JPH0333057Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0333057Y2 JPH0333057Y2 JP1985186124U JP18612485U JPH0333057Y2 JP H0333057 Y2 JPH0333057 Y2 JP H0333057Y2 JP 1985186124 U JP1985186124 U JP 1985186124U JP 18612485 U JP18612485 U JP 18612485U JP H0333057 Y2 JPH0333057 Y2 JP H0333057Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflector
- reflector plate
- temperature
- heat treatment
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Landscapes
- Furnace Details (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は高温・高真空熱処理装置の反射板に関
し、とくに高温高真空中での断熱に使用する反射
板構造の改良に関する。
し、とくに高温高真空中での断熱に使用する反射
板構造の改良に関する。
従来、タンタル固体電解コンデンサ等の製造過
程で使用する高温高真空熱処理装置の反射板は、
処理温度が1500℃〜2000℃の高温であるため、材
料としてはタンタルまたはタングステンなどが用
いられており、熱処理装置の構造により、第２図
の如く半円筒状に成形した材料を６〜８枚積層し
た構造となつていた。
程で使用する高温高真空熱処理装置の反射板は、
処理温度が1500℃〜2000℃の高温であるため、材
料としてはタンタルまたはタングステンなどが用
いられており、熱処理装置の構造により、第２図
の如く半円筒状に成形した材料を６〜８枚積層し
た構造となつていた。
しかしながら、従来の高温・高真空熱処理装置
の反射板は熱により断面半径方向に膨張しようと
するが、構造上反射板下部の膨張は拘束されるた
め、結果として反射板の両端部は内部に折れ曲が
り、反射板内部の被熱処理体を挿脱する搬送の妨
げとなる。また、反射板材料の弾性率が高温にお
いて低下するため、自重により半円筒状の頂部が
下方にたわみ、反射板内部の発熱体と接触し、高
温・高真空熱処理装置の寿命を短かくするという
欠点がある。
の反射板は熱により断面半径方向に膨張しようと
するが、構造上反射板下部の膨張は拘束されるた
め、結果として反射板の両端部は内部に折れ曲が
り、反射板内部の被熱処理体を挿脱する搬送の妨
げとなる。また、反射板材料の弾性率が高温にお
いて低下するため、自重により半円筒状の頂部が
下方にたわみ、反射板内部の発熱体と接触し、高
温・高真空熱処理装置の寿命を短かくするという
欠点がある。
本考案の目的はかかる従来欠点を改良した高
温・高真空熱処理装置の反射板を提供することに
ある。
温・高真空熱処理装置の反射板を提供することに
ある。
本考案によれば、断面ほぼ同心円状に複数の半
円筒状体を積層配設した耐熱性金属の反射板と、
前記反射板の最外周面上に断面Ω字状の補強リブ
を円弧面に沿つて等間隔に複数個固着し、かつ前
記反射板の両端部の長手方向に耐熱性金属板を添
着固定したことを特徴とする高温・高真空熱処理
装置の反射板が得られる。
円筒状体を積層配設した耐熱性金属の反射板と、
前記反射板の最外周面上に断面Ω字状の補強リブ
を円弧面に沿つて等間隔に複数個固着し、かつ前
記反射板の両端部の長手方向に耐熱性金属板を添
着固定したことを特徴とする高温・高真空熱処理
装置の反射板が得られる。
次に、本考案について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図であ
る。１は厚さ0.5mmのタンタル板を最外層部１０
の半径100mm、長さ300mmに加工した順次内層に向
かつて半径を短縮させて形成した10枚のタンタル
板を積層した構造を有する反射板で、２は厚さ
0.5mmのタンタル板を、断面Ω字状に円弧部の半
径を５mmに加工し、反射板１の反射板１の最外層
部１ａに円弧面に沿つて等間隔に取り付けた３本
の補強リブ、３は厚さ１mm、幅30mm、長さ300mm
のタンタル板を反射板１の最外層部１ａの両端部
に取り付けた耐熱性金属の補強板である。
る。１は厚さ0.5mmのタンタル板を最外層部１０
の半径100mm、長さ300mmに加工した順次内層に向
かつて半径を短縮させて形成した10枚のタンタル
板を積層した構造を有する反射板で、２は厚さ
0.5mmのタンタル板を、断面Ω字状に円弧部の半
径を５mmに加工し、反射板１の反射板１の最外層
部１ａに円弧面に沿つて等間隔に取り付けた３本
の補強リブ、３は厚さ１mm、幅30mm、長さ300mm
のタンタル板を反射板１の最外層部１ａの両端部
に取り付けた耐熱性金属の補強板である。
第３図は本考案構成の反射板を、高温・高真空
熱処理装置に使用し、最高加熱温度1500℃〜2000
℃、真空度10-5〜10-6Torr台にて1000サイクル
加熱処理し、反射板の変形量を求めるという操作
を５回繰り返して平均を求め従来例と比較した図
である。図に示す如く、従来例のａ，ｂではｘ方
向に最大10mm、ｙ方向に最大15mm変形したのに対
して、本考案実施例のＡ，Ｂでは、それぞれ１
mm，３mmとなり、変形を防止することができた。
熱処理装置に使用し、最高加熱温度1500℃〜2000
℃、真空度10-5〜10-6Torr台にて1000サイクル
加熱処理し、反射板の変形量を求めるという操作
を５回繰り返して平均を求め従来例と比較した図
である。図に示す如く、従来例のａ，ｂではｘ方
向に最大10mm、ｙ方向に最大15mm変形したのに対
して、本考案実施例のＡ，Ｂでは、それぞれ１
mm，３mmとなり、変形を防止することができた。
以上説明したように、本考案により反射板の変
形を防止することができるので、高温・高真空熱
処理装置の炉材の寿命が延長され、保守が容易に
なる効果がある。さらに、変形によるの乱反射が
軽減されるので、被熱処理体上での温度分布が均
一になり、品質の均一な製品を得ることができる
効果がある。
形を防止することができるので、高温・高真空熱
処理装置の炉材の寿命が延長され、保守が容易に
なる効果がある。さらに、変形によるの乱反射が
軽減されるので、被熱処理体上での温度分布が均
一になり、品質の均一な製品を得ることができる
効果がある。
第１図は本考案による反射板の構造を示す斜視
図、第２図は従来例の反射板の構造を示す斜視
図、第３図は、本考案実施例と従来例における反
射板の変形量を示すグラフである。 １……反射板、２……補強板、Ａ……本考案実
施例におけるｘ方向の変形量、Ｂ……本考案実施
例におけるｙ方向の変形量、ａ……従来例におけ
るｘ方向の変形量、ｂ……従来例におけるｙ方向
の変形量。
図、第２図は従来例の反射板の構造を示す斜視
図、第３図は、本考案実施例と従来例における反
射板の変形量を示すグラフである。 １……反射板、２……補強板、Ａ……本考案実
施例におけるｘ方向の変形量、Ｂ……本考案実施
例におけるｙ方向の変形量、ａ……従来例におけ
るｘ方向の変形量、ｂ……従来例におけるｙ方向
の変形量。
Claims (1)
- 断面ほぼ同心円状に複数の半円筒状体を積層配
設した耐熱性金属の反射板と、前記反射板の最外
周面上に断面Ω字状の補強リブを円弧面に沿つて
等間隔に複数個固着し、かつ前記反射板の両端部
の長手方向に耐熱性金属板を添着固定したことを
特徴とする高温・高真空熱処理装置の反射板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985186124U JPH0333057Y2 (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985186124U JPH0333057Y2 (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6294625U JPS6294625U (ja) | 1987-06-17 |
| JPH0333057Y2 true JPH0333057Y2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=31135390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985186124U Expired JPH0333057Y2 (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0333057Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-02 JP JP1985186124U patent/JPH0333057Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6294625U (ja) | 1987-06-17 |
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