，１０の反り返
りによる歪に起因してトレー本体１の載置面７，７の平
坦度が規定から外れてしまうことがなく、よってＣＶＤ
トレーの使用寿命を従来に比べ格段に長くすることがで
きる。

また、従来のように、予めトレー本体１を反らせて形成
する必要がないので、トレー本体１の載置面７，７への
ウエハ６，６の載置安定性が優れている。

さらに、補強板１０においては、長手方向中央部が最も
熱が逃げにくくなって延び率が大きくなり、外側に向か
うほど熱が逃げやすくなって延び率が小さくなるが、延
び率の大きい中央部に形成した切欠部２０の深さを他の
切欠部２１，２２より深くすると供に、中央部から外側
に向かうにしたがって切欠部２０，２１，２２、補強板
１０の左右端部のそれぞれの間の距離を長く設定した
（Ｌ_１＜Ｌ_２＜Ｌ_３）ので、補強板１０の熱による延び
のバランス性が優れており、よってトレー本体１の載置
面７，７の平坦性をより高精度に維持することができ
る。

「考案の効果」 以上説明したように、この考案のＣＶＤトレーによれ
ば、このＣＶＤトレーが下方から加熱されることにより
補強板の下端側の方が上端側より温度が高くなって、単
位長さ当たりの延びが下端側の方が上端側より長くなっ
ても、下端側の延びの一部が切欠部に吸収されるので、
補強板の上端側と下端側との延びは略同一になり、よっ
てこの補強板が反ることがほとんどない。したがって、
従来のように、補強板の反り返りによる歪に起因してト
レー本体の載置面の平坦度が規定から外れてしまうこと
がなく、よって使用寿命を従来に比べ格段に長くするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案のＣＶＤトレーの一実施例を示す側面
図、第２図ないし第７図は従来のＣＶＤトレーの一例を
示すものであり、第２図はＣＶＤトレーの平面図、第３
図は第２図におけるIII−III線視図、第４図は第２図に
おけるIV矢視図、第５図は第２図におけるＶ−Ｖ線視断
面図、第６図は第２図おけるVI−VI線視断面図、第７図
は第２図におけるVII−VII線視断面図である。 １……トレー本体、７……載置面、 １０……補強板、 ２０，２１，２２……切欠部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】上面にウエハが載置される載置面を有する
   略長方形薄板状をなすトレー本体の長手方向に沿う縁部
   に、上記トレー本体の下面から突出しかつトレー本体の
   長手方向に沿って延びる補強板が形成されたＣＶＤトレ
   ーにおいて、 上記補強板の下端面に、この下端面を切り欠いてなる切
   欠部を形成したことを特徴とするＣＶＤトレー。