JPH0653268B2 - 超音波発振器 - Google Patents
超音波発振器Info
- Publication number
- JPH0653268B2 JPH0653268B2 JP62294227A JP29422787A JPH0653268B2 JP H0653268 B2 JPH0653268 B2 JP H0653268B2 JP 62294227 A JP62294227 A JP 62294227A JP 29422787 A JP29422787 A JP 29422787A JP H0653268 B2 JPH0653268 B2 JP H0653268B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amplifier
- output
- phase difference
- signal
- ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/852—Applying energy for connecting
- H01L2224/85201—Compression bonding
- H01L2224/85205—Ultrasonic bonding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、特に超音波振動子の振動振幅の立上りの傾き
を可変にする超音波発信器に関する。
を可変にする超音波発信器に関する。
（従来の技術） 例えば、ＩＣチップとリードフレームをワイヤで電気的
に接続する工程に使用される機器にボンダがある。この
ボンダはＩＣの多品種化にともない、各用途における特
性の細かな対応が要求されている。このような状況下に
おいて、ワイヤに超音波振動を加えて接続を強固にする
ボンダ用超音波発振器にも同様の要求がある。
に接続する工程に使用される機器にボンダがある。この
ボンダはＩＣの多品種化にともない、各用途における特
性の細かな対応が要求されている。このような状況下に
おいて、ワイヤに超音波振動を加えて接続を強固にする
ボンダ用超音波発振器にも同様の要求がある。
このボンダ用超音波発振器に要求されるものの一つとし
て、超音波振動子の振動振幅の立上りの傾きを可変にす
ることがある。ある種のＩＣにおいては、ボンディング
時にワイヤに急激に振動を加えると、ＩＣに大きなダメ
ージを与える。その為、この振動振幅の立ち上がりに傾
きを持たせて、徐々に振幅を増加させてやる必要があ
る。また、立上りの傾きは、各ＩＣにあわせて任意に設
定できる必要がある。
て、超音波振動子の振動振幅の立上りの傾きを可変にす
ることがある。ある種のＩＣにおいては、ボンディング
時にワイヤに急激に振動を加えると、ＩＣに大きなダメ
ージを与える。その為、この振動振幅の立ち上がりに傾
きを持たせて、徐々に振幅を増加させてやる必要があ
る。また、立上りの傾きは、各ＩＣにあわせて任意に設
定できる必要がある。
従来ボンダ用として使用されてきた超音波発振器の例を
第７図に示す。第７図において、１は入力電圧を制御し
て発振周波数を制御することのできる電圧制御発振器
（以下ＶＣＯと略称する）、２は出力・時間調整器、３
は出力増幅器、４は位相差検出器、５′は誤差増幅器、
６は位相差設定器、７は負荷の超音波振動子、８は乗算
器、９は積分器、１０はパルス波発生器である。
第７図に示す。第７図において、１は入力電圧を制御し
て発振周波数を制御することのできる電圧制御発振器
（以下ＶＣＯと略称する）、２は出力・時間調整器、３
は出力増幅器、４は位相差検出器、５′は誤差増幅器、
６は位相差設定器、７は負荷の超音波振動子、８は乗算
器、９は積分器、１０はパルス波発生器である。
第８図は、超音波振動子７の振動子入力電圧を一定とし
たときの、超音波振動子７の特性例を示した図である。
超音波振動子７は交流の電気的パワーを機械的振動に変
換するものである。超音波振動子への入力周波数と、振
動振幅及び入力電圧電流位相差には、第８図の様な関係
がある。すなわち、振動子は共振周波数を持ち、その
周波数では振動振幅が最大となり、入力電圧電流の位相
差θは０゜となる。この状態では振動振幅は入力される
電気的パワーに比例する。
たときの、超音波振動子７の特性例を示した図である。
超音波振動子７は交流の電気的パワーを機械的振動に変
換するものである。超音波振動子への入力周波数と、振
動振幅及び入力電圧電流位相差には、第８図の様な関係
がある。すなわち、振動子は共振周波数を持ち、その
周波数では振動振幅が最大となり、入力電圧電流の位相
差θは０゜となる。この状態では振動振幅は入力される
電気的パワーに比例する。
第８図はある条件下での特性例であり、振動振幅がピー
クとなる周波数は、温度やその他の要因により変化す
る。しかし、振動振幅がピークとなる周波数が変化して
も、振動振幅と入力電圧電流位相差の関係は変化しな
い。その為、超音波発振器は、振動子の入力電圧電流位
相差、すなわち発振器の出力電圧電流位相差が一定にな
るように、発振器の出力周波数を制御することにより振
動振幅を一定にしている。これにより、超音波振動子に
入力される電気的パワーに比例した機械的振動振幅が得
られる。
クとなる周波数は、温度やその他の要因により変化す
る。しかし、振動振幅がピークとなる周波数が変化して
も、振動振幅と入力電圧電流位相差の関係は変化しな
い。その為、超音波発振器は、振動子の入力電圧電流位
相差、すなわち発振器の出力電圧電流位相差が一定にな
るように、発振器の出力周波数を制御することにより振
動振幅を一定にしている。これにより、超音波振動子に
入力される電気的パワーに比例した機械的振動振幅が得
られる。
第７図により従来の超音波発振器の動作を説明する。位
相差検出器４は超音波振動子７の入力電圧電流の位相差
を検出する。誤差増幅器５′は位相差設定器６による位
相差設定値と位相差検出器４からの位相差信号とを比較
し、その誤差を増幅して信号をＶＣＯ１に与える。ＶＣ
Ｏ１は入力信号の値により周波数が変化する発振器で、
誤差増幅器５′からの信号で発振周波数を補正し、電圧
電流位相差が設定値となる周波数に発信周波数を制御す
る。超音波振動は前記ＩＣのボンディング時のワイヤを
接続する瞬間に所定の時間、所定の振幅が加えられるも
のであり、その時間及び振幅は、各ＩＣに合わせて外部
よりの振動指令信号で与えられる。ＶＣＯ１の信号は出
力・時間調整器２により所定の時間・所定の振幅の信号
に変換される。
相差検出器４は超音波振動子７の入力電圧電流の位相差
を検出する。誤差増幅器５′は位相差設定器６による位
相差設定値と位相差検出器４からの位相差信号とを比較
し、その誤差を増幅して信号をＶＣＯ１に与える。ＶＣ
Ｏ１は入力信号の値により周波数が変化する発振器で、
誤差増幅器５′からの信号で発振周波数を補正し、電圧
電流位相差が設定値となる周波数に発信周波数を制御す
る。超音波振動は前記ＩＣのボンディング時のワイヤを
接続する瞬間に所定の時間、所定の振幅が加えられるも
のであり、その時間及び振幅は、各ＩＣに合わせて外部
よりの振動指令信号で与えられる。ＶＣＯ１の信号は出
力・時間調整器２により所定の時間・所定の振幅の信号
に変換される。
出力・時間調整器２の信号をそのまま増幅して超音波振
動子に加えると、振動の立ち上がりが急激になるので、
乗算器８、積分器９、パルス波発生器１０よりなる回路
で立ち上がりの傾きを可変にしている。パルス波発生器
１０は、振動指令信号により大ききさが一定で、設定さ
れたパルス幅のパルス波を発生する回路である。パルス
波は積分器９によつて所定の立ち上がり傾きを持った台
形波に変換される。ＶＣＯ１の出力信号は、乗算器８に
よりこの台形波信号とかけ算されて出力増幅器３に与え
られる。出力増幅器３はこの入力信号をパワー増幅して
負荷の振動子７に加える。
動子に加えると、振動の立ち上がりが急激になるので、
乗算器８、積分器９、パルス波発生器１０よりなる回路
で立ち上がりの傾きを可変にしている。パルス波発生器
１０は、振動指令信号により大ききさが一定で、設定さ
れたパルス幅のパルス波を発生する回路である。パルス
波は積分器９によつて所定の立ち上がり傾きを持った台
形波に変換される。ＶＣＯ１の出力信号は、乗算器８に
よりこの台形波信号とかけ算されて出力増幅器３に与え
られる。出力増幅器３はこの入力信号をパワー増幅して
負荷の振動子７に加える。
第９図に出力・時間調整器２の出力信号の信号Ａ、誤差
増幅器５の出力信号すなわち周波数信号の信号Ｂ、パル
ス波発生器９の出力信号の信号Ｃ、積分器９の出力信号
の信号Ｄ、出力増幅器３の出力電圧の信号Ｅ、及び超音
波振動子７の機械的振動振幅の信号Ｆの特性例を示す。
出力周波数は発信開始と同時に超音波振動子の共振周波
数に制御されるので、機械的振動振幅は入力電圧に比例
して所定の傾きになる。
増幅器５の出力信号すなわち周波数信号の信号Ｂ、パル
ス波発生器９の出力信号の信号Ｃ、積分器９の出力信号
の信号Ｄ、出力増幅器３の出力電圧の信号Ｅ、及び超音
波振動子７の機械的振動振幅の信号Ｆの特性例を示す。
出力周波数は発信開始と同時に超音波振動子の共振周波
数に制御されるので、機械的振動振幅は入力電圧に比例
して所定の傾きになる。
第１０図には従来の誤差増幅器５′の例を示す。第１０
図において、５Ａは比例増幅器、５Ｃは発信周波数の初
期値を決める初期値設定器、５Ｂは比例増幅器５Ａ及び
初期値設定値５Ｃの信号を加算する加算器である。従来
のボンダにおいては、超音波発信器の出力周波数を出来
るだけ速く超音波振動子７の振動振幅に制御しようとし
て、誤差増幅器５′には応答の速いゲインを上げた比例
増幅器が用いられており、充分この要求を満足してい
た。初期値設定器５Ｃは発信開始周波数をあらかじめ超
音波振動子の共振周波数近辺において制御を速くする為
のものである。
図において、５Ａは比例増幅器、５Ｃは発信周波数の初
期値を決める初期値設定器、５Ｂは比例増幅器５Ａ及び
初期値設定値５Ｃの信号を加算する加算器である。従来
のボンダにおいては、超音波発信器の出力周波数を出来
るだけ速く超音波振動子７の振動振幅に制御しようとし
て、誤差増幅器５′には応答の速いゲインを上げた比例
増幅器が用いられており、充分この要求を満足してい
た。初期値設定器５Ｃは発信開始周波数をあらかじめ超
音波振動子の共振周波数近辺において制御を速くする為
のものである。
（発明が解決しようとする問題点） しかして従来の超音波発振器では、第７図のごとく超音
波振動子７の振動振幅の立ち上がりの傾きを可変にする
ために、乗算器８、積分器９、パルス波発生器１０より
なる回路を用いていた。これらの回路は複雑で大きなス
ペースを必要とするだけでなく、アナログ乗算器等の高
価なＩＣを用いねばならなかったた。このため、ボンダ
用超音波発振器の小型化、低価格化を妨げる大きな要因
となっていた。
波振動子７の振動振幅の立ち上がりの傾きを可変にする
ために、乗算器８、積分器９、パルス波発生器１０より
なる回路を用いていた。これらの回路は複雑で大きなス
ペースを必要とするだけでなく、アナログ乗算器等の高
価なＩＣを用いねばならなかったた。このため、ボンダ
用超音波発振器の小型化、低価格化を妨げる大きな要因
となっていた。
本発明の目的は、簡単な構成の回路により超音波振動子
の振動振幅の立上りの傾きを任意に設定出来る様にした
超音波発振器を提供するものである。
の振動振幅の立上りの傾きを任意に設定出来る様にした
超音波発振器を提供するものである。
（問題点を解決するための手段） 本発明の超音波発振器は、振動子の入力電圧電流位相差
の誤差を増幅する誤差増幅器を所定の時定数を持った積
分要素を含む増幅器とし、発振が停止している状態では
増幅器の出力を所定の初期値にリセットし、発振を開始
するとともに誤差増幅を開始するようにしたものであ
る。
の誤差を増幅する誤差増幅器を所定の時定数を持った積
分要素を含む増幅器とし、発振が停止している状態では
増幅器の出力を所定の初期値にリセットし、発振を開始
するとともに誤差増幅を開始するようにしたものであ
る。
（作用） 本発明においては、発振器出力周波数が所定の初期値よ
り発振を開始し、誤差増幅器の積分時定数にしたがった
傾きで出力周波数を位相差設定値で決まる値まで変化さ
せてその値に制御する。そのため、従来方式で、必要で
あった乗算器、積分器、パルス波発生器の回路なしで
も、超音波振動子の振動振幅の立上りの傾きを任意に設
定出来る。
り発振を開始し、誤差増幅器の積分時定数にしたがった
傾きで出力周波数を位相差設定値で決まる値まで変化さ
せてその値に制御する。そのため、従来方式で、必要で
あった乗算器、積分器、パルス波発生器の回路なしで
も、超音波振動子の振動振幅の立上りの傾きを任意に設
定出来る。
（実施例） 以下本発明を第１図および第２図に示す一実施例につい
て説明する。第１図および第２図において、第７図およ
び第１０図と同一符号のものは、同一の構成要素を示す
ものであるからその説明を省略する。本発明では、第７
図における誤差増幅器５′を改造することにより従来の
乗算器８、積分器９、パルス波発生器１０を不要として
いる。また第２図は本発明の第１図の誤差増幅器５の具
体的な構成例である。
て説明する。第１図および第２図において、第７図およ
び第１０図と同一符号のものは、同一の構成要素を示す
ものであるからその説明を省略する。本発明では、第７
図における誤差増幅器５′を改造することにより従来の
乗算器８、積分器９、パルス波発生器１０を不要として
いる。また第２図は本発明の第１図の誤差増幅器５の具
体的な構成例である。
本発明における誤差増幅器５を比例積分増幅器としてい
る。比例積分増幅器５は、演算増幅器５Ｄと、リセット
スイッチ５Ｈ、抵抗器Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９、コンデンサＣ
よりなっている。振動指令信号がＯＦＦの時、演算増幅
器５Ｄは、リセットスイッチ５Ｔの接点閉によりリセッ
トされているので、加算器５Ｂの出力信号は初期値設定
器５Ｃにより設定された信号である。したがって、第１
図のＶＣＯ１は初期値設定器５Ｃで設定された周波数で
発振している。
る。比例積分増幅器５は、演算増幅器５Ｄと、リセット
スイッチ５Ｈ、抵抗器Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９、コンデンサＣ
よりなっている。振動指令信号がＯＦＦの時、演算増幅
器５Ｄは、リセットスイッチ５Ｔの接点閉によりリセッ
トされているので、加算器５Ｂの出力信号は初期値設定
器５Ｃにより設定された信号である。したがって、第１
図のＶＣＯ１は初期値設定器５Ｃで設定された周波数で
発振している。
振動指令信号がＯＮとなれば、リセットスイッチ５Ｔの
接点開により演算増幅器５Ｄを開放する。演算増幅器５
Ｄは、第１図の位相差設定器６の位相差設定値と、電圧
電流位相差との誤差によりＶＣＯ１の入力信号を補正し
周波数は位相差設定値で決まる最終値に制御される。こ
のとき、第３図に示すように、初期値設定器５Ｃを調整
して周波数の初期値を共振周波数かから所定の値だけず
らしておけば、振動指令がＯＮになると、周波数は抵抗
Ｒ７、コンデンサＣより決まる積分の時定数にしたがっ
た傾きで、初期値から共振周波数まで変化する。従って
振動振幅も図のように初期値から設定値まで変化する。
接点開により演算増幅器５Ｄを開放する。演算増幅器５
Ｄは、第１図の位相差設定器６の位相差設定値と、電圧
電流位相差との誤差によりＶＣＯ１の入力信号を補正し
周波数は位相差設定値で決まる最終値に制御される。こ
のとき、第３図に示すように、初期値設定器５Ｃを調整
して周波数の初期値を共振周波数かから所定の値だけず
らしておけば、振動指令がＯＮになると、周波数は抵抗
Ｒ７、コンデンサＣより決まる積分の時定数にしたがっ
た傾きで、初期値から共振周波数まで変化する。従って
振動振幅も図のように初期値から設定値まで変化する。
このときの各部信号の特性を示したものが第４図であ
る。各信号は出力・時間調整器２の出力信号の信号Ａ、
誤差増幅器５の出力信号すなわち周波数信号の信号Ｂ、
出力増幅器３の出力電圧の信号Ｅ、及び超音波振動子７
の機械的振動振幅の信号Ｆ、振動子入力電圧電流位相差
の信号Ｇである。出力増幅器３の出力電圧の信号Ｅは瞬
時に立ち上るが、信号Ｂの様に周波数がランプ状に変化
するため、超音波振動子の振動振幅の信号Ｆも、第４図
のようにある傾きを持って立ち上がる。振動振幅の立ち
上がりの傾き、すなわち比例積分増幅の積分時定数は、
抵抗Ｒ７、コンデンサＣの値を変えることにより任意に
設定できる。
る。各信号は出力・時間調整器２の出力信号の信号Ａ、
誤差増幅器５の出力信号すなわち周波数信号の信号Ｂ、
出力増幅器３の出力電圧の信号Ｅ、及び超音波振動子７
の機械的振動振幅の信号Ｆ、振動子入力電圧電流位相差
の信号Ｇである。出力増幅器３の出力電圧の信号Ｅは瞬
時に立ち上るが、信号Ｂの様に周波数がランプ状に変化
するため、超音波振動子の振動振幅の信号Ｆも、第４図
のようにある傾きを持って立ち上がる。振動振幅の立ち
上がりの傾き、すなわち比例積分増幅の積分時定数は、
抵抗Ｒ７、コンデンサＣの値を変えることにより任意に
設定できる。
本発明の第２図と従来の第１０図を比較してわかるよう
に、本発明による回路の改造および部品の追加は、非常
に少なく、簡単小型で低価格の回路により、従来方式と
まったく同様の性能を有するものである。
に、本発明による回路の改造および部品の追加は、非常
に少なく、簡単小型で低価格の回路により、従来方式と
まったく同様の性能を有するものである。
第５図に示す本発明の他の実施例においては、可変抵抗
器Ｒ１０により積分増幅の時貞数の調整を、可変抵抗器
Ｒ１１により比例増幅のゲインの調整を行う構成にした
ものである。これにより調整時間の短縮がはかれる。ま
た第６図は、出力増幅器３に定電流制御器１１を追加し
て振動振幅制御の精度向上をはかったものである。以
上、一例として、誤差増幅器５に比例積分増幅器を用い
た方式につき説明を行ったが、誤差増幅器５は超音波振
動子やＩＣの種類の合わせ、積分増幅器でも同様の効果
を発揮することは明らかである。
器Ｒ１０により積分増幅の時貞数の調整を、可変抵抗器
Ｒ１１により比例増幅のゲインの調整を行う構成にした
ものである。これにより調整時間の短縮がはかれる。ま
た第６図は、出力増幅器３に定電流制御器１１を追加し
て振動振幅制御の精度向上をはかったものである。以
上、一例として、誤差増幅器５に比例積分増幅器を用い
た方式につき説明を行ったが、誤差増幅器５は超音波振
動子やＩＣの種類の合わせ、積分増幅器でも同様の効果
を発揮することは明らかである。
以上のように本発明によれば、誤差増幅器を所定の時定
数を持った比例積分増幅器としたことにより、アナログ
乗算器等の高価でまた複雑な回路を使用しなくても、簡
単な回路構成で、超音波振動子の振動振幅の立ち上がり
の傾きを、任意に設定できる。したがって、装置の小型
化、低価格化に効果が大きい。これは、ボンダ用超音波
発振器に適用した場合、そのボンディング時にそのＩＣ
にあった傾きでなだらかに、超音波振動子の振動振幅
を、増加させるという、高度な作業の普及につながり、
ＩＣ製造の分留まり及び、ＩＣの信頼性の向上に大きな
効果がある。また、従来のものは、出力増幅器の出力レ
ベルを制御しているので、出力増幅器の損失が大きくな
るが、本発明のものは出力レベルが一定で、周波数を制
御しているため、出力増幅器の損失が小さくなる。
数を持った比例積分増幅器としたことにより、アナログ
乗算器等の高価でまた複雑な回路を使用しなくても、簡
単な回路構成で、超音波振動子の振動振幅の立ち上がり
の傾きを、任意に設定できる。したがって、装置の小型
化、低価格化に効果が大きい。これは、ボンダ用超音波
発振器に適用した場合、そのボンディング時にそのＩＣ
にあった傾きでなだらかに、超音波振動子の振動振幅
を、増加させるという、高度な作業の普及につながり、
ＩＣ製造の分留まり及び、ＩＣの信頼性の向上に大きな
効果がある。また、従来のものは、出力増幅器の出力レ
ベルを制御しているので、出力増幅器の損失が大きくな
るが、本発明のものは出力レベルが一定で、周波数を制
御しているため、出力増幅器の損失が小さくなる。
第１図は本発明の超音波発振器の一実施例を示すブロッ
ク図、第２図は本発明に使用する誤差増幅器の詳細回路
図、第３図は本発明の作用を説明するための超音波振動
子の入力周波数と振動振幅との関係を示す特性図、第４
図は本発明の振動指令信号と振動振幅の関係例を示す特
性図、第５図は本発明の誤差増幅器の他の実施例を示す
詳細回路図、第６図は本発明の他の実施例を示すブロッ
ク図、第７図は従来の超音波発振器を示すブロック図、
第８図は超音波振動子の特性図、第９図は従来の振動指
令信号と振動振幅の関係特性図、第１０図は従来の誤差
増幅器の回路図である。 １……電圧制御発振器（ＶＣＯ） ２……出力・時間調整器、３……出力増幅器 ４……位相差検出器、５……誤差増幅器 ５Ｂ……加算器、５Ｃ……初期値設定器 ５Ｄ……比例積分増幅器の演算増幅器 ５Ｅ……リセットスイッチ、６……位相差設定器 ７……超音波振動子
ク図、第２図は本発明に使用する誤差増幅器の詳細回路
図、第３図は本発明の作用を説明するための超音波振動
子の入力周波数と振動振幅との関係を示す特性図、第４
図は本発明の振動指令信号と振動振幅の関係例を示す特
性図、第５図は本発明の誤差増幅器の他の実施例を示す
詳細回路図、第６図は本発明の他の実施例を示すブロッ
ク図、第７図は従来の超音波発振器を示すブロック図、
第８図は超音波振動子の特性図、第９図は従来の振動指
令信号と振動振幅の関係特性図、第１０図は従来の誤差
増幅器の回路図である。 １……電圧制御発振器（ＶＣＯ） ２……出力・時間調整器、３……出力増幅器 ４……位相差検出器、５……誤差増幅器 ５Ｂ……加算器、５Ｃ……初期値設定器 ５Ｄ……比例積分増幅器の演算増幅器 ５Ｅ……リセットスイッチ、６……位相差設定器 ７……超音波振動子
Claims (2)
- 【請求項１】周波数により力率が変化する超音波振動子
を負荷とし、入力信号の値により発振周波数が変化する
電圧制御発振器、この電圧制御発振器の出力信号を増幅
して前記超音波振動子に電力を供給する出力増幅器、こ
の出力増幅器の出力電圧電流の位相差を検出する位相差
検出器、この位相差検出器で検出した出力電圧電流の位
相差と位相差設定値との誤差を増幅する誤差増幅器より
なり、前記誤差増幅器の出力信号を前記電圧制御発振器
の入力信号とすることによりフェーズロックドループを
構成し、前記出力電圧電流の位相差を位相差設定値に制
御する超音波発振器において、前記誤差増幅器を所定の
時定数を持った比例積分増幅器とし、発振が停止してい
る状態では比例積分増幅器の出力を所定の初期値にリセ
ットし、発振を開始するとともに誤差増幅を開始するよ
うにしたことを特徴とする超音波発振器。 - 【請求項２】誤差増幅器を積分増幅器としたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の超音波発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62294227A JPH0653268B2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 超音波発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62294227A JPH0653268B2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 超音波発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01135569A JPH01135569A (ja) | 1989-05-29 |
| JPH0653268B2 true JPH0653268B2 (ja) | 1994-07-20 |
Family
ID=17804986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62294227A Expired - Lifetime JPH0653268B2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 超音波発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0653268B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005340780A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品装着装置および電子部品装着方法 |
| US20100015466A1 (en) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Calsonic Kansei Corporation | Ultrasonic welder and joined body obtained by the welder |
| CN109670139B (zh) * | 2019-01-29 | 2023-04-25 | 杭州国彪超声设备有限公司 | 一种超声波车削装置跟踪频率的确定方法及系统 |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP62294227A patent/JPH0653268B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01135569A (ja) | 1989-05-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2936232B2 (ja) | 圧電気トランスデューサ作動用電力供給装置 | |
| US4056761A (en) | Sonic transducer and drive circuit | |
| US4302728A (en) | Ultrasonic wave oscillator circuit with output meter | |
| JP4368219B2 (ja) | 水晶発振器、発振方法及びヒータ | |
| JP2863280B2 (ja) | 超音波モータの駆動方法 | |
| EP0947803B1 (en) | Angular velocity sensor driving circuit | |
| JPS5916572A (ja) | 超音波変換器駆動装置の駆動周波数制御方法 | |
| JPH08213836A (ja) | 発振開始時の発振特性を改良した発振機と発振方法 | |
| JPH04200282A (ja) | 超音波モータの駆動装置 | |
| JP2714339B2 (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
| JP4075152B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JPH0653268B2 (ja) | 超音波発振器 | |
| CN100452468C (zh) | 用于基于相位敏感检测的压电器件的谐振控制装置 | |
| JPH03239168A (ja) | 超音波モータ駆動装置 | |
| JPH11159652A (ja) | 電磁比例制御弁の制御装置および制御回路 | |
| JPH0234008A (ja) | 超音波振動子の駆動装置 | |
| JPH07303635A (ja) | 超音波振動子用駆動装置 | |
| JP2574293B2 (ja) | 超音波モ−タの駆動方法 | |
| JP2836189B2 (ja) | 超音波モータの駆動回路 | |
| JPH03112379A (ja) | 超音波モータの駆動回路 | |
| JPS6232716B2 (ja) | ||
| JP3369272B2 (ja) | 超音波発生回路 | |
| JPH02311003A (ja) | 電圧制御圧電発振回路 | |
| JPH02197273A (ja) | 超音波モータ駆動装置 | |
| RU2046539C1 (ru) | Способ управления вибрационным двигателем и устройство для его осуществления |